液晶表示装置の製造装置
【課題】液晶が紫外線を吸収して高温に発熱するのを抑えて液晶分子の配向の安定化を図ると共に、大面積の基板に対しても紫外線を均一に照射可能にする。
【解決手段】液晶表示用基板の各画素に電界を印加した状態で、紫外線を照射して液晶の分子を所定方向に配向させるもので、液晶表示用基板の一面に接触して冷却する冷却媒体を貯留する凹陥部を中央に形成し、液晶表示用基板を吸着保持するステージと、液晶表示用基板の少なくとも表示領域に対応した大きさの開口17aを有するリフレクタ17の内部に紫外線を発光する複数のフラッシュランプ28を設けると共に、開口17aに所定波長の紫外線を選択的に透過する方形状の複数のフィルタ47を縦横に並べて設けた光源装置3とを備え、光源装置3は、フィルタ47の配列ピッチの整数倍の距離を縦横に所定のステップで移動しながら、1ステップ移動する毎に複数のフラッシュランプ28を点灯させるものである。
【解決手段】液晶表示用基板の各画素に電界を印加した状態で、紫外線を照射して液晶の分子を所定方向に配向させるもので、液晶表示用基板の一面に接触して冷却する冷却媒体を貯留する凹陥部を中央に形成し、液晶表示用基板を吸着保持するステージと、液晶表示用基板の少なくとも表示領域に対応した大きさの開口17aを有するリフレクタ17の内部に紫外線を発光する複数のフラッシュランプ28を設けると共に、開口17aに所定波長の紫外線を選択的に透過する方形状の複数のフィルタ47を縦横に並べて設けた光源装置3とを備え、光源装置3は、フィルタ47の配列ピッチの整数倍の距離を縦横に所定のステップで移動しながら、1ステップ移動する毎に複数のフラッシュランプ28を点灯させるものである。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、液晶を封止した液晶表示用基板に電界を印加した状態で紫外線を照射して液晶分子を所定方向に配向させる液晶表示装置の製造装置に関し、詳しくは、液晶が紫外線を吸収して高温に発熱するのを抑えて液晶分子の配向の安定化を図ると共に、大面積の基板に対しても紫外線を均一に照射可能にした液晶表示装置の製造装置に係るものである。
【背景技術】
【0002】
従来のこの種の液晶表示装置の製造装置は、液晶にモノマーを混合した液晶材料を一対の基板間に封止した液晶表示パネルを紫外線照射装置内に載置し、電圧印加装置から基板間に電圧を印加して液晶分子を傾斜させた状態で紫外線照射装置の高圧水銀ランプから紫外線を液晶表示パネルに照射し、上記モノマーを重合してポリマー化し、液晶分子の配向方向を規定するものとなっていた(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
このような液晶表示装置の製造装置は、配向膜をラビング処理することにより液晶分子を所定方向に配向させるものに比べて、非接触で液晶分子を配向させることができるため、欠陥の発生を抑制することができるという特徴を有している。
【特許文献1】特開2003−228050号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかし、このような従来の液晶表示装置の製造装置においては、液晶表示用基板が紫外線を吸収して80℃以上に発熱する場合があり、封入された液晶が光の透過及び遮断のスイッチング機能を消失して適切な画像表示ができなくなるという不具合が発生するおそれがあった。
【0005】
また、波長が300nm以下の紫外線は、液晶にダメージを与えるため、紫外線照射装置の紫外線射出側に波長が300nm以下の紫外線の透過を遮断するフィルタを設ける必要がある。この場合、例えば一辺の長さが2mを超える大面積の液晶表示用基板に対しては、方形状の複数のフィルタを縦横に並べて設けなければならず、各フィルタ間の領域の紫外線の透過量が減少して照度ムラを発生し、液晶表示用基板に対して紫外線を均一に照射することができないおそれがある。
【0006】
そこで、本発明は、このような問題点に対処し、液晶表示用基板が紫外線を吸収して高温に発熱するのを抑えて液晶分子の配向の安定化を図ると共に、大面積の基板に対しても紫外線を均一に照射可能にした液晶表示装置の製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記目的を達成するために、本発明による液晶表示装置の製造装置は、一対の基板間に複数の画素をマトリクス状に形成して液晶を封止した液晶表示用基板の前記各画素に電界を印加した状態で、前記液晶表示用基板に紫外線を照射して前記液晶の分子を所定方向に配向させる液晶表示装置の製造装置であって、前記液晶表示用基板の一面に接触して冷却する冷却媒体を貯留する凹陥部を中央に形成し、上面に前記液晶表示用基板の一面の周縁近傍部を吸着して保持するステージと、前記ステージの上方に配設され、前記液晶表示用基板の少なくとも表示領域に対応した大きさの開口を有するリフレクタの内部に紫外線を発光する複数のフラッシュランプを設けると共に、前記開口に所定波長の紫外線を選択的に透過する方形状の複数のフィルタを縦横に並べて設けた光源装置と、を備え、前記光源装置は、前記フィルタの配列ピッチの整数倍の距離を縦横に所定のステップで移動しながら、1ステップ移動する毎に前記複数のフラッシュランプを点灯させるものである。
【0008】
このような構成により、ステージの上面に一対の基板間に複数の画素をマトリクス状に形成して液晶を封止した液晶表示用基板の一面の周縁近傍部を吸着して保持し、液晶表示用基板の各画素に電界を印加した状態でステージの中央に形成した凹陥部に冷却媒体を貯留し、該冷却媒体を液晶表示用基板の一面に接触させて液晶表示用基板を冷却し、液晶表示用基板の少なくとも表示領域に対応した大きさの開口を有するリフレクタの内部に紫外線を発光する複数のフラッシュランプを設けると共に、上記開口に所定波長の紫外線を選択的に透過する方形状の複数のフィルタを縦横に並べて設けた光源装置を上記フィルタの配列ピッチの整数倍の距離だけ縦横に所定のステップで移動させながら、光源装置が1ステップ移動する毎に複数のフラッシュランプを点灯させ、液晶の分子を所定方向に配向させる。
【0009】
また、前記複数のフィルタは、波長が約300nm以下の紫外線の透過を遮断するものである。これにより、複数のフィルタで波長が約300nm以下の紫外線の透過を遮断する
【0010】
そして、前記複数のフィルタ間には、各フィルタの縁部を支持する支持部材が設けられている。これにより、複数のフィルタ間に設けた支持部材で各フィルタの縁部を支持する。
【発明の効果】
【0011】
請求項1に係る発明によれば、液晶表示用基板の一面を冷却媒体で冷却するようにしたことにより、液晶が紫外線を吸収して高温に発熱するのを抑えることができる。また、液晶表示装置の少なくとも表示領域に対応した大きさの開口を有するリフレクタの内部に紫外線を発光する複数のフラッシュランプを設けると共に、上記開口部に所定波長の紫外線を選択的に透過する方形状の複数のフィルタを縦横に並べて設けた光源装置が上記フィルタの配列ピッチの整数倍の距離を縦横に所定のステップで移動しながら、1ステップ移動する毎に複数のフラッシュランプを点灯させるようにしたことにより、大面積の基板に対しても紫外線を均一に照射することができる。したがって、液晶表示用基板の表示領域全面に亘って液晶分子の配向を安定化させることができる。
【0012】
