【課題】部品の母材を傷付けることなくパリレン膜を効率よく除去することができる除膜方法を提供する。
【解決手段】成膜装置を用いて成膜対象物に対しパリレン膜を成膜したとき、この成膜装置の構成部品Ｂに付着したパリレン膜Ｐを除去する除膜方法において、パリレン膜Ｐが付着した構成部品Ｂたる防着板の表面にペレット状のドライアイスを吹き付けて衝突させるブラスト工程を含む。このブラスト工程に先立ち、防着板を加熱する加熱工程を更に含ませてもよい。 （もっと読む）

【課題】梱包袋の内面の洗浄を、悪影響を発生させることなく、確実に行う手段を提供すること。
【解決手段】開口部とする一辺を除いて他の周辺部を閉じて形成した樹脂フィルムからなる梱包袋を、下方以外から高清浄の空気を送出する高清浄空間内に開口部を下方に開放して設置し、梱包袋の内部空気を梱包袋外の高清浄空間内の空気と置換し、梱包袋内部の塵埃を除去する。梱包袋の開口部を通した吸引管により内部空気を吸引し、吸引管外の開口部を通して高清浄空間内の空気を自然流入することにより、梱包袋の内部空気を梱包袋外の高清浄空間内の空気で洗浄する。 （もっと読む）

【課題】フォトマスク上に付着した異物を、微小なパターンの破壊を抑制しつつ異物を除去し、かつ洗浄による新たな異物を付着させない洗浄方法を提供すること。
【解決手段】フォトマスクのパターン表面上に付着した異物を除去する洗浄方法であって、異物付着面に、液体状の異物除去材料を塗布して異物を囲む膜を形成する工程と、液体状の異物除去材料を固体化した膜とする工程と、固体化した膜を異物とともに除去する異物除去工程と、異物除去工程後にフォトマスク上に残存する異物除去材料に触媒を接触させる工程と、残存する異物除去材料を触媒により分解、除去する工程と、を有することを特徴とする、フォトマスクの洗浄方法である。 （もっと読む）

【課題】ガラス壜をスターホイールによって円形軌道に沿って搬送している間にガラス壜を自転させ、この自転中にガラス壜の底部から底部のやや上方の壜胴下部までの検査エリアにエアを吹き付けることにより、ガラス壜の検査エリアに付着した水滴を確実に除去することができるガラス壜の水滴除去装置を提供する。
【解決手段】液体が充填された複数のガラス壜１を複数のポケット３ａで支持して円形軌道に沿って搬送するスターホイール３と、スターホイール３により支持されたガラス壜１に接触しながら走行してガラス壜を自転させるベルト１６と、スターホイール３により円形軌道に沿って搬送されるガラス壜１の側方に配置され、ガラス壜１に向けて空気を吹き付けるエアブローユニット２０とを備え、エアブローユニット２０の前面２０ｆは円形軌道に沿うように配置され、エアブローユニット２０の前面２０ｆには空気を噴出する複数のノズル２０ｎが設けられている。 （もっと読む）

【課題】回路基板に付着した洗浄液などの液体の飛散に起因する不具合の発生を抑制することができる基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】基板洗浄装置１は、載置台３と、ブラシ４と、ブラシ支持装置５と、駆動装置６とを備える。載置台３の載置面１６には、回路基板が載置される。ブラシ４は、載置面１６に載置された回路基板の実装面を掃く。駆動装置６は、ブラシ４を往復移動させるための可動部５６を含む。ブラシ支持装置５は、ブラシ４が固定されるフレーム２１と、ブラシ４の接触部４ｃの位置よりも高い位置に配置されフレーム２１を移動方向Ｍ１に移動可能に案内するレール２４Ｌ，２４Ｒと、を含む。可動部５６は、接触部４ｃの位置よりも高い位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】効率良く、ＵＶ樹脂をはがし取ることが可能なドライアイスペレットを用いた洗浄方法を提供する。
【解決手段】固定治具に固定される洗浄対象物に対して、ドライエアーを用いて、ドライアイスペレットを吹き付け、前記対象物の表面を洗浄する。前記ドライエアーは、露点が、−６０°ないし−８０°である。前記ドライエアーと前記ドライアイスペレットを前記対象物の表面に噴射するノズルを有し、前記ノズルと前記対象物の表面との間の間隔は、５ｍｍないし７０ｍｍである。前記ノズルの断面形状は、円形形状、あるいは、楕円形状、あるいは長方形である。前記ドライアイスペレットは、直径が１ｍｍないし３ｍｍで、長さが１ｍｍないし５ｍｍ、より好ましくは、長さが１ｍｍないし５ｍｍである。前記対象物は、製品分解後の液晶表示パネルの上偏光板、タッチパネル、あるいは、フロントウィンドウのいずれかである。 （もっと読む）

