【課題】システム全体の構造の簡略化、小型化を図り、ワーク表裏面の水分を確実に除去して歩留まりや生産性の向上を可能にする。
【解決手段】高圧エアを噴射ノズルからワークＷの一面方向に噴射させる噴射ユニット２０２Ａ，２０２Ｂ、及び、ワークＷの一面に到達した高圧エアを吸引ノズルから吸引する吸引ユニット２０３Ａ，２０３Ｂを有する水切りヘッド２００Ａ，２００Ｂと、高圧エアを噴射ユニットに供給する供給側エア流路１０３，１０６Ａ，１０６Ｂと、吸引した高圧エアを回収する回収側エア流路１０７Ａ，１０７Ｂ，１０８と、ワークＷを搬送する手段と、を備え、ワークＷが水切りヘッド２００Ａ，２００Ｂの近傍を順次通過するように搬送することにより、高圧エアによってワークＷの表裏面から引き剥がされた水分を高圧エアと共に、前記吸引ノズル及び回収側エア流路を介して回収する。 （もっと読む）

【課題】洗浄力を高め、かつ、耐久性の低下を抑止することが可能な洗浄ブラシ及び洗浄装置を提供する。
【解決手段】銅または銅合金からなる銅条の表面を洗浄する際に用いる洗浄ブラシであって、円筒形のブラシ軸２と、ブラシ軸２の外周面に設けられたチャンネル３と、チャンネル３に保持され、ブラシ軸２の外周面から径方向外側に突出するように設けられたブラシ毛４と、を備え、ブラシ毛４は、直径が０．１ｍｍ以下の内側ブラシ毛４ａと、内側ブラシ毛４ａを両側から挟み込むように設けられる直径が０．２ｍｍ以上の外側ブラシ毛４ｂと、からなる。 （もっと読む）

【課題】フィルム上に付着している異物を効率よく除去することができる方法を提供することである。
【解決手段】非接触型異物除去装置１５と、接触型異物除去装置１６とを含む異物除去領域１０，１１に、フィルム１を非接触型異物除去装置１５および接触型異物除去装置１６の順に通過させ、フィルム１上に付着している異物を除去する方法である。異物除去領域１０，１１は、非接触型異物除去装置１５よりもフィルム１の搬送方向上流側に位置している除電装置１７ａ，１７ｂを、さらに含む。 （もっと読む）

【課題】初期段階から油の除去性能が高く、慣らし使用を必要とすることなく、高いグリップ力を有するロール、及びそのロールを搭載した洗浄装置を提供する。
【解決手段】鋼板、非鉄金属板、樹脂板、あるいはフィルム状の被洗浄面に付着した油分を除去、搾取、洗浄する為のロール１において、前記ロール１は、ロール部２及び台座３を有し、前記ロール部２は不織布１１からなる概円環状の複数枚のロール片４が前記台座３の外周に積層されて形成されてあり、前記不織布１１は複数本の繊維１２及び前記繊維１２を結合する結合剤１３からなり、前記結合剤１３は高分子弾性体と、炭化水素系界面活性剤、フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤のうち少なくとも１種類以上の界面活性剤を有するものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、バリや切削くずなどの不要変形部が発生する被処理材料に対して、プラズマ処理、放電処理および衝撃波処理の少なくとも１つを施すことにより、被処理材料の表面を洗浄して、被処理材料表面に対する加工油のぬれ性を向上させ、加工油を薄く均一に塗布して、剪断加工または曲げ加工による金型および被処理材料の摩耗を抑制することができたり、加工後に生じたバリや切削くずなどを除去して、不要変形部の無い高品質な製品を得ることを可能とする加工方法および加工装置を提供することを目的とする。
【解決手段】不要変形部が発生する被処理材料に対して加工を施す加工方法において、前記被処理材料にプラズマ処理、放電処理および衝撃波処理の少なくとも１つを施すことを特徴とする加工方法。 （もっと読む）

