液体容器着脱装置および欠陥修正装置

【課題】欠陥修正装置内の任意の位置にある塗布機構に対して液体容器を着脱することができる、液体容器着脱装置および当該液体容器着脱装置を備える欠陥修正装置を提供する。
【解決手段】取り付け用インク容器交換装置２０Ａは、基板上に形成されたパターンの欠陥部にインクを塗布して修正するインク塗布機構１０を備えた欠陥修正装置１において、インク塗布機構１０にインクを保持するインク容器１８を着脱するための取り付け用インク容器交換装置であって、インク容器１８を保持可能な取り付けホルダ２２と、インク塗布機構１０との位置関係が固定されるように取り付けホルダ２２を支持可能なホルダ保持台８１Ｂとを備え、インク塗布機構１０の可動範囲に対応して移動可能となっている。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体容器着脱装置および欠陥修正装置に関するものであり、より特定的には、基板上に形成されたパターンの欠陥部に液体材料を塗布して欠陥部を修正する欠陥修正装置に用いられる液体容器着脱装置および当該液体容器着脱装置を備えた欠陥修正装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＬＣＤ（Liquid Crystal Display）の大型化および高精細化が進められており、これに伴いＬＣＤの画素数も増大している。そのため、ＬＣＤの生産工程において欠陥が発生する確率も高くなっており、欠陥を発生させることなくＬＣＤを生産することが困難になっている。したがって、歩留まりの向上を図るために、ＬＣＤの生産ラインに欠陥修正装置を導入することが不可欠となっている。
【０００３】
以下、ＬＣＤの一部材であるカラーフィルタの生産工程において発生する欠陥の形態とその修正方法について説明する。カラーフィルタの生産工程においては、色が抜けた白欠陥、隣の画素と色が混色した黒欠陥および異物が付着した異物欠陥などが発生する。白欠陥が発生した場合は、色が抜けた部分に本来有するべき色のインクを塗布することにより、欠陥を修正することができる。黒欠陥および異物欠陥が発生した場合は、たとえばレーザを欠陥部分に照射することにより、欠陥を除去して当該欠陥を白欠陥に変換したうえで、色が抜けた部分に本来有するべき色のインクを塗布することにより、欠陥を修正することができる（たとえば特許文献１および２参照）。
【０００４】
特許文献２において提案されている欠陥修正装置では、欠陥修正用のインクが注入されたインク容器は、インクを塗布するための塗布針の先端部が貫通可能な位置に配置されている。また、塗布針の先端部をインク容器の底部の孔より出し入れすることにより、塗布針の先端部にインクを補給することができる。
【０００５】
しかし、この欠陥修正装置においては、複数の塗布針およびインク容器が並んで設置されているため、インク容器を着脱する作業を行なうためのスペースは極めて狭い。そのため、インク容器を着脱する作業の効率が低いという問題点がある。また、不慣れな作業者がインク容器を着脱する作業を行なう場合には、作業スペースが狭いために、塗布針を損傷させたりインク容器を落下させる可能性があるという問題点がある。これに対し、たとえば特許文献３においては、インク容器の欠陥修正装置への確実な着脱を容易にするインク容器着脱装置が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開平９−２３６９３３号公報
【特許文献２】特開２００７−２６８３５４号公報
【特許文献３】特開２００８−１０７５６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献３において提案されているインク容器着脱装置は、欠陥修正装置の特定の場所に固定されるものである。そのため、当該インク容器着脱装置は以下に示すような問題点を有する。
【０００８】
まず、欠陥修正装置の設計上の都合によりインク容器着脱装置を設置する場所が制約される。そのためメンテナンス位置を自由に選択することができないという問題点がある。また、欠陥修正装置を設置する環境により、メンテナンス用のスペースが制約されることも想定される。
【０００９】