また、請求項2に係る発明によれば、フィルタで波長が約300nm以下の紫外線の透過を遮断することができ、液晶が上記紫外線によりダメージを受けるのを防止することができる。
【0013】
そして、請求項3に係る発明によれば、リフレクタの開口部に複数のフィルタを容易に取付けることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0014】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。図1は本発明による液晶表示装置の製造装置の実施形態を示す正面図であり、図2は図1のO−O線断面図、図3は図1の右側面図である。この液晶表示装置の製造装置は、一対の基板間に複数の画素をマトリクス状に形成し、液晶を封止した液晶表示用基板の各画素に電界を印加した状態で液晶表示用基板に紫外線を照射して、液晶の分子を所定方向に配向させるためのもので、ステージ1と、プローバー2と、光源装置3と、搬送手段4と、アライメントカメラ5と、エアナイフ6とを備えて成る。
【0015】
ここで使用する液晶表示用基板7は、カラーフィルタ47がTFTの上部に連続形成されるCOA(Color filter On Array)構成を有するもので、図4に示すように、中央部に複数の画素8をマトリクス状に備えて表示領域9と成し、図5に示すように、TFT基板10のサイズよりも対向電極基板11のサイズの方が大きくされたものである。そして、対向電極基板11のTFT基板10側の面11aにて互いに隣接する少なくとも二つの縁部11b,11c(図4参照)に上記複数の画素8に駆動信号を供給するための複数の電極12を並べて有する複数の電極群13を備えている。なお、図5において、符号14は液晶層を示し、符号15はシール材を示している。
【0016】
上記ステージ1は、液晶表示用基板7を吸着して保持するものであり、図2及び図6に示すように、中央部に凹陥部16を形成し、液晶表示用基板7の一面に接触して冷却する冷却媒体としての冷却水、例えば生活用水、工業用水又は純水等を貯留可能とし、上面1aは平滑面に形成されて複数の吸引噴出口18を設け、該各吸引噴出口18からエアを吸引して液晶表示用基板7のTFT基板10の裏面10aの周縁近傍部を上記上面1aに吸着し、各吸引噴出口18からエアを噴出して液晶表示用基板7を浮上させるようになっている。なお、上記各吸引噴出口18には、夫々図示省略の管が接続されている。さらに、これらの管の末端は、一つにまとめられて2系統の切換弁に接続されており、この切換弁の一方は図示省略の吸引ポンプに接続され、他方は図示省略のエアコンプレッサに接続されている。この場合、液晶表示用基板7をステージ1上に吸着保持するときには、切換弁を吸引ポンプ側に切り換えて吸引噴出口18からエアを吸引する。また、液晶表示用基板7と後述のプローバー2とのアライメント粗調整をする際、及び液晶表示用基板7を搬出する際には、切換弁をエアコンプレッサ側に切り換え、上記吸引噴出口18からエアを噴出して液晶表示用基板7を浮上させる。
【0017】
ここで、上記凹陥部16の底面には、冷却水を噴出してステージ1に吸着保持された液晶表示用基板7のTFT基板10の裏面10aに吹き付ける複数の噴出口19と、冷却水を排出する図示省略の排出口とを備えている。なお、上記排出口は、図2に示すように縦横に交差して設けられた複数の排水溝20に繋げて設けられている。また、上記各噴出口19は、排水溝20に囲まれた複数の島21の内側に設けられており、図6に示すように給水路29の一方端を各噴出口19としている。そして、この給水路29の他方端には、図示省略の給水管が接続され、この給水管の末端は図示省略の貯水タンクから冷却水を汲み上げる給水ポンプに接続されている。また、排出口には、図示省略の排水管が接続されており、この排水管の末端は貯水タンクに接続されて、冷却水を循環使用することができるようになっている。
【0018】
また、上記凹陥部16の底面にて上記各島21内には、複数のフォトセンサー22が設けられている。このフォトセンサー22は、液晶表示用基板7の点灯状態を検査するもので、液晶表示用基板7の透過光を受光するようになっている。
【0019】
さらに、上記凹陥部16の底面にて上記排水溝20内には、複数のリフトピン23が設けられている。これらのリフトピン23は、液晶表示用基板7のTFT基板10の裏面10aを支持して一緒に昇降するもので、各リフトピン23の先端位置は、略同じ高さ位置となるように形成されている。また、リフトピン23の周囲は漏水防止処理がなされて、冷却水がリフトピン23を伝って漏水しないようになっている。
【0020】
そして、上記凹陥部16の開口部側には、複数のワイヤ45が張設されている。この複数のワイヤ45は、ステージ1に吸着保持された液晶表示用基板7のTFT基板10の裏面10aに当接して液晶表示用基板7を下方から支持するものであり、上記各島21を取り囲んで凹陥部16内に突設されたワイヤ保持枠46の上端部に張設された例えば金属製ワイヤ又は金属製網である。
【0021】
上記ステージ1を取り囲んで設けられた枠状のプローバー保持部44の少なくとも隣接する二つの縁部44a,44b(図2参照)には、プローバー2が配設されている。このプローバー2は、液晶表示用基板7の縁部に形成された複数の電極12に接続して通電する複数の端子27を備えた複数のプローバーユニット2aを並べて設けたもので、これら複数の端子27の先端部をステージ1の上面1aよりも上方に突出させて(図6参照)、ステージ1に載置された液晶表示用基板7の対向電極基板11に形成された複数の電極12に接触させることができるようになっている。この複数の端子27は、外部から押圧力を加えると縮み、押圧力を取り去ると元の状態に復帰するように伸縮自在に形成されたコンタクトピンであり、ステージ1に載置された液晶表示用基板7の複数の電極12に略一定の圧力で接触するようにされている。そして、プローバー保持部44は、X軸,Y軸方向に移動可能に形成され、その中心を軸に回動可能に形成されており、プローバー2の端子27を液晶表示用基板7の電極12に対してアライメントすることができるようになっている。
【0022】
なお、上記ステージ1及びプローバー保持部44は、それらを取り囲んで設けられた筐体24の内側に収容されており、筐体24の側面に形成された搬入搬出口25を通して、ステージ1に液晶表示用基板7を搬入搬出することができるようになっている。また、この搬入搬出口25には、図3に破線で示す矢印方向に回動して搬入搬出口25を開閉するシャッタ26が取付けられており、紫外線照射中には閉じられて紫外線が外部に漏れないようにされている。
【0023】
上記ステージ1の上方には、光源装置3が配設されている。この光源装置3は、ステージ1に保持された液晶表示用基板7の少なくとも表示領域9全面に紫外線を照射するもので、図7に示すように、液晶表示用基板7の少なくとも表示領域9に対応した大きさの開口17aを有するリフレクタ17の内部に紫外線を発光する複数のフラッシュランプ28を有すると共に、紫外線の射出側に所定波長の紫外線を選択的に透過する方形状の複数のフィルタ47を縦横に並べて設けている。具体的には、フィルタ47は、液晶にダメージを与える波長が約300nm以下の紫外線の透過を遮断するもので、各フィルタ47間に設けた支持部材48によって縁部が支持されている。そして、光源装置3は、フィルタ47の配列ピッチの整数倍の距離を縦横(X軸及びY軸方向)に所定のステップで移動しながら、1ステップ移動する毎に複数のフラッシュランプ28を点灯させるようになっている。なお、このフラッシュランプ28は、微弱な電流を供給するとシマー放電(予備点灯)して白色光を放出するため、フラッシュランプ28を液晶表示用基板7の点灯検査用バックライトとしても使用することができる。
