磁気ヘッドサスペンション
【課題】曲げ一次及び捩れ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの変位量を可及的に低減させ得る製造容易な磁気ヘッドサスペンションを提供する。
【解決手段】ディスク面と対向する平板状の本体部及び前記本体部のサスペンション幅方向両端部から前記ディスク面とは離間する方向へ折り曲げられた一対のフランジ部を有するロードビーム部がサスペンション長手方向に関し基端部及びディンプルの間に位置し且つサスペンション幅方向に沿った第１曲げ線並びにサスペンション長手方向に関し前記第１曲げ線及びディンプルの間に位置し且つサスペンション幅方向に沿った第２曲げ線の双方において前記ディスク面に近接する方向へ凸状に折り曲げられている。
【解決手段】ディスク面と対向する平板状の本体部及び前記本体部のサスペンション幅方向両端部から前記ディスク面とは離間する方向へ折り曲げられた一対のフランジ部を有するロードビーム部がサスペンション長手方向に関し基端部及びディンプルの間に位置し且つサスペンション幅方向に沿った第１曲げ線並びにサスペンション長手方向に関し前記第１曲げ線及びディンプルの間に位置し且つサスペンション幅方向に沿った第２曲げ線の双方において前記ディスク面に近接する方向へ凸状に折り曲げられている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク等の記憶媒体に対してデータをリード及び／又はライトする磁気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッドサスペンションに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッドサスペンションには、前記磁気ヘッドスライダを目的トラックの中心に高精度に位置させることが要求される。
【０００３】
即ち、前記磁気ヘッドサスペンションは、ボイスコイルモータ等のアクチュエータによって基端側が直接又は間接的に揺動中心回りに揺動され、これにより、先端側において支持する前記磁気ヘッドスライダを目的トラックの中心に位置させる。
【０００４】
ところで、前記揺動中心回りの揺動に際し前記磁気ヘッドサスペンションが共振すると、前記磁気ヘッドスライダが目的トラックからの大きく変位してしまう。特に、磁気ヘッドサスペンションの振動モードのうち曲げ一次モード及び捩れ一次モードは低周波数帯域に存在する為、これらに起因する前記磁気ヘッドスライダの変位を防止又は低減する必要がある。
【０００５】
例えば、ロードビーム部がディスク面と対向する平板状の本体部と前記本体部のサスペンション幅方向両端部からディスク面とは離間する方向へ折り曲げられた一対のフランジ部とを有している磁気ヘッドサスペンションが提案されている（下記特許文献１〜３参照）。
【０００６】
前記特許文献１〜３に記載の前記磁気ヘッドサスペンションは、前記一対のフランジ部によって前記ロードビーム部の剛性を高め、これにより、捩れ一次モード及び曲げ一次モードの共振周波数を上昇させて捩れ一次モードの共振の発生を可及的に防止している。
【０００７】
さらに、前記特許文献３には、前記一対のフランジ部を備えたロードビーム部を、サスペンション幅方向に沿った基端側曲げ線及び先端側曲げ線の２カ所で曲げることにより、前記磁気ヘッドサスペンションの振動時における前記磁気ヘッドスライダのシーク方向変位量を調整することが開示されている。
【０００８】
しかしながら、前記特許文献３に記載の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記基端側曲げ線及び前記先端側曲げ線での曲げ方向が互いに対して異なっている。即ち、前記先端側曲げ線及び前記基端側曲げ線の一方においては前記ロードビーム部はディスク面から離間する方向へ凸状に折り曲げられ、他方においては前記ロードビーム部はディスク面に近接する方向へ凸状に折り曲げられている。
【０００９】
このように、前記基端側曲げ線及び前記先端側曲げ線での前記ロードビーム部の曲げ方向が互いに対して異なっている為、前記ロードビーム部の曲げ加工が困難であるという問題があった。
【００１０】
特に、前述のように、前記一対のフランジ部はディスク面から離間する方向へ折り曲げられており、従って、このようなフランジ部を有する前記ロードビーム部をサスペンション幅方向に沿った曲げ線においてディスク面から離間する方向へ凸状に折り曲げると、前記フランジ部に歪みが生じ易いという問題もあった。
また、捩れ一次モードの振動に起因する前記磁気ヘッドスライダの変位量及び曲げ一次モードの振動に起因する前記磁気ヘッドスライダの変位量を同時に最小化することについては何れの先行文献にも開示も示唆もされていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００５−０３２３９３号公報
【特許文献２】特開２００８−０２１３７４号公報
【特許文献３】特開２００９−２９５２６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は、前記従来技術に鑑みなされたものであり、ディスク面と対向する平板状の本体部及び前記本体部のサスペンション幅方向両端部から前記ディスク面とは離間する方向へ折り曲げられた一対のフランジ部を有するロードビーム部を備えた磁気ヘッドサスペンションであって、曲げ一次モード及び捩れ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの変位を可及的に抑えることができる製造容易な磁気ヘッドサスペンションの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、前記目的を達成する為に、アクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部と、磁気ヘッドスライダを前記ディスク面に向けて押し付ける為の荷重を発生し得るように前記支持部に連結された荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部を介して前記支持部に支持され且つ前記荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記ロードビーム部及び前記支持部に支持され且つ先端側に前記磁気ヘッドスライダを支持するヘッド搭載領域を有するフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記ロードビーム部は、前記ディスク面と対向する平板状の本体部と前記本体部のサスペンション幅方向両端部から前記ディスク面とは離間する側へ折り曲げられた一対のフランジ部とを有し、前記本体部には、前記ヘッド搭載領域における前記磁気ヘッドスライダを支持する支持面とは反対側の裏面に当接するように前記ディスク面に近接する方向へ突出されたディンプルが設けられ、前記ロードビーム部は、サスペンション長手方向に関し基端部及び前記ディンプルの間に位置し且つサスペンション幅方向に沿った第１曲げ線並びにサスペンション長手方向に関し前記第１曲げ線及び前記ディンプルの間に位置し且つサスペンション幅方向に沿った第２曲げ線の双方において前記ディスク面に近接する方向へ凸状に折り曲げられている磁気ヘッドサスペンションを提供する。
【００１４】
好ましくは、前記第１及び第２曲げ線での曲げ角度は共に３°以下とされる。
【００１５】
好ましくは、前記一対のフランジ部は、基端側から先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線に近接するように傾斜される。
【００１６】
より好ましくは、前記一対のフランジ部は、基端側から先端側へ行く従って第１傾斜角で前記中心線に近接する基端領域と変曲点を挟んで前記基端領域から先端側へ延びる先端領域であって、基端側から先端側へ行くに従って前記第１傾斜角よりも小さい第２傾斜角で前記中心線に近接する先端領域とを含み得る。
【００１７】
好ましくは、前記変曲点は、サスペンション長手方向に関し前記第１曲げ線と同一位置又は前記第１曲げ線より基端側に位置される。
【００１８】
前記種々の形態において、前記支持部の先端エッジ及び前記ディンプルの間のサスペンション長手方向距離をＬ１とした場合に、好ましくは、前記第１曲げ線及び前記支持部の先端エッジの間のサスペンション長手方向距離Ｌ３が０．５３×Ｌ１≦Ｌ３≦０．６７×Ｌ１を満たすように前記第１曲げ線のサスペンション長手方向位置が設定される。
【００１９】
前記種々の形態において、前記支持部の先端エッジ及び前記ディンプルの間のサスペンション長手方向距離をＬ１とした場合に、好ましくは、前記第１曲げ線及び前記第２曲げ線の間のサスペンション長手方向距離Ｌ４がＬ４≦０．１５×Ｌ１を満たすように前記第１曲げ線に対する前記第２曲げ線のサスペンション長手方向位置が設定される。
【００２０】
前記種々の形態において、好ましくは、前記本体部における前記ディスク面とは反対側の面には、前記第１曲げ線より基端側の領域に制振材が固着される。
【発明の効果】
【００２１】
本発明に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、ディスク面と対向する平板状の本体部及び前記本体部のサスペンション幅方向両端部から前記ディスク面とは離間する方向へ折り曲げられた一対のフランジ部を有するロードビーム部がサスペンション幅方向に沿った第１及び第２曲げ線の双方において前記ディスク面に近接する方向へ凸状に折り曲げられているので、前記第１及び第２曲げ線での曲げ角度を大きくすることなく、曲げ一次モードの振動及び捩れ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの変位を可及的に抑えることができる。
【００２２】
さらに、前記ディスク面に近接する方向へ凸状に折り曲げられた前記一対のフランジ部を備えた磁気ヘッドサスペンションにおいて、前記第１及び第２曲げ線の双方での曲げ方向を前記一対のフランジ部での曲げ方向と同一方向、即ち、前記ディスク面に近接する方向へ凸状となる方向としたので、前記第１及び第２曲げ線での折り曲げ構造に起因する前記一対のフランジ部の歪みを防止又は低減できる。
