液滴スプレーデバイス
【課題】ケルビン効果を考慮に入れることができる液滴スプレーデバイスを提供すること。
【解決手段】本発明は、液状物質を噴霧する液滴スプレーデバイスを提供し、このデバイスは、以下：ハウジングであって、このハウジングは、第一基板、第二基板、および液状物質を収容するための空間を備え、この第二基板は、この第一基板上に重ね合わされる、ハウジング；この空間に液状物質を供給する手段；出口手段であって、この出口手段は、第一および第二基板の少なくとも一方に配置され、この排出チャネルは、空間を、少なくとも１個の出口ノズルの各々に連結する、出口手段；ならびに振動要素であって、この振動要素は、出口ノズルを通してスプレーとして液状物質を噴出するために、空間内の液体を振動させるように配置されている、振動要素、を備える、デバイス。
【解決手段】本発明は、液状物質を噴霧する液滴スプレーデバイスを提供し、このデバイスは、以下：ハウジングであって、このハウジングは、第一基板、第二基板、および液状物質を収容するための空間を備え、この第二基板は、この第一基板上に重ね合わされる、ハウジング；この空間に液状物質を供給する手段；出口手段であって、この出口手段は、第一および第二基板の少なくとも一方に配置され、この排出チャネルは、空間を、少なくとも１個の出口ノズルの各々に連結する、出口手段；ならびに振動要素であって、この振動要素は、出口ノズルを通してスプレーとして液状物質を噴出するために、空間内の液体を振動させるように配置されている、振動要素、を備える、デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
（発明の属する技術分野）
本発明は、液状物質（例えば、薬物、芳香剤または他の噴霧液体）を噴霧するのに適切な液滴スプレーデバイスに関する。このようなデバイスは、例えば、香水ディスペンサーに使用され得るか、または患者の呼吸系によって患者に噴霧薬物または霧状薬物を投与するのに使用され得る。このようなデバイスは、その最も簡単な形状では、通例、アトマイザーと呼ばれている。このデバイスは、この液状物質を、噴霧液滴の分散体として送達する。さらに具体的には、本発明は、改良した液滴スプレーデバイスに関し、これは、制御可能な液滴スプレーを効率的に作り発射する。
【背景技術】
【０００２】
（従来の技術）
液体を噴霧する種々の液滴スプレーデバイスが公知である。例えば、特許文献１は、水を噴霧する超音波ネブライザーを記述している。このデバイスは、室内加湿器として使用される。この水を通して水面へと振動が伝達され、この水面を通して、スプレーが生じる。振動なしで水を保持するために、穿孔膜が設けられる。
【０００３】
代表的には、吸入器は、この液状物質を液滴に噴霧するために、同じ原理を使用する（例えば、特許文献２を参照）。
【０００４】
公知のように、その液滴の大きさは、この穿孔膜の出口オリフィスの大きさに依存し、そしてまたその振動周波数に依存している。小さい液滴を得るためには、非常に高い周波数を使用すべきであり、代表的には、直径約１０μｍの液滴には、１ＭＨｚを超える。一般に、この周波数が高くなる程、この液滴の直径は小さくなり得る。これにより、この高い周波数が原因で、電力消費量の増加を引き起こし、その結果、このようなデバイスは、小さい電池で作動するデバイスには適さなくなる。
【０００５】
別の液滴スプレーデバイスは、本出願人名義の特許文献３から公知である。そこで記述された液滴スプレーデバイスは、第一基板および第二基板の重ね合わせから形成されたハウジングからなり、これらの基板の間に、液状物質を収容してそれにより圧縮チャンバを提供するチャンバまたは空間が形成されている。第一基板の薄い方の膜部分には、出口手段が設けられている。この出口手段は、空洞（これは、このチャンバを部分的に構成する）、出口ノズルおよび排出チャネル（これは、これらのノズルをチャンバに連結する）からなる。この液状物質は、例えば、非常に小さい圧力（例えば、およそ数ミリバール）または毛管現象により、スプレーデバイスのチャンバまたは空間に入る。このスプレーデバイスは、さらに、この空間内の液状物質の振動を引き起こすために、振動要素（例えば、圧電素子）を含む。この液状物質を振動させることにより、その液体は、この出口手段に入り、この液体がデバイスから発射される際に、液滴スプレーが発生する。
【０００６】
この先行技術文献は、さらに、このような排出チャネルを直線状でテーパのない輪郭にする技術を記述している。これにより、水溶液および懸濁液に対して、この排出チャネルを横切る正確に規定した圧力低下、液滴の大きさおよび流動挙動が得られるのに対して、懸濁液中で小さい固体粒子（例えば、１μｍ未満から約２μｍ）を運ぶ医薬品には、比較的に滑らかな表面が適している。同じ効果は、例えば、香水分配用途に対してそれより大きい寸法（例えば、１０μｍ以上のノズル）でも、比例的に得られ得る。
【０００７】
発射された液滴の直径は、この液状物質の振動の所定周波数に対するノズル穴の大きさ「ｄ」および入口圧力に依存している。約２４３ｋＨｚの周波数を使用する従来のデバイスでは、その平均液滴直径は、約５μｍであることが分かっており、この出口ノズルの穴の直径は、約７μｍであり、その入口圧力は、数ミリバールである。１個のこのような液滴は、それゆえ、約６７フェムトリットル（１０−１５ｌ）の量を含み、その結果、このようなノズルの数は、噴出する量の関数として決定され得る。
【０００８】
実際、これらの出口ノズルの製作公差Δｄは、この量（すなわち、発射する液滴の容量「Ｖ」）を制御し決定する際の必須要素である。事実、この容量Ｖは、ｄ３に依存しており（Ｖ＝１／６×πｄ３）、ｄは、この出口ノズルの直径である。
【０００９】
例えば、もし、ｄ＝５μｍであり、Δｄ＝±０．５μｍであるなら、液滴容量Ｖは、４７．５（ｄ＝４．５）から８７（ｄ＝５．５）へと変わり得、これは、８３％の変動である。
【００１０】
さらに、この排出チャネルを横切る圧力低下は、ｄ４に依存していることが公知であり、そこで、この出口直径、チャネル直径、その断面、ならびに出口チャネルおよびノズルの変動する微小機械加工断面の任意の組合せは、この液滴スプレーデバイスの構造における重要な因子であることが理解され得る。
【００１１】
この液滴の直径は、その液体のある種の物理化学的特性（例えば、表面張力および粘度）と共に変わることもまた、公知である。従って、引用した先行技術で示されているように、発射する液体および所望の液滴特性に従って、この物理的および電気的デバイスパラメータ（周波数および振幅）を適合させ得ることが重要である。
【００１２】
本出願人は、現在、この従来のデバイスが一般に十分に機能することを見出したものの、このデバイスの構成の結果、製造が複雑となり、その結果、ある種の用途（例えば、大気中での芳香剤の分配のため）では、記載されたデバイスは、高価である。さらに、そのスプレーを施した後にこのようなデバイスを補充するのに必要な様式は、ある状況では、厄介でもあり得る。
【００１３】