また、当該インク容器着脱装置は欠陥修正装置の特定の場所に固定されるため、インク容器着脱装置へインク容器を着脱する作業は、欠陥修正装置内にて行なわれる。そのため、インク容器を着脱する作業の作業性が悪く、正確にインク容器を設置することが困難である場合も想定される。
【００１０】
また、インク容器着脱装置を設置する際、各装置ごとに塗布針を含む塗布機構とインク容器着脱装置との位置関係を正確に調整する必要がある。また、その塗布機構とインク容器着脱装置との位置関係の情報を記憶させ、さらにその情報に基づいて塗布機構をインク容器着脱装置まで移動させるための手段が必要となる。
【００１１】
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、欠陥修正装置内の任意の位置にある塗布機構に対して液体容器の着脱を可能にする液体容器着脱装置および当該液体容器着脱装置を備える欠陥修正装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明に従った液体容器着脱装置は、基板上に形成されたパターンの欠陥部に液体材料を塗布して欠陥部を修正する塗布機構を備えた欠陥修正装置において、塗布機構に液体材料を保持する液体容器を着脱するための液体容器着脱装置である。この液体容器着脱装置は、液体容器を保持可能な容器保持部材と、塗布機構との位置関係が固定されるように容器保持部材を支持可能な支持部材とを備え、塗布機構の可動範囲に対応して移動可能となっている。
【００１３】
本発明に従った液体容器着脱装置は、欠陥修正装置に備えられた塗布機構の可動範囲に対応して移動可能となっている。すなわち、当該液体容器着脱装置は、欠陥修正装置内において塗布機構が位置する任意の領域へ移動することができる。したがって、本発明に従った液体容器着脱装置によれば、欠陥修正装置内の任意の位置にある塗布機構に対して液体容器を着脱することができる。
【００１４】
上記の液体容器着脱装置において、支持部材は、塗布機構に嵌合するための嵌合部を含んでいてもよい。これにより、塗布機構に対して液体容器着脱装置を嵌合により装着させることができる。
【００１５】
上記の液体容器着脱装置において、支持部材は、塗布機構との間に磁力を発生させるための磁性部材を含んでいてもよい。これにより、塗布機構に対して液体容器着脱装置を磁力により装着させることができる。
【００１６】
本発明に従った欠陥修正装置は、基板上に形成されたパターンの欠陥部に液体材料を塗布して欠陥部を修正する塗布機構と、塗布機構に液体容器を着脱するための液体容器着脱装置とを備えている。また、液体容器着脱装置は上記本発明の液体容器着脱装置である。
【００１７】
本発明に従った欠陥修正装置は、塗布機構の可動範囲に対応して移動可能な液体容器着脱装置を備えている。すなわち、当該液体容器着脱装置は、欠陥修正装置内において塗布機構が位置する任意の領域へ移動することができる。したがって、本発明に従った欠陥修正装置によれば、欠陥修正装置内の任意の位置にある塗布機構に対して液体容器を着脱することができる。
【００１８】
上記の欠陥修正装置は、液体容器着脱装置が装着されていることを感知する検出装置をさらに備えていてもよい。これにより、欠陥修正装置に液体容器着脱装置が装着されていることを容易に認識することができる。
【発明の効果】
【００１９】
以上の説明から明らかなように、本発明に従った液体容器着脱装置および当該液体容器着脱装置を備える欠陥修正装置によれば、欠陥修正装置内の任意の位置にある塗布機構に対して液体容器を着脱することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施の形態における欠陥修正装置の構成を示す概略斜視図である。
【図２】本発明の一実施の形態における欠陥修正装置に含まれるインク塗布機構の構成を示す概略斜視図である。
【図３】本発明の一実施の形態における取り付け用インク容器交換装置の構造を示す概略斜視図である。
【図４】本発明の一実施の形態における取り外し用インク容器交換装置の構造を示す概略斜視図である。
【図５】本発明の一実施の形態における欠陥修正装置に含まれるインク塗布機構に対してインク容器交換装置が装着される動作を示す概略斜視図である。