【００２３】
従って、曲げ一次モードの振動及び捩れ一次モードの振動に起因する前記磁気ヘッドスライダの変位を抑え得る磁気ヘッドサスペンションを容易に製造することができる。
【００２４】
前記一対のフランジ部が、基端側から先端側へ行く従って第１傾斜角で前記中心線に近接する基端領域と、変曲点を挟んで前記基端領域から先端側へ延びる先端領域であって、基端側から先端側へ行くに従って前記第１傾斜角よりも小さい第２傾斜角で前記中心線に近接する先端領域とを含むように構成すれば、前記ロードビーム部の先端側におけるサスペンション長手方向中心線回りの慣性モーメントをより効果的に低減でき、これにより、捩れ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの変位及び曲げ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの変位の双方を同時に最小にさせ得る前記第１曲げ線での曲げ角度をより小さくできる。
【００２５】
前記変曲点をサスペンション長手方向に関し前記第１曲げ線と同一位置又は前記第１曲げ線より基端側に位置させれば、捩れ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの変位及び曲げ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの変位の双方を同時に最小にさせ得る前記第１曲げ線での曲げ角度をより小さくできる。
【００２６】
前記ロードビーム部を荷重曲げ部を介して支持する支持部の先端エッジと前記ロードビーム部に形成されるディンプルとの間のサスペンション長手方向距離をＬ１とした場合に、前記第１曲げ線及び前記支持部の先端エッジの間のサスペンション長手方向距離Ｌ３が０．５３×Ｌ１≦Ｌ３≦０．６７×Ｌ１を満たすように前記第１曲げ線のサスペンション長手方向位置を設定することによっても、捩れ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの変位及び曲げ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの変位の双方を同時に最小にさせ得る前記第１曲げ線での曲げ角度をより小さくできる。
【００２７】
前記第１曲げ線及び前記第２曲げ線の間のサスペンション長手方向距離Ｌ４がＬ４≦０．１５×Ｌ１を満たすように前記第１曲げ線に対する前記第２曲げ線のサスペンション長手方向位置が設定することによっても、捩れ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの変位及び曲げ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの変位の双方を同時に最小にさせ得る前記第１曲げ線での曲げ角度をより小さくできる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】図１は、本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図２】図２は、前記実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンションの側面図である。
【図３】図３は、図１におけるIII-III線に沿った断面図である。
【図４】図４は、図２におけるIV部の拡大図である。
【図５】図５は、前記実施の形態の実施例１及び比較例１に対する解析結果を示すグラフであり、第１曲げ線でのロードビーム部の曲げ角度とサスペンションが曲げ一次モード及び捩れ一次モードで振動した際の磁気ヘッドスライダの変位を最小とする為の設定高さとの関係を示している。
【図６】図６は、前記実施の形態の実施例２及び比較例２に対する解析結果を示すグラフであり、第１曲げ線でのロードビーム部の曲げ角度とサスペンションが曲げ一次モード及び捩れ一次モードで振動した際の磁気ヘッドスライダの変位を最小とする為の設定高さとの関係を示している。
【図７】図７は、前記実施の形態の第１変形例の上面図である。
【図８】図８は、前記実施の形態の第２変形例の上面図である。
【図９Ａ】図９Ａは、前記第１及び第２変形例に関する比較例３の平面図である。
【図９Ｂ】図９Ｂは、前記第１及び第２変形例に関する実施例３−１の平面図である。
【図９Ｃ】図９Ｃは、前記第１及び第２変形例に関する実施例３−２の平面図である。
【図９Ｄ】図９Ｄは、前記第１及び第２変形例に関する実施例３−３の平面図である。
【図９Ｅ】図９Ｅは、前記第１及び第２変形例に関する実施例３−４の平面図である。
【図９Ｆ】図９Ｆは、前記第１及び第２変形例に関する実施例３−５の平面図である。
【図１０】図１０は、前記実施例３−１〜３−５及び前記比較例３に対して行った解析結果のグラフであり、捩れ一次モードの振動時及び曲げ一次モードの振動時の双方において磁気ヘッドスライダの変位を最小とさせる第１曲げ線での曲げ角度と変曲点との関係を示している。
【図１１】図１１は、前記第１及び第２変形例に関する実施例４の平面図である。
【図１２】図１２は、前記実施例４に対して行った解析結果のグラフであり、捩れ一次モードの振動時及び曲げ一次モードの振動時の双方において磁気ヘッドスライダの変位を最小とさせる第１曲げ線での曲げ角度と第１及び第２曲げ線間の距離との関係を示している。
【図１３】図１３は、前記第１及び第２変形例に関する実施例５の平面図である。
【図１４】図１４は、前記実施例５に対して行った解析結果のグラフであり、捩れ一次モードの振動時及び曲げ一次モードの振動時の双方において磁気ヘッドスライダの変位を最小とさせる第１曲げ線での曲げ角度と第１曲げ線の位置との関係を示している。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１及び図２に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）及び側面図を示す。
【００３０】
前記磁気ヘッドサスペンション１は、図１及び図２に示すように、ボイスコイルモータ等のアクチュエータ（図示せず）によって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部１０と、磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面に向けて押し付ける為の荷重を発生し得るように前記支持部１０に連結された荷重曲げ部２０と、前記荷重曲げ部２０を介して前記支持部１０に支持され且つ前記荷重を前記磁気ヘッドスライダ５０に伝達するロードビーム部３０と、前記磁気ヘッドスライダ５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０に支持されるフレクシャ部４０とを備えている。
【００３１】
前記支持部１０は、前記アクチュエータに直接又は間接的に連結された状態で前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持する部材であり、比較的高剛性を有するものとされる。
【００３２】
本実施の形態においては、前記支持部１０は、前記アクチュエータに連結されるキャリッジアーム（図示せず）の先端にかしめ加工によって接合されるボス部１５を備えたベースプレートとされている。
前記支持部１０は、例えば、厚さ０．１ｍｍ〜０．８ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
当然ながら、前記支持部１０として、基端部が前記メインアクチュエータの揺動中心に連結されるアームを採用することも可能である。
【００３３】
前記ロードビーム部３０は、前述の通り、前記荷重曲げ部２０によって発生される荷重を前記磁気ヘッドスライダ５０に伝達する為の部材であり、従って、所定の剛性が要求される。
【００３４】
図３に、図１におけるIII-III線に沿った断面図を示す。
図１及び図３に示すように、前記ロードビーム部３０は、前記ディスク面と対向する平板状の本体部３１と、前記本体部３１のサスペンション幅方向両端部からディスク面とは反対側に延びる左右一対のフランジ部３２とを有しており、前記フランジ部３２によって剛性を確保している。
前記ロードビーム部３０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
【００３５】
前記本体部３１には、先端側に、所謂ディンプルと呼ばれる突起３３が形成されている。
前記突起３３は、ディスク面に近接する方向に、例えば、０．０５ｍｍ〜０．１ｍｍ程度突出されている。この突起３３は、前記フレクシャ部４０における下記ヘッド搭載領域４１５の上面（前記磁気ヘッドスライダを支持する支持面とは反対側の裏面）に接触して、この突起３３を介して前記荷重を前記フレクシャ部４０の前記ヘッド搭載領域４１５に伝達するようになっている。
【００３６】
本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記ロードビーム部３０は、さらに、前記本体部３１の先端からサスペンション長手方向先端側へ延びるリフトタブ３４を一体的に有している。前記リフトタブ３４は、前記磁気ヘッドスライダ５０がディスク面の径方向外方へ位置するように前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが前記アクチュエータによって揺動された際に、磁気ディスク装置に備えられたランプと係合して前記磁気ヘッドスライダ５０をｚ方向（前記ディスク面と直交する方向、図２参照）に沿って前記ディスク面から離間させる為の部材である。
【００３７】
さらに、本実施の形態においては、図１に示すように、前記ロードビーム部３０の前記一対のフランジ部３２は、基端側から先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線ＣＬに近接するように傾斜されている。