さらに、このスプレーデバイスを使用して芳香剤を発射するとき、空気中での匂いの拡散は、直接的に、周囲の空気で利用可能な液滴の表面と関係していることが公知である。それゆえ、この液滴が小さくなる程、その表面は小さくなる。この液滴の半径が小さくなるにつれて、その表面／体積比が大きくなるので、これは、この匂いの拡散速度を変える。しかし、発射された液滴の表面は、安定ではなく、それは、予想よりも早く破裂し得、その結果、この液滴の大きさの関数として、この匂いの拡散が変化する。事実、本出願人は、この液滴が小さくなる程、この液滴の安定性が低くなることを観察した。
【００１４】
実際、ケルビン効果によれば、もし、その気相の飽和が液相との比較において１より大きいなら、この気相に比べたその液滴の熱力学的な安定性は、３Ｄ液体を形成するエネルギー放出により高められるが、２Ｄ表面の形成により低くなる。その正味の結果は、この液滴の半径が小さくなるにつれての液体分子１個あたりの自由エネルギーの増加となる。この効果は、この液滴の半径が小さくなるにつれての蒸気圧の増大として観察される。
【００１５】
以下の表は、Ｔ＝２９８°Ｋの温度での液滴直径の関数としての純水液滴にわたる平衡蒸気圧の増大の例を示す：
【００１６】
【表１】
ここで、Ｄρは、液滴直径（ミクロン（１０−６ｍ））であり、そしてΔＰは、圧力変化（％）である。
【００１７】
分かるように、圧力は、ケルビン効果により、この液滴の半径（直径）が減少する場合に、増大する。
【特許文献１】欧州特許出願公開第０ ５１６ ５６５号明細書
【特許文献２】国際公開第９５／１５８２２号パンフレット
【特許文献３】欧州特許出願公開第０ ９２３ ９５７号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
従って、本発明の課題は、上述の不都合を克服する液滴スプレーデバイスであって、分配する液滴の大きさが一般に非常に小さいことに起因して、ケルビン効果を考慮に入れることができる液滴スプレーデバイスを提供することにある。
【００１９】
本発明の他の課題は、簡単で、製造信頼性があり、大きさが小さく、エネルギー消費が少なく、そして価格が安いようなデバイスを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明は、液状物質を噴霧する液滴スプレーデバイス（１）を提供し、このデバイスは、以下：
ハウジングであって、このハウジングは、第一基板（２）、第二基板（３）、および液状物質を収容するための空間（４）を備え、この第二基板は、この第一基板上に重ね合わされ、そしてこの空間は、第一および第二基板で囲まれている、ハウジング；
この空間（４）に液状物質を供給する手段（６、１６、２６）；
出口手段（７）であって、この出口手段は、第一および第二基板（２、３）の少なくとも一方に配置され、そして少なくとも１個の出口ノズル（９）および少なくとも１個の排出チャネル（８）を含み、この排出チャネルは、空間（４）を、少なくとも１個の出口ノズル（９）の各々に連結する、出口手段（７）；ならびに
振動要素（５）であって、この振動要素は、出口ノズル（９）を通してスプレーとして液状物質を噴出するために、空間（４）内の液体を振動させるように配置されている、振動要素（５）、
を備え、ここで、
各排出チャネル（８）は、第一部分（８ａ）、第二部分（８ｂ）および第三部分（８ｃ）を有し、この第一部分（８ａ）は、空間（４）に隣接して配置され、そして直状の側壁を有し、この第三部分（８ｃ）もまた、直状の側壁を有し、そして第一部分および出口ノズル（９）に隣接して配置され、第一部分の幅（ｄ１）は、第三部分の幅（ｄ２）より大きく、第二部分（８ｂ）は、排出チャネルの幅が第一部分の幅（ｄ１）から第三部分の幅（ｄ２）へと段々と変わるように、第一部分（８ａ）を第三部分（８ｃ）に連結することを特徴とする、デバイス。
【００２１】
本発明はさらに、液状物質を噴霧する液滴スプレーデバイス（１）を提供し、このデバイスは、以下：
ハウジングであって、このハウジングは、第一基板（２）、第二基板（３）、および液状物質を収容するための空間（４）を備え、この第二基板は、この第一基板上に重ね合わされ、そしてこの空間は、第一および第二基板で囲まれている、ハウジング；
空間（４）に液状物質を供給する手段（６、１６、２６）；
出口手段（７）であって、この出口手段は、第一および第二基板（２、３）の少なくとも一方に配置され、そして少なくとも１個の出口ノズル（９）および少なくとも１個の排出チャネル（２８）を含み、この排出チャネルは、空間（４）を、少なくとも１個の出口ノズル（９）の各々に連結する、出口手段（７）；ならびに
振動要素（５）であって、この振動要素は、出口ノズル（９）を通してスプレーとして液状物質を噴出するために、空間（４）内の液体を振動させるように配置されている、振動要素（５）、
を備え、ここで、
各排出チャネル（２８）は、段差形状であり、第一部分（２８ａ）および第二部分（２８ｃ）を有し、この第一部分（２８ａ）は、空間（４）に隣接して配置され、そして直状の側壁を有し、この第二部分（２８ｃ）もまた、直状の側壁を有し、そして第一部分および出口ノズル（９）に隣接して配置され、第一部分（２８ａ）の幅（ｄ１）は、第二部分（２８ｃ）の幅（ｄ２）より大きいことを特徴とする。
【００２２】
１つの局面においては、上記ハウジングが、円形であり、そして上記空間が、数個の個々の空間（４）からなり、ここで、数個の振動要素（５）が設けられ、各々が、空間（４）の１個内の液状物質を振動させるように配置されている。
【００２３】
１つの局面においては、上記第一および第二基板（２、３）が、適切に被覆し貼り合わせたコンパクトディスク材料から製造される。
【００２４】
１つの局面においては、上記第一および第二基板（２、３）が、金属もしくは高分子基板または他のウエハ様材料から製造され、その上に、適切な堆積法により、上記空間（４）（単数または複数）および出口手段（７）を設けるのに必要な構造体が堆積されている。
【００２５】
１つの局面においては、上記出口手段（７、８、９）が、上記第一基板（２）に配置されている。
【００２６】
１つの局面においては、上記出口手段（７、８、９）が、上記第二基板（３）に配置されている。
【００２７】
１つの局面においては、上記出口手段（７、８、９）が、上記第一基板および上記第二基板（２、３）に配置されている。
【００２８】
１つの局面においては、上記第一基板（２）が、上記振動要素（５）と上記第二基板（３）との間に設けられた箔（１０）により構成される。
【００２９】
１つの局面においては、上記液状物質を供給する上記手段（６）が、上記第一基板（２）および上記振動要素（５）を横切るように配置されている。
【００３０】
１つの局面においては、上記液状物質を供給する上記手段（１６、２６）が、上記第二基板（３）を横切るように配置され、それにより、液状物質を上記空間（４）に入れることを可能にする。
【００３１】
１つの局面においては、液滴スプレーデバイスにはさらに、上記第二基板（３）に、パッシブバルブ（１７）が設けられ、ここで、上記空間（４）が、内部容量および緩衝容量からなり、これらの内部容量および緩衝容量が、このパッシブバルブ（１７）によって互いに連結されている。
【００３２】
それゆえ、本発明は、添付の特許請求の範囲で規定した液滴スプレーデバイスに関する。