【課題】洗浄後の欠陥の発生が極めて少ないフォトマスク関連基板を得られる洗浄方法及び洗浄装置提供することを目的とする。
【解決手段】フォトマスク関連基板の洗浄方法において、少なくとも、前記フォトマスク関連基板の表面の異物をあらかじめ除去する前処理工程と、該前処理工程の後に前記フォトマスク関連基板にＵＶ光を照射するＵＶ照射工程と、該ＵＶ照射工程の後に前記フォトマスク関連基板を湿式で洗浄する湿式洗浄工程とを行うことを特徴とするフォトマスク関連基板の洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】回収された廃プラスチックシートの束を搬送しながら確実に平面状に広げることのできる処理機構を提案すること。
【解決手段】廃プラスチックシートの処理機構２０では、巻き取り束２７の状態から引き出された廃プラスチックシート２３の表面中央部分に沿ってノズル３６から水を流すことにより水流３７を形成し、廃プラスチックシート２３の中央部分をガイドベース２２の上面２２ａに押し付けた状態で搬送する。この結果、廃プラスチックシート２３は、水流３７によってセンタリングされながら左ベルトコンベアー３１、右ベルトコンベアー３２によって搬送されるので、これらのベルトコンベアー３１、３２によって確実に左右に平面状に押し広げられる。 （もっと読む）

【課題】長尺フィルムに付着している異物をフィルムを高速で搬送しながら除去する高い異物除去能力を有するフィルムクリーニング装置を提供する。
【解決手段】フィルムを搬送する搬送ローラーと、搬送ローラーにフィルムを接触させるフィルム接触ローラーＡと、搬送ローラーにフィルムを接触させながら搬送し、フィルム表面に付着した異物を転写・保持する異物除去ベルトと、異物除去ベルトを搬送ローラーに巻きつけるように支持する支持ローラーＡと、異物除去ベルトを搬送ローラーに押圧する押さえローラーＡと、異物除去ベルトに転写された異物を転写・保持する粘着ローラーと、異物除去ベルトを粘着ローラーに巻きつけるように支持する支持ローラーＢと、異物除去ベルトを粘着ローラーに押圧する押さえローラーＢと、粘着ローラーに転写された異物を転写・保持する強粘着ローラーと、を備えたことを特徴とするフィルムクリーニング装置。 （もっと読む）

【課題】プラズマ処理により、被処理物を覆う被覆を被処理物表面の酸化を抑制しつつ選択的かつ高速で除去する。
【解決手段】被覆除去装置１は、大気圧プラズマ照射部１５を備える。大気圧プラズマ照射部１５は、不活性ガスの誘導結合型プラズマからなる一次プラズマ４６を吹き出す放電管３３と、第２の不活性ガスと反応性ガスの混合ガス領域と一次プラズマ４６が衝突されることによりプラズマ化した混合ガスから成る二次プラズマ４７を発生する混合器４１を備える。二次プラズマ４７がマスク２２を介して線材２に照射され、反応熱により被覆４が炭化する。炭化した被覆は研磨部１７Ａ，１７Ｂで除去される。 （もっと読む）

【課題】基板を洗浄する回転ブラシに、汚染粒子が静電吸着されることを防止することができる基板洗浄装置、基板洗浄方法、表示装置の製造装置及び表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】基板洗浄装置１は、基板９を搬送する搬送機構２と、基板９との摩擦によりマイナスに帯電する材料で形成され、基板９に接触して回転することにより基板９に付着している汚染粒子を除去する回転ブラシ３と、マイナスに帯電している微小気泡を含む洗浄液を回転ブラシ３に向けて供給する第１洗浄液供給部６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】紙粉のような粉状の塵だけでなく、糸状、帯状などの長め、或いは大きめの塵でも難なく吸引除去することができる除塵装置を提供する。
【解決手段】一方向に走行する平面状のワーク１の表面に付着した塵を除去する装置であって、真空吸引装置と通気しておりワーク１との対向面が開口４している吸気室６と、該吸気室６内に上記ワーク１と摺接可能に設けられる回転ブラシ７と、該回転ブラシ７を回転駆動するモータ１０と、先端部が該回転ブラシ７の刷毛９間に侵入するように該吸気室６内に設けられ該回転ブラシ７に付着した塵を梳き取る梳櫛１３とからなる。 （もっと読む）