【００３８】
斯かる構成によれば、前記ロードビーム部３０の先端側における前記中心線ＣＬ回りの慣性モーメントを低減でき、捩れ一次モード及び曲げ一次モードに関する共振周波数を上昇させることができると共に、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの振動時における前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を抑えることができる。
【００３９】
さらに、前記ロードビーム部３０は、図１及び図２に示すように、第１曲げ線ＢＬ１及び第２曲げ線ＢＬ２において折り曲げられている。
この第１及び第２曲げ線Ｂ１，Ｂ２における曲げ構造の詳細については後述する。
【００４０】
前記荷重曲げ部２０は、自己の弾性変形に基づいて前記磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面へ向けて押し付ける押し付け荷重を発生する。
【００４１】
図１に示すように、本実施の形態においては、前記荷重曲げ部２０は、板面が前記ディスク面と対向する状態で前記中心線ＣＬを挟んで互いに対して離間配置された左右一対の板バネ２１を有している。
【００４２】
好ましくは、前記一対の板バネ２１は、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが前記磁気ディスク装置へ実装される前の段階において前記磁気ヘッドスライダ５０が前記ディスク面に近づく方向に所定の曲げ位置で予め折り曲げられ、且つ、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの前記磁気ディスク装置への実装時には曲げ戻されることで前記押し付け荷重を発生するように、構成される。
【００４３】
前記荷重曲げ部２０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって形成される。
なお、本実施の形態においては、図１に示すように、前記荷重曲げ部２０は前記ロードビーム部３０の前記本体部３１及び前記フランジ部３２と一体形成されている。
【００４４】
即ち、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａは、前記ロードビーム部３０の前記本体部３１及び前記フランジ部３２と前記荷重曲げ部２０とを一体形成するロードビーム／荷重曲げ形成体を有しており、前記ロードビーム／荷重曲げ形成体における基端側の前記ディスク面とは反対側の上面が前記支持部１０の前記ディスク面と対向する下面に当接された状態で、前記支持部１０に溶接によって接合されている。
当然ながら、前記荷重曲げ部２０を前記本体部３１及び前記フランジ部３２とは別部材によって形成し、前記荷重曲げ部２０を前記本体部３１に溶接等によって連結させることも可能である。
【００４５】
前記フレクシャ部４０は、前記磁気ヘッドスライダ５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０に溶接等によって固着される。
【００４６】
詳しくは、前記フレクシャ部４０はフレクシャ金属プレート４１０を有している。
前記フレクシャ金属プレート４１０は、図２に示すように、前記支持部１０に溶接等によって固着される支持部固着領域４１１と、前記ロードビーム部３０に溶接等によって固着されるロードビーム部固着領域４１２と、前記ロードビーム部固着領域４１２の先端部におけるサスペンション幅方向両側からサスペンション長手方向先端側へ延びる一対の支持片４１３（図１参照）と、前記一対の支持片４１３によって支持された前記ヘッド搭載領域４１５とを有している。
【００４７】
前記ヘッド搭載領域４１５は、図２に示すように、前記ディスク面と対向する下面において前記磁気ヘッドスライダ５０を支持している。
前述の通り、前記ヘッド搭載領域４１５の上面には前記突起３３が接触しており、従って、前記ヘッド搭載領域４１５は前記突起３３を支点としてロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。
【００４８】
前記フレクシャ金属プレート４１０は、前記ヘッド搭載領域４１５がロール方向及びピッチ方向に揺動し得るように、前記ロードビーム部３０よりも低剛性とされる。
前記フレクシャ金属プレート４１０は、例えば、厚さ０．０１ｍｍ〜０．０２５ｍｍ程度のステンレス板とされる。
【００４９】
好ましくは、前記フレクシャ部４０には、前記磁気ヘッドスライダ５０を外部部材に電気的に接続する為の配線構造体４２０（図示せず）が一体的に備えられる。
【００５０】
詳しくは、前記配線構造体４２０は、前記フレクシャ金属プレート４１０における前記ディスク面と対向する下面に積層される絶縁層と前記絶縁層における前記ディスク面と対向する面に積層される信号配線とを含み得る。
好ましくは、前記配線構造体は、前記信号配線を囲繞する絶縁性のカバー層を有し得る。
【００５１】
ここで、前記ロードビーム部３０における前記第１及び第２曲げ線ＢＬ１，ＢＬ２での曲げ構造について説明する。
図４に、図２におけるIV部拡大図を示す。
【００５２】
図１，図２及び図４に示すように、前記ロードビーム部３０は、サスペンション長手方向に関し前記ロードビーム部３０の基端部及び前記ディンプル３３の間に位置し且つサスペンション幅方向に沿った前記第１曲げ線ＢＬ１において前記ディスク面に近接する方向へ凸状に折り曲げられており、さらに、サスペンション長手方向に関し前記第１曲げ線ＢＬ１及び前記ディンプル３３の間に位置し且つサスペンション幅方向に沿った前記第２曲げ線ＢＬ２において前記ディスク面に近接する方向へ凸状に折り曲げられている。
【００５３】
即ち、本実施の形態においては、前記ロードビーム部３０は、前記第１及び第２曲げ線ＢＬ１，ＢＬ２の２カ所において同一方向（前記ディスク面に近接する方向）へ凸状となるように折り曲げられている。
なお、図１は、前記第１及び第２曲げ線ＢＬ１，ＢＬ２において折り曲げられる前の状態を示している。
【００５４】
このように、本実施の形態においては、前記第１及び第２曲げ線ＢＬ１，ＢＬ２の双方の折り曲げ方向を前記ディスク面に近接する方向へ凸状となる方向としており、これにより、前記一対のフランジ部３２に歪みが生じることを防止又は可及的に低減しつつ、サスペンション幅方向に沿った第１及び第２曲げ線ＢＬ１，ＢＬ２での前記ロードビーム部３０の折り曲げを可能としている。
【００５５】
即ち、前記一対のフランジ部３２を有するロードビーム部３０は、前記本体部３１を形成する本体部形成領域及び前記一対のフランジ部３２を形成するフランジ部形成領域を有する平板状の基板を、前記本体部形成領域及び前記フランジ部形成領域の境界線が前記ディスク面に面する方向へ凸状となるように曲げ加工することで形成される。
【００５６】
このような前記一対のフランジ部３２付きのロードビーム部３０に対して、サスペンション幅方向に沿った曲げ線において前記ディスク面とは離間する方向へ凸状となるような曲げ加工を行うと、前記一対のフランジ部３２に歪みが生じ易い。
【００５７】
これに対し、本実施の形態においては、前記本体部形成領域及び前記フランジ部形成領域の境界線での曲げも前記第１及び第２曲げ線ＢＬ１，ＢＬ２での曲げも前記ディスク面に近接する方向へ凸状となる方向へ行われている。
即ち、前記一対のフランジ部３２は、前記本体部形成領域及び前記フランジ部形成領域の境界線が前記ディスク面に面する方向へ凸状となるように前記フランジ部形成領域が前記本体部形成領域に対して曲げ加工されることで形成されている。そして、前記第１及び第２曲げ線ＢＬ１，ＢＬ２においても前記ディスク面に面する方向へ凸状となる曲げられている。
このように、本実施の形態においては、前記第１及び第２曲げ線ＢＬ１，ＢＬ２での曲げ方向が前記一対のフランジ部の曲げ方向と同一とされており、これにより、前記一対のフランジ部３２に歪みが生じることを防止又は可及的に低減しつつ、サスペンション幅方向に沿った前記第１及び第２曲げ線ＢＬ１，ＢＬ２での曲げ構造を得ている。
【００５８】
以下、前記第１及び第２曲げ線ＢＬ１，ＢＬ２において前記ディスク面に近接する方向へ凸状となるように折り曲げられた構成を備えた磁気ヘッドサスペンション１Ａの実施例１に対して行った解析結果について説明する。
【００５９】
前記実施例１は以下の寸法を有している。
前記ロードビーム部３０の板厚：ｔ（図３参照）＝０．０２５ｍｍ
前記一対のフランジ部３２の高さ：ｈ（図３参照）＝０．２６ｍｍ
前記一対のフランジ部３２の前記本体部３１に対する曲げ角度：θ３（図３参照）＝７０°
前記一対のフランジ部３２のサスペンション長手方向中心線ＣＬに対する傾斜角度：α（図１参照）＝１０°
前記第２曲げ線ＢＬ２での折り曲げ角度：θ２（図４参照）＝３°
【００６０】
さらに、前記実施例１は、前記第１及び第２曲げ線ＢＬ１，ＢＬ２において前記ロードビーム部３０を曲げる前の図１に示す状態を基準にして、以下の寸法を有している。
前記ボス部１５の中心と前記ディンプル３３との間のサスペンション長手方向距離：Ｄ＝１１ｍｍ
前記支持部１０の先端エッジと前記ディンプル３３との間のサスペンション長手方向距離：Ｌ１＝６．２ｍｍ
前記支持部１０の先端エッジと前記第２曲げ線ＢＬ２との間のサスペンション長手方向距離：Ｌ２＝０．９１×Ｌ１（＝５．６４ｍｍ）
前記支持部１０の先端エッジと前記第１曲げ線ＢＬ１との間のサスペンション長手方向距離：Ｌ３＝０．５５×Ｌ１（＝３．４１ｍｍ）
【００６１】
前記構成の前記実施例１に対して、有限要素法を用いて、捩れ一次モードの振動に起因する前記磁気ヘッドスライダ５０のサスペンション幅方向変位の大きさに関する解析（以下、捩れ一次モード解析という）及び曲げ一次モードの振動に起因する前記磁気ヘッドスライダ５０のサスペンション長手方向変位の大きさに関する解析（以下、曲げ一次モード解析という）を行った。
【００６２】
まず、前記捩れ一次モード解析の解析条件について説明する。