【図６】塗布部材、取り付けホルダおよびインク容器の構成を示す概略斜視図である。
【図７】インク容器が取り付けホルダに保持されている状態を示す概略斜視図である。
【図８】インク容器を塗布部材に取り付けるために、インク容器と塗布部材とを接触させた状態を示す概略斜視図である。
【図９】インク容器を塗布部材に取り付けるために、インク容器と塗布部材とを接触させた状態を示す概略部分断面図である。
【図１０】インク容器の塗布部材への取り付けが完了した状態を示す概略斜視図である。
【図１１】インク容器の塗布部材への取り付けが完了した状態を示す概略部分断面図である。
【図１２】インク容器が塗布部材に保持されている状態を示す概略斜視図である。
【図１３】インク容器を塗布部材から取り外すために、インク容器と取り外しホルダとが接触した状態を示す概略斜視図である。
【図１４】インク容器を塗布部材から取り外すために、インク容器と取り外しホルダとが接触した状態を示す概略部分断面図である。
【図１５】インク容器の取り外しが完了した状態を示す概略斜視図である。
【図１６】インク容器の取り外しが完了した状態を示す概略部分断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００２１】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の図面において、同一または相当する部分には同一の参照番号を付し、その説明は繰り返さない。
【００２２】
以下、本発明の一実施の形態における欠陥修正装置の構成について説明する。図１を参照して、本実施の形態における欠陥修正装置１は、ベース部材３０と、塗布機構としてのインク塗布機構１０と、レーザ照射部４０と、観察光学系５０と、移動装置６０とを備えている。ベース部材３０は、欠陥の修正対象であるカラーフィルタなどの基板を載置するためのステージ３１を含んでいる。
【００２３】
また、本実施の形態における欠陥修正装置１は、上記の構成の他に塗布機構としてのインク塗布機構１０に液体容器としてのインク容器を着脱するための液体容器着脱装置であるインク容器交換装置（図３および図４参照）をさらに含んでいる。インク容器交換装置は、インク塗布機構１０に対してインク容器を着脱する際に、インク塗布機構１０に装着される。塗布機構としてのインク塗布機構１０は、基板上に形成されたパターンの欠陥部に液体材料としてのインクを塗布することにより、基板の欠陥を修正する。インク塗布機構１０は、インク容器交換装置を装着可能に構成されている。インク容器交換装置およびインク塗布機構１０の構成および動作については後に説明する。
【００２４】
レーザ照射部４０は、基板にレーザ光を照射する。観察光学系５０は、基板の表面を観察するために用いられる複数の対物レンズ５１と、対物レンズ５１を保持し、複数の対物レンズ５１の中から所望の対物レンズ５１を選択可能な電動レボルバ５２と、ＣＣＤ（ＣｈａｒｇｅＣｏｕｐｌｅｄＤｅｖｉｃｅ）カメラ５３とを含んでいる。移動装置６０は、Ｘテーブル６２と、Ｙテーブル６１と、Ｚテーブル６３とを含んでいる。Ｚテーブル６３は、インク塗布機構１０、レーザ照射部４０および観察光学系５０をＺ軸方向に移動可能に保持している。Ｘテーブル６２は、Ｚテーブル６３を、Ｚ軸に直交するＸ軸方向に移動可能に保持している。さらに、Ｙテーブル６１は、Ｘテーブル６２を、Ｚ軸およびＸ軸に直交するＹ軸方向に移動可能に保持している。
【００２５】
以下、本実施の形態における欠陥修正装置１の動作について説明する。まず、電動レボルバ５２により低倍率の対物レンズ５１が選択された状態で、ステージ３１上に載置された基板の欠陥がＣＣＤカメラ５３を通じて確認される。次に、電動レボルバ５２により高倍率の対物レンズ５１が選択され、欠陥の位置および状態が詳細に確認される。そして、必要に応じて当該欠陥にレーザ照射部４０からレーザが照射されたうえで、インク塗布機構１０によりインクが塗布され、欠陥が修正される。ここで、インクが消費され、インクの補充が必要になった場合、インク容器交換装置を用いて、インク塗布機構１０からインク容器が取り外され、インクが補充されたインク容器が取り付けられる。このようにして、本実施の形態における欠陥修正装置１を用いた欠陥の修正が実施される。
