異物付着防止装置
【課題】帯状可撓性素材を搬送するローラの軸受けからの発塵や帯状可撓性素材端部からの帯状可撓性素材そのものからの発塵に対して製品への異物付着を抑制することができる異物付着防止装置を提供する。
【解決手段】帯状可撓性素材１２を複数のローラ１４、１４…で搬送する搬送ラインにおける異物付着防止装置１０において、帯状可撓性素材１２の両端位置近傍に帯状可撓性素材１２の搬送方向Ａに沿って立設され、その下端と帯状可撓性素材１２との間に隙間Ｚが形成された一対の仕切り板１８、１８と、一対の仕切り板１８、１８の間に清浄空気を供給して隙間Ｚから排出する気流を形成する清浄空気供給手段１６と、を備えたことを特徴とする。
【解決手段】帯状可撓性素材１２を複数のローラ１４、１４…で搬送する搬送ラインにおける異物付着防止装置１０において、帯状可撓性素材１２の両端位置近傍に帯状可撓性素材１２の搬送方向Ａに沿って立設され、その下端と帯状可撓性素材１２との間に隙間Ｚが形成された一対の仕切り板１８、１８と、一対の仕切り板１８、１８の間に清浄空気を供給して隙間Ｚから排出する気流を形成する清浄空気供給手段１６と、を備えたことを特徴とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルム、薄板状の金属などの帯状可撓性素材を形成又は加工する装置の搬送ラインに備えられ、帯状可撓性素材への異物付着を抑制する異物付着防止装置に係り、特に、帯状可撓性素材からの発塵に対しても異物付着を抑制することができる異物付着防止装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子産業分野における半導体や液晶ディスプレイ、医薬品分野における医薬用包装容器、食品分野における充填容器などの製品を製造するにあたり、フィルムや薄板状の金属などの帯状可撓性素材を搬送しながら形成・加工する工程を有することが多い。この形成・加工工程は、製品の品質確保、異物混入を防止するためクリーンルームやクリーンブースを用いた清浄空間内に設けられている。
【０００３】
図５は、帯状可撓性素材を形成・加工する装置において、帯状可撓性素材２を搬送する複数個のローラ４、４…と帯状可撓性素材２を示す斜視図である。帯状可撓性素材を形成・加工する装置は、製品を連続的に製造するため原材料供給側または製品側の一方または両方に帯状可撓性素材２を巻き取ったロールが配置されており、供給された材料を複数個の配置されたローラ４、４…により搬送しながら、形成工程及び／又は加工工程を通過し最終的に製品となる。特に、加工工程では、帯状可撓性素材表面への薬品塗布や乾燥、洗浄、浸漬、ラミネートなど、製造する製品により様々な加工が行われる。これらの工程における異物混入は、電子分野では製品不良（接触、絶縁不良）となり、医薬品、食品分野ではＧＭＰ（適正製造規範）、ＦＤＡ（米国食品医薬品局）などのガイドラインにより規制の障害が発生する。
【０００４】
異物混入防止のため利用されているクリーンルーム、クリーンブースでは、外部からの異物混入に対してはＨＥＰＡフィルタ吹き出し口からの気流により清浄空気を供給することや製造空間を他室よりも圧力を高めることにより塵境などの異物混入を防ぐことが行われている。従って、形成・加工工程を搬送される帯状可撓性素材に異物が付着するのをいかに防止するかが重要となる。
【０００５】
このような背景から、特許文献１には、走行するフィルムを、液体で濡らした弾性体で連続的に擦った後、該弾性体で擦った面に液体を噴射することで、表面に付着してしまった異物、ゴミ、塵等を除去できるフィルムの除塵装置が提案されている。
【特許文献１】特開２００１−３８３０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、帯状可撓性素材をシート状に形成・加工する装置において、帯状可撓性素材を連続的に搬送するため複数個のローラ４、４…の軸受からの発塵や帯状可撓性素材１端部のこすれ等による帯状可撓性素材そのものからの発塵に対しては塵埃（異物）の除去ができない。そのため、これらの塵埃は、クリーンルーム、クリーンブースから吹出された気流に乗って風下の吸込口向かって流れることになるが、風下にフィルム、薄板状の金属などの帯状可撓性素材がある場合には、製品に異物として付着する問題点があった。
【０００７】