前記第１曲げ線ＢＬ１での折り曲げ角度θ１（図４参照）を３°とした状態の前記実施例１（以下、実施例１−１と言う）に対して、前記支持部１０の基準部位（前記ボス部１５）を前記ディスク面と直交するｚ方向（図２参照）及び前記サスペンション長手方向に沿ったｘ方向（図１及び図２参照）に関し拘束し且つ前記磁気ヘッドスライダ５０のディスク対向面（図２及び図４参照）を前記ｚ方向に関し拘束した状態で、前記支持部１０の基準部位に対して前記サスペンション幅方向に沿ったｙ方向に強制振動(周期的外力による定常振動)を与えて前記ロードビーム部３０を捩れ一次モードで振動させ、その際の前記磁気ヘッドスライダ５０のサスペンション幅方向変位を求めた。
【００６３】
具体的には、設定高さＨ（図２参照）を異ならせた複数の実施例１−１を用意し、それぞれに対して、前記基準部位に周波数を所定の範囲内（例えば１００Ｈｚ〜４００００Ｈｚの範囲）において所定ピッチ毎に変化させながら前記強制振動を与えて捩れ一次モードの振動を生じさせ、捩れ一次モードの振動が生じた際の前記磁気ヘッドスライダ５０のサスペンション幅方向変位を前記複数の実施例１−１毎に解析した。
【００６４】
そして、前記複数の実施例１−１の中で捩れ一次モードの振動が生じた際の前記磁気ヘッドスライダ５０のサスペンション幅方向変位が最小となる実施例を見つけ出し、その実施例の設定高さＨを、磁気ヘッドスライダ５０の変位量を最小とさせる設定高さとした。
【００６５】
その結果を実施例１−１（Ｔ）として図５に示す。
【００６６】
前記第１曲げ線ＢＬ１での折り曲げ角度θ１（図４参照）を２°とした状態の前記実施例１（以下、実施例１−２と言う）に対して同様の解析を行った。
即ち、前記設定高さＨをそれぞれ異ならせた複数の実施例１−２を用意し、それぞれに対して、周波数を前記所定範囲内において所定ピッチ毎に変化させながら前記強制振動を与えて捩れ一次モードの振動を生じさせ、捩れ一次モードの振動が生じた際の前記磁気ヘッドスライダ５０のサスペンション幅方向変位を解析した。
そして、前記複数の実施例１−２の中で前記サスペンション幅方向変位が最小となる実施例を見つけ出し、その実施例の設定高さを、磁気ヘッドスライダ５０の変位量を最小とさせる設定高さとした。
その結果を実施例１−２（Ｔ）として図５に示す。
【００６７】
そして、前記実施例１−１（Ｔ）及び前記実施例１−２（Ｔ）を結んで、前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１と捩れ一次モードの振動を生じさせる周波数の強制振動を与えた際に前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小とさせる設定高さＨとの関係を表す直線Ｔ（実施例１）を得た。
【００６８】
前記直線Ｔ（実施例１）について詳しく説明する。
前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの捩れ一次モードの振動に起因する前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小とさせ得る最適の設定高さＨが前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１毎に存在する。
【００６９】
前記直線Ｔ（実施例１）は、この前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１及び最適な設定高さＨの関係を表しており、この直線の関係を満たすように前記曲げ角度θ１及び前記設定高さＨを設定することで、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａに捩れ一次モードの振動が生じたとしても、その際の前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小とさせることができる。
【００７０】
前記曲げ一次モード解析は以下の条件で行った。
前記実施例１−１に対して、前記支持部１０の前記基準部位を完全拘束（ｘ、ｙ及びｚ方向に関し拘束）し且つ前記磁気ヘッドスライダ５０のディスク対向面を前記ｚ方向に関し拘束した状態で、前記ロードビーム部３０のサスペンション長手方向略中央の所定位置において前記中央長手線を基準にしてサスペンション幅方向一方側のみにz方向に沿った強制振動を与えて、前記ロードビーム部３０を曲げ一次モードで振動させ、その際の磁気ヘッドスライダ５０のサスペンション長手方向変位を求めた。
【００７１】
具体的には、前記設定高さＨを異ならせた複数の実施例１−１及び複数の実施例１−２を用意して、それぞれに対して、前記所定位置に周波数を所定の範囲内（例えば１００Ｈｚ〜４００００Ｈｚの範囲）において所定ピッチ毎に変化させながら前記強制振動を与えて曲げ一次モードの振動を生じさせ、曲げ一次モードの振動が生じた際の磁気ヘッドスライダ５０のサスペンション長手方向変位を前記複数の実施例１−１及び前記複数の実施例１−２毎に解析した。
【００７２】
そして、前記複数の実施例１−１の中で曲げ一次モードの振動が生じた際の前記磁気ヘッドスライダ５０のサスペンション長手方向変位が最小となる実施例を見つけ出し、その実施例の設定高さＨを、磁気ヘッドスライダ５０の変位量を最小とさせる設定高さとした。
その結果を実施例１−１（Ｂ）として図５に示す。
【００７３】
同様に、前記複数の実施例１−２の中で曲げ一次モードの振動が生じた際の前記磁気ヘッドスライダ５０のサスペンション長手方向変位が最小となる実施例を見つけ出し、その実施例の設定高さＨを、磁気ヘッドスライダ５０の変位量を最小とさせる設定高さとした。
その結果を実施例１−２（Ｂ）として、図５に示す。
【００７４】
そして、前記実施例１−１（Ｂ）及び前記実施例１−２（Ｂ）を結んで、前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１と曲げ一次モードの振動を生じさせる周波数の強制振動を与えた際に前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小とさせる前記設定高さＨとの関係を表す直線Ｂ（実施例１）を得た。
【００７５】
この直線Ｂ（実施例１）について詳しく説明する。
前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの曲げ一次モードの振動に起因する前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小とさせ得る最適の設定高さＨが前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１毎に存在する。
【００７６】
前記直線Ｂ（実施例１）は、この前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度及び最適な設定高さＨの関係を表しており、この直線の関係を満たすように前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１及び前記設定高さＨを設定することで、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａに曲げ一次モードの振動が生じたとしても、その際の前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小とさせることができる。
【００７７】
ここで、前記直線Ｔ（実施例１）と前記直線Ｂ（実施例１）とは交点（実施例１）において交差しており、この交点（実施例１）は前記捩れ一次モードの振動及び前記曲げ一次モードの振動の双方に対して前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小にし得る点を意味する。
【００７８】
即ち、前記実施例１においては、前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１を約２．３°（且つ前記設定高さＨ＝約０．６５ｍｍ）とすることで、捩れ一次モードの振動及び曲げ一次モードの振動の双方において前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小とすることができる。
【００７９】
前記第２曲げ線ＢＬ２で折り曲げを行わない点のみにおいて前記実施例１と相違した比較例１であって、前記第１曲げ線ＢＬ１での折り曲げ角度θ１が５°及び２°とされた比較例１（以下、それぞれ、比較例１−１及び１−２という）に対して同様の解析を行った。
【００８０】
即ち、設定高さＨが異なる複数の前記比較例１−１及び設定高さＨが異なる複数の前記比較例１−２を用意し、それぞれに対して前記強制振動を与えて捩れ一次モードの振動を生じさせて、その際の前記磁気ヘッドスライダ５０の変位量を求めた。
そして、前記複数の比較例１−１の中で捩れ一次モードの振動を生じさせる強制振動を与えた際に前記磁気ヘッドスライダ５０の変位量が最小となる一の比較例１−１の設定高さＨ及び前記複数の比較例１−２の中で捩れ一次モードの振動を生じさせる強制振動を与えた際に前記磁気ヘッドスライダ５０の変位量が最小となる一の比較例１−２の設定高さＨを求め、直線Ｔ（比較例１）を得た（図５参照）。
【００８１】
同様に、前記複数の比較例１−１及び前記複数の比較例１−２のそれぞれに対して前記強制振動を与えて曲げ一次モードの振動を生じさせて、その際の前記磁気ヘッドスライダ５０の変位量を求めた。
そして、前記複数の比較例１−１の中で曲げ一次モードの振動を生じさせる強制振動を与えた際に前記磁気ヘッドスライダ５０の変位量が最小となる一の比較例１−１の設定高さＨ及び前記複数の比較例１−２の中で曲げ一次モードの振動を生じさせる強制振動を与えた際に前記磁気ヘッドスライダ５０の変位量が最小となる一の比較例１−２の設定高さＨを求め、直線Ｂ（比較例１）を得た（図５参照）。
【００８２】
図５から、前記比較例１においては、前記捩れ一次モードの振動及び前記曲げ一次モードの振動の双方に対して前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小にし得る前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１は約３．８°（且つ前記設定高さＨ＝約０．７４ｍｍ）であることが分かる（交点（比較例１））。