【００２６】
次に、インク塗布機構１０の構成について、図２に基づいて説明する。インク塗布機構１０は、基板の欠陥部にインクを塗布するための塗布針を含む塗布部材１９を備えている。塗布部材１９は、欠陥部に塗布されるインクを保持するインク容器１８を取り付け可能に構成されている。
【００２７】
インク塗布機構１０は、並列した複数の塗布部材１９を備えていることが好ましい。これにより、たとえば基板の欠陥部の修正において一の塗布部材１９が保持するインク容器１８に充填されたインクの残量が少なくなった場合、あるいは一の塗布部材１９に含まれる塗布針が損傷した場合には、他の塗布部材１９を使用することにより欠陥部の修正を継続して実施することができる。すなわち、当該インク塗布機構１０によれば、インク容器１８および塗布針を交換するために修正が中断されることがなく、そのため効率的に欠陥部の修正を実施することができる。
【００２８】
塗布部材１９に取り付けられたインク容器１８に充填されるインクには、欠陥部の修正の目的に応じた種類のインクを適宜選択することができる。たとえば、カラーフィルタの着色画素において発生した欠陥を修正する場合には、赤、緑、青、黄、マゼンダおよびシアンなどの顔料を含むインクがインク容器１８に充填されてもよい。また、カラーフィルタのブラックマトリクスにおいて発生した欠陥を修正する場合には、黒色の顔料を含むインクがインク容器１８に充填されてもよい。
【００２９】
インク塗布機構１０は、上記のようにインク容器交換装置を装着可能に構成されている。具体的には、インク塗布機構１０は、位置きめ案内棒１３、第１磁石１２ａおよび第２磁石１２ｂを含んでいる。位置きめ案内棒１３は、後に説明するインク容器交換装置に含まれる案内穴と互いに嵌合可能に構成されている。また、第１磁石１２ａおよび第２磁石１２ｂは、後に説明するインク容器交換装置に含まれる第３磁石および第４磁石と互いに引き合う向きの磁力を発生するように構成されている。
【００３０】
また、インク塗布機構１０は、インク容器交換装置が装着されていることを感知する検出装置としての交換ユニット検出センサ１４をさらに備えている。これにより、インク塗布機構１０にインク容器交換装置が装着されているか否かを容易に認識することができる。さらに、交換ユニット検出センサ１４によれば、インク容器１８を着脱する作業が完了した後に、作業者がインク塗布機構１０よりインク容器交換装置を取り外し忘れることを回避することもできる。具体的には、交換ユニット検出センサ１４による検出信号を用いたシーケンス制御により、インク塗布機構１０にインク容器交換装置が装着された状態では欠陥修正装置が稼動することができないようなインタロック機構を設けることもできる。また、交換ユニット検出センサ１４としては、たとえば反射型の検出センサが用いられてもよいが、これに限られるものではない。
【００３１】
以下、インク容器交換装置の構造について、図３および図４に基づいて説明する。本実施の形態に係る液体容器着脱装置としてのインク容器交換装置は、基板上に形成されたパターンの欠陥部に液体材料としてのインクを塗布して欠陥部を修正する塗布機構としてのインク塗布機構１０を備えた欠陥修正装置１において、インク塗布機構１０にインクを保持する液体容器としてのインク容器を着脱するためのインク容器交換装置である。本実施の形態に係る液体容器交換装置には、取り付け用インク容器交換装置２０Ａ（図３参照）、および取り外し用インク容器交換装置２０Ｂ（図４参照）が含まれる。取り付け用インク容器交換装置２０Ａおよび取り外し用インク容器交換装置２０Ｂは、インク塗布機構１０に対してインク容器を取り付ける場合、およびインク塗布機構１０からインク容器を取り外す場合にそれぞれ用いられる。
【００３２】
まず、図３を参照して、取り付け用インク容器交換装置２０Ａの構造について説明する。取り付け用インク容器交換装置２０Ａは、液体容器としてのインク容器１８を保持可能な容器保持部材としての取り付けホルダ２２と、インク塗布機構１０との位置関係が固定されるように取り付けホルダ２２を支持可能な支持部材としてのホルダ保持台８１Ｂとを備えている。
【００３３】