【課題】 デバイスに薬剤が充填された高活性医薬品を安全且つ安定的に生産することのできる医薬品の製造装置を提供する。
【解決手段】 アイソレータ１１４内に充填装置１８等が備えられると共に、スリーブスーツ１２０で先端部を除いて気密に覆われたロボット７８等でデバイス７６が移送される。そのため、薬剤充填などに人が関与しないので、高活性医薬品が取り扱われる場合にも安全に医薬品を製造することができる。また、ロボット７８等によるデバイス７６の移送はピックアンドプレイスで行われるため、デバイス７６の転倒や破損が生じない。しかも、ロボット７８等は、関節を含む基台４０側はスリーブスーツ１２０によって気密に覆われているので、その関節等からの発塵によるアイソレータ１１４内の汚染が抑制されると共に、薬剤やこれを洗い流すための洗浄液がロボット７８等に付着してこれを腐食させることが抑制される。 （もっと読む）

【課題】マイクロ波の損失を極力低減し、高密度プラズマを効率良く生成できるプラズマ生成装置を提供する。
【解決手段】プラズマ生成装置１００は、マイクロ波を発生させるマイクロ波発生装置２１と、マイクロ波発生装置２１に接続され、マイクロ波の伝送方向に長尺をなすとともに、該伝送方向に直交する方向の断面が矩形をした中空状の矩形導波管２２と、矩形導波管２２に接続されてその内部へ処理ガスを供給するガス供給装置２３と、矩形導波管２２の一部分であって、内部で生成したプラズマを外部で放出するアンテナ部４０とを備えている。アンテナ部４０は、その断面において短辺をなす壁４０ａに１又は複数のスロット孔４１を有しており、大気圧状態の矩形導波管２２内に供給された処理ガスをマイクロ波によってプラズマ化し、スロット孔４１から外部の被処理体へ向けて放出する。 （もっと読む）

【課題】メンテナンス頻度を低減させながらも、除液効率を高く維持する。
【解決手段】洗浄されたコインの洗浄液を除去するコイン除液装置５０であって、コインを挟み込んで搬送する柔軟性ロール８２によって、コインの表面に付着した洗浄液を除去する際に、掻き上げ手段７０によって、この柔軟性ロール８２の表面を長手方向に亘って掻くことで、柔軟性ロール８２の表面の油分をロール表面から浮き上がらせるようにした。 （もっと読む）

【課題】優れた耐熱性と吸液性を有するロール、及びそのロールを搭載した洗浄装置を提供する。
【解決手段】鋼板、非鉄金属板、樹脂板、あるいはフィルム状の被洗浄面に付着した水分、油分、あるいは薬品成分等の液体を除去、搾取、洗浄する為のロール１において、前記ロール１はロール部２及び台座３を有し、前記台座３は前記ロール部２が外周に形成される本体部７、及び前記本体部７の両端に連接される継ぎ手部８及び継ぎ手部９を有し、前記ロール部２は不織布からなる複数の概円環状のロール片４ａ、４ｂが積層されて形成されてあると共に、前記不織布は多数の極細繊維が束状に形成された繊維束が立体的に絡み合った繊維集合体からなるものである。 （もっと読む）