【００３３】
本発明によるスプレーデバイスの構成（特に、その出口手段の特定の形状および配置）のおかげで、比較的簡単かつ安価な様式で、効率的なデバイスが得られ得る。
【００３４】
本発明による液滴スプレーデバイスの他の特徴および利点は、以下の説明を読むことから明らかとなるが、これは、単に、添付の図面が参照される非限定的な例によって示されているにすぎない。
【発明の効果】
【００３５】
本発明によって、ケルビン効果を考慮に入れることができる液滴スプレーデバイスが提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
第一の好ましい実施形態の一例を、以下で記述する。本発明は、それゆえ、液状物質を噴霧する液滴スプレーデバイスに関する。図１は、第一実施形態の断面を示す。この液滴スプレーデバイスは、一般参照番号１で示されており、この例では、ハウジングからなり、このハウジングは、第一基板２および第二基板３の重ね合わせを含む。このハウジング内では、液状物質を受容するために、空の空間（すなわち、チャンバ）４が設けられる。この空間４は、これらの基板の一方の上面の一部をエッチングによって除去することにより、作製され得る。この例では、第二基板３の上面の一部が、周知のエッチング技術（例えば、半導体の分野で公知の技術および上記先行技術文献で記述された技術）を使用することによりエッチングされ、その結果、次いで、図示しているように、薄い中間部および厚い端部が得られる。それゆえ、第一基板２の平坦な下面が、第二基板３のエッチングした表面に装着される場合、その空間が取り囲まれて、それにより、チャンバ４を形成する。基板２および３は、好ましくは、アノード結合（ａｎｏｄｉｃ ｂｏｎｄｉｎｇ）を使用することにより、当業者に周知の適切な接着技術で互いに結合される。
【００３７】
このハウジングには、振動要素（例えば、圧電素子）５が配置されて、一旦、液状物質が空間４内に存在すると、この液状物質を振動させる。好ましくは、振動要素５は、第一基板２に直接配置され、その振動を、例えば、上記文献欧州特許出願公開番号０ ９２３ ９５７から公知のような様式で、この基板およびこの液状物質にも伝達する。この液状物質をハウジングに入れるために、この液滴スプレーデバイスに外部液体容器（図示せず）を連結するのに適切な入口手段６が設けられる。この例では、この入口手段は、振動要素５および第一基板２を横切るチャネルからなる。この外部容器に入口手段６を連結するために、さらに適切な連結手段が設けられ得る。
【００３８】
出口手段７がさらに、このハウジング内に設けられ、この液状物質がハウジングから出るのを可能にする。事実、空間４内に含まれる液体が、適切な低圧下にて、適切な周波数（この場合、約３００ｋＨｚ）で、振動要素５により励起される場合に、それは、非常に低い出口速度で、この出口手段を通って、液滴のスプレーとして、噴出される。出口手段７は、以下でさらに詳細に説明するように、少なくとも１個の出口ノズルおよび少なくとも１個の排出チャネル（これは、空間４を各出口ノズルに連結する）からなる。
【００３９】
図２Ａは、液滴スプレーデバイス１の上面図を示し、ここで、第一基板２は、透明である。分かるように、出口手段７は、その全周に沿って、第二基板３の厚い端部に配置される。出口手段の数は、要件に従って、適合され得る。
【００４０】
図２Ｂで分かるように、これらの出口手段は、このスプレーデバイスの外部に空間４を連結するように、第二基板２に配置され、それゆえ、この液体は、スプレーとして、発射され得るようになる。
【００４１】
この実施形態によれば、各排出チャネル（図３で参照番号８により示す）は、３つの部分（第一部分８ａ、第二部分８ｂおよび第三部分８ｃ）からなる。図３Ａ〜３Ｃで示すように、排出チャネル８の第一部分８ａは、空間４に隣接して配置され、そして直状の側壁を有する。第三部分８ｃもまた、直状の側壁を有する。分かるように、排出チャネル８は、首形状を有し、空間４に隣接した大きいチャネル部分から出口ノズル（これは、参照番号９で示される）に隣接した狭い部分に至る。事実、第一部分８ａの幅ｄ１は、第三部分８ｃの幅ｄ２よりも大きく、第二部分８ｂは、排出チャネル８の幅が第二部分８ｂに沿って幅ｄ１から幅ｄ２へと段々と変わるように、第一部分８ａを第三部分８ｃに連結する。図９は、２つの部分（内部空間４に隣接した広い部分２８ａおよび外部ノズル９に隣接した狭い部分２８ｃ）だけを使用する別の実施形態を示す。両方のチャネル部分２８ａおよび２８ｃもまた、直状の側壁を有する。このような実施形態は、図６で暗示しているように、本出願人名義の同時係属中の欧州特許出願番号０１ １０３ ６５３．０で説明されているように、種々の材料に容易に機械加工され得る。その断面は、容易に想像され得るように、三角形または円形であり得る。この構造は、例えば、それをＫＯＨでエッチングする代わりに、その構造に必要な物質を堆積することにより、またはこの構造をレーザーもしくは微量射出成形などにより機械加工することにより、作製され得る。
【００４２】
出口手段７は、溝部を得るように、第二基板３の厚い端部をエッチング（例えば、湿潤エッチングまたは異方エッチングなど）することにより製造され得、これらの溝部は、排出チャネルの部分８ａ、８ｂおよび８ｃに対応している。
【００４３】
２つの部分を使用するこの実施形態の利点は、広い部分２８ａに対して狭い部分２８ｃの整列を変えることにより、このスプレーデバイスから発射されるスプレーの方向を変化させることが可能となることにある。分かるように、両方の部分を同心様式で整列させることにより、そこを通って発射される液滴は、この出口ノズルに対して垂直に移動する。しかし、もし、この狭い部分が広い部分に対して偏心しているなら、発射される液滴は、この出口ノズルに対して垂直には発射されず、その偏心度に依存する角度で発射される。それゆえ、明らかに、この様式では、段差を付けた部分の配置に起因して、収束または発散して発射したスプレーを得ることが可能となる。
【００４４】
上記様式により本出願人により作製された実施形態では、約７ｃｍ２の実質的に正方形の基板を使用して、この液滴スプレーデバイスにおいて、１側面あたり７１個の出口手段（すなわち、合計２８４個の出口手段）を得ることが可能であった。
【００４５】
図４は、作動中の本発明による液滴スプレーデバイスを示す。分かるように、この液滴スプレーは、このスプレーデバイスの全ての側面から発射され、このデバイスは、側面シューターと呼ばれ得る。
【００４６】
有利なことに、もし、さらに多くの出口手段が必要なら（例えば、より多くの液体をスプレーとして分散すべきとき）、類似の様式で、第一基板２に出口手段を作製することもまた、可能である。図５Ａおよび５Ｂで示すように、第一基板２にある出口手段は、もちろん、いかなる重なりをも回避するために、第二基板３にあるものに対してシフトすべきである。このように、このスプレーデバイスにおいて、さらに高い密度の出口手段が得られ得る。そのように作製した実施形態では、同じ大きさの基板（７ｃｍ２）を使用するとき、５６８個、すなわち、二倍の量の出口手段が得られ得る。
【００４７】