取り付けホルダ２２は、取り付けホルダ本体２２Ａと、昇降棒９３を有し取り付けホルダ本体２２Ａを保持するホルダ支持台８２と、取り付けホルダ本体２２Ａとホルダ支持台８２との間に配置され、インク容器（図示しない）が押付けられる向きの力を緩衝するばね９１と、ホルダ支持台８２に設置され、取り付けホルダ２２Ａに形成されたホルダレール８８に嵌め込まれることにより、取り付けホルダ本体２２Ａをインク容器が押付けられる方向に移動可能に案内するガイド部材８３と、ホルダ支持台８２の端部に配置され、ホルダレール８８がホルダ支持台８２から突出しないように取り付けホルダ２２Ａの移動範囲を制限する板状のストッパ８５とを備えている。ここで、ばね９１のばね定数は、ホルダレール８８をストッパ８５に対して押付け、インク容器に作用する重力よりも大きい力が取り付けホルダ本体２２Ａに作用した場合、取り付けホルダ本体２２Ａがインク容器により押付けられる向きに退避する程度に設定されている。
【００３４】
ホルダ保持台８１Ｂは、ホルダ保持台本体８１と、ホルダ保持台本体８１に形成された保持台レール８９と、ホルダ保持台８１Ｂの端部に形成に配置された板状の第２ストッパ８７とを備えている。また、取り付けホルダ２２は、ホルダ支持台８２に設置され、保持台レール８９に嵌め込まれることにより、ホルダ支持台８２をインク容器が押付けられる方向に移動可能に案内する第２ガイド部材８４をさらに備えている。第２ガイド部材８４は、第２ストッパ８７により、ホルダ保持台８１Ｂから突出しないように移動範囲が制限されている。
【００３５】
支持部材としてのホルダ保持台８１Ｂは、塗布機構としてのインク塗布機構１０に嵌合するための嵌合部を含んでいる。具体的には、ホルダ保持台８１Ｂに含まれるホルダ保持台本体８１には、嵌合部としての案内穴８６が形成されている。また、ホルダ保持台８１Ｂは、塗布機構としてのインク塗布機構１０との間に磁力を発生させるための磁性部材を含んでいる。具体的には、ホルダ保持台８１Ｂに含まれるホルダ保持台本体８１は、磁性部材としての第３磁石８１ａおよび第４磁石８１ｂを含んでいる。
【００３６】
上記のように、ホルダ保持台８１Ｂに含まれる案内穴８６は、インク塗布機構１０に含まれる位置きめ案内棒１３（図２を参照）と互いに嵌合可能に構成されている。また、ホルダ保持台８１Ｂに含まれる第３磁石８１ａおよび第４磁石８１ｂは、インク塗布機構１０に含まれる第１磁石１２ａおよび第２磁石１２ｂ（図２を参照）と、互いに引き合う向きの磁力を発生するように構成されている。したがって、ホルダ保持台８１Ｂに含まれる案内穴８６、第３磁石８１ａおよび第４磁石８１ｂと、インク塗布機構１０に含まれる位置きめ案内棒１３、第１磁石１２ａおよび第２磁石１２ｂとにより、取り付け用インク容器交換装置２０Ａをインク塗布機構１０へ容易にかつ正確に装着することができる。
【００３７】
また、取り付けホルダ本体２２Ａには、インク塗布機構１０に含まれる塗布部材１９が有している第１磁性部材９２ａよりもインク容器を引き付ける磁力の小さい第２磁性部材９２ｂが、インク容器が押付けられる面に露出するように配置されている。
【００３８】
次に、図４を参照して、取り外し用インク容器交換装置２０Ｂの構造について説明する。取り外し用インク容器交換装置２０Ｂは、基本的には上記の取り付け用インク容器交換装置２０Ａと同様の構成を有している。しかし、取り外し用インク容器交換装置２０Ｂは、取り付け用ホルダ本体２２Ａに配置されている第２磁性部材９２ｂに代えて、第１磁性部材９２ａよりもインク容器を引き付ける磁力の大きい第３磁性部材９２ｃが取り外しホルダ本体２１Ａに配置されている点で、取り付け用インク容器交換装置２０Ａとは異なっている。
【００３９】
図１〜図４を参照して、取り付け用インク容器交換装置２０Ａおよび取り外し用インク容器交換装置２０Ｂを含むインク容器交換装置は、塗布機構としてのインク塗布機構１０の稼動範囲に対応して移動可能となっている。具体的には、インク容器交換装置は、欠陥修正装置１の特定の場所に移動不能に固定されていない。たとえば、取り付け用インク容器交換装置はハンディタイプのものであることが好ましい。すなわち、インク容器交換装置は、作業者の手によって、任意の位置に移動可能であることが好ましい。これにより、インク容器交換装置を、欠陥修正装置１の任意の位置にあるインク塗布機構１０に装着することができる。たとえば、欠陥部の修正においてインクの残量が少なくなりインク容器の交換が必要となった場合には、インク塗布機構１０を移動させることなく、インク容器交換装置を装着することができる。また、当該インク容器交換装置によれば、欠陥修正装置１の外にてインク容器交換装置にインク容器を脱着する作業を行うことが可能になる。これにより、インク容器を脱着する作業の作業性を大きく改善することができる。