【0024】
上記ステージ1の側方には、搬送手段4が設けられている。この搬送手段4は、ステージ1に対して液晶表示用基板7を搬入及び搬出するもので、液晶表示用基板7のステージ1側とは反対側の面、即ち対向電極基板11の上面11d(図5参照)を吸着して保持する複数のアーム34を備えたロボットである。この搬送手段4は、図3に示すレール35上をY軸方向に前進後退すると共に、ヘッド部36が回転軸37を中心にして360°回転するようになっている。また、各アーム34の下面には、複数の吸盤及び該各吸盤の中心部に吸引口38が形成されている。さらに、図2に示すように、各吸引口38は、アーム34の内部に形成された溝39に繋がり、例えば各アーム34の根元部に形成された図示省略の穴によりチューブを介して別の吸引ポンプで吸引できるようになっている。
【0025】
上記ステージ1の上方には、アライメントカメラ5が設けられている。このアライメントカメラ5は、液晶表示用基板7に設けられたアライメントマークを検出して液晶表示用基板7の電極12とプローバー2の端子27とのアライメントをとるためのものであり、プローバー保持部44に固定されて該プローバー保持部44と共にX軸、Y軸方向に移動し、プローバー保持部44の中心を軸として回動するようになっている。
【0026】
上記ステージ1の液晶表示用基板7の搬入及び搬出側には、エアナイフ6が設けられている。このエアナイフ6は、液晶表示用基板7の一面、即ちTFT基板10の裏面10a(図5参照)に圧縮空気を噴射して付着した冷却水を吹き飛ばして急速乾燥させるもので、配管により図示省略のエアコンプレッサに接続されている。なお、噴射する気体は、空気に限られず、窒素やアルゴン等の不活性ガスであってもよい。
【0027】
次に、このように構成された液晶表示装置の製造装置の動作、及び液晶表示装置の製造について図8のフローチャートを参照して説明する。
先ず、ステップS1においては、搬送手段4により液晶表示用基板7をその対向電極基板11の上面11dを搬送手段4のアーム34の下面に吸着してY軸方向に搬送し、ステージ1上に位置付ける。
【0028】
ステップS2においては、リフトピン23を上昇してその先端を液晶表示用基板7のTFT基板10の裏面10aに突き当てる。リフトピン23の先端が液晶表示用基板7に当接すると、それを図示省略のセンサーで検出し、搬送手段4のアーム34への液晶表示用基板7の吸着を解除する。これにより、液晶表示用基板7が搬送手段4からリフトピン23に受け渡される。なお、搬送手段4は、液晶表示用基板7の受け渡しが終了するとY軸方向に移動して元の位置まで退避する。
【0029】
ステップS3においては、図6に示すように、リフトピン23をZ軸方向に下降させて液晶表示用基板7をステージ1上に載置する。このとき、リフトピン23は、さらに下降して、液晶表示用基板7のTFT基板10の裏面10aから離れる。液晶表示用基板7がステージ1上に載置されると、これを図示省略のセンサーにより検出し、制御手段により制御して図示省略のエアコンプレッサを駆動すると共に切換弁をエアコンプレッサ側に切り換え、ステージ1の上面1aの吸引噴出口18からエアを噴出して液晶表示用基板7を浮上させる。この状態で、図示省略の押圧ピンにより液晶表示用基板7をその対角線方向に押して、該対角線方向にてステージ1の隣接する二つの縁部に設けられた図示省略の位置決め用突部に押し当てる。これにより、液晶表示用基板7がステージ1上の所定位置に配置され、液晶表示用基板7の電極12とプローバー2の端子27とのアライメント粗調整がなされることになる。その後、上記切換弁を吸引ポンプ側に切り換えて吸引噴出口18から吸引して液晶表示用基板7をステージ1の上面に吸着保持する。このとき、プローバー保持部44上に設けられたプローバー2の複数の端子27が液晶表示用基板7によって押し下げられ、液晶表示用基板7の対向電極基板11の縁部に設けられた複数の電極12に圧接する。また、液晶表示用基板7は、凹陥部16の開口部側にてワイヤ保持枠46の上端部に張設された複数のワイヤ45によってTFT基板10の裏面10aが下方から支持される。これにより、液晶表示用基板7の撓みが抑えられる。
【0030】
ステップS4においては、アライメントカメラ5をON駆動し、液晶表示用基板7の四つの隅部に設けられたアライメントマークを撮像する。この場合、図9(a)に示すように、アライメントマーク41がアライメントカメラ5の視野42の中心からずれているときには、アライメントマーク41の撮像画像に基づいて図示省略の制御手段でアライメントカメラ5の視野42の中心からのアライメントマーク41のずれ量、即ちX軸,Y軸方向のずれ量及び回転角度を算出し、これらずれ量及び回転角度に応じてプローバー保持部44をX軸,Y軸方向に移動すると共に回転して、同図(b)に示すようにアライメントマーク41をアライメントカメラ5の視野42の中心に位置付ける。これにより、液晶表示用基板7の電極12に対してプローバー2の端子27が正確にアライメントされることになる。
【0031】
ステップS5においては、光源装置3を駆動する。この場合、先ず、各フラッシュランプ28に微弱な電流を供給してシマー放電させる。したがって、各フラッシュランプ28は、白色光を放出することになる。同時に、図示省略の信号源からプローバー2を介して液晶表示用基板7の複数の電極12に通電し、複数の画素8に所定量の電界を印加して各画素8をON駆動する。これにより、白色光は、液晶表示用基板7を透過可能となり、この透過光をステージ1の凹陥部16の底面に設けた複数のフォトセンサー22により検出して液晶表示用基板7の点灯状態を確認する。
【0032】
ステップS6においては、液晶表示用基板7の全面点灯が確認されると、給水ポンプを駆動して貯水タンクから冷却水を汲み上げ、この冷却水をステージ1の凹陥部16の底面に設けた噴出口19から噴出し、液晶表示用基板7のTFT基板10の裏面10aに吹付ける。このとき、液晶表示用基板7のTFT基板10の裏面10aと複数のワイヤ45とは、線接触しているので、TFT基板10の裏面10aに吹付けられた冷却水は、TFT基板10の凹陥部16に面した部分の略全面に均等に当たり、液晶表示用基板7を効率よく冷却することができる。冷却水は、その後、排水溝20を通って排出口から排出されて貯水タンクに戻され、別に設けたチラーにより所定温度に冷却されて循環使用される。
【0033】
ステップS7においては、各画素8に所定量の電界を印加した状態で光源装置3に点灯制御信号を供給して各フラッシュランプ28を所定時間だけ点灯させる。このとき、光源装置3は、図10に示すように、フィルタ47の配列ピッチの整数倍の距離(図10においては、フィルタ47の配列ピッチに相当する距離で示す)をX軸及びY軸方向に所定のステップ(例えば、6ステップ)で移動する。具体的には、光源装置3は、図10に示すように、同図においてX軸に沿って左から右に向かって6ステップ移動した後、Y軸に沿って上から下に向かって1ステップ移動し、次にX軸に沿って右から左に向かって6ステップ移動した後、Y軸に沿って上から下に向かって1ステップ移動する。その後、上述と同様の動きをして、フィルタ47の配列ピッチに相当する距離をジグザグ移動する。そして、上記経路を逆にたどって元の位置に復帰する。この場合、光源装置3は、1ステップ移動する毎に点灯制御されて複数のフラッシュランプ28を点灯させる。これにより、図11に示すように、液晶表示用基板7の表示領域9の全面に亘って紫外線を均一に照射することができ、液晶分子を所定方向に均一に配向させることができる。