【００８３】
これは、前記実施例１において前記捩れ一次モードの振動及び前記曲げ一次モードの振動の双方に対して前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小にし得る前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１（＝約２．３°）よりも大きい。
【００８４】
つまり、前記第２曲げ線ＢＬ２において折り曲げを行った構成（前記実施例１）は、前記第２曲げ線ＢＬ２において折り曲げを行わない構成（前記比較例１）に比して、前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度をより小さくした状態で、前記捩れ一次モードの振動及び前記曲げ一次モードの振動の双方に対して前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小にすることができる。
【００８５】
なお、前記板バネ２１の前記曲げ位置を変更することで、直線Ｔ（実施例１）及び直線Ｂ（実施例１）を図５において縦軸方向に沿って平行移動させることができる。即ち、前記板バネ２１の前記曲げ位置を変更することで、前記交点（実施例１）における曲げ角度θ１の値をほぼ維持したままで設定高さＨの値のみを変化させることができる。
従って、前記捩れ一次モードの振動に起因する前記磁気ヘッドスライダ５０の変位及び前記曲げ一次モードの振動に起因する前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を同時に最小とする設定高さＨ（例えば、交点（実施例１））の値を仕様又は所望に応じて所定値に設定する必要がある場合には、前記板バネ２１の前記曲げ位置の変更によって対応可能である。
【００８６】
前記一対のフランジ部３２を有する磁気ヘッドサスペンションにおいては、サスペンション幅方向に沿った曲げ線に沿った折り曲げ角度は小さいほど好ましく、３．０°を越えると前記一対のフランジ部３２に歪みが生じることが経験上、判明している。
【００８７】
従って、前記実施例１によれば、前記一対のフランジ部３２に歪みが生じることを防止又は可及的に低減しつつ、前記捩れ一次モードの振動及び前記曲げ一次モードの振動の双方に対して前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小にすることができる。
【００８８】
前記傾斜角度αが１１．７°に変更された点においてのみ前記実施例１と相違する実施例２に対して同様の解析を行った。
即ち、前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１と捩れ一次モードの振動を生じさせる強制振動を与えた際に前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小とさせる前記設定高さＨとの関係を表す直線Ｔ（実施例２）、並びに、前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１と曲げ一次モードの振動を生じさせる強制振動を与えた際に前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小とさせる前記設定高さＨとの関係を表す直線Ｂ（実施例２）を得た。
これらを図６に示す。
【００８９】
さらに、前記傾斜角度αが１１．７°に変更された点においてのみ前記比較例１と相違する比較例２に対しても同様の解析を行った。
即ち、前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１と捩れ一次モードの振動を生じさせる強制振動を与えた際に前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小とさせる前記設定高さＨとの関係を表す直線Ｔ（比較例２）、並びに、前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１と曲げ一次モードの振動を生じさせる強制振動を与えた際に前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小とさせる前記設定高さＨとの関係を表す直線Ｂ（比較例２）を得た。
これらを図６に併せて示す。
【００９０】
図６から、前記実施例２においては前記捩れ一次モードの振動及び前記曲げ一次モードの振動の双方に対して前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小にさせる前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１は約３．１°（交点（実施例２））であり、前記比較例２においては前記曲げ角度θ１は約４．３°（交点（比較例２））であった。
【００９１】
このことからも、前記第２曲げ線ＢＬ２において折り曲げを行った構成（前記実施例２）が前記第２曲げ線ＢＬ２において折り曲げを行わない構成（前記比較例２）に比して、前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度をより小さくした状態で、前記捩れ一次モードの振動及び前記曲げ一次モードの振動の双方に対して前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小にさせ得ることが理解される。
【００９２】
好ましくは、図１に示すように、前記本体部３１における前記ディスク面とは反対側の面には前記第１曲げ線ＢＬ１より基端側の領域に制振材６０が固着される。
斯かる構成によれば、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの振動時における前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を減衰させることができる。
【００９３】
図７及び図８に、それぞれ、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの第１及び第２変形例１Ｂ，１Ｃの上面図を示す。
なお、図中、本実施の形態１におけると同一部材には同一符合を付している。
【００９４】
前記第１及び第２変形例１Ｂ，１Ｃは、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいて、前記ロードビーム部３０の代わりに、それぞれ、ロードビーム部３０Ｂ，３０Ｃを備えている。
【００９５】
前記ロードビーム部３０Ｂ，３０Ｃは何れも、一対のフランジ部３２Ｂ，３２Ｃが基端側から先端側へ行く従って第１傾斜角αで前記中心線ＣＬに近接する基端領域３２（１）と変曲点Ｐを挟んで前記基端領域３２（１）から先端側へ延びる先端領域３２（２）であって、基端側から先端側へ行くに従って前記第１傾斜角αよりも小さい第２傾斜角βで前記中心線ＣＬに近接する先端領域３２（２）とを含むように構成されている。
【００９６】
前記第１変形例１Ｂ及び前記第２変形例１Ｃによれば、前記ロードビーム部３０Ｂ，３０Ｃの先端側における前記中心線ＣＬ回りの慣性モーメントをより効果的に低減でき、これにより、捩れ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダ５０の変位及び曲げ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダ５０の変位の双方を同時に最小にさせ得る前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１をより小さくできる。
【００９７】
なお、前記第１変形例１Ｂにおいては、図７に示すように、前記変曲点Ｐは、サスペンション長手方向に関し前記第１曲げ線ＢＬ１と略同一位置に位置されている。
一方、前記第２実施例１Ｃにおいては、図８に示すように、前記変曲点Ｐは、サスペンション長手方向に関し前記第１曲げ線ＢＬ２より基端側に位置されている。
【００９８】
以下、前記変曲点Ｐを有する前記第１変形例１Ｂ及び前記第２変形例１Ｃに関する実施例３及び比較例３に対して行った解析結果について説明する。
図９Ａに前記比較例３の平面図を、図９Ｂ〜図９Ｆに前記実施例３の平面図を示す。
なお、図９Ａ〜図９Ｆにおいては、前記フレクシャ部４０の図示を省略している。
【００９９】
前記実施例３及び前記比較例３は以下の寸法を有している。
前記ロードビーム部３０、３０Ｂ、３０Ｃの板厚：ｔ＝０．０２５ｍｍ
前記一対のフランジ部３２Ｂ、３２Ｃの高さ：ｈ＝０．２６ｍｍ
前記一対のフランジ部３２Ｂ、３２Ｃの前記本体部３１に対する曲げ角度：７０°
前記第２曲げ線ＢＬ２での折り曲げ角度（図４におけるθ２に相当する角度）：３°
【０１００】
さらに、前記実施例３及び前記比較例３は、前記第１及び第２曲げ線ＢＬ１，ＢＬ２において前記ロードビーム部３０を曲げる前の状態を基準にして、以下の寸法を有している（図９Ａ〜図９Ｆ参照）。
前記ボス部１５の中心と前記ディンプル３３との間のサスペンション長手方向距離：Ｄ＝１１ｍｍ
前記支持部１０の先端エッジと前記ディンプル３３との間のサスペンション長手方向距離：Ｌ１＝６．２ｍｍ
前記支持部１０の先端エッジと前記第２曲げ線ＢＬ２との間のサスペンション長手方向距離：Ｌ２＝４．９ｍｍ
前記支持部１０の先端エッジと前記第１曲げ線ＢＬ１との間のサスペンション長手方向距離：Ｌ３＝３．４ｍｍ
【０１０１】