【００４０】
以下、欠陥修正装置１に含まれるインク塗布機構１０へのインク容器交換装置の装着および取り外し動作について、図５に基づいて説明する。まず、基板上に形成されたパターンの欠陥部の修正において、インク塗布機構１０が保持しているインク容器１８に充填されたインクの残量が少なくなると、修正作業が中断される。
【００４１】
次に、インクの残量が少なくなったインク容器１８をインク塗布機構１０より取り外すために、取り外し用インク容器交換装置２０Ｂをインク塗布機構１０に装着させる。このとき、インク塗布機構１０に含まれる位置きめ案内棒１３と取り外し用インク容器交換装置２０Ｂに含まれる案内穴８６とが互いに嵌合する。また、インク塗布機構１０に含まれる第１磁石１２ａおよび第２磁石１２ｂと、取り外し用インク容器交換装置２０Ｂに含まれる第３磁石８１ａおよび第４磁石８１ｂとの間には互いに引き合う向きの磁力が発生する。これにより、取り外し用インク容器交換装置２０Ｂを、インク塗布機構１０に対して容易にかつ正確に装着することができる。
【００４２】
次に、取り外し用インク容器交換装置２０Ｂにより、インクの残量が少なくなったインク容器１８が取り外される。インク容器１８の取り外しについては後に説明する。インク容器１８の取り外しが完了した後、取り外し用インク容器交換装置２０Ｂはインク容器１８を保持しつつインク塗布機構１０より取り外される。
【００４３】
次に、インクが充填されたインク容器１８をインク塗布機構１０に取り付けるために、取り付け用インク容器交換装置２０Ａがインク塗布機構１０に装着される。取り付け用インク容器交換装置２０Ａには、あらかじめインクが充填されたインク容器１８が取り付けられる。次に、取り付け用インク容器交換装置２０Ａが保持するインク容器１８がインク塗布機構１０へ取り付けられる。インク容器１８の取り付けについては後に説明する。インク容器１８の取り付けが完了した後に、取り付け用インク容器交換装置２０Ａはインク塗布機構１０より取り外される。以上に示した動作により、インク塗布機構１０へのインク容器交換装置の装着および取り外しが実施される。
【００４４】
以下、インク塗布機構１０へのインク容器１８の取り付けおよび取り外しについて説明する。まず、取り付け用インク容器交換装置２０Ａによる、インク塗布機構１０へのインク容器１８の取り付けについて説明する。
【００４５】
図６を参照して、塗布部材１９は、インクを塗布するための塗布針１１と、インク容器１８を保持するための第１磁性部材９２ａとを備えている。インク容器１８は、樹脂を素材として形成されており、内部に形成されたインクを保持するインクタンクを閉じる蓋１７と、磁性体を含み、第１磁性部材９２ａおよび第２磁性部材９２ｂに磁力により吸着する機能を有し、インク容器１８の本体を貫通する吸着用磁性部材としての吸着ピン１５とを備えている。さらに、インク容器１８には、２つの切欠部としてのＵ字切欠１６が長手方向の両端に形成されている。取り付けホルダ２２は、第１磁性部材９２ａよりもインク容器１８の吸着ピン１５を引き付ける向きの磁力が小さい第２磁性部材９２ｂを備えている。さらに、取り付けホルダ２２には、インク容器１８の２つのＵ字切欠１６に嵌合する２つの位置決めピン２９が形成されている。
【００４６】
インク容器１８を塗布部材１９に取り付けるためには、まず、図７に示すように、２つのＵ字切欠１６が２つの位置決めピン２９に嵌合するように、取り付けホルダ本体２２Ａ上にインク容器１８が載置される。このとき、吸着ピン１５と第２磁性部材９２ｂとの間にはたらく磁力により、インク容器１８は取り付けホルダ２２に安定して保持される。次に、上記のように取り付け用インク容器交換装置２０Ａがインク塗布機構１０に装着される。その後、インク容器１８を塗布部材１９に取り付けるために、インク容器１８が保持された取り付けホルダ２２Ａを塗布部材１９に接近させる。このとき、図３を参照して、取り付けホルダ２２Ａの塗布部材１９への接近は、昇降棒９３を保持し、ホルダ支持台８２を塗布部材１９に接近させることにより行なうことができる。
