【課題】システム全体の構造の簡略化、小型化を図り、ワーク表裏面の水分を確実に除去して歩留まりや生産性の向上を可能にする。
【解決手段】高圧エアを噴射ノズルからワークＷの一面方向に噴射させる噴射ユニット２０２Ａ，２０２Ｂ、及び、ワークＷの一面に到達した高圧エアを吸引ノズルから吸引する吸引ユニット２０３Ａ，２０３Ｂを有する水切りヘッド２００Ａ，２００Ｂと、高圧エアを噴射ユニットに供給する供給側エア流路１０３，１０６Ａ，１０６Ｂと、吸引した高圧エアを回収する回収側エア流路１０７Ａ，１０７Ｂ，１０８と、ワークＷを搬送する手段と、を備え、ワークＷが水切りヘッド２００Ａ，２００Ｂの近傍を順次通過するように搬送することにより、高圧エアによってワークＷの表裏面から引き剥がされた水分を高圧エアと共に、前記吸引ノズル及び回収側エア流路を介して回収する。 （もっと読む）

【課題】液晶ディスプレイ基板等の除電対象物の大型化に起因してイオナイザが長尺になった場合でも、１台のチャージプレートモニタによってイオナイザの性能を評価可能とする。
【解決手段】イオナイザにより生成される正負のイオンを測定プレートにより検出し、イオナイザの除電性能及び正負のイオンのイオンバランス性能を評価するチャージプレートモニタであって、所定電圧を予め印加した測定プレートの電位が前記イオンにより所定値まで減衰する減衰時間を測定する機能と、測定プレートの電位に基づいてイオンバランスを測定する機能とを、１台の測定器本体１００に備えてなるチャージプレートモニタにおいて、評価対象であるイオナイザ３００の長さに応じた台数の測定プレート２０１，２０２，２０３を備え、これらの測定プレート２０１，２０２，２０３を、測定器本体１００に対して並列または直列に接続する。 （もっと読む）

【課題】市販品のようなインクカートリッジ内にある気泡を除去分離する気泡除去装置を提供する。
【解決手段】モータ１３により回転駆動される回転体１６と、回転体１６に対して支軸１７により回転可能になされ、太陽歯車１１に沿って回転するように配置される複数個の遊星歯車１８と、インクカートリッジ２０が着脱可能に保持されるインクカートリッジ保持部１９と、を備え、モータ１３が回転体１６を回転させて太陽歯車１１に沿って遊星歯車１８を遊星運動させ、インクカートリッジ２０を自転とともに公転させてインク内にある微細な気泡を浮上させ、インク内から気泡を除去させる気泡除去装置１とした。 （もっと読む）

【課題】従来の温度測定装置は、測定面に対して温度センサが埋め込まれているものの、温度センサの出力を外部に導くケーブルの処理がなされておらず、温度測定装置を挟み込んで用いる用途には適さなかった。
【解決手段】上記課題を解決するために、温度センサと、温度センサを収容する空間を外周部に連通させて形成したワークシリコンウェハと備える温度検出装置を提供する。このような構成を有する温度検出装置は、ウェハを両面から挟み込んで加熱する熱処理工程に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】除塵機能と排気機能とをともに持たせたハンディタイプの除塵システムを提供する。
【解決手段】加圧エア供給源４０から供給される加圧エアに対し、高電圧を印加することによりイオン化してイオン化エアを噴射するイオナイザ１０を用いる除塵システム１であって、加圧エア供給源４０から供給される加圧エアにより真空を発生する真空発生器２２と、真空発生器２２の吸引口に接続される吸引部２３と、を有する真空発生ユニット２０を備える。真空発生ユニット２０は、イオナイザ１０から噴射されたイオン化エアが除塵対象物７０に噴射されて飛散した塵埃を含む排気エアを、真空発生ユニット２０の吸引部２３を通じて吸引する。 （もっと読む）