【0034】
なお、光源装置3を図12に示すようにフィルタ47の配列ピッチの半ピッチ分に相当する距離をX軸及びY軸方向に3ステップで移動しがら、1ステップ移動する毎に複数のフラッシュランプ28を点灯させた場合には、液晶表示用基板7の表示領域9上の照度分布は、図13に示したものとなった。このように、光源装置3のX軸及びY軸方向への移動距離が不適切であると、図11の場合と比較して照度分布が不均一となる。
【0035】
ステップS8においては、各画素8への電界の印加を取り去った状態でステップS7と同様にして光源装置3を移動しながら液晶表示用基板7に所定光量の紫外線を照射する。これにより、各画素8の液晶分子の配向が定着され、各画素8に印加された電界を取り去った後に液晶分子が初期状態に戻るのを防止して、液晶分子の配向を安定化することができる。
【0036】
ステップS9においては、光源装置3をOFF駆動すると共に、給水ポンプを停止し、ステージ1の凹陥部16内の冷却水を排水する。
【0037】
ステップS10においては、搬送手段4をY軸方向に移動してアーム34をステージ1の上方に位置付ける。次に、ステージ1の吸引ポンプを停止して、ステージ1の上面1aへの液晶表示用基板7の吸着を解除する。
【0038】
ステップS11においては、切換弁を切り換えると共にエアコンプレッサを駆動し、吸引噴出口18からエアを噴出して液晶表示用基板7を浮上させる。その後、リフトピン23を上昇して、液晶表示用基板7を対向電極基板11の上面11dがアーム34の下面に当接するまで持ち上げる。液晶表示用基板7がアーム34に当接したことをセンサーで検出すると、搬送手段4の吸引ポンプを駆動して液晶表示用基板7をアーム34の下面に吸着し、液晶表示用基板7をリフトピン23から搬送手段4へ受け渡す。なお、液晶表示用基板7の受け渡しが終了すると、リフトピン23は、所定位置まで下降する。
【0039】
ステップS12においては、搬送手段4は、Y軸方向に移動して液晶表示用基板7を搬出する。このとき、ステージ1の搬入及び搬出側に設けたエアナイフ6から圧縮空気を噴射し、液晶表示用基板7のTFT基板10の裏面10aに付着した冷却水を吹き飛ばして基板を乾燥する。
【0040】
なお、上記実施形態においては、ステップS8で各画素8への電界の印加を取り去った状態で液晶表示用基板7に所定光量の紫外線を照射する場合について説明したが、本発明はこれに限られず、ステップS7において、液晶分子の配向が十分に安定して得られるときには、ステップS8は省略してもよい。
【0041】
また、上記実施形態においては、ステージ1を囲んで移動可能に設けられた枠状のプローバー保持部44にプローバー2を設ける場合について説明したが、本発明はこれに限られず、プローバー2は、ステージ1の少なくとも隣接する二つの縁部にX軸、Y軸方向に移動可能に、またプローバー2の中心を軸として回転可能に設けてもよい。この場合、アライメントカメラ5は、液晶表示用基板7の電極12とプローバー2の端子27の先端部の両方を観察できるように設けるとよい。又は、上記ステップS3において、液晶表示用基板7の電極12とプローバー2の端子27とを所定の許容範囲内でアライメントすることができるならば、プローバー2は、ステージ1の縁部に固定して設けられてもよい。この場合、上記ステップS4は省略することができ、アライメントカメラ5は無くてもよい。
【0042】
さらに、上記実施形態においては、液晶表示用基板7の複数の電極12を対向電極基板11側に設けた場合について説明したが、本発明はこれに限られず、TFT基板10側に設けてもよい。この場合、プローバー2は、液晶表示用基板7がステージ1に載置されるときには、ステージ1の側方の待機位置に退避させておき、液晶表示用基板7がステージ1に載置されると基板の複数の電極の上方まで移動して各電極にプローバー2の各端子27を上方から接触させるようにするとよい。
【0043】
そして、上記実施形態においては、光源装置3をジグザグ状に移動させる場合について説明したが、本発明はこれに限られず、光源装置3の最大移動量がフィルタ47の配列ピッチの整数倍に等しい距離であれば、スパイラル状等如何なる形態であってもよい。
【0044】
また、上記実施形態においては、冷却媒体として冷却水を使用する場合について説明したが、本発明はこれに限られず、基板の一面に接触して冷却することができるものであれば、例えば不凍液等如何なるものであってもよい。
【0045】
そして、以上の説明においては、TFT基板10がCOA構成を有するものである場合について述べたが、本発明はこれに限られず、紫外線の照射により液晶分子の配向制御を行うものであれば如何なるものであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【0046】
【図1】本発明による液晶表示装置の製造装置の実施形態を示す正面図である。
【図2】図1のO−O線断面矢視図である。
【図3】図1の側面図である。
【図4】上記製造装置に使用する液晶表示用基板の一構成例を示す平面図である。
【図5】上記液晶表示用基板の中心線断面図である。
【図6】図2のP−P線断面矢視図である。
【図7】上記製造装置に使用する光源装置を示す部分断面底面図である。
【図8】本発明による液晶表示装置の製造方法を示すフローチャートである。
【図9】アライメントカメラを使用して行う液晶表示用基板とプローバーとのアライメントについて示す説明図である。
【図10】上記光源装置の適切な移動例を示す説明図である。
【図11】図10に示す光源装置の移動における照度分布の解析結果を示す説明図である。
【図12】上記光源装置の不適切な移動例を示す説明図である。
【図13】図12に示す光源装置の移動における照度分布の解析結果を示す説明図である。
【符号の説明】
【0047】
1…ステージ
3…光源装置
7…液晶表示用基板
8…画素
10…TFT基板
11…対向電極基板
16…凹陥部
17…リフレクタ
17a…リフレクタの開口
28…フラッシュランプ
47…フィルタ
48…支持部材
【技術分野】
【0001】
本発明は、液晶を封止した液晶表示用基板に電界を印加した状態で紫外線を照射して液晶分子を所定方向に配向させる液晶表示装置の製造装置に関し、詳しくは、液晶が紫外線を吸収して高温に発熱するのを抑えて液晶分子の配向の安定化を図ると共に、大面積の基板に対しても紫外線を均一に照射可能にした液晶表示装置の製造装置に係るものである。
【背景技術】
【0002】
従来のこの種の液晶表示装置の製造装置は、液晶にモノマーを混合した液晶材料を一対の基板間に封止した液晶表示パネルを紫外線照射装置内に載置し、電圧印加装置から基板間に電圧を印加して液晶分子を傾斜させた状態で紫外線照射装置の高圧水銀ランプから紫外線を液晶表示パネルに照射し、上記モノマーを重合してポリマー化し、液晶分子の配向方向を規定するものとなっていた(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