また、特許文献１の除塵装置は、フィルムに付着してしまったゴミ等の異物をフィルムから除去するものであり、本質的な解決策としては、異物が付着しないようにすることが必要である。
【０００８】
本発明は、このような事情により鑑みてなられたもので、帯状可撓性素材を搬送するローラの軸受からの発塵や帯状可撓性素材端部からの帯状可撓性素材そのものからの発塵に対して製品への異物付着を抑制することができる異物付着防止装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に記載の発明は、前記目的を達成するために、帯状可撓性素材を複数のローラで搬送する搬送ラインにおける異物付着防止装置において、前記帯状可撓性素材の両端位置近傍に前記帯状可撓性素材の搬送方向に沿って立設され、その下端と前記帯状可撓性素材との間に隙間が形成された一対の仕切り板と、前記一対の仕切り板の間に清浄空気を供給して前記隙間から排出する気流を形成する清浄空気供給手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１０】
請求項１によれば、帯状可撓性素材の両端位置近傍に、帯状可撓性素材の搬送方向に沿って立設され、その下端と帯状可撓性素材との間に隙間が形成された一対の仕切り板と、一対の仕切り板の間に洗浄空気を供給して隙間から排出する気流を形成する清浄空気供給手段を備えているので、清浄空気供給手段により帯状可撓性素材の中央部近辺に供給された清浄空気は拡散されず、帯状可撓性素材に向かい気流が形成され、帯状可撓性素材の左端部又は右端部と仕切り板との隙間から排出される。この清浄空気の気流により、ローラの軸受から発塵した塵埃等の異物や、帯状可撓性素材端部の搬送時の擦れ等により帯状可撓性素材そのものから発塵した塵埃等の異物が一対の仕切り板の間に侵入することがない。従って、一対の仕切り板で帯状可撓性素材の両端位置近傍を仕切れば、軸受からの発塵による塵埃等の異物や帯状可撓性素材の端が搬送時に擦れて帯状可撓性素材そのものからの発塵による塵埃等の異物が、帯状可撓性素材の中央側である製品部分に付着することを防止できる。よって、帯状可撓性素材を搬送するローラの軸受からの発塵や帯状可撓性素材端部からの帯状可撓性素材そのものからの発塵に対して製品への異物付着を抑制することができる異物付着防止装置を提供することができる。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１の発明において、前記帯状可撓性素材はフィルム又は薄板状金属であることを特徴とする。
【００１２】
請求項２によれば、帯状可撓性素材がフィルム又は薄板状金属である場合に本発明は特に有効である。
【００１３】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２の発明において、前記一対の仕切り板と前記清浄空気供給手段は、前記帯状可撓性素材の下面側にも設けられていることを特徴とする。
【００１４】
請求項３によれば、一対の仕切り板と清浄空気供給手段を、帯状可撓性素材の下面側にも設けているので、帯状可撓性素材の片面に異物付着しても製造上問題のない製品だけでなく、帯状可撓性素材両面の異物付着を抑制することが必要な帯状可撓性素材から製造される製品への異物付着を抑制することができる。
【００１５】
請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のいずれか１の発明において、前記搬送ラインは、前記帯状可撓性素材を形成及び加工する装置に設けられることを特徴とする。
【００１６】
請求項４によれば、搬送ラインが帯状可撓性素材を形成及び加工する装置に設けられているので、この場合、帯状可撓性素材を形成及び加工した製品への異物付着を有効に抑制することができる。
【００１７】
請求項５に記載の発明は、請求項１〜４のいずれか１の発明において、前記洗浄空気は、イオン成分を含む空気であることを特徴とする。
【００１８】
請求項５によれば、洗浄空気がイオン成分を含む空気であることで、帯状可撓性素材の帯電を防ぐことができる。
【発明の効果】
【００１９】