当然のことながら、これらの出口手段は、第二基板３に作製される必要はなく、その代わりに、第二基板２について上で記述したものと同じ様式で、第一基板２で作製され得、または両方で作製され得る。
【００４８】
これらの基板に適切な材料には、ガラス、セラミック、シリコン、高密度重合体、プラスチック、フォトレジスト、金属などが挙げられる。事実、これらの基板に使用される材料は、内部空間４および出口手段７を作製するために、上で言及した様式で、材料をエッチング、機械加工または堆積することを可能とするに適切である必要がある。
【００４９】
別の好ましい実施形態では、図６で示すように、この液滴スプレーデバイスは、実質的に円形であり、例えば、２つの円形ウエハ、またはコンパクトディスクを製造するのに通常使用される２枚のディスクを使用することにより製作され得、これらは、上で説明したように適切に機械加工され、必要に応じて、被覆され、互いに適切に結合される。
【００５０】
この実施形態および他の実施形態は、１個以上の空間４を備え得、各々は、分配されるべき液状物質を含む。各空間は、同一または異なる液状物質を含み得る。もちろん、このような場合、制御コマンドの関数として、該数個の異なる液状物質を個々にまたは一緒に活性化するために、対応する数の振動要素またはアクチュエータが使用される。このようにして、これらの液状物質の組合せにより形成されたスプレーが発射され得る。このような実施形態は、人（例えば、適切な様式で匂いを誘発した映画を見ている人、ある種の製品の匂いを嗅ぐ買い物客または顧客など）に匂いを供給するのに使用され得る。
【００５１】
このデバイスおよび先に記述した小型の円形版はまた、もちろん、他の材料（例えば、金属、フォトレジストなど）で実現され得る。
【００５２】
図７Ａおよび７Ｂは、それぞれ、本発明による液滴スプレーデバイスの改変物を示し、この場合、その入口チャネルは、上で示したように、第一基板２ではなく第二基板３に設けられている。実際、図７Ａで示すように、入口チャネル１６は、外部容器を空間４に連結するために、第二基板３の薄い部分を横切って、設けられている。有利なことに、さらに、緩衝容量（図示せず）が設けられ得、これは、緩衝チャネル１７により、内部空間４に連結される。緩衝チャネル１７は、パッシブバルブであり、これは、この液状物質を、この緩衝空間から内部空間へと移動させる。これを、本出願人名義の同時係属中の欧州特許出願番号０１ １０３ ６５３．０で説明されているものと類似の様式で、行い得る。この内部空間の全容量は、次いで、空間４の容量および緩衝空間の容量に対応する。有利なことに、緩衝チャネルはまた、この入口チャネルと比べて、この基板の反対端で、第二基板３の薄い部分を横切る。
【００５３】
他の改変物では、図７Ｂで示すように、中心に配置された入口チャネル２７が設けられ、これは、第二基板３を横切って、その外部容器を内部空間４に連結する。
【００５４】
さらに好ましい実施形態は、図８で示されている。この実施形態では、このハウジングは、１枚の基板（この例では、第二基板３）だけからなり、ここで、出口手段７は、上で説明した様式で、配置されている。圧電素子５と第二基板３との間には、箔１０のシートまたはリングが設けられている。この箔１０がシート形状である場合には、空間４および出口手段７の両方を密封し、それゆえ、第一基板１の代わりをする。この箔１０がリング形状である場合には、少なくとも、出口手段７を密封し、これに対して、振動要素５が、空間４を密封する。
【００５５】
本発明は、液状物質を噴霧する液滴スプレーデバイスに関し、該デバイスは、ハウジングを備え、該ハウジングは、第一基板、第二基板、および該液状物質を収容するための空間を備え、該第二基板は、該第一基板上に重ね合わされ、そして該空間は、該第一および第二基板で囲まれている。該第一または第二基板の少なくとも一方には、出口手段が配置され、これは、少なくとも１個の出口ノズル（１９）および少なくとも１個の排出チャネル（２０）を含み、該排出チャネルは、該空間（１２）を、各出口ノズル（１９）に連結する。該出口ノズル（１９）を通るスプレーとして該液状物質を噴出するために、該空間（１２）内の液体を振動させるように、振動要素（１８）が配置されている。
【００５６】
本発明によれば、各排出チャネル（２０）は、第一部分（２０ａ）、第二部分（２０ｂ）および第三部分を有し、該第一部分は、該空間（１２）に隣接して配置され、そして直状の側壁を有し、該第三部分もまた、直状の側壁を有し、該第一部分の幅は、該第三部分の幅より大きく、該第二部分は、該排出チャネルの幅が該第一部分の幅から該第三部分の幅へと段々と変わるように、該第一部分を該第三部分に連結する。
【００５７】
本発明の好ましい実施形態を記述したが、現在、その概念を含む他の実施形態が使用され得ることは、当業者に明らかとなる。従って、本発明は、開示した実施形態に限定されるべきではなく、むしろ、添付の特許請求の範囲でのみ限定されるべきであると思われる。
【００５８】
例えば、同じ液滴スプレーデバイスは、呼吸器療法用の医薬品を噴霧するのに使用され得るだけでなく、一般に、例えば、水性またはアルコール性または他の液状物質を使用して、異なる物理化学的組成物を噴霧するのに使用され得る。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】図１は、本発明による液滴スプレーデバイスの第一実施形態の概略断面図である。
【図２Ａ】図２Ａは、第一基板が透明である図１の液滴スプレーデバイスの概略上面図を示す。
【図２Ｂ】図２Ｂは、図１の液滴スプレーデバイスの概略側面図を示す。
【図３Ａ】図３Ａは、そこに出口手段を備えた第二基板の概略詳細断面図を示す。
【図３Ｂ】図３Ｂは、そこに出口手段を備えた第二基板の概略詳細断面図を示す。
【図３Ｃ】図３Ｃは、そこに出口手段を備えた第二基板の概略詳細断面図を示す。
【図４】図４は、作動中の本発明による液滴スプレーデバイスを示す。
【図５Ａ】図５Ａは、本発明による液滴スプレーデバイスの第一および第二基板の両方に出口手段が設けられた代替物の概略断面図を示す。
【図５Ｂ】図５Ｂは、本発明による液滴スプレーデバイスの第一および第二基板の両方に出口手段が設けられた代替物の概略断面図を示す。
【図６】図６は、本発明による円形液滴スプレーデバイスの別の好ましい実施形態を示す。
【図７Ａ】図７Ａは、第二基板に入口チャネルを設けた本発明による液滴スプレーデバイスの改変物を示す。
【図７Ｂ】図７Ｂは、第二基板に入口チャネルを設けた本発明による液滴スプレーデバイスの改変物を示す。
【図８Ａ】図８Ａは、本発明による液滴スプレーデバイスの別の好ましい実施形態の概略断面図を示す。
【図８Ｂ】図８Ｂは、本発明による液滴スプレーデバイスの別の好ましい実施形態の概略断面図を示す。
【図９】図９は、本発明による液滴スプレーデバイスのさらなる実施形態を示す。
【符号の説明】
【００６０】
１ 液滴スプレーデバイス
２ 第一基板
３ 第二基板
４ 空間
５ 振動要素
６ 液状物質を供給する手段
７ 出口手段
８ 排出チャネル
９ 出口ノズル
【技術分野】
【０００１】
（発明の属する技術分野）