このような液晶表示装置の製造装置は、配向膜をラビング処理することにより液晶分子を所定方向に配向させるものに比べて、非接触で液晶分子を配向させることができるため、欠陥の発生を抑制することができるという特徴を有している。
【特許文献1】特開2003−228050号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかし、このような従来の液晶表示装置の製造装置においては、液晶表示用基板が紫外線を吸収して80℃以上に発熱する場合があり、封入された液晶が光の透過及び遮断のスイッチング機能を消失して適切な画像表示ができなくなるという不具合が発生するおそれがあった。
【0005】
また、波長が300nm以下の紫外線は、液晶にダメージを与えるため、紫外線照射装置の紫外線射出側に波長が300nm以下の紫外線の透過を遮断するフィルタを設ける必要がある。この場合、例えば一辺の長さが2mを超える大面積の液晶表示用基板に対しては、方形状の複数のフィルタを縦横に並べて設けなければならず、各フィルタ間の領域の紫外線の透過量が減少して照度ムラを発生し、液晶表示用基板に対して紫外線を均一に照射することができないおそれがある。
【0006】
そこで、本発明は、このような問題点に対処し、液晶表示用基板が紫外線を吸収して高温に発熱するのを抑えて液晶分子の配向の安定化を図ると共に、大面積の基板に対しても紫外線を均一に照射可能にした液晶表示装置の製造装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0007】
上記目的を達成するために、本発明による液晶表示装置の製造装置は、一対の基板間に複数の画素をマトリクス状に形成して液晶を封止した液晶表示用基板の前記各画素に電界を印加した状態で、前記液晶表示用基板に紫外線を照射して前記液晶の分子を所定方向に配向させる液晶表示装置の製造装置であって、前記液晶表示用基板の一面に接触して冷却する冷却媒体を貯留する凹陥部を中央に形成し、上面に前記液晶表示用基板の一面の周縁近傍部を吸着して保持するステージと、前記ステージの上方に配設され、前記液晶表示用基板の少なくとも表示領域に対応した大きさの開口を有するリフレクタの内部に紫外線を発光する複数のフラッシュランプを設けると共に、前記開口に所定波長の紫外線を選択的に透過する方形状の複数のフィルタを縦横に並べて設けた光源装置と、を備え、前記光源装置は、前記フィルタの配列ピッチの整数倍の距離を縦横に所定のステップで移動しながら、1ステップ移動する毎に前記複数のフラッシュランプを点灯させるものである。
【0008】
このような構成により、ステージの上面に一対の基板間に複数の画素をマトリクス状に形成して液晶を封止した液晶表示用基板の一面の周縁近傍部を吸着して保持し、液晶表示用基板の各画素に電界を印加した状態でステージの中央に形成した凹陥部に冷却媒体を貯留し、該冷却媒体を液晶表示用基板の一面に接触させて液晶表示用基板を冷却し、液晶表示用基板の少なくとも表示領域に対応した大きさの開口を有するリフレクタの内部に紫外線を発光する複数のフラッシュランプを設けると共に、上記開口に所定波長の紫外線を選択的に透過する方形状の複数のフィルタを縦横に並べて設けた光源装置を上記フィルタの配列ピッチの整数倍の距離だけ縦横に所定のステップで移動させながら、光源装置が1ステップ移動する毎に複数のフラッシュランプを点灯させ、液晶の分子を所定方向に配向させる。
【0009】
また、前記複数のフィルタは、波長が約300nm以下の紫外線の透過を遮断するものである。これにより、複数のフィルタで波長が約300nm以下の紫外線の透過を遮断する
【0010】
そして、前記複数のフィルタ間には、各フィルタの縁部を支持する支持部材が設けられている。これにより、複数のフィルタ間に設けた支持部材で各フィルタの縁部を支持する。
【発明の効果】
【0011】
請求項1に係る発明によれば、液晶表示用基板の一面を冷却媒体で冷却するようにしたことにより、液晶が紫外線を吸収して高温に発熱するのを抑えることができる。また、液晶表示装置の少なくとも表示領域に対応した大きさの開口を有するリフレクタの内部に紫外線を発光する複数のフラッシュランプを設けると共に、上記開口部に所定波長の紫外線を選択的に透過する方形状の複数のフィルタを縦横に並べて設けた光源装置が上記フィルタの配列ピッチの整数倍の距離を縦横に所定のステップで移動しながら、1ステップ移動する毎に複数のフラッシュランプを点灯させるようにしたことにより、大面積の基板に対しても紫外線を均一に照射することができる。したがって、液晶表示用基板の表示領域全面に亘って液晶分子の配向を安定化させることができる。
【0012】
また、請求項2に係る発明によれば、フィルタで波長が約300nm以下の紫外線の透過を遮断することができ、液晶が上記紫外線によりダメージを受けるのを防止することができる。
【0013】
そして、請求項3に係る発明によれば、リフレクタの開口部に複数のフィルタを容易に取付けることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0014】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。図1は本発明による液晶表示装置の製造装置の実施形態を示す正面図であり、図2は図1のO−O線断面図、図3は図1の右側面図である。この液晶表示装置の製造装置は、一対の基板間に複数の画素をマトリクス状に形成し、液晶を封止した液晶表示用基板の各画素に電界を印加した状態で液晶表示用基板に紫外線を照射して、液晶の分子を所定方向に配向させるためのもので、ステージ1と、プローバー2と、光源装置3と、搬送手段4と、アライメントカメラ5と、エアナイフ6とを備えて成る。
【0015】
ここで使用する液晶表示用基板7は、カラーフィルタ47がTFTの上部に連続形成されるCOA(Color filter On Array)構成を有するもので、図4に示すように、中央部に複数の画素8をマトリクス状に備えて表示領域9と成し、図5に示すように、TFT基板10のサイズよりも対向電極基板11のサイズの方が大きくされたものである。そして、対向電極基板11のTFT基板10側の面11aにて互いに隣接する少なくとも二つの縁部11b,11c(図4参照)に上記複数の画素8に駆動信号を供給するための複数の電極12を並べて有する複数の電極群13を備えている。なお、図5において、符号14は液晶層を示し、符号15はシール材を示している。
【0016】
上記ステージ1は、液晶表示用基板7を吸着して保持するものであり、図2及び図6に示すように、中央部に凹陥部16を形成し、液晶表示用基板7の一面に接触して冷却する冷却媒体としての冷却水、例えば生活用水、工業用水又は純水等を貯留可能とし、上面1aは平滑面に形成されて複数の吸引噴出口18を設け、該各吸引噴出口18からエアを吸引して液晶表示用基板7のTFT基板10の裏面10aの周縁近傍部を上記上面1aに吸着し、各吸引噴出口18からエアを噴出して液晶表示用基板7を浮上させるようになっている。なお、上記各吸引噴出口18には、夫々図示省略の管が接続されている。さらに、これらの管の末端は、一つにまとめられて2系統の切換弁に接続されており、この切換弁の一方は図示省略の吸引ポンプに接続され、他方は図示省略のエアコンプレッサに接続されている。この場合、液晶表示用基板7をステージ1上に吸着保持するときには、切換弁を吸引ポンプ側に切り換えて吸引噴出口18からエアを吸引する。また、液晶表示用基板7と後述のプローバー2とのアライメント粗調整をする際、及び液晶表示用基板7を搬出する際には、切換弁をエアコンプレッサ側に切り換え、上記吸引噴出口18からエアを噴出して液晶表示用基板7を浮上させる。