前記構成を備えつつ、前記変曲点を有さないサスペンション（図９Ａ参照、前記比較例３）、前記変曲点Ｐと前記支持部１０の先端エッジとの間のサスペンション長手方向距離Ｌ５が１．６５×Ｌ３（＝５．６ｍｍ）となるように前記変曲点Ｐの位置が設定されているサスペンション（図９Ｂ参照、以下、実施例３−１という）、前記サスペンション長手方向距離Ｌ５が１．２９×Ｌ３（＝４．４ｍｍ）となるように前記変曲点Ｐの位置が設定されているサスペンション（図９Ｃ参照、以下、実施例３−２という）、前記サスペンション長手方向距離Ｌ５が１．０×Ｌ３（＝３．４ｍｍ）となるように前記変曲点Ｐの位置が設定されているサスペンション（図９Ｄ参照、以下、実施例３−３という）、前記サスペンション長手方向距離Ｌ５が０．７２×Ｌ３（＝２．４ｍｍ）となるように前記変曲点Ｐの位置が設定されているサスペンション（図９Ｅ参照、以下、実施例３−４という）、及び前記サスペンション長手方向距離Ｌ５が０．４１×Ｌ３（＝１．４ｍｍ）となるように前記変曲点Ｐの位置が設定されているサスペンション（図９Ｆ参照、以下、実施例３−５という）を用意した。
【０１０２】
なお、前記比較例３においては、前記ロードビーム部３０は基端側の幅Ｗが３．５２ｍｍとされ且つ前記フランジ部３２は基端側から先端側へ行くに従って傾斜角１２°で前記サスペンション長手方向中心線ＣＬに近接している。
【０１０３】
一方、前記実施例３−１〜３−５においては、前記ロードビーム部３０Ｂ（３０Ｃ）の基端側の幅が前記比較例における前記ロードビーム部の基端側幅Ｗと同一とされ且つ前記ロードビーム部３０Ｂ（３０Ｃ）における前記先端領域３２（２）の前記サスペンション長手方向中心線ＣＬに対する傾斜角αが９°に固定されている。そして、前記実施例３−１〜３−５においては、前記変曲点Ｐの位置が前述のように変更された結果、前記ロードビーム部３０Ｂ（３０Ｃ）における前記基端領域３２（１）の前記サスペンション長手方向中心線ＣＬに対する傾斜角βは、それぞれ、１３°、１４°、１５°、１８°及び２６°となっている。
【０１０４】
前記比較例３及び実施例３−１〜３−５に対して、有限要素法を用いて、前記捩れ一次モード解析及び前記曲げ一次モード解析を行った。
【０１０５】
まず、前記捩れ一次モード解析について説明する。
前記比較例３及び実施例３−１〜３−５の各々に対して、前記第１曲げ線ＢＬ１での折り曲げ角度θ１（図４参照）を３°に固定した状態で前記設定高さＨ（図２参照）を異ならせた複数のサスペンションを用意し、複数のサスペンションのそれぞれに対して、前記基準部位に強制振動を与えて捩れ一次モードの振動を生じさせ、捩れ一次モードの振動が生じた際の前記磁気ヘッドスライダ５０のサスペンション幅方向変位を解析し、前記異なる設定高さＨのうち前記幅方向変位を最小とさせる設定高さＨを求めた。
【０１０６】
前記第１前線ＢＬ１での折り曲げ角度θ１を２°に固定した状態で同様の解析を行った。
即ち、θ１が２°に固定された前記比較例３及び実施例３−１〜３−５の各々に対して、前記設定高さＨを異ならせた複数のサスペンションを用意し、それぞれに対して、同様の解析を行った。
【０１０７】
そして、前記比較例３及び実施例３−１〜３−５の各々に対して、前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１と捩れ一次モードの振動時における前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小とさせる設定高さＨとの関係を表す直線（以下、捩れ一次モード直線という）を得た。
【０１０８】
次に、前記曲げ一次モード解析について説明する。
前記比較例３及び実施例３−１〜３−５の各々に対して、前記第１曲げ線ＢＬ１での折り曲げ角度θ１（図４参照）を３°に固定した状態で前記設定高さＨ（図２参照）を異ならせた複数のサスペンションを用意し、複数のサスペンションのそれぞれに対して、前記基準部位を完全拘束（ｘ、ｙ及びｚ方向に関し拘束）し且つ前記磁気ヘッドスライダ５０のディスク対向面を前記ｚ方向に関し拘束した状態で、前記ロードビーム部３０のサスペンション長手方向略中央の所定位置において前記中央長手線を基準にしてサスペンション幅方向一方側のみにz方向に沿った強制振動を与えて曲げ一次モードの振動を生じさせ、曲げ一次モードの振動が生じた際の前記磁気ヘッドスライダ５０のサスペンション長手方向変位を解析し、前記異なる設定高さＨのうち前記長手方向変位を最小とさせる設定高さＨを求めた。
【０１０９】
前記第１前線ＢＬ１での折り曲げ角度θ１を２°に設定した状態で同様の解析を行った。
即ち、θ１が２°に設定された前記比較例３及び実施例３−１〜３−５の各々に対して、前記設定高さＨを異ならせた複数のサスペンションを用意し、それぞれに対して、同様の解析を行った。
【０１１０】
そして、前記比較例３及び実施例３−１〜３−５の各々に対して、前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１と曲げ一次モードの振動時における前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小とさせる設定高さＨとの関係を表す直線（以下、曲げ一次モード直線という）を得た。
【０１１１】
前記比較例３及び実施例３−１〜３−５の各々において、前記捩れ一次モード直線と前記曲げ一次モード直線との交点を求めて、その交点における曲げ角度θ１(min)を得た。
この曲げ角度θ１(min)は、捩れ一次モードの振動時及び曲げ一次モードの振動時の双方において前記磁気ヘッドスライダの変位を最小とさせる曲げ角度である。
即ち、前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１をθ１(min)に設定することで、捩れ一次モードの振動時及び曲げ一次モードの振動時の双方において前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小とさせることができる。
【０１１２】
図１０に、前記θ１(min)と前記変曲点Ｐの位置との関係を表すグラフを示す。
図１０から、前記変曲点Ｐと前記支持部１０の先端エッジとの間のサスペンション長手方向距離Ｌ５が１．０×Ｌ３より大きい場合、即ち、前記変曲点Ｐが前記第１曲げ線ＢＬ１よりサスペンション長手方向先端側に位置する場合には、前記変曲点Ｐの位置に拘わらずθ１(min)は約２．２°の一定値となった。
【０１１３】
これに対し、前記距離Ｌ５が１．０×Ｌ３以下の場合、即ち、前記変曲点Ｐが前記第１曲げ線ＢＬ１よりサスペンション長手方向基端側に位置する場合には、前記変曲点Ｐをサスペンション長手方向基端側へ位置させるに従ってθ１(min)が前記一定値から徐々に小さくなった。
【０１１４】
このことから、Ｌ５≦１．０×Ｌ３となるように前記変曲点Ｐのサスペンション長手方向位置を設定することにより、前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１を小さくしつつ、捩れ一次モードの振動時及び曲げ一次モードの振動時の双方において磁気ヘッドスライダ５０の変位を小さくすることができると解される。
【０１１５】
次に、前記第１変形例１Ｂ及び前記第２変形例１Ｃに関する他の実施例４に対して行った解析結果について説明する。
図１１に、前記実施例４の平面図を示す。
なお、図１１においては、前記フレクシャ部４０の図示を省略している。
【０１１６】
前記実施例４として、前記第１曲げ線ＢＬ１と前記支持部１０の先端エッジとの間の距離Ｌ３を０．５５×Ｌ１（＝３．４１ｍｍ）に固定し且つ前記変曲点Ｐと前記支持部１０の先端エッジとの間の距離Ｌ５を０．２３×Ｌ１（＝１．４ｍｍ）に固定した状態で、前記第１曲げ線Ｌ１から前記第２曲げ線Ｌ２までのサスペンション長手方向距離Ｌ４を異ならせた複数のサスペンション（実施例４−１〜４−４）を用意した。
【０１１７】
前記実施例４−１〜４−４においては、前記距離Ｌ４を、それぞれ、０．０５×Ｌ１（＝０．３１ｍｍ）、０．１２×Ｌ１（＝０．７４ｍｍ）、０．２４×Ｌ１（＝１．５ｍｍ）及び０．３６×Ｌ１（＝２．２ｍｍ）とした。
なお、前記実施例４−１〜４−４におけるその他の寸法は前記実施例３と同一である。
【０１１８】
前記実施例４−１〜４−４に対して前記実施例３におけると同様の解析を行った。
その結果を図１２に示す。
【０１１９】
図１２から、前記距離Ｌ４（前記第２曲げ線ＢＬ２と前記第１曲げ線ＢＬ１との間の距離）が０．１５×Ｌ１を越えると前記距離Ｌ４が長くなるに従って前記θ１(min)が大きくなるが、前記距離Ｌ４が０．１５×Ｌ１以下の場合には前記θ１(min)が小さくなった。
【０１２０】
このことから、Ｌ４≦が０．１５×Ｌ１となるように前記第１曲げ線ＢＬ１に対する前記第２曲げ線ＢＬ２の位置を設定することにより、捩れ一次モードの振動時及び曲げ一次モードの振動時の双方において前記磁気ヘッドスライダの変位を最小とさせ得ることができると解される。
【０１２１】
次に、前記第１変形例１Ｂ及び前記第２変形例１Ｃに関するさらに他の実施例５に対して行った解析結果について説明する。
図１３に、前記実施例５の平面図を示す。
なお、図１３においては、前記フレクシャ部４０の図示を省略している。
【０１２２】
前記実施例５として、前記第２曲げ線ＢＬ２と前記支持部１０の先端エッジとの間の距離Ｌ２を０．７９×Ｌ１（＝４．９ｍｍ）に固定し且つ前記変曲点Ｐと前記支持部１０の先端エッジとの間の距離Ｌ５を０．２３×Ｌ１（＝１．４ｍｍ）に固定した状態で、前記第１曲げ線Ｌ１と前記支持部１０の先端エッジとの間の距離Ｌ３を異ならせた複数のサスペンション（実施例５−１〜５−４）を用意した。
【０１２３】
前記実施例５−１〜５−４においては、前記距離Ｌ３を、それぞれ、０．７３×Ｌ１（＝４．５ｍｍ）、０．６７×Ｌ１（＝４．２ｍｍ）、０．５５×Ｌ１（＝３．４ｍｍ）及び０．４３×Ｌ１（＝２．７ｍｍ）とした。
なお、前記実施例５−１〜５−４におけるその他の寸法は前記実施例３と同一である。
【０１２４】
前記実施例５−１〜５−４に対して前記実施例３におけると同様の解析を行った。
その結果を図１４に示す。
【０１２５】
図１４から、０．５３×Ｌ１≦Ｌ３≦０．６７×Ｌ１の範囲では、前記θ１(min)を小さくすることができる。
このことから、好ましくは、前記第１曲げ線ＢＬ１は、０．５３×Ｌ１≦Ｌ３≦０．６７×Ｌ１を満たすように位置設定される。
【符号の説明】
【０１２６】
１Ａ，１Ｂ，１Ｃ 磁気ヘッドサスペンション
１０ 支持部
２０ 荷重曲げ部
３０，３０Ｂ，３０Ｃ ロードビーム部
３１ 本体部
３２ フランジ部