本発明は、液状物質（例えば、薬物、芳香剤または他の噴霧液体）を噴霧するのに適切な液滴スプレーデバイスに関する。このようなデバイスは、例えば、香水ディスペンサーに使用され得るか、または患者の呼吸系によって患者に噴霧薬物または霧状薬物を投与するのに使用され得る。このようなデバイスは、その最も簡単な形状では、通例、アトマイザーと呼ばれている。このデバイスは、この液状物質を、噴霧液滴の分散体として送達する。さらに具体的には、本発明は、改良した液滴スプレーデバイスに関し、これは、制御可能な液滴スプレーを効率的に作り発射する。
【背景技術】
【０００２】
（従来の技術）
液体を噴霧する種々の液滴スプレーデバイスが公知である。例えば、特許文献１は、水を噴霧する超音波ネブライザーを記述している。このデバイスは、室内加湿器として使用される。この水を通して水面へと振動が伝達され、この水面を通して、スプレーが生じる。振動なしで水を保持するために、穿孔膜が設けられる。
【０００３】
代表的には、吸入器は、この液状物質を液滴に噴霧するために、同じ原理を使用する（例えば、特許文献２を参照）。
【０００４】
公知のように、その液滴の大きさは、この穿孔膜の出口オリフィスの大きさに依存し、そしてまたその振動周波数に依存している。小さい液滴を得るためには、非常に高い周波数を使用すべきであり、代表的には、直径約１０μｍの液滴には、１ＭＨｚを超える。一般に、この周波数が高くなる程、この液滴の直径は小さくなり得る。これにより、この高い周波数が原因で、電力消費量の増加を引き起こし、その結果、このようなデバイスは、小さい電池で作動するデバイスには適さなくなる。
【０００５】
別の液滴スプレーデバイスは、本出願人名義の特許文献３から公知である。そこで記述された液滴スプレーデバイスは、第一基板および第二基板の重ね合わせから形成されたハウジングからなり、これらの基板の間に、液状物質を収容してそれにより圧縮チャンバを提供するチャンバまたは空間が形成されている。第一基板の薄い方の膜部分には、出口手段が設けられている。この出口手段は、空洞（これは、このチャンバを部分的に構成する）、出口ノズルおよび排出チャネル（これは、これらのノズルをチャンバに連結する）からなる。この液状物質は、例えば、非常に小さい圧力（例えば、およそ数ミリバール）または毛管現象により、スプレーデバイスのチャンバまたは空間に入る。このスプレーデバイスは、さらに、この空間内の液状物質の振動を引き起こすために、振動要素（例えば、圧電素子）を含む。この液状物質を振動させることにより、その液体は、この出口手段に入り、この液体がデバイスから発射される際に、液滴スプレーが発生する。
【０００６】
この先行技術文献は、さらに、このような排出チャネルを直線状でテーパのない輪郭にする技術を記述している。これにより、水溶液および懸濁液に対して、この排出チャネルを横切る正確に規定した圧力低下、液滴の大きさおよび流動挙動が得られるのに対して、懸濁液中で小さい固体粒子（例えば、１μｍ未満から約２μｍ）を運ぶ医薬品には、比較的に滑らかな表面が適している。同じ効果は、例えば、香水分配用途に対してそれより大きい寸法（例えば、１０μｍ以上のノズル）でも、比例的に得られ得る。
【０００７】
発射された液滴の直径は、この液状物質の振動の所定周波数に対するノズル穴の大きさ「ｄ」および入口圧力に依存している。約２４３ｋＨｚの周波数を使用する従来のデバイスでは、その平均液滴直径は、約５μｍであることが分かっており、この出口ノズルの穴の直径は、約７μｍであり、その入口圧力は、数ミリバールである。１個のこのような液滴は、それゆえ、約６７フェムトリットル（１０−１５ｌ）の量を含み、その結果、このようなノズルの数は、噴出する量の関数として決定され得る。
【０００８】
実際、これらの出口ノズルの製作公差Δｄは、この量（すなわち、発射する液滴の容量「Ｖ」）を制御し決定する際の必須要素である。事実、この容量Ｖは、ｄ３に依存しており（Ｖ＝１／６×πｄ３）、ｄは、この出口ノズルの直径である。
【０００９】
例えば、もし、ｄ＝５μｍであり、Δｄ＝±０．５μｍであるなら、液滴容量Ｖは、４７．５（ｄ＝４．５）から８７（ｄ＝５．５）へと変わり得、これは、８３％の変動である。
【００１０】
さらに、この排出チャネルを横切る圧力低下は、ｄ４に依存していることが公知であり、そこで、この出口直径、チャネル直径、その断面、ならびに出口チャネルおよびノズルの変動する微小機械加工断面の任意の組合せは、この液滴スプレーデバイスの構造における重要な因子であることが理解され得る。
【００１１】
この液滴の直径は、その液体のある種の物理化学的特性（例えば、表面張力および粘度）と共に変わることもまた、公知である。従って、引用した先行技術で示されているように、発射する液体および所望の液滴特性に従って、この物理的および電気的デバイスパラメータ（周波数および振幅）を適合させ得ることが重要である。
【００１２】
本出願人は、現在、この従来のデバイスが一般に十分に機能することを見出したものの、このデバイスの構成の結果、製造が複雑となり、その結果、ある種の用途（例えば、大気中での芳香剤の分配のため）では、記載されたデバイスは、高価である。さらに、そのスプレーを施した後にこのようなデバイスを補充するのに必要な様式は、ある状況では、厄介でもあり得る。
【００１３】
さらに、このスプレーデバイスを使用して芳香剤を発射するとき、空気中での匂いの拡散は、直接的に、周囲の空気で利用可能な液滴の表面と関係していることが公知である。それゆえ、この液滴が小さくなる程、その表面は小さくなる。この液滴の半径が小さくなるにつれて、その表面／体積比が大きくなるので、これは、この匂いの拡散速度を変える。しかし、発射された液滴の表面は、安定ではなく、それは、予想よりも早く破裂し得、その結果、この液滴の大きさの関数として、この匂いの拡散が変化する。事実、本出願人は、この液滴が小さくなる程、この液滴の安定性が低くなることを観察した。
【００１４】
実際、ケルビン効果によれば、もし、その気相の飽和が液相との比較において１より大きいなら、この気相に比べたその液滴の熱力学的な安定性は、３Ｄ液体を形成するエネルギー放出により高められるが、２Ｄ表面の形成により低くなる。その正味の結果は、この液滴の半径が小さくなるにつれての液体分子１個あたりの自由エネルギーの増加となる。この効果は、この液滴の半径が小さくなるにつれての蒸気圧の増大として観察される。
【００１５】
以下の表は、Ｔ＝２９８°Ｋの温度での液滴直径の関数としての純水液滴にわたる平衡蒸気圧の増大の例を示す：
【００１６】
【表１】
ここで、Ｄρは、液滴直径（ミクロン（１０−６ｍ））であり、そしてΔＰは、圧力変化（％）である。
【００１７】
分かるように、圧力は、ケルビン効果により、この液滴の半径（直径）が減少する場合に、増大する。
【特許文献１】欧州特許出願公開第０ ５１６ ５６５号明細書
【特許文献２】国際公開第９５／１５８２２号パンフレット
【特許文献３】欧州特許出願公開第０ ９２３ ９５７号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１８】