【0017】
ここで、上記凹陥部16の底面には、冷却水を噴出してステージ1に吸着保持された液晶表示用基板7のTFT基板10の裏面10aに吹き付ける複数の噴出口19と、冷却水を排出する図示省略の排出口とを備えている。なお、上記排出口は、図2に示すように縦横に交差して設けられた複数の排水溝20に繋げて設けられている。また、上記各噴出口19は、排水溝20に囲まれた複数の島21の内側に設けられており、図6に示すように給水路29の一方端を各噴出口19としている。そして、この給水路29の他方端には、図示省略の給水管が接続され、この給水管の末端は図示省略の貯水タンクから冷却水を汲み上げる給水ポンプに接続されている。また、排出口には、図示省略の排水管が接続されており、この排水管の末端は貯水タンクに接続されて、冷却水を循環使用することができるようになっている。
【0018】
また、上記凹陥部16の底面にて上記各島21内には、複数のフォトセンサー22が設けられている。このフォトセンサー22は、液晶表示用基板7の点灯状態を検査するもので、液晶表示用基板7の透過光を受光するようになっている。
【0019】
さらに、上記凹陥部16の底面にて上記排水溝20内には、複数のリフトピン23が設けられている。これらのリフトピン23は、液晶表示用基板7のTFT基板10の裏面10aを支持して一緒に昇降するもので、各リフトピン23の先端位置は、略同じ高さ位置となるように形成されている。また、リフトピン23の周囲は漏水防止処理がなされて、冷却水がリフトピン23を伝って漏水しないようになっている。
【0020】
そして、上記凹陥部16の開口部側には、複数のワイヤ45が張設されている。この複数のワイヤ45は、ステージ1に吸着保持された液晶表示用基板7のTFT基板10の裏面10aに当接して液晶表示用基板7を下方から支持するものであり、上記各島21を取り囲んで凹陥部16内に突設されたワイヤ保持枠46の上端部に張設された例えば金属製ワイヤ又は金属製網である。
【0021】
上記ステージ1を取り囲んで設けられた枠状のプローバー保持部44の少なくとも隣接する二つの縁部44a,44b(図2参照)には、プローバー2が配設されている。このプローバー2は、液晶表示用基板7の縁部に形成された複数の電極12に接続して通電する複数の端子27を備えた複数のプローバーユニット2aを並べて設けたもので、これら複数の端子27の先端部をステージ1の上面1aよりも上方に突出させて(図6参照)、ステージ1に載置された液晶表示用基板7の対向電極基板11に形成された複数の電極12に接触させることができるようになっている。この複数の端子27は、外部から押圧力を加えると縮み、押圧力を取り去ると元の状態に復帰するように伸縮自在に形成されたコンタクトピンであり、ステージ1に載置された液晶表示用基板7の複数の電極12に略一定の圧力で接触するようにされている。そして、プローバー保持部44は、X軸,Y軸方向に移動可能に形成され、その中心を軸に回動可能に形成されており、プローバー2の端子27を液晶表示用基板7の電極12に対してアライメントすることができるようになっている。
【0022】
なお、上記ステージ1及びプローバー保持部44は、それらを取り囲んで設けられた筐体24の内側に収容されており、筐体24の側面に形成された搬入搬出口25を通して、ステージ1に液晶表示用基板7を搬入搬出することができるようになっている。また、この搬入搬出口25には、図3に破線で示す矢印方向に回動して搬入搬出口25を開閉するシャッタ26が取付けられており、紫外線照射中には閉じられて紫外線が外部に漏れないようにされている。
【0023】
上記ステージ1の上方には、光源装置3が配設されている。この光源装置3は、ステージ1に保持された液晶表示用基板7の少なくとも表示領域9全面に紫外線を照射するもので、図7に示すように、液晶表示用基板7の少なくとも表示領域9に対応した大きさの開口17aを有するリフレクタ17の内部に紫外線を発光する複数のフラッシュランプ28を有すると共に、紫外線の射出側に所定波長の紫外線を選択的に透過する方形状の複数のフィルタ47を縦横に並べて設けている。具体的には、フィルタ47は、液晶にダメージを与える波長が約300nm以下の紫外線の透過を遮断するもので、各フィルタ47間に設けた支持部材48によって縁部が支持されている。そして、光源装置3は、フィルタ47の配列ピッチの整数倍の距離を縦横(X軸及びY軸方向)に所定のステップで移動しながら、1ステップ移動する毎に複数のフラッシュランプ28を点灯させるようになっている。なお、このフラッシュランプ28は、微弱な電流を供給するとシマー放電(予備点灯)して白色光を放出するため、フラッシュランプ28を液晶表示用基板7の点灯検査用バックライトとしても使用することができる。
【0024】
上記ステージ1の側方には、搬送手段4が設けられている。この搬送手段4は、ステージ1に対して液晶表示用基板7を搬入及び搬出するもので、液晶表示用基板7のステージ1側とは反対側の面、即ち対向電極基板11の上面11d(図5参照)を吸着して保持する複数のアーム34を備えたロボットである。この搬送手段4は、図3に示すレール35上をY軸方向に前進後退すると共に、ヘッド部36が回転軸37を中心にして360°回転するようになっている。また、各アーム34の下面には、複数の吸盤及び該各吸盤の中心部に吸引口38が形成されている。さらに、図2に示すように、各吸引口38は、アーム34の内部に形成された溝39に繋がり、例えば各アーム34の根元部に形成された図示省略の穴によりチューブを介して別の吸引ポンプで吸引できるようになっている。
【0025】
上記ステージ1の上方には、アライメントカメラ5が設けられている。このアライメントカメラ5は、液晶表示用基板7に設けられたアライメントマークを検出して液晶表示用基板7の電極12とプローバー2の端子27とのアライメントをとるためのものであり、プローバー保持部44に固定されて該プローバー保持部44と共にX軸、Y軸方向に移動し、プローバー保持部44の中心を軸として回動するようになっている。
【0026】
上記ステージ1の液晶表示用基板7の搬入及び搬出側には、エアナイフ6が設けられている。このエアナイフ6は、液晶表示用基板7の一面、即ちTFT基板10の裏面10a(図5参照)に圧縮空気を噴射して付着した冷却水を吹き飛ばして急速乾燥させるもので、配管により図示省略のエアコンプレッサに接続されている。なお、噴射する気体は、空気に限られず、窒素やアルゴン等の不活性ガスであってもよい。
【0027】
次に、このように構成された液晶表示装置の製造装置の動作、及び液晶表示装置の製造について図8のフローチャートを参照して説明する。
先ず、ステップS1においては、搬送手段4により液晶表示用基板7をその対向電極基板11の上面11dを搬送手段4のアーム34の下面に吸着してY軸方向に搬送し、ステージ1上に位置付ける。
【0028】
ステップS2においては、リフトピン23を上昇してその先端を液晶表示用基板7のTFT基板10の裏面10aに突き当てる。リフトピン23の先端が液晶表示用基板7に当接すると、それを図示省略のセンサーで検出し、搬送手段4のアーム34への液晶表示用基板7の吸着を解除する。これにより、液晶表示用基板7が搬送手段4からリフトピン23に受け渡される。なお、搬送手段4は、液晶表示用基板7の受け渡しが終了するとY軸方向に移動して元の位置まで退避する。