【課題】プラズマによる劣化を回避しつつ点火機構を簡略化する。
【解決手段】一方の端部が閉塞板１１ｂで閉塞され、かつ他方の端部が開放端に形成された筒状の筐体１１と、閉塞板１１ｂの内面に筐体１１の筒長方向に沿って延出するように立設されると共に入力した高周波信号Ｓ１を放射する棒状の放射器１４とを備え、閉塞板１１ｂ側から開放端側に向かう気流を筐体１１内に発生させるように筐体１１内にガス供給部４によって放電用ガスＧが供給され、かつ放射器１４が高周波信号Ｓ１を放射している状態において、放射器１４の先端近傍から気流に乗って筐体１１の外方へ伸びるプラズマＰを発生させるプラズマ処理装置１であって、放射器１４との間で放電Ｄを発生させてプラズマＰを点火する点火導体５ａを有する点火機構５を備え、放電電極としての点火導体５ａの先端は、放射器１４の先端よりも気流の上流側に配設されている。 （もっと読む）

【課題】プラズマ処理装置を構成する電極の交換時期を判定することができる交換時期判定装置、交換時期判定方法及びプラズマ処理システムを提供する。
【解決手段】電極に高周波電力を供給し、処理容器に導入したガスから発生させたプラズマにより、該処理容器内の基板上における薄膜をプラズマ処理するプラズマ処理装置を構成する前記電極の交換時期を判定する交換時期判定装置において、前記薄膜をプラズマ処理した処理条件に係る値を積算する積算手段と、プラズマ処理の処理条件に係る値に関して電極の交換時期と対応する積算値が記録された記録手段と、前記積算手段が積算した積算値及び前記記録手段に記録された積算値に基づいて、前記電極の交換時期を判定する判定手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】ローラの表面に押圧体によって清掃布を押し当て、押圧体と清掃布をローラの表面でローラの長手方向に移動させても、清掃布が押圧体からずれることのないローラ清掃装置を実現する。
【解決手段】 清掃布３を供給する供給手段４と、供給された清掃布を巻取る巻取り手段５と、清掃布３をローラ１の外周に押し付ける押圧体８を備え、ローラが回転しているときに、ローラの長手方向に移動可能な清掃ユニット１３を含み、ローラ1を回転させ、清掃ユニット１３を移動させたときに、清掃布3によってローラ外周面に描かれる押圧軌跡に対して、押圧体８が略垂直となる清掃角度で傾いている。 （もっと読む）

【課題】放電により生じた寿命の短いラジカルを減衰を受ける前に被処理体に向けて噴出できるようにし、エネルギ効率の高い表面処理を実現する。
【解決手段】貫通微細孔１５を有する導電性電極６と誘電体被覆１２で被覆された高圧導電体１１との間で放電を生じ、その高圧導電体１１を貫通微細孔１５近傍のガス流速方向上流側に偏って配置することで、放電領域４０を高圧導電体１１の位置に対応して貫通微細孔１５近傍のガス流速方向上流側に限定し、放電により生じた活性粒子を減衰を受ける前にガス流に乗せて効率よく抽出し、貫通微細孔１５の出口から、当該出口に対向して置かれた被処理体（図示せず）に向けて噴射して、被処理体の表面処理を行う。 （もっと読む）

【課題】基板ケースをドライ洗浄で実施するにあたり、被洗浄物が複雑な形状を含む場合であっても洗浄可能な基板ケース洗浄装置を提供する。
【解決手段】シリコンウェハやフォトマスクなどの異物の付着を嫌う基板を保持するドア部２と、前記ドア部２を周囲の雰囲気と遮断することによって保持された基板に異物が付着するのを防止するためのカバー部と、前記ドア部２に設けられたパッキン５であって、前記ドア部２と前記カバー部を密封するためのパッキン５と、を備えている基板ケースの前記ドア部２の洗浄装置１であって、少なくとも前記ドア部を載置し回転させるためのターンユニット３と、前記ドア部２に向って洗浄用ガスを噴出するガス噴出ノズル４と、を備えていることを特徴とする基板ケース洗浄装置１。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物の洗浄機構に加熱源として蒸気を供給する燃料ボイラーと、この燃料ボイラーの蒸気を用いて発電を行う蒸気発電機とからなり、蒸気発電機により発電した電力を、洗浄機構を駆動する少なくとも一部の電力として使用する。そのため、予期せぬ停電等が発生した場合も、蒸気発電機により発電した電力を使用して、洗浄作業を継続したり、洗浄作業を安全に停止させるための処置を行う事が可能となる。
【解決手段】被洗浄物の洗浄機構６に加熱源として蒸気を供給する燃料ボイラー１と、この燃料ボイラー１の蒸気を用いて発電を行う蒸気発電機５とからなり、蒸気発電機５により発電した電力を、洗浄機構６を駆動する少なくとも一部の電力として使用する。 （もっと読む）