以上説明したように、本発明の異物付着防止装置によれば、帯状可撓性素材を搬送するローラの軸受からの発塵や帯状可撓性素材端部からの帯状可撓性素材そのものからの発塵に対して、製品への異物付着を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、添付図面に従って本発明に係る異物付着防止装置の好ましい実施の形態について詳説する。
【００２１】
図１は本発明の異物付着防止装置を側面から見た概念図であり、図２は本発明の異物付着防止装置の斜視図である。図１及び図２から分かるように、帯状可撓性素材１２は、複数個のローラ１４、１４…によって矢印の方向に搬送されている。尚、この搬送ラインは、縦方向に蛇行している例で示してある。また、搬送ラインにより搬送された帯状可撓性素材１２の上方にはファンフィルタユニット１６が設けられており、高性能フィルタにより空気中の塵埃を除去した清浄空気を吹き出すようになっている。
【００２２】
搬送されている帯状可撓性素材１２の左右両端部の上方には、その下端が帯状可撓性素材１２とローラ１４、１４…に接触しないように搬送ラインの蛇行に沿った形状で、隙間Ｚが形成された一対の仕切り板１８、１８が天井１５に取り付けられている。ＦＦＵ１６から供給される清浄空気Ｘは、この一対の仕切り板１８、１８により拡散されずに帯状可撓性素材１２上面に向かい気流が形成される。帯状可撓性素材１２上面に到達した清浄空気は、帯状可撓性素材１２の端部と仕切り板１８との隙間Ｚに向かう気流となる。尚、仕切り板は、帯状可撓性素材１２が見えるように透明プラスチックであることが好ましい。
【００２３】
帯状可撓性素材１２の端部と仕切り板１８との隙間から排出された清浄空気Ｙは、ローラ１４、１４…の軸受からの発塵した塵埃や帯状可撓性素材１２とローラ１４、１４…との接触により発塵した塵埃を、帯状可撓性素材１２の端部と仕切り板１８との隙間に向かう気流によって吹き飛ばすので、帯状可撓性素材１２に塵埃が付着しない。従って、帯状可撓性素材１２から製造される製品への塵埃の付着を抑制することができる。特に、複数のローラ１４、１４…を支持する軸受からの発塵は、帯状可撓性素材１２の端部と仕切り板１８との隙間から排出された清浄空気Ｙにより、帯状可撓性素材１２の方向に流れないので、効果的に帯状可撓性素材から製造される製品への塵埃の付着を抑制することができる。
【００２４】
また、本発明の別の実施形態を図３及び図４に示す。尚、図３及び図４の異物付着防止装置１０’において図１及び図２の異物付着防止装置１０と同一の部材について、同様の符号を附してその説明を省略する。
【００２５】
図３は本発明の別の実施形態の異物付着防止装置を示す側面から見た概念図であり、図４はこの異物付着防止装置の斜視図である。本実施形態である異物付着防止装置１０’は、異物付着防止装置１０において帯状可撓性素材１２の下面側の異物付着防止も考慮したものである。即ち、帯状可撓性素材１２に対する一対の仕切り板１８、１８の配置は同様であるが、搬送されている帯状可撓性素材１２の左右両端部の下方にも、その上端が帯状可撓性素材１２とローラ１４、１４…に接触しないように一対の仕切り板２２、２２が、搬送ラインの蛇行に沿った形状で隙間Ｚ’を形成して床面１９上に取り付けられている。そして、帯状可撓性素材１２の下方には更に、洗浄空気を送風する吹出口２０、２０…を取り付けている。吹出口は、ダクトや配管などにより形成される。配管の吹出口２０から供給される清浄空気Ｘ’は、一対の仕切り板２２、２２により拡散されずに帯状可撓性素材１２下面に向かい気流が形成される。そして、帯状可撓性素材１２下面に到達した清浄空気は、帯状可撓性素材１２の端部と仕切り板２２との隙間Ｚ’に向かう気流となる。
【００２６】
帯状可撓性素材１２の端部と仕切り板２２との隙間Ｚ’から排出された清浄空気Ｙ’は、ローラ１４、１４…の軸受からの発塵した塵埃や帯状可撓性素材１２とローラ１４、１４…との接触により発塵した塵埃を、帯状可撓性素材１２の端部と仕切り板２２との隙間に向かう気流によって吹き飛ばす。
【００２７】
従って、帯状可撓性素材の上方とともに下方にも一対の仕切り板と清浄空気供給手段を備えているので、帯状可撓性素材１２の両面に塵埃が付着することを防ぐことができ、帯状可撓性素材から製造される製品への塵埃の付着を更に抑制することができる。
【００２８】