【0029】
ステップS3においては、図6に示すように、リフトピン23をZ軸方向に下降させて液晶表示用基板7をステージ1上に載置する。このとき、リフトピン23は、さらに下降して、液晶表示用基板7のTFT基板10の裏面10aから離れる。液晶表示用基板7がステージ1上に載置されると、これを図示省略のセンサーにより検出し、制御手段により制御して図示省略のエアコンプレッサを駆動すると共に切換弁をエアコンプレッサ側に切り換え、ステージ1の上面1aの吸引噴出口18からエアを噴出して液晶表示用基板7を浮上させる。この状態で、図示省略の押圧ピンにより液晶表示用基板7をその対角線方向に押して、該対角線方向にてステージ1の隣接する二つの縁部に設けられた図示省略の位置決め用突部に押し当てる。これにより、液晶表示用基板7がステージ1上の所定位置に配置され、液晶表示用基板7の電極12とプローバー2の端子27とのアライメント粗調整がなされることになる。その後、上記切換弁を吸引ポンプ側に切り換えて吸引噴出口18から吸引して液晶表示用基板7をステージ1の上面に吸着保持する。このとき、プローバー保持部44上に設けられたプローバー2の複数の端子27が液晶表示用基板7によって押し下げられ、液晶表示用基板7の対向電極基板11の縁部に設けられた複数の電極12に圧接する。また、液晶表示用基板7は、凹陥部16の開口部側にてワイヤ保持枠46の上端部に張設された複数のワイヤ45によってTFT基板10の裏面10aが下方から支持される。これにより、液晶表示用基板7の撓みが抑えられる。
【0030】
ステップS4においては、アライメントカメラ5をON駆動し、液晶表示用基板7の四つの隅部に設けられたアライメントマークを撮像する。この場合、図9(a)に示すように、アライメントマーク41がアライメントカメラ5の視野42の中心からずれているときには、アライメントマーク41の撮像画像に基づいて図示省略の制御手段でアライメントカメラ5の視野42の中心からのアライメントマーク41のずれ量、即ちX軸,Y軸方向のずれ量及び回転角度を算出し、これらずれ量及び回転角度に応じてプローバー保持部44をX軸,Y軸方向に移動すると共に回転して、同図(b)に示すようにアライメントマーク41をアライメントカメラ5の視野42の中心に位置付ける。これにより、液晶表示用基板7の電極12に対してプローバー2の端子27が正確にアライメントされることになる。
【0031】
ステップS5においては、光源装置3を駆動する。この場合、先ず、各フラッシュランプ28に微弱な電流を供給してシマー放電させる。したがって、各フラッシュランプ28は、白色光を放出することになる。同時に、図示省略の信号源からプローバー2を介して液晶表示用基板7の複数の電極12に通電し、複数の画素8に所定量の電界を印加して各画素8をON駆動する。これにより、白色光は、液晶表示用基板7を透過可能となり、この透過光をステージ1の凹陥部16の底面に設けた複数のフォトセンサー22により検出して液晶表示用基板7の点灯状態を確認する。
【0032】
ステップS6においては、液晶表示用基板7の全面点灯が確認されると、給水ポンプを駆動して貯水タンクから冷却水を汲み上げ、この冷却水をステージ1の凹陥部16の底面に設けた噴出口19から噴出し、液晶表示用基板7のTFT基板10の裏面10aに吹付ける。このとき、液晶表示用基板7のTFT基板10の裏面10aと複数のワイヤ45とは、線接触しているので、TFT基板10の裏面10aに吹付けられた冷却水は、TFT基板10の凹陥部16に面した部分の略全面に均等に当たり、液晶表示用基板7を効率よく冷却することができる。冷却水は、その後、排水溝20を通って排出口から排出されて貯水タンクに戻され、別に設けたチラーにより所定温度に冷却されて循環使用される。
【0033】
ステップS7においては、各画素8に所定量の電界を印加した状態で光源装置3に点灯制御信号を供給して各フラッシュランプ28を所定時間だけ点灯させる。このとき、光源装置3は、図10に示すように、フィルタ47の配列ピッチの整数倍の距離(図10においては、フィルタ47の配列ピッチに相当する距離で示す)をX軸及びY軸方向に所定のステップ(例えば、6ステップ)で移動する。具体的には、光源装置3は、図10に示すように、同図においてX軸に沿って左から右に向かって6ステップ移動した後、Y軸に沿って上から下に向かって1ステップ移動し、次にX軸に沿って右から左に向かって6ステップ移動した後、Y軸に沿って上から下に向かって1ステップ移動する。その後、上述と同様の動きをして、フィルタ47の配列ピッチに相当する距離をジグザグ移動する。そして、上記経路を逆にたどって元の位置に復帰する。この場合、光源装置3は、1ステップ移動する毎に点灯制御されて複数のフラッシュランプ28を点灯させる。これにより、図11に示すように、液晶表示用基板7の表示領域9の全面に亘って紫外線を均一に照射することができ、液晶分子を所定方向に均一に配向させることができる。
【0034】
なお、光源装置3を図12に示すようにフィルタ47の配列ピッチの半ピッチ分に相当する距離をX軸及びY軸方向に3ステップで移動しがら、1ステップ移動する毎に複数のフラッシュランプ28を点灯させた場合には、液晶表示用基板7の表示領域9上の照度分布は、図13に示したものとなった。このように、光源装置3のX軸及びY軸方向への移動距離が不適切であると、図11の場合と比較して照度分布が不均一となる。
【0035】
ステップS8においては、各画素8への電界の印加を取り去った状態でステップS7と同様にして光源装置3を移動しながら液晶表示用基板7に所定光量の紫外線を照射する。これにより、各画素8の液晶分子の配向が定着され、各画素8に印加された電界を取り去った後に液晶分子が初期状態に戻るのを防止して、液晶分子の配向を安定化することができる。
【0036】
ステップS9においては、光源装置3をOFF駆動すると共に、給水ポンプを停止し、ステージ1の凹陥部16内の冷却水を排水する。
【0037】
ステップS10においては、搬送手段4をY軸方向に移動してアーム34をステージ1の上方に位置付ける。次に、ステージ1の吸引ポンプを停止して、ステージ1の上面1aへの液晶表示用基板7の吸着を解除する。
【0038】
ステップS11においては、切換弁を切り換えると共にエアコンプレッサを駆動し、吸引噴出口18からエアを噴出して液晶表示用基板7を浮上させる。その後、リフトピン23を上昇して、液晶表示用基板7を対向電極基板11の上面11dがアーム34の下面に当接するまで持ち上げる。液晶表示用基板7がアーム34に当接したことをセンサーで検出すると、搬送手段4の吸引ポンプを駆動して液晶表示用基板7をアーム34の下面に吸着し、液晶表示用基板7をリフトピン23から搬送手段4へ受け渡す。なお、液晶表示用基板7の受け渡しが終了すると、リフトピン23は、所定位置まで下降する。
【0039】
ステップS12においては、搬送手段4は、Y軸方向に移動して液晶表示用基板7を搬出する。このとき、ステージ1の搬入及び搬出側に設けたエアナイフ6から圧縮空気を噴射し、液晶表示用基板7のTFT基板10の裏面10aに付着した冷却水を吹き飛ばして基板を乾燥する。
【0040】
なお、上記実施形態においては、ステップS8で各画素8への電界の印加を取り去った状態で液晶表示用基板7に所定光量の紫外線を照射する場合について説明したが、本発明はこれに限られず、ステップS7において、液晶分子の配向が十分に安定して得られるときには、ステップS8は省略してもよい。