【課題】薄膜の表面に付着された塵埃を簡単な構成で確実に剥離して除去できる薄膜表面の塵埃除去装置を提供する。
【解決手段】薄膜の走行を案内する複数のローラと、走行途中の薄膜の表面に付着した塵埃を除去する塵埃除去部を備えた薄膜表面の塵埃除去装置において、前記塵埃除去部は前記ローラの間を走行する薄膜を伸縮させる伸縮付与手段と、伸縮によって薄膜から剥離した塵埃を捕捉する捕捉手段を備え、伸縮付与手段は、薄膜の走行を案内する一部のローラを振動させて薄膜を伸縮させる振動子を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】洗浄の際に容器内からの流出液が飛び散ることを防止できる洗浄装置を提供する。
【解決手段】容器処理装置は、容器ａ内を洗浄する洗浄装置である洗浄手段６を備える。洗浄手段６は、昇降体51と、この昇降体51とともに昇降し昇降体51が上位置に位置した状態時に容器ａを保持したまま回動する容器保持体53とを有する。洗浄手段６は、昇降体51が下位置に位置した状態時に容器保持体53で保持した倒立姿勢の容器ａ内に向けて洗浄液を噴射する洗浄ノズル54を有する。洗浄手段６は、洗浄ノズル54による洗浄の際に、倒立姿勢の容器ａ内から流出する流出液を受け入れこの受け入れた流出液を流して排出する排出用流路55を有する。 （もっと読む）

【課題】ワークの細部まで清浄に、且つ、効率よく乾燥させる乾燥装置を提供する。
【解決手段】乾燥装置１は、乾燥室５の側壁９５に設けた投入口１０から投入されたワークＷを、複数の貫通孔を有する底板を備えるバケット４０の底板上に載置した状態で、所定の間隔をおいて無限軌道帯に一列に吊るして複数配置させ、水平移動、下降移動、送り方向とは反対方向へ水平移動、上昇移動の順に該バケットを搬送させて、側壁９５に設けた排出口２０からワークＷを排出させる。ワークＷのバケット４０Ａへの投入に際して、底板のワーク出入口側が高所となるようにバケット４０Ａを傾斜させる投入用バケット傾斜手段と、ワークＷのバケット４０Ｂからの排出に際して、底板のワーク出入口側が低所となるようにバケット４０Ｂを傾斜させる排出用バケット傾斜手段と、乾燥室５の底部からバケット４０の底面に向かって熱風を送る送風手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】フィルム状又はシート状に成形された基材に層をなした状態で付着した付着物を有効に剥離新規な付着物の剥離装置を提供する。
【解決手段】被処理物が投入される投入口１１と、付着物が剥離された基材が排出される基材排出路６９とにそれぞれ連通してなり内部において上記被処理物が収容される処理槽３１と、この処理槽３１内に配置され、駆動モータ２１により回転駆動する回転軸７２と、複数の回転羽根８１・・・８４と、上記処理槽３１に多数形成され上記付着物が通過する開口３２ｄと、を備え、上記処理槽３１の下方には、該処理槽３１の長さ方向に亘って複数の受け部材１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃが連続して配置され、これらの受け部材の下端には該受け部材と連通してなる吸引ホース１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃがそれぞれ形成され、吸引ホース１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃには、基端が吸引装置１１２に接続された接続パイプ１７の一端が接続されてなる。 （もっと読む）

【課題】 ロールの回転中にロール片が回転ずれを起こすことを防ぐと共に、安価に製作することができ、吸液性に優れ、長期間に亘り均一に液体を除去するロール及びロールに装着されるロールモジュールを提供する。
【解決手段】 鋼板、非鉄金属板、樹脂板、あるいはフィルム状からなる被洗浄面に付着した水分、油分、あるいは薬品成分等の液体を除去、搾取、洗浄する為のロール１の台座３に装着されるロールモジュール７において、前記ロールモジュール７は積層された複数のロール片１４が接合され、一体化されて形成されてあると共に、前記ロール片１４は、少なくとも１本以上の天然繊維及び／又は半合成繊維１９を有する不織布にて形成されてある。 （もっと読む）