また、帯状可撓性素材とローラ１４、１４…が接触搬送されることにより、帯状可撓性素材とローラ１４、１４…間、又は帯状可撓性素材と周囲雰囲気の空気間との摩擦によって発生する静電気による帯状可撓性素材への帯電は、供給洗浄空気にイオン成分を含ませることにより除電できる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の異物付着防止装置の側面から見た概念図
【図２】本発明の異物付着防止装置の斜視図
【図３】本発明の別の実施形態に係る異物付着防止装置の側面から見た概念図
【図４】本発明の別の実施形態に係る異物付着防止装置の斜視図
【図５】帯状可撓性素材を形成・加工する装置におけるローラと帯状可撓性素材を示す斜視図
【符号の説明】
【００３０】
２…帯状可撓性素材、４…ローラ、１０，１０’…異物付着防止装置、１２…帯状可撓性素材、１４…ローラ、１５…天井、１６…ファンフィルタユニット（清浄空気供給手段）、１８…仕切り板、１９…床面、２０…吹出口、２２…仕切り板、Ｘ，Ｘ’…吹出口から供給される清浄空気、Ｙ，Ｙ’…隙間から排出された清浄空気、Ｚ，Ｚ’…隙間
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルム、薄板状の金属などの帯状可撓性素材を形成又は加工する装置の搬送ラインに備えられ、帯状可撓性素材への異物付着を抑制する異物付着防止装置に係り、特に、帯状可撓性素材からの発塵に対しても異物付着を抑制することができる異物付着防止装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子産業分野における半導体や液晶ディスプレイ、医薬品分野における医薬用包装容器、食品分野における充填容器などの製品を製造するにあたり、フィルムや薄板状の金属などの帯状可撓性素材を搬送しながら形成・加工する工程を有することが多い。この形成・加工工程は、製品の品質確保、異物混入を防止するためクリーンルームやクリーンブースを用いた清浄空間内に設けられている。
【０００３】
図５は、帯状可撓性素材を形成・加工する装置において、帯状可撓性素材２を搬送する複数個のローラ４、４…と帯状可撓性素材２を示す斜視図である。帯状可撓性素材を形成・加工する装置は、製品を連続的に製造するため原材料供給側または製品側の一方または両方に帯状可撓性素材２を巻き取ったロールが配置されており、供給された材料を複数個の配置されたローラ４、４…により搬送しながら、形成工程及び／又は加工工程を通過し最終的に製品となる。特に、加工工程では、帯状可撓性素材表面への薬品塗布や乾燥、洗浄、浸漬、ラミネートなど、製造する製品により様々な加工が行われる。これらの工程における異物混入は、電子分野では製品不良（接触、絶縁不良）となり、医薬品、食品分野ではＧＭＰ（適正製造規範）、ＦＤＡ（米国食品医薬品局）などのガイドラインにより規制の障害が発生する。
【０００４】
異物混入防止のため利用されているクリーンルーム、クリーンブースでは、外部からの異物混入に対してはＨＥＰＡフィルタ吹き出し口からの気流により清浄空気を供給することや製造空間を他室よりも圧力を高めることにより塵境などの異物混入を防ぐことが行われている。従って、形成・加工工程を搬送される帯状可撓性素材に異物が付着するのをいかに防止するかが重要となる。
【０００５】
このような背景から、特許文献１には、走行するフィルムを、液体で濡らした弾性体で連続的に擦った後、該弾性体で擦った面に液体を噴射することで、表面に付着してしまった異物、ゴミ、塵等を除去できるフィルムの除塵装置が提案されている。
【特許文献１】特開２００１−３８３０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、帯状可撓性素材をシート状に形成・加工する装置において、帯状可撓性素材を連続的に搬送するため複数個のローラ４、４…の軸受からの発塵や帯状可撓性素材１端部のこすれ等による帯状可撓性素材そのものからの発塵に対しては塵埃（異物）の除去ができない。そのため、これらの塵埃は、クリーンルーム、クリーンブースから吹出された気流に乗って風下の吸込口向かって流れることになるが、風下にフィルム、薄板状の金属などの帯状可撓性素材がある場合には、製品に異物として付着する問題点があった。
【０００７】
また、特許文献１の除塵装置は、フィルムに付着してしまったゴミ等の異物をフィルムから除去するものであり、本質的な解決策としては、異物が付着しないようにすることが必要である。
【０００８】