【0041】
また、上記実施形態においては、ステージ1を囲んで移動可能に設けられた枠状のプローバー保持部44にプローバー2を設ける場合について説明したが、本発明はこれに限られず、プローバー2は、ステージ1の少なくとも隣接する二つの縁部にX軸、Y軸方向に移動可能に、またプローバー2の中心を軸として回転可能に設けてもよい。この場合、アライメントカメラ5は、液晶表示用基板7の電極12とプローバー2の端子27の先端部の両方を観察できるように設けるとよい。又は、上記ステップS3において、液晶表示用基板7の電極12とプローバー2の端子27とを所定の許容範囲内でアライメントすることができるならば、プローバー2は、ステージ1の縁部に固定して設けられてもよい。この場合、上記ステップS4は省略することができ、アライメントカメラ5は無くてもよい。
【0042】
さらに、上記実施形態においては、液晶表示用基板7の複数の電極12を対向電極基板11側に設けた場合について説明したが、本発明はこれに限られず、TFT基板10側に設けてもよい。この場合、プローバー2は、液晶表示用基板7がステージ1に載置されるときには、ステージ1の側方の待機位置に退避させておき、液晶表示用基板7がステージ1に載置されると基板の複数の電極の上方まで移動して各電極にプローバー2の各端子27を上方から接触させるようにするとよい。
【0043】
そして、上記実施形態においては、光源装置3をジグザグ状に移動させる場合について説明したが、本発明はこれに限られず、光源装置3の最大移動量がフィルタ47の配列ピッチの整数倍に等しい距離であれば、スパイラル状等如何なる形態であってもよい。
【0044】
また、上記実施形態においては、冷却媒体として冷却水を使用する場合について説明したが、本発明はこれに限られず、基板の一面に接触して冷却することができるものであれば、例えば不凍液等如何なるものであってもよい。
【0045】
そして、以上の説明においては、TFT基板10がCOA構成を有するものである場合について述べたが、本発明はこれに限られず、紫外線の照射により液晶分子の配向制御を行うものであれば如何なるものであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【0046】
【図1】本発明による液晶表示装置の製造装置の実施形態を示す正面図である。
【図2】図1のO−O線断面矢視図である。
【図3】図1の側面図である。
【図4】上記製造装置に使用する液晶表示用基板の一構成例を示す平面図である。
【図5】上記液晶表示用基板の中心線断面図である。
【図6】図2のP−P線断面矢視図である。
【図7】上記製造装置に使用する光源装置を示す部分断面底面図である。
【図8】本発明による液晶表示装置の製造方法を示すフローチャートである。
【図9】アライメントカメラを使用して行う液晶表示用基板とプローバーとのアライメントについて示す説明図である。
【図10】上記光源装置の適切な移動例を示す説明図である。
【図11】図10に示す光源装置の移動における照度分布の解析結果を示す説明図である。
【図12】上記光源装置の不適切な移動例を示す説明図である。
【図13】図12に示す光源装置の移動における照度分布の解析結果を示す説明図である。
【符号の説明】
【0047】
1…ステージ
3…光源装置
7…液晶表示用基板
8…画素
10…TFT基板
11…対向電極基板
16…凹陥部
17…リフレクタ
17a…リフレクタの開口
28…フラッシュランプ
47…フィルタ
48…支持部材
【特許請求の範囲】
【請求項1】
一対の基板間に複数の画素をマトリクス状に形成して液晶を封止した液晶表示用基板の前記各画素に電界を印加した状態で、前記液晶表示用基板に紫外線を照射して前記液晶の分子を所定方向に配向させる液晶表示装置の製造装置であって、
前記液晶表示用基板の一面に接触して冷却する冷却媒体を貯留する凹陥部を中央に形成し、上面に前記液晶表示用基板の一面の周縁近傍部を吸着して保持するステージと、
前記ステージの上方に配設され、前記液晶表示用基板の少なくとも表示領域に対応した大きさの開口を有するリフレクタの内部に紫外線を発光する複数のフラッシュランプを設けると共に、前記開口に所定波長の紫外線を選択的に透過する方形状の複数のフィルタを縦横に並べて設けた光源装置と、
を備え、
前記光源装置は、前記フィルタの配列ピッチの整数倍の距離を縦横に所定のステップで移動しながら、1ステップ移動する毎に前記複数のフラッシュランプを点灯させることを特徴とする液晶表示装置の製造装置。
【請求項2】
前記複数のフィルタは、波長が約300nm以下の紫外線の透過を遮断するものであることを特徴とする請求項1記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項3】
前記複数のフィルタ間には、各フィルタの縁部を支持する支持部材が設けられたことを特徴とする請求項1又は2記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項1】
一対の基板間に複数の画素をマトリクス状に形成して液晶を封止した液晶表示用基板の前記各画素に電界を印加した状態で、前記液晶表示用基板に紫外線を照射して前記液晶の分子を所定方向に配向させる液晶表示装置の製造装置であって、
前記液晶表示用基板の一面に接触して冷却する冷却媒体を貯留する凹陥部を中央に形成し、上面に前記液晶表示用基板の一面の周縁近傍部を吸着して保持するステージと、
前記ステージの上方に配設され、前記液晶表示用基板の少なくとも表示領域に対応した大きさの開口を有するリフレクタの内部に紫外線を発光する複数のフラッシュランプを設けると共に、前記開口に所定波長の紫外線を選択的に透過する方形状の複数のフィルタを縦横に並べて設けた光源装置と、
を備え、
前記光源装置は、前記フィルタの配列ピッチの整数倍の距離を縦横に所定のステップで移動しながら、1ステップ移動する毎に前記複数のフラッシュランプを点灯させることを特徴とする液晶表示装置の製造装置。
【請求項2】
前記複数のフィルタは、波長が約300nm以下の紫外線の透過を遮断するものであることを特徴とする請求項1記載の液晶表示装置の製造装置。
【請求項3】
前記複数のフィルタ間には、各フィルタの縁部を支持する支持部材が設けられたことを特徴とする請求項1又は2記載の液晶表示装置の製造装置。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【公開番号】特開2010−122253(P2010−122253A)
【公開日】平成22年6月3日(2010.6.3)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2008−292999(P2008−292999)
【出願日】平成20年11月17日(2008.11.17)
【出願人】(500171707)株式会社ブイ・テクノロジー (283)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成22年6月3日(2010.6.3)
【国際特許分類】
【出願日】平成20年11月17日(2008.11.17)
【出願人】(500171707)株式会社ブイ・テクノロジー (283)
【Fターム(参考)】
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