【００４７】
次に、図８および図９を参照して、インク容器１８と塗布部材１９とが接触した状態では、インク容器１８は、取り付けホルダ２２と塗布部材１９との両方に保持された状態となる。具体的には、図９を参照して、インク容器１８と塗布部材１９とが接触した状態では、塗布部材１９の塗布針１１が蓋１７に形成された穴を貫通し、その先端がインクタンク１８Ａ内に保持されたインク１８ａに浸漬された状態となるとともに、第１磁性部材９２ａと吸着ピン１５の一方の端面とが接触した状態となる。これにより、インク容器１８は、第１磁性部材９２ａと吸着ピン１５との間にはたらく磁力により、塗布部材１９に保持されている。一方、インク容器１８と取り付けホルダ２２とは、図７に基づいて説明した状態が維持されている。これにより、第２磁性部材９２ｂと吸着ピン１５の他方の端面とが接触し、インク容器１８は、第２磁性部材９２ｂと吸着ピン１５との間にはたらく磁力により、取り付けホルダ２２に保持されている。
【００４８】
ここで、図３を参照して、インク容器１８と塗布部材１９とが接触する際、ばね９１の緩衝作用により、インク容器１８により押付けられる向きに取り付けホルダ本体２２Ａが退避するため、接触の衝撃が緩衝されるとともに、誤って塗布針１１とインク容器１８とが接触した場合でも、塗布針１１の破損の発生を抑制することができる。
【００４９】
その後、図８および図９を参照して、インク容器１８と取り付けホルダ２２とを分離するために、取り付けホルダ本体２２Ａを塗布部材１９から離れる向きに移動させる。当該移動も、昇降棒９３を保持し、ホルダ支持台８２を塗布部材１９から離れる向きに移動させることにより行なうことができる。
【００５０】
このとき、上記のように、第２磁性部材９２ｂがインク容器１８の吸着ピン１５を引き付ける向きの磁力は、第１磁性部材９２ａに比べて小さい。そのため、図１０よび図１１に示すように、インク容器１８は、塗布部材１９に保持された状態を維持しつつ、取り付けホルダ２２から離脱する。以上の手順により、インク容器１８の塗布部材１９への取り付けを行なうことができる。
【００５１】
次に、取り外し用インク容器交換装置２０Ｂによる、インク塗布機構１０からのインク容器１８の取り外しについて説明する。インク容器１８を塗布部材１９から取り外すためには、まず、上記のように取り外し用インク容器交換装置２０Ｂがインク塗布機構１０に装着される。次に、図１２を参照して、塗布部材１９に保持されたインク容器１８に、取り外しホルダ本体２１Ａを接近させる。このとき、取り外しホルダ本体２１Ａのインク容器１８への接近は、上記の場合と同様に、昇降棒９３を保持し、ホルダ支持台８２をインク容器１８に接近させることにより行なうことができる。
【００５２】
次に、図１３および図１４を参照して、インクの残量が少なくなったインク容器１８と取り外しホルダ本体２１Ａとが接触した状態では、インク容器１８は、取り外しホルダ２１と塗布部材１９との両方に保持された状態となる。具体的には、インク容器１８と塗布部材１９とが接触した状態では、第１磁性部材９２ａと吸着ピン１５の一方の端面とが接触した状態となるため、インク容器１８は、第１磁性部材９２ａと吸着ピン１５との間にはたらく磁力により、塗布部材１９に保持されている。一方、取り外しホルダ２１とインク容器１８とは、第３磁性部材９２ｃと吸着ピン１５の他方の端面とが接触した状態となるため、インク容器１８は、第３磁性部材９２ｃと吸着ピン１５との間にはたらく磁力により、取り外しホルダ２１に保持されている。
【００５３】
ここで、図４を参照して、インク容器１８と塗布部材１９とが接触する際、インク容器１８の取り付けの場合と同様に、ばね９１の緩衝作用により、接触の衝撃が緩衝される。
【００５４】
その後、インク容器１８と塗布部材１９とを分離するために、取り外しホルダ本体２１Ａを塗布部材１９から離れる向きに移動させる。当該移動も、昇降棒９３を保持し、ホルダ支持台８２を塗布部材１９から離れる向きに移動させることにより行なうことができる。