本発明は、このような事情により鑑みてなられたもので、帯状可撓性素材を搬送するローラの軸受からの発塵や帯状可撓性素材端部からの帯状可撓性素材そのものからの発塵に対して製品への異物付着を抑制することができる異物付着防止装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に記載の発明は、前記目的を達成するために、帯状可撓性素材を複数のローラで搬送する搬送ラインにおける異物付着防止装置において、前記帯状可撓性素材の両端位置近傍に前記帯状可撓性素材の搬送方向に沿って立設され、その下端と前記帯状可撓性素材との間に隙間が形成された一対の仕切り板と、前記一対の仕切り板の間に清浄空気を供給して前記隙間から排出する気流を形成する清浄空気供給手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１０】
請求項１によれば、帯状可撓性素材の両端位置近傍に、帯状可撓性素材の搬送方向に沿って立設され、その下端と帯状可撓性素材との間に隙間が形成された一対の仕切り板と、一対の仕切り板の間に洗浄空気を供給して隙間から排出する気流を形成する清浄空気供給手段を備えているので、清浄空気供給手段により帯状可撓性素材の中央部近辺に供給された清浄空気は拡散されず、帯状可撓性素材に向かい気流が形成され、帯状可撓性素材の左端部又は右端部と仕切り板との隙間から排出される。この清浄空気の気流により、ローラの軸受から発塵した塵埃等の異物や、帯状可撓性素材端部の搬送時の擦れ等により帯状可撓性素材そのものから発塵した塵埃等の異物が一対の仕切り板の間に侵入することがない。従って、一対の仕切り板で帯状可撓性素材の両端位置近傍を仕切れば、軸受からの発塵による塵埃等の異物や帯状可撓性素材の端が搬送時に擦れて帯状可撓性素材そのものからの発塵による塵埃等の異物が、帯状可撓性素材の中央側である製品部分に付着することを防止できる。よって、帯状可撓性素材を搬送するローラの軸受からの発塵や帯状可撓性素材端部からの帯状可撓性素材そのものからの発塵に対して製品への異物付着を抑制することができる異物付着防止装置を提供することができる。
【００１１】
請求項２に記載の発明は、請求項１の発明において、前記帯状可撓性素材はフィルム又は薄板状金属であることを特徴とする。
【００１２】
請求項２によれば、帯状可撓性素材がフィルム又は薄板状金属である場合に本発明は特に有効である。
【００１３】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２の発明において、前記一対の仕切り板と前記清浄空気供給手段は、前記帯状可撓性素材の下面側にも設けられていることを特徴とする。
【００１４】
請求項３によれば、一対の仕切り板と清浄空気供給手段を、帯状可撓性素材の下面側にも設けているので、帯状可撓性素材の片面に異物付着しても製造上問題のない製品だけでなく、帯状可撓性素材両面の異物付着を抑制することが必要な帯状可撓性素材から製造される製品への異物付着を抑制することができる。
【００１５】
請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のいずれか１の発明において、前記搬送ラインは、前記帯状可撓性素材を形成及び加工する装置に設けられることを特徴とする。
【００１６】
請求項４によれば、搬送ラインが帯状可撓性素材を形成及び加工する装置に設けられているので、この場合、帯状可撓性素材を形成及び加工した製品への異物付着を有効に抑制することができる。
【００１７】
請求項５に記載の発明は、請求項１〜４のいずれか１の発明において、前記洗浄空気は、イオン成分を含む空気であることを特徴とする。
【００１８】
請求項５によれば、洗浄空気がイオン成分を含む空気であることで、帯状可撓性素材の帯電を防ぐことができる。
【発明の効果】
【００１９】
以上説明したように、本発明の異物付着防止装置によれば、帯状可撓性素材を搬送するローラの軸受からの発塵や帯状可撓性素材端部からの帯状可撓性素材そのものからの発塵に対して、製品への異物付着を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、添付図面に従って本発明に係る異物付着防止装置の好ましい実施の形態について詳説する。
【００２１】