従って、本発明の課題は、上述の不都合を克服する液滴スプレーデバイスであって、分配する液滴の大きさが一般に非常に小さいことに起因して、ケルビン効果を考慮に入れることができる液滴スプレーデバイスを提供することにある。
【００１９】
本発明の他の課題は、簡単で、製造信頼性があり、大きさが小さく、エネルギー消費が少なく、そして価格が安いようなデバイスを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
本発明は、液状物質を噴霧する液滴スプレーデバイス（１）を提供し、このデバイスは、以下：
ハウジングであって、このハウジングは、第一基板（２）、第二基板（３）、および液状物質を収容するための空間（４）を備え、この第二基板は、この第一基板上に重ね合わされ、そしてこの空間は、第一および第二基板で囲まれている、ハウジング；
この空間（４）に液状物質を供給する手段（６、１６、２６）；
出口手段（７）であって、この出口手段は、第一および第二基板（２、３）の少なくとも一方に配置され、そして少なくとも１個の出口ノズル（９）および少なくとも１個の排出チャネル（８）を含み、この排出チャネルは、空間（４）を、少なくとも１個の出口ノズル（９）の各々に連結する、出口手段（７）；ならびに
振動要素（５）であって、この振動要素は、出口ノズル（９）を通してスプレーとして液状物質を噴出するために、空間（４）内の液体を振動させるように配置されている、振動要素（５）、
を備え、ここで、
各排出チャネル（８）は、第一部分（８ａ）、第二部分（８ｂ）および第三部分（８ｃ）を有し、この第一部分（８ａ）は、空間（４）に隣接して配置され、そして直状の側壁を有し、この第三部分（８ｃ）もまた、直状の側壁を有し、そして第一部分および出口ノズル（９）に隣接して配置され、第一部分の幅（ｄ１）は、第三部分の幅（ｄ２）より大きく、第二部分（８ｂ）は、排出チャネルの幅が第一部分の幅（ｄ１）から第三部分の幅（ｄ２）へと段々と変わるように、第一部分（８ａ）を第三部分（８ｃ）に連結することを特徴とする、デバイス。
【００２１】
本発明はさらに、液状物質を噴霧する液滴スプレーデバイス（１）を提供し、このデバイスは、以下：
ハウジングであって、このハウジングは、第一基板（２）、第二基板（３）、および液状物質を収容するための空間（４）を備え、この第二基板は、この第一基板上に重ね合わされ、そしてこの空間は、第一および第二基板で囲まれている、ハウジング；
空間（４）に液状物質を供給する手段（６、１６、２６）；
出口手段（７）であって、この出口手段は、第一および第二基板（２、３）の少なくとも一方に配置され、そして少なくとも１個の出口ノズル（９）および少なくとも１個の排出チャネル（２８）を含み、この排出チャネルは、空間（４）を、少なくとも１個の出口ノズル（９）の各々に連結する、出口手段（７）；ならびに
振動要素（５）であって、この振動要素は、出口ノズル（９）を通してスプレーとして液状物質を噴出するために、空間（４）内の液体を振動させるように配置されている、振動要素（５）、
を備え、ここで、
各排出チャネル（２８）は、段差形状であり、第一部分（２８ａ）および第二部分（２８ｃ）を有し、この第一部分（２８ａ）は、空間（４）に隣接して配置され、そして直状の側壁を有し、この第二部分（２８ｃ）もまた、直状の側壁を有し、そして第一部分および出口ノズル（９）に隣接して配置され、第一部分（２８ａ）の幅（ｄ１）は、第二部分（２８ｃ）の幅（ｄ２）より大きいことを特徴とする。
【００２２】
１つの局面においては、上記ハウジングが、円形であり、そして上記空間が、数個の個々の空間（４）からなり、ここで、数個の振動要素（５）が設けられ、各々が、空間（４）の１個内の液状物質を振動させるように配置されている。
【００２３】
１つの局面においては、上記第一および第二基板（２、３）が、適切に被覆し貼り合わせたコンパクトディスク材料から製造される。
【００２４】
１つの局面においては、上記第一および第二基板（２、３）が、金属もしくは高分子基板または他のウエハ様材料から製造され、その上に、適切な堆積法により、上記空間（４）（単数または複数）および出口手段（７）を設けるのに必要な構造体が堆積されている。
【００２５】
１つの局面においては、上記出口手段（７、８、９）が、上記第一基板（２）に配置されている。
【００２６】
１つの局面においては、上記出口手段（７、８、９）が、上記第二基板（３）に配置されている。
【００２７】
１つの局面においては、上記出口手段（７、８、９）が、上記第一基板および上記第二基板（２、３）に配置されている。
【００２８】
１つの局面においては、上記第一基板（２）が、上記振動要素（５）と上記第二基板（３）との間に設けられた箔（１０）により構成される。
【００２９】
１つの局面においては、上記液状物質を供給する上記手段（６）が、上記第一基板（２）および上記振動要素（５）を横切るように配置されている。
【００３０】
１つの局面においては、上記液状物質を供給する上記手段（１６、２６）が、上記第二基板（３）を横切るように配置され、それにより、液状物質を上記空間（４）に入れることを可能にする。
【００３１】
１つの局面においては、液滴スプレーデバイスにはさらに、上記第二基板（３）に、パッシブバルブ（１７）が設けられ、ここで、上記空間（４）が、内部容量および緩衝容量からなり、これらの内部容量および緩衝容量が、このパッシブバルブ（１７）によって互いに連結されている。
【００３２】
それゆえ、本発明は、添付の特許請求の範囲で規定した液滴スプレーデバイスに関する。
【００３３】
本発明によるスプレーデバイスの構成（特に、その出口手段の特定の形状および配置）のおかげで、比較的簡単かつ安価な様式で、効率的なデバイスが得られ得る。
【００３４】
本発明による液滴スプレーデバイスの他の特徴および利点は、以下の説明を読むことから明らかとなるが、これは、単に、添付の図面が参照される非限定的な例によって示されているにすぎない。
【発明の効果】
【００３５】
本発明によって、ケルビン効果を考慮に入れることができる液滴スプレーデバイスが提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
第一の好ましい実施形態の一例を、以下で記述する。本発明は、それゆえ、液状物質を噴霧する液滴スプレーデバイスに関する。図１は、第一実施形態の断面を示す。この液滴スプレーデバイスは、一般参照番号１で示されており、この例では、ハウジングからなり、このハウジングは、第一基板２および第二基板３の重ね合わせを含む。このハウジング内では、液状物質を受容するために、空の空間（すなわち、チャンバ）４が設けられる。この空間４は、これらの基板の一方の上面の一部をエッチングによって除去することにより、作製され得る。この例では、第二基板３の上面の一部が、周知のエッチング技術（例えば、半導体の分野で公知の技術および上記先行技術文献で記述された技術）を使用することによりエッチングされ、その結果、次いで、図示しているように、薄い中間部および厚い端部が得られる。それゆえ、第一基板２の平坦な下面が、第二基板３のエッチングした表面に装着される場合、その空間が取り囲まれて、それにより、チャンバ４を形成する。基板２および３は、好ましくは、アノード結合（ａｎｏｄｉｃ ｂｏｎｄｉｎｇ）を使用することにより、当業者に周知の適切な接着技術で互いに結合される。