【課題】比較的安価な部品を用いて構成し、消費電流や放電のおそれを少なくすると共に、出力電圧を低下させずに正負バランス良く高電圧を出力可能とした高電圧発生回路を提供する。
【解決手段】正電圧パルスを出力する第１の倍電圧整流回路９Ｐを備えた正側高電圧発生部１０Ｐと、負電圧パルスを発生する第２の倍電圧整流回路９Ｎを備えた負側高電圧発生部１０Ｎと、を有し、正側及び負側高電圧発生部１０Ｐ，１０Ｎの出力電圧を加算して出力する高電圧発生回路において、倍電圧整流回路９Ｐ，９Ｎ内の最終段のツェナーダイオードとコンデンサとの接続点２１Ｐ，２１Ｎ同士を直接接続し、電流制限抵抗８を介して出力端子２３に接続する。 （もっと読む）

【課題】複数の放電電極の位置に拘わらず印加される電圧の相違を減少させてイオン生成量の均一化を図るイオナイザを提供する。さらに同程度の噴射量・噴射圧・噴射速度の清浄ガスに載せてイオンを噴射するようにしてイオン噴射量の均一化を図るイオナイザを提供する。また、これらのようなイオナイザを複数備えるイオナイザシステムを提供する。
【解決手段】イオナイザの電気系回路には環状配線部１３が含まれるようにして印加電圧を均一にした。また、イオナイザの流体系回路には、上流側流路部から分岐されて複数本の下流側流路部へ接続され、それぞの下流側流路部の本数が同数となるようになされた流路部が含まれるようにして噴射量・噴射圧・噴射速度を均一にした。 （もっと読む）

【課題】イオンバランスの適切な維持を可能にするイオン濃度測定回路と、このイオン濃度測定回路に使用して好適なイオン電流センサを提供する。
【解決手段】コロナ放電により放電電極１０１の周囲に発生したイオンをイオン電流センサにより捕集してその濃度を測定するイオン濃度測定回路において、イオンを捕集してイオン電流が流れると共に放電電極１０１により形成される電界によって誘導電流が流れる第１のセンサＳ１、及び、第１のセンサＳ１とは絶縁して配置され、かつ、前記電界によって導電性のセンサ部Ｓ２ａに誘導電流が流れると共にセンサ部Ｓ２ａがイオンを捕集しないようにセンサ部Ｓ２ａの表面が周囲から絶縁された第２のセンサＳ２、からなるイオン電流センサＳと、第１のセンサＳ１の出力信号と第２のセンサＳ２の出力信号との差を検出するための第１〜第３のアンプＡ１〜Ａ３等を備える。 （もっと読む）

【課題】除塵対象の片側のみ除塵する除塵装置において、除塵ヘッドに対向する簡易な構成の受け部を追加し、隣接する除塵対象間の隙間を通過する噴射室からの洗浄ガスの流れ方向を変えた後に吸引室で吸引するようにして、不要な塵埃の飛散を低減する除塵装置を提供する。
【解決手段】除塵ヘッド１００に対向するように配置され、噴射室１１１の噴射口１１１ａから噴射された洗浄ガスを受けて方向を転換させる受け部２００を備え、隣接する二個の除塵対象１０間の隙間に向けて噴射室１１１の噴射口１１１ａから洗浄ガスを噴射し、受け部２００で方向を転換させた洗浄ガスを上流側吸引室１１２の吸引口１１２ａおよび下流側吸引室１１３の吸引口１１３ａから吸引する除塵装置１とした。 （もっと読む）

【課題】放電電極とワークとの間の距離に応じてイオン化エアの流量を最適値に制御することにより、エアの浪費を防止して省エネルギー化やコストの低減を可能にしたイオナイザを提供する。
【解決手段】放電電極２０２に高電圧を印加してコロナ放電を生じさせ、放電電極２０２の周囲に発生したイオンをエアによりワークＷ’の表面に噴射させてワークＷ’を除電するイオナイザにおいて、放電電極２０２とワークＷ’との間の距離を検出する距離センサ２０４をイオナイザ本体２００Ａに備え、この距離センサ２０４により検出した距離が短いほどエアの流量を少なくするように、制御回路３０３が流量制御弁３０２を制御する。 （もっと読む）