図１は本発明の異物付着防止装置を側面から見た概念図であり、図２は本発明の異物付着防止装置の斜視図である。図１及び図２から分かるように、帯状可撓性素材１２は、複数個のローラ１４、１４…によって矢印の方向に搬送されている。尚、この搬送ラインは、縦方向に蛇行している例で示してある。また、搬送ラインにより搬送された帯状可撓性素材１２の上方にはファンフィルタユニット１６が設けられており、高性能フィルタにより空気中の塵埃を除去した清浄空気を吹き出すようになっている。
【００２２】
搬送されている帯状可撓性素材１２の左右両端部の上方には、その下端が帯状可撓性素材１２とローラ１４、１４…に接触しないように搬送ラインの蛇行に沿った形状で、隙間Ｚが形成された一対の仕切り板１８、１８が天井１５に取り付けられている。ＦＦＵ１６から供給される清浄空気Ｘは、この一対の仕切り板１８、１８により拡散されずに帯状可撓性素材１２上面に向かい気流が形成される。帯状可撓性素材１２上面に到達した清浄空気は、帯状可撓性素材１２の端部と仕切り板１８との隙間Ｚに向かう気流となる。尚、仕切り板は、帯状可撓性素材１２が見えるように透明プラスチックであることが好ましい。
【００２３】
帯状可撓性素材１２の端部と仕切り板１８との隙間から排出された清浄空気Ｙは、ローラ１４、１４…の軸受からの発塵した塵埃や帯状可撓性素材１２とローラ１４、１４…との接触により発塵した塵埃を、帯状可撓性素材１２の端部と仕切り板１８との隙間に向かう気流によって吹き飛ばすので、帯状可撓性素材１２に塵埃が付着しない。従って、帯状可撓性素材１２から製造される製品への塵埃の付着を抑制することができる。特に、複数のローラ１４、１４…を支持する軸受からの発塵は、帯状可撓性素材１２の端部と仕切り板１８との隙間から排出された清浄空気Ｙにより、帯状可撓性素材１２の方向に流れないので、効果的に帯状可撓性素材から製造される製品への塵埃の付着を抑制することができる。
【００２４】
また、本発明の別の実施形態を図３及び図４に示す。尚、図３及び図４の異物付着防止装置１０’において図１及び図２の異物付着防止装置１０と同一の部材について、同様の符号を附してその説明を省略する。
【００２５】
図３は本発明の別の実施形態の異物付着防止装置を示す側面から見た概念図であり、図４はこの異物付着防止装置の斜視図である。本実施形態である異物付着防止装置１０’は、異物付着防止装置１０において帯状可撓性素材１２の下面側の異物付着防止も考慮したものである。即ち、帯状可撓性素材１２に対する一対の仕切り板１８、１８の配置は同様であるが、搬送されている帯状可撓性素材１２の左右両端部の下方にも、その上端が帯状可撓性素材１２とローラ１４、１４…に接触しないように一対の仕切り板２２、２２が、搬送ラインの蛇行に沿った形状で隙間Ｚ’を形成して床面１９上に取り付けられている。そして、帯状可撓性素材１２の下方には更に、洗浄空気を送風する吹出口２０、２０…を取り付けている。吹出口は、ダクトや配管などにより形成される。配管の吹出口２０から供給される清浄空気Ｘ’は、一対の仕切り板２２、２２により拡散されずに帯状可撓性素材１２下面に向かい気流が形成される。そして、帯状可撓性素材１２下面に到達した清浄空気は、帯状可撓性素材１２の端部と仕切り板２２との隙間Ｚ’に向かう気流となる。
【００２６】
帯状可撓性素材１２の端部と仕切り板２２との隙間Ｚ’から排出された清浄空気Ｙ’は、ローラ１４、１４…の軸受からの発塵した塵埃や帯状可撓性素材１２とローラ１４、１４…との接触により発塵した塵埃を、帯状可撓性素材１２の端部と仕切り板２２との隙間に向かう気流によって吹き飛ばす。
【００２７】
従って、帯状可撓性素材の上方とともに下方にも一対の仕切り板と清浄空気供給手段を備えているので、帯状可撓性素材１２の両面に塵埃が付着することを防ぐことができ、帯状可撓性素材から製造される製品への塵埃の付着を更に抑制することができる。
【００２８】
また、帯状可撓性素材とローラ１４、１４…が接触搬送されることにより、帯状可撓性素材とローラ１４、１４…間、又は帯状可撓性素材と周囲雰囲気の空気間との摩擦によって発生する静電気による帯状可撓性素材への帯電は、供給洗浄空気にイオン成分を含ませることにより除電できる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の異物付着防止装置の側面から見た概念図