【００５５】
このとき、上記のように、第３磁性部材９２ｃがインク容器１８の吸着ピン１５を引き付ける向きの磁力は、第１磁性部材９２ａに比べて大きい。そのため、図１５および図１６に示すように、インク容器１８は、取り外しホルダ２１に保持された状態を維持しつつ、塗布部材１９から離脱する。以上の手順により、インク容器１８の塗布部材１９からの取り外しを行なうことができる。
【００５６】
以上のように、本実施の形態におけるインク容器交換装置は、欠陥修正装置１に備えられたインク塗布機構１０の可動範囲に対応して移動可能となっている。すなわち、インク容器交換装置は、欠陥修正装置１内においてインク塗布機構１０がある任意の位置へ移動することができる。これにより、欠陥修正装置１の任意の位置にあるインク塗布機構１０に対してインク容器を着脱することができる。さらに、当該インク容器交換装置によれば、欠陥修正装置１の外においてインク容器交換装置にインク容器を脱着する作業を行うことが可能になり、そのため作業性を大きく改善することができる。なお、上記実施の形態においては、インク容器交換装置が、作業者の手に保持されて移動する場合について説明したが、欠陥修正装置１がインク容器交換装置を任意の位置に移動させる移動装置をさらに備え、当該移動装置によりインク容器交換装置が移動する構造を採用してもよい。
【００５７】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味、および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
本発明の液体容器着脱装置および当該液体容器着脱装置を備える欠陥修正装置は、欠陥修正装置内の任意の位置にある塗布機構に対して液体容器を着脱することが要求される、液体容器着脱装置および欠陥修正装置において、特に有利に適用され得る。
【符号の説明】
【００５９】
１欠陥修正装置、１０インク塗布機構、１１塗布針、１２ａ第１磁石、１２ｂ第２磁石、１３位置きめ案内棒、１４交換ユニット検出センサ、１５吸着ピン、１６Ｕ字切欠、１７蓋、１８インク容器、１８ａインク、１８Ａインクタンク、１９塗布部材、２０Ａ取り付け用インク容器交換装置、２０Ｂ取り外し用インク容器交換装置、２１取り外しホルダ、２１Ａ取り外しホルダ本体、２２取り付けホルダ、２２Ａ取り付けホルダ本体、２９位置決めピン、３０ベース部材、３１ステージ、４０レーザ照射部、５０観察光学系、５１対物レンズ、５２電動レボルバ、５３ＣＣＤカメラ、６０移動装置、６１Ｙテーブル、６２Ｘテーブル、６３Ｚテーブル、８１ホルダ保持台本体、８１Ｂホルダ保持台、８１ａ第３磁石、８１ｂ第４磁石、８２ホルダ支持台、８３ガイド部材、８４第２ガイド部材、８５ストッパ、８６案内穴、８７第２ストッパ、９１ばね、９２ａ第１磁性部材、９２ｂ第２磁性部材、９２ｃ第３磁性部材、９３昇降棒、９８ａホルダレール、９８ｂ保持台レール。

【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に形成されたパターンの欠陥部に液体材料を塗布して前記欠陥部を修正する塗布機構を備えた欠陥修正装置において、前記塗布機構に前記液体材料を保持する液体容器を着脱するための液体容器着脱装置であって、
前記液体容器を保持可能な容器保持部材と、
前記塗布機構との位置関係が固定されるように前記容器保持部材を支持可能な支持部材とを備え、
前記塗布機構の可動範囲に対応して移動可能となっている、液体容器着脱装置。
【請求項２】
前記支持部材は、前記塗布機構に嵌合するための嵌合部を含んでいる、請求項１に記載の液体容器着脱装置。
【請求項３】
前記支持部材は、前記塗布機構との間に磁力を発生させるための磁性部材を含んでいる、請求項１または２に記載の液体容器着脱装置。
【請求項４】
基板上に形成されたパターンの欠陥部に液体材料を塗布して前記欠陥部を修正する塗布機構と、
前記塗布機構に液体容器を着脱するための液体容器着脱装置とを備え、
前記液体容器着脱装置は、請求項１〜３のいずれか１項に記載の液体容器着脱装置である、欠陥修正装置。
【請求項５】
前記液体容器着脱装置が装着されていることを感知する検出装置をさらに備える、請求項４に記載の欠陥修正装置。

【図１】