【００３７】
このハウジングには、振動要素（例えば、圧電素子）５が配置されて、一旦、液状物質が空間４内に存在すると、この液状物質を振動させる。好ましくは、振動要素５は、第一基板２に直接配置され、その振動を、例えば、上記文献欧州特許出願公開番号０ ９２３ ９５７から公知のような様式で、この基板およびこの液状物質にも伝達する。この液状物質をハウジングに入れるために、この液滴スプレーデバイスに外部液体容器（図示せず）を連結するのに適切な入口手段６が設けられる。この例では、この入口手段は、振動要素５および第一基板２を横切るチャネルからなる。この外部容器に入口手段６を連結するために、さらに適切な連結手段が設けられ得る。
【００３８】
出口手段７がさらに、このハウジング内に設けられ、この液状物質がハウジングから出るのを可能にする。事実、空間４内に含まれる液体が、適切な低圧下にて、適切な周波数（この場合、約３００ｋＨｚ）で、振動要素５により励起される場合に、それは、非常に低い出口速度で、この出口手段を通って、液滴のスプレーとして、噴出される。出口手段７は、以下でさらに詳細に説明するように、少なくとも１個の出口ノズルおよび少なくとも１個の排出チャネル（これは、空間４を各出口ノズルに連結する）からなる。
【００３９】
図２Ａは、液滴スプレーデバイス１の上面図を示し、ここで、第一基板２は、透明である。分かるように、出口手段７は、その全周に沿って、第二基板３の厚い端部に配置される。出口手段の数は、要件に従って、適合され得る。
【００４０】
図２Ｂで分かるように、これらの出口手段は、このスプレーデバイスの外部に空間４を連結するように、第二基板２に配置され、それゆえ、この液体は、スプレーとして、発射され得るようになる。
【００４１】
この実施形態によれば、各排出チャネル（図３で参照番号８により示す）は、３つの部分（第一部分８ａ、第二部分８ｂおよび第三部分８ｃ）からなる。図３Ａ〜３Ｃで示すように、排出チャネル８の第一部分８ａは、空間４に隣接して配置され、そして直状の側壁を有する。第三部分８ｃもまた、直状の側壁を有する。分かるように、排出チャネル８は、首形状を有し、空間４に隣接した大きいチャネル部分から出口ノズル（これは、参照番号９で示される）に隣接した狭い部分に至る。事実、第一部分８ａの幅ｄ１は、第三部分８ｃの幅ｄ２よりも大きく、第二部分８ｂは、排出チャネル８の幅が第二部分８ｂに沿って幅ｄ１から幅ｄ２へと段々と変わるように、第一部分８ａを第三部分８ｃに連結する。図９は、２つの部分（内部空間４に隣接した広い部分２８ａおよび外部ノズル９に隣接した狭い部分２８ｃ）だけを使用する別の実施形態を示す。両方のチャネル部分２８ａおよび２８ｃもまた、直状の側壁を有する。このような実施形態は、図６で暗示しているように、本出願人名義の同時係属中の欧州特許出願番号０１ １０３ ６５３．０で説明されているように、種々の材料に容易に機械加工され得る。その断面は、容易に想像され得るように、三角形または円形であり得る。この構造は、例えば、それをＫＯＨでエッチングする代わりに、その構造に必要な物質を堆積することにより、またはこの構造をレーザーもしくは微量射出成形などにより機械加工することにより、作製され得る。
【００４２】
出口手段７は、溝部を得るように、第二基板３の厚い端部をエッチング（例えば、湿潤エッチングまたは異方エッチングなど）することにより製造され得、これらの溝部は、排出チャネルの部分８ａ、８ｂおよび８ｃに対応している。
【００４３】
２つの部分を使用するこの実施形態の利点は、広い部分２８ａに対して狭い部分２８ｃの整列を変えることにより、このスプレーデバイスから発射されるスプレーの方向を変化させることが可能となることにある。分かるように、両方の部分を同心様式で整列させることにより、そこを通って発射される液滴は、この出口ノズルに対して垂直に移動する。しかし、もし、この狭い部分が広い部分に対して偏心しているなら、発射される液滴は、この出口ノズルに対して垂直には発射されず、その偏心度に依存する角度で発射される。それゆえ、明らかに、この様式では、段差を付けた部分の配置に起因して、収束または発散して発射したスプレーを得ることが可能となる。
【００４４】
上記様式により本出願人により作製された実施形態では、約７ｃｍ２の実質的に正方形の基板を使用して、この液滴スプレーデバイスにおいて、１側面あたり７１個の出口手段（すなわち、合計２８４個の出口手段）を得ることが可能であった。
【００４５】
図４は、作動中の本発明による液滴スプレーデバイスを示す。分かるように、この液滴スプレーは、このスプレーデバイスの全ての側面から発射され、このデバイスは、側面シューターと呼ばれ得る。
【００４６】
有利なことに、もし、さらに多くの出口手段が必要なら（例えば、より多くの液体をスプレーとして分散すべきとき）、類似の様式で、第一基板２に出口手段を作製することもまた、可能である。図５Ａおよび５Ｂで示すように、第一基板２にある出口手段は、もちろん、いかなる重なりをも回避するために、第二基板３にあるものに対してシフトすべきである。このように、このスプレーデバイスにおいて、さらに高い密度の出口手段が得られ得る。そのように作製した実施形態では、同じ大きさの基板（７ｃｍ２）を使用するとき、５６８個、すなわち、二倍の量の出口手段が得られ得る。
【００４７】
当然のことながら、これらの出口手段は、第二基板３に作製される必要はなく、その代わりに、第二基板２について上で記述したものと同じ様式で、第一基板２で作製され得、または両方で作製され得る。
【００４８】
これらの基板に適切な材料には、ガラス、セラミック、シリコン、高密度重合体、プラスチック、フォトレジスト、金属などが挙げられる。事実、これらの基板に使用される材料は、内部空間４および出口手段７を作製するために、上で言及した様式で、材料をエッチング、機械加工または堆積することを可能とするに適切である必要がある。
【００４９】
別の好ましい実施形態では、図６で示すように、この液滴スプレーデバイスは、実質的に円形であり、例えば、２つの円形ウエハ、またはコンパクトディスクを製造するのに通常使用される２枚のディスクを使用することにより製作され得、これらは、上で説明したように適切に機械加工され、必要に応じて、被覆され、互いに適切に結合される。
【００５０】
この実施形態および他の実施形態は、１個以上の空間４を備え得、各々は、分配されるべき液状物質を含む。各空間は、同一または異なる液状物質を含み得る。もちろん、このような場合、制御コマンドの関数として、該数個の異なる液状物質を個々にまたは一緒に活性化するために、対応する数の振動要素またはアクチュエータが使用される。このようにして、これらの液状物質の組合せにより形成されたスプレーが発射され得る。このような実施形態は、人（例えば、適切な様式で匂いを誘発した映画を見ている人、ある種の製品の匂いを嗅ぐ買い物客または顧客など）に匂いを供給するのに使用され得る。
【００５１】
このデバイスおよび先に記述した小型の円形版はまた、もちろん、他の材料（例えば、金属、フォトレジストなど）で実現され得る。