【課題】被処理物に形成された酸化膜に対して、酸化膜中に含まれる酸素原子を分離させるために必要な量以上の水素ラジカルを照射して酸化膜を高速に除去するとともに、前記水素ラジカルを含むプラズマの温度を調整して被処理物等へダメージフリーな酸化膜除去方法を提供することを目的とする。
【解決手段】被処理物の表面の原子が酸素原子、窒素原子または硫黄原子のうち少なくとも１種類と結合することにより形成された被膜に対して、プラズマ生成用ガスに電圧を印加することにより発生したプラズマを照射して前記被膜中の前記酸素原子、窒素原子または硫黄原子を除去する。 （もっと読む）

【課題】ノズル本体のノズル孔の内周面に付着した付着物を確実に除去できるようにする。
【解決手段】ノズル保持部３０により、ノズル本体５０の先端部を貯留槽２０内の液媒体に浸漬させ、ノズル本体５０の先端部が貯留槽２０の底面と所定の間隙を存して対向するようにノズル本体５０を保持する。そして、超音波振動子２１によってノズル本体５０を振動させている間に、吸引部４０によってノズル本体５０のノズル孔５０ａを介して液媒体を吸引する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、配管の洗浄に好適な洗浄システムを提供する。
【解決手段】殺菌水製造装置４と、該殺菌水製造装置４により製造された殺菌水を圧送するポンプと、前記殺菌水の流路管３５Ａとを備え、洗浄対象となる配管２の内面を前記殺菌水によって洗浄処理する洗浄システム１であって、配管２を載置する配管ラック７と、該配管ラック７に具備され、配管２の前記殺菌水が供給される側の端部を把持して流路管３５Ａと配管２とを接続する給水側継手５３と、配管２の前記殺菌水の排出側の端部を把持して流路管３９Ａと配管２とを接続する排水側継手５４とが備えられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】角缶の内部形状に沿って移動する噴出ノズルにより、常に一定距離から缶内にエアー又は洗浄液等を噴出させ、缶内全域をくまなく良好に清掃でき、且つ、簡単な構成で噴出ノズルを角缶内に沿って略四角状に回転移動できる。
【解決手段】固定した内歯車（１）の中心位置に、クランク軸（２）の主軸（2a）を回転自在に設け、前記クランク軸（２）の偏心軸（2b）に遊嵌した小歯車（３）を前記内歯車（１）に噛合させ、且つ、前記小歯車（３）に正三角形の噴出ノズル保持盤（４）を固着させ、この噴出ノズル保持盤（４）に、その各三角頂部（4a）から突出する噴出手段（５）を装着し、前記クランク軸（２）の主軸（2a）を駆動する駆動モーター（８）を備え、且つ、前記クランク軸（２）には、その主軸（2a）から偏心軸（2b）にわたって連通する通孔（2c）を穿設し、前記噴出手段（５）と前記偏心軸（2b）と間を管体（７）で管接続する。 （もっと読む）

【課題】短辺部と長辺部とからなる断面偏平状のエキシマランプを複数本並べたエキシマ光照射装置において、装置全体の幅員を小さくして小型化を図り、エキシマランプの短辺部を光出射領域として配列しても、隣接ランプの電極間で短絡することがなく、かつ、隣接ランプからの熱的影響を受けることがないような構造を提供することにある。
【解決手段】各エキシマランプは、長辺部の外表面に電極が形成され、短辺部を光出射領域として配置されるとともに、隣り合うランプの対向する電極同士は同電位であって、かつ、各ランプ間に放熱板が介在していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】耐薬品性、耐油性に優れると共に、長期間に亘りロールが変形しないロールモジュール、及びそのロールモジュールを装着したロールを、安価にて提供する。
【解決手段】鋼板、非鉄金属板、樹脂板、あるいはフィルム状の被洗浄面に付着した水分、油分、あるいは薬品成分等の液体を除去、搾取、洗浄する為のロール１の台座５に装着されるロールモジュール３において、前記ロールモジュール３は、積層された複数のロール片４が接合されてあり、前記ロール片４は少なくとも２種類以上の融点の異なる繊維１８ａ、１８ｂを有する不織布２１にて形成されてあるものである。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化を招くことなくパーティクルやミストの再付着を抑制するフォトマスクの洗浄装置を提供する。
【解決手段】処理槽１２の内側において、壁部２１の周方向に複数の第一案内翼２４を設ける。この第一案内翼２４は、その上端と下端とを周方向にずらしつつ、中央部を周方向に湾曲した曲面状に形成する。これにより、フォトマスク１９の洗浄時に供給され、フォトマスク１９の回転により壁部２１方向に移動したクリーンエアおよび処理液を、第一案内翼２４により下方に導く。また、第一案内翼２４の下方において、壁部２１の周方向に複数の第二案内翼２５を設ける。第二案内翼２５は、第一案内翼２４により導かれたクリーンエアを、処理槽１２の底部２２に接続さている排出管部１５に導く。これにより、パーティクルやミストなどを含むクリーンエアを処理槽１２から排出する。 （もっと読む）