【図２】本発明の異物付着防止装置の斜視図
【図３】本発明の別の実施形態に係る異物付着防止装置の側面から見た概念図
【図４】本発明の別の実施形態に係る異物付着防止装置の斜視図
【図５】帯状可撓性素材を形成・加工する装置におけるローラと帯状可撓性素材を示す斜視図
【符号の説明】
【００３０】
２…帯状可撓性素材、４…ローラ、１０，１０’…異物付着防止装置、１２…帯状可撓性素材、１４…ローラ、１５…天井、１６…ファンフィルタユニット（清浄空気供給手段）、１８…仕切り板、１９…床面、２０…吹出口、２２…仕切り板、Ｘ，Ｘ’…吹出口から供給される清浄空気、Ｙ，Ｙ’…隙間から排出された清浄空気、Ｚ，Ｚ’…隙間
【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状可撓性素材を複数のローラで搬送する搬送ラインにおける異物付着防止装置において、
前記帯状可撓性素材の両端位置近傍に前記帯状可撓性素材の搬送方向に沿って立設され、
その下端と前記帯状可撓性素材との間に隙間が形成された一対の仕切り板と、
前記一対の仕切り板の間に清浄空気を供給して前記隙間から排出する気流を形成する清浄空気供給手段と、を備えたことを特徴とする異物付着防止装置。
【請求項２】
前記帯状可撓性素材はフィルム又は薄板状金属であることを特徴とする請求項１の異物付着防止装置。
【請求項３】
前記一対の仕切り板と前記清浄空気供給手段は、前記帯状可撓性素材の下面側にも設けられていることを特徴とする請求項１又は２の異物付着防止装置。
【請求項４】
前記搬送ラインは、前記帯状可撓性素材を形成及び加工する装置に設けられることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１の異物付着防止装置。
【請求項５】
前記洗浄空気は、イオン成分を含む空気であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１の異物付着防止装置。
【請求項１】
帯状可撓性素材を複数のローラで搬送する搬送ラインにおける異物付着防止装置において、
前記帯状可撓性素材の両端位置近傍に前記帯状可撓性素材の搬送方向に沿って立設され、
その下端と前記帯状可撓性素材との間に隙間が形成された一対の仕切り板と、
前記一対の仕切り板の間に清浄空気を供給して前記隙間から排出する気流を形成する清浄空気供給手段と、を備えたことを特徴とする異物付着防止装置。
【請求項２】
前記帯状可撓性素材はフィルム又は薄板状金属であることを特徴とする請求項１の異物付着防止装置。
【請求項３】
前記一対の仕切り板と前記清浄空気供給手段は、前記帯状可撓性素材の下面側にも設けられていることを特徴とする請求項１又は２の異物付着防止装置。
【請求項４】
前記搬送ラインは、前記帯状可撓性素材を形成及び加工する装置に設けられることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１の異物付着防止装置。
【請求項５】
前記洗浄空気は、イオン成分を含む空気であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１の異物付着防止装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【公開番号】特開２００７−１８５６４０（Ｐ２００７−１８５６４０Ａ）
【公開日】平成１９年７月２６日（２００７．７．２６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−７７２６（Ｐ２００６−７７２６）
【出願日】平成１８年１月１６日（２００６．１．１６）
【出願人】（０００００５４５２）株式会社日立プラントテクノロジー (1,767)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年７月２６日（２００７．７．２６）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年１月１６日（２００６．１．１６）
【出願人】（０００００５４５２）株式会社日立プラントテクノロジー (1,767)
【Ｆターム（参考）】
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