【００５２】
図７Ａおよび７Ｂは、それぞれ、本発明による液滴スプレーデバイスの改変物を示し、この場合、その入口チャネルは、上で示したように、第一基板２ではなく第二基板３に設けられている。実際、図７Ａで示すように、入口チャネル１６は、外部容器を空間４に連結するために、第二基板３の薄い部分を横切って、設けられている。有利なことに、さらに、緩衝容量（図示せず）が設けられ得、これは、緩衝チャネル１７により、内部空間４に連結される。緩衝チャネル１７は、パッシブバルブであり、これは、この液状物質を、この緩衝空間から内部空間へと移動させる。これを、本出願人名義の同時係属中の欧州特許出願番号０１ １０３ ６５３．０で説明されているものと類似の様式で、行い得る。この内部空間の全容量は、次いで、空間４の容量および緩衝空間の容量に対応する。有利なことに、緩衝チャネルはまた、この入口チャネルと比べて、この基板の反対端で、第二基板３の薄い部分を横切る。
【００５３】
他の改変物では、図７Ｂで示すように、中心に配置された入口チャネル２７が設けられ、これは、第二基板３を横切って、その外部容器を内部空間４に連結する。
【００５４】
さらに好ましい実施形態は、図８で示されている。この実施形態では、このハウジングは、１枚の基板（この例では、第二基板３）だけからなり、ここで、出口手段７は、上で説明した様式で、配置されている。圧電素子５と第二基板３との間には、箔１０のシートまたはリングが設けられている。この箔１０がシート形状である場合には、空間４および出口手段７の両方を密封し、それゆえ、第一基板１の代わりをする。この箔１０がリング形状である場合には、少なくとも、出口手段７を密封し、これに対して、振動要素５が、空間４を密封する。
【００５５】
本発明は、液状物質を噴霧する液滴スプレーデバイスに関し、該デバイスは、ハウジングを備え、該ハウジングは、第一基板、第二基板、および該液状物質を収容するための空間を備え、該第二基板は、該第一基板上に重ね合わされ、そして該空間は、該第一および第二基板で囲まれている。該第一または第二基板の少なくとも一方には、出口手段が配置され、これは、少なくとも１個の出口ノズル（１９）および少なくとも１個の排出チャネル（２０）を含み、該排出チャネルは、該空間（１２）を、各出口ノズル（１９）に連結する。該出口ノズル（１９）を通るスプレーとして該液状物質を噴出するために、該空間（１２）内の液体を振動させるように、振動要素（１８）が配置されている。
【００５６】
本発明によれば、各排出チャネル（２０）は、第一部分（２０ａ）、第二部分（２０ｂ）および第三部分を有し、該第一部分は、該空間（１２）に隣接して配置され、そして直状の側壁を有し、該第三部分もまた、直状の側壁を有し、該第一部分の幅は、該第三部分の幅より大きく、該第二部分は、該排出チャネルの幅が該第一部分の幅から該第三部分の幅へと段々と変わるように、該第一部分を該第三部分に連結する。
【００５７】
本発明の好ましい実施形態を記述したが、現在、その概念を含む他の実施形態が使用され得ることは、当業者に明らかとなる。従って、本発明は、開示した実施形態に限定されるべきではなく、むしろ、添付の特許請求の範囲でのみ限定されるべきであると思われる。
【００５８】
例えば、同じ液滴スプレーデバイスは、呼吸器療法用の医薬品を噴霧するのに使用され得るだけでなく、一般に、例えば、水性またはアルコール性または他の液状物質を使用して、異なる物理化学的組成物を噴霧するのに使用され得る。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】図１は、本発明による液滴スプレーデバイスの第一実施形態の概略断面図である。
【図２Ａ】図２Ａは、第一基板が透明である図１の液滴スプレーデバイスの概略上面図を示す。
【図２Ｂ】図２Ｂは、図１の液滴スプレーデバイスの概略側面図を示す。
【図３Ａ】図３Ａは、そこに出口手段を備えた第二基板の概略詳細断面図を示す。
【図３Ｂ】図３Ｂは、そこに出口手段を備えた第二基板の概略詳細断面図を示す。
【図３Ｃ】図３Ｃは、そこに出口手段を備えた第二基板の概略詳細断面図を示す。
【図４】図４は、作動中の本発明による液滴スプレーデバイスを示す。
【図５Ａ】図５Ａは、本発明による液滴スプレーデバイスの第一および第二基板の両方に出口手段が設けられた代替物の概略断面図を示す。
【図５Ｂ】図５Ｂは、本発明による液滴スプレーデバイスの第一および第二基板の両方に出口手段が設けられた代替物の概略断面図を示す。
【図６】図６は、本発明による円形液滴スプレーデバイスの別の好ましい実施形態を示す。
【図７Ａ】図７Ａは、第二基板に入口チャネルを設けた本発明による液滴スプレーデバイスの改変物を示す。
【図７Ｂ】図７Ｂは、第二基板に入口チャネルを設けた本発明による液滴スプレーデバイスの改変物を示す。
【図８Ａ】図８Ａは、本発明による液滴スプレーデバイスの別の好ましい実施形態の概略断面図を示す。
【図８Ｂ】図８Ｂは、本発明による液滴スプレーデバイスの別の好ましい実施形態の概略断面図を示す。
【図９】図９は、本発明による液滴スプレーデバイスのさらなる実施形態を示す。
【符号の説明】
【００６０】
１ 液滴スプレーデバイス
２ 第一基板
３ 第二基板
４ 空間
５ 振動要素
６ 液状物質を供給する手段
７ 出口手段
８ 排出チャネル
９ 出口ノズル
【特許請求の範囲】
【請求項１】
本実施例に記載のデバイス。
【請求項１】
本実施例に記載のデバイス。
【図１】
【図２Ａ】
【図２Ｂ】
【図３Ａ】
【図３Ｂ】
【図３Ｃ】
【図４】
【図５Ａ】
【図５Ｂ】
【図６】
【図７Ａ】
【図７Ｂ】
【図８Ａ】
【図８Ｂ】
【図９】
【図２Ａ】
【図２Ｂ】
【図３Ａ】
【図３Ｂ】
【図３Ｃ】
【図４】
【図５Ａ】
【図５Ｂ】
【図６】
【図７Ａ】
【図７Ｂ】
【図８Ａ】
【図８Ｂ】
【図９】
【公開番号】特開２００８−１４９３２１（Ｐ２００８−１４９３２１Ａ）
【公開日】平成２０年７月３日（２００８．７．３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−６６８７４（Ｐ２００８−６６８７４）
【出願日】平成２０年３月１４日（２００８．３．１４）
【分割の表示】特願２００２−２５１７９０（Ｐ２００２−２５１７９０）の分割
【原出願日】平成１４年８月２９日（２００２．８．２９）
【出願人】（５０１１６６５２２）マイクロフロー・エンジニアリング・エス エイ (3)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年７月３日（２００８．７．３）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年３月１４日（２００８．３．１４）
【分割の表示】特願２００２−２５１７９０（Ｐ２００２−２５１７９０）の分割
【原出願日】平成１４年８月２９日（２００２．８．２９）
【出願人】（５０１１６６５２２）マイクロフロー・エンジニアリング・エス エイ (3)
【Ｆターム（参考）】
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