３２（１） 基端領域
３２（２） 先端領域
３３ 突起（ディンプル）
４０ フレクシャ部
５０ 磁気ヘッドスライダ
６０ 制振材
４１５ ヘッド搭載領域
ＢＬ１ 第１曲げ線
ＢＬ２ 第２曲げ線
ＣＬ サスペンション長手方向中心線
Ｐ 変曲点
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク等の記憶媒体に対してデータをリード及び／又はライトする磁気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッドサスペンションに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッドサスペンションには、前記磁気ヘッドスライダを目的トラックの中心に高精度に位置させることが要求される。
【０００３】
即ち、前記磁気ヘッドサスペンションは、ボイスコイルモータ等のアクチュエータによって基端側が直接又は間接的に揺動中心回りに揺動され、これにより、先端側において支持する前記磁気ヘッドスライダを目的トラックの中心に位置させる。
【０００４】
ところで、前記揺動中心回りの揺動に際し前記磁気ヘッドサスペンションが共振すると、前記磁気ヘッドスライダが目的トラックからの大きく変位してしまう。特に、磁気ヘッドサスペンションの振動モードのうち曲げ一次モード及び捩れ一次モードは低周波数帯域に存在する為、これらに起因する前記磁気ヘッドスライダの変位を防止又は低減する必要がある。
【０００５】
例えば、ロードビーム部がディスク面と対向する平板状の本体部と前記本体部のサスペンション幅方向両端部からディスク面とは離間する方向へ折り曲げられた一対のフランジ部とを有している磁気ヘッドサスペンションが提案されている（下記特許文献１〜３参照）。
【０００６】
前記特許文献１〜３に記載の前記磁気ヘッドサスペンションは、前記一対のフランジ部によって前記ロードビーム部の剛性を高め、これにより、捩れ一次モード及び曲げ一次モードの共振周波数を上昇させて捩れ一次モードの共振の発生を可及的に防止している。
【０００７】
さらに、前記特許文献３には、前記一対のフランジ部を備えたロードビーム部を、サスペンション幅方向に沿った基端側曲げ線及び先端側曲げ線の２カ所で曲げることにより、前記磁気ヘッドサスペンションの振動時における前記磁気ヘッドスライダのシーク方向変位量を調整することが開示されている。
【０００８】
しかしながら、前記特許文献３に記載の磁気ヘッドサスペンションにおいては、前記基端側曲げ線及び前記先端側曲げ線での曲げ方向が互いに対して異なっている。即ち、前記先端側曲げ線及び前記基端側曲げ線の一方においては前記ロードビーム部はディスク面から離間する方向へ凸状に折り曲げられ、他方においては前記ロードビーム部はディスク面に近接する方向へ凸状に折り曲げられている。
【０００９】
このように、前記基端側曲げ線及び前記先端側曲げ線での前記ロードビーム部の曲げ方向が互いに対して異なっている為、前記ロードビーム部の曲げ加工が困難であるという問題があった。
【００１０】
特に、前述のように、前記一対のフランジ部はディスク面から離間する方向へ折り曲げられており、従って、このようなフランジ部を有する前記ロードビーム部をサスペンション幅方向に沿った曲げ線においてディスク面から離間する方向へ凸状に折り曲げると、前記フランジ部に歪みが生じ易いという問題もあった。
また、捩れ一次モードの振動に起因する前記磁気ヘッドスライダの変位量及び曲げ一次モードの振動に起因する前記磁気ヘッドスライダの変位量を同時に最小化することについては何れの先行文献にも開示も示唆もされていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１１】
【特許文献１】特開２００５−０３２３９３号公報
【特許文献２】特開２００８−０２１３７４号公報
【特許文献３】特開２００９−２９５２６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は、前記従来技術に鑑みなされたものであり、ディスク面と対向する平板状の本体部及び前記本体部のサスペンション幅方向両端部から前記ディスク面とは離間する方向へ折り曲げられた一対のフランジ部を有するロードビーム部を備えた磁気ヘッドサスペンションであって、曲げ一次モード及び捩れ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの変位を可及的に抑えることができる製造容易な磁気ヘッドサスペンションの提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、前記目的を達成する為に、アクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部と、磁気ヘッドスライダを前記ディスク面に向けて押し付ける為の荷重を発生し得るように前記支持部に連結された荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部を介して前記支持部に支持され且つ前記荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記ロードビーム部及び前記支持部に支持され且つ先端側に前記磁気ヘッドスライダを支持するヘッド搭載領域を有するフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、前記ロードビーム部は、前記ディスク面と対向する平板状の本体部と前記本体部のサスペンション幅方向両端部から前記ディスク面とは離間する側へ折り曲げられた一対のフランジ部とを有し、前記本体部には、前記ヘッド搭載領域における前記磁気ヘッドスライダを支持する支持面とは反対側の裏面に当接するように前記ディスク面に近接する方向へ突出されたディンプルが設けられ、前記ロードビーム部は、サスペンション長手方向に関し基端部及び前記ディンプルの間に位置し且つサスペンション幅方向に沿った第１曲げ線並びにサスペンション長手方向に関し前記第１曲げ線及び前記ディンプルの間に位置し且つサスペンション幅方向に沿った第２曲げ線の双方において前記ディスク面に近接する方向へ凸状に折り曲げられている磁気ヘッドサスペンションを提供する。
【００１４】
好ましくは、前記第１及び第２曲げ線での曲げ角度は共に３°以下とされる。
【００１５】
好ましくは、前記一対のフランジ部は、基端側から先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線に近接するように傾斜される。
【００１６】
より好ましくは、前記一対のフランジ部は、基端側から先端側へ行く従って第１傾斜角で前記中心線に近接する基端領域と変曲点を挟んで前記基端領域から先端側へ延びる先端領域であって、基端側から先端側へ行くに従って前記第１傾斜角よりも小さい第２傾斜角で前記中心線に近接する先端領域とを含み得る。
【００１７】
好ましくは、前記変曲点は、サスペンション長手方向に関し前記第１曲げ線と同一位置又は前記第１曲げ線より基端側に位置される。
【００１８】
前記種々の形態において、前記支持部の先端エッジ及び前記ディンプルの間のサスペンション長手方向距離をＬ１とした場合に、好ましくは、前記第１曲げ線及び前記支持部の先端エッジの間のサスペンション長手方向距離Ｌ３が０．５３×Ｌ１≦Ｌ３≦０．６７×Ｌ１を満たすように前記第１曲げ線のサスペンション長手方向位置が設定される。
【００１９】
前記種々の形態において、前記支持部の先端エッジ及び前記ディンプルの間のサスペンション長手方向距離をＬ１とした場合に、好ましくは、前記第１曲げ線及び前記第２曲げ線の間のサスペンション長手方向距離Ｌ４がＬ４≦０．１５×Ｌ１を満たすように前記第１曲げ線に対する前記第２曲げ線のサスペンション長手方向位置が設定される。
【００２０】
前記種々の形態において、好ましくは、前記本体部における前記ディスク面とは反対側の面には、前記第１曲げ線より基端側の領域に制振材が固着される。
【発明の効果】
【００２１】
本発明に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、ディスク面と対向する平板状の本体部及び前記本体部のサスペンション幅方向両端部から前記ディスク面とは離間する方向へ折り曲げられた一対のフランジ部を有するロードビーム部がサスペンション幅方向に沿った第１及び第２曲げ線の双方において前記ディスク面に近接する方向へ凸状に折り曲げられているので、前記第１及び第２曲げ線での曲げ角度を大きくすることなく、曲げ一次モードの振動及び捩れ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの変位を可及的に抑えることができる。
【００２２】
さらに、前記ディスク面に近接する方向へ凸状に折り曲げられた前記一対のフランジ部を備えた磁気ヘッドサスペンションにおいて、前記第１及び第２曲げ線の双方での曲げ方向を前記一対のフランジ部での曲げ方向と同一方向、即ち、前記ディスク面に近接する方向へ凸状となる方向としたので、前記第１及び第２曲げ線での折り曲げ構造に起因する前記一対のフランジ部の歪みを防止又は低減できる。
【００２３】
従って、曲げ一次モードの振動及び捩れ一次モードの振動に起因する前記磁気ヘッドスライダの変位を抑え得る磁気ヘッドサスペンションを容易に製造することができる。
【００２４】
前記一対のフランジ部が、基端側から先端側へ行く従って第１傾斜角で前記中心線に近接する基端領域と、変曲点を挟んで前記基端領域から先端側へ延びる先端領域であって、基端側から先端側へ行くに従って前記第１傾斜角よりも小さい第２傾斜角で前記中心線に近接する先端領域とを含むように構成すれば、前記ロードビーム部の先端側におけるサスペンション長手方向中心線回りの慣性モーメントをより効果的に低減でき、これにより、捩れ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの変位及び曲げ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの変位の双方を同時に最小にさせ得る前記第１曲げ線での曲げ角度をより小さくできる。
【００２５】
前記変曲点をサスペンション長手方向に関し前記第１曲げ線と同一位置又は前記第１曲げ線より基端側に位置させれば、捩れ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの変位及び曲げ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの変位の双方を同時に最小にさせ得る前記第１曲げ線での曲げ角度をより小さくできる。
【００２６】
前記ロードビーム部を荷重曲げ部を介して支持する支持部の先端エッジと前記ロードビーム部に形成されるディンプルとの間のサスペンション長手方向距離をＬ１とした場合に、前記第１曲げ線及び前記支持部の先端エッジの間のサスペンション長手方向距離Ｌ３が０．５３×Ｌ１≦Ｌ３≦０．６７×Ｌ１を満たすように前記第１曲げ線のサスペンション長手方向位置を設定することによっても、捩れ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの変位及び曲げ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの変位の双方を同時に最小にさせ得る前記第１曲げ線での曲げ角度をより小さくできる。
【００２７】
前記第１曲げ線及び前記第２曲げ線の間のサスペンション長手方向距離Ｌ４がＬ４≦０．１５×Ｌ１を満たすように前記第１曲げ線に対する前記第２曲げ線のサスペンション長手方向位置が設定することによっても、捩れ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの変位及び曲げ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダの変位の双方を同時に最小にさせ得る前記第１曲げ線での曲げ角度をより小さくできる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】図１は、本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンションの上面図である。
【図２】図２は、前記実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンションの側面図である。
【図３】図３は、図１におけるIII-III線に沿った断面図である。
【図４】図４は、図２におけるIV部の拡大図である。
【図５】図５は、前記実施の形態の実施例１及び比較例１に対する解析結果を示すグラフであり、第１曲げ線でのロードビーム部の曲げ角度とサスペンションが曲げ一次モード及び捩れ一次モードで振動した際の磁気ヘッドスライダの変位を最小とする為の設定高さとの関係を示している。
【図６】図６は、前記実施の形態の実施例２及び比較例２に対する解析結果を示すグラフであり、第１曲げ線でのロードビーム部の曲げ角度とサスペンションが曲げ一次モード及び捩れ一次モードで振動した際の磁気ヘッドスライダの変位を最小とする為の設定高さとの関係を示している。
【図７】図７は、前記実施の形態の第１変形例の上面図である。
【図８】図８は、前記実施の形態の第２変形例の上面図である。
【図９Ａ】図９Ａは、前記第１及び第２変形例に関する比較例３の平面図である。
【図９Ｂ】図９Ｂは、前記第１及び第２変形例に関する実施例３−１の平面図である。
【図９Ｃ】図９Ｃは、前記第１及び第２変形例に関する実施例３−２の平面図である。
【図９Ｄ】図９Ｄは、前記第１及び第２変形例に関する実施例３−３の平面図である。
【図９Ｅ】図９Ｅは、前記第１及び第２変形例に関する実施例３−４の平面図である。
【図９Ｆ】図９Ｆは、前記第１及び第２変形例に関する実施例３−５の平面図である。
【図１０】図１０は、前記実施例３−１〜３−５及び前記比較例３に対して行った解析結果のグラフであり、捩れ一次モードの振動時及び曲げ一次モードの振動時の双方において磁気ヘッドスライダの変位を最小とさせる第１曲げ線での曲げ角度と変曲点との関係を示している。
【図１１】図１１は、前記第１及び第２変形例に関する実施例４の平面図である。
【図１２】図１２は、前記実施例４に対して行った解析結果のグラフであり、捩れ一次モードの振動時及び曲げ一次モードの振動時の双方において磁気ヘッドスライダの変位を最小とさせる第１曲げ線での曲げ角度と第１及び第２曲げ線間の距離との関係を示している。
【図１３】図１３は、前記第１及び第２変形例に関する実施例５の平面図である。
【図１４】図１４は、前記実施例５に対して行った解析結果のグラフであり、捩れ一次モードの振動時及び曲げ一次モードの振動時の双方において磁気ヘッドスライダの変位を最小とさせる第１曲げ線での曲げ角度と第１曲げ線の位置との関係を示している。
【発明を実施するための形態】
【００２９】
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１及び図２に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａの上面図（ディスク面とは反対側から見た平面図）及び側面図を示す。
【００３０】
前記磁気ヘッドサスペンション１は、図１及び図２に示すように、ボイスコイルモータ等のアクチュエータ（図示せず）によって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部１０と、磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面に向けて押し付ける為の荷重を発生し得るように前記支持部１０に連結された荷重曲げ部２０と、前記荷重曲げ部２０を介して前記支持部１０に支持され且つ前記荷重を前記磁気ヘッドスライダ５０に伝達するロードビーム部３０と、前記磁気ヘッドスライダ５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０に支持されるフレクシャ部４０とを備えている。
【００３１】
前記支持部１０は、前記アクチュエータに直接又は間接的に連結された状態で前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持する部材であり、比較的高剛性を有するものとされる。
【００３２】
本実施の形態においては、前記支持部１０は、前記アクチュエータに連結されるキャリッジアーム（図示せず）の先端にかしめ加工によって接合されるボス部１５を備えたベースプレートとされている。
前記支持部１０は、例えば、厚さ０．１ｍｍ〜０．８ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
当然ながら、前記支持部１０として、基端部が前記メインアクチュエータの揺動中心に連結されるアームを採用することも可能である。
【００３３】
前記ロードビーム部３０は、前述の通り、前記荷重曲げ部２０によって発生される荷重を前記磁気ヘッドスライダ５０に伝達する為の部材であり、従って、所定の剛性が要求される。
【００３４】
図３に、図１におけるIII-III線に沿った断面図を示す。
図１及び図３に示すように、前記ロードビーム部３０は、前記ディスク面と対向する平板状の本体部３１と、前記本体部３１のサスペンション幅方向両端部からディスク面とは反対側に延びる左右一対のフランジ部３２とを有しており、前記フランジ部３２によって剛性を確保している。
前記ロードビーム部３０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
【００３５】
前記本体部３１には、先端側に、所謂ディンプルと呼ばれる突起３３が形成されている。
前記突起３３は、ディスク面に近接する方向に、例えば、０．０５ｍｍ〜０．１ｍｍ程度突出されている。この突起３３は、前記フレクシャ部４０における下記ヘッド搭載領域４１５の上面（前記磁気ヘッドスライダを支持する支持面とは反対側の裏面）に接触して、この突起３３を介して前記荷重を前記フレクシャ部４０の前記ヘッド搭載領域４１５に伝達するようになっている。
【００３６】
本実施の形態においては、図１及び図２に示すように、前記ロードビーム部３０は、さらに、前記本体部３１の先端からサスペンション長手方向先端側へ延びるリフトタブ３４を一体的に有している。前記リフトタブ３４は、前記磁気ヘッドスライダ５０がディスク面の径方向外方へ位置するように前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが前記アクチュエータによって揺動された際に、磁気ディスク装置に備えられたランプと係合して前記磁気ヘッドスライダ５０をｚ方向（前記ディスク面と直交する方向、図２参照）に沿って前記ディスク面から離間させる為の部材である。
【００３７】
さらに、本実施の形態においては、図１に示すように、前記ロードビーム部３０の前記一対のフランジ部３２は、基端側から先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線ＣＬに近接するように傾斜されている。
【００３８】
斯かる構成によれば、前記ロードビーム部３０の先端側における前記中心線ＣＬ回りの慣性モーメントを低減でき、捩れ一次モード及び曲げ一次モードに関する共振周波数を上昇させることができると共に、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの振動時における前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を抑えることができる。
【００３９】
さらに、前記ロードビーム部３０は、図１及び図２に示すように、第１曲げ線ＢＬ１及び第２曲げ線ＢＬ２において折り曲げられている。
この第１及び第２曲げ線Ｂ１，Ｂ２における曲げ構造の詳細については後述する。
【００４０】
前記荷重曲げ部２０は、自己の弾性変形に基づいて前記磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面へ向けて押し付ける押し付け荷重を発生する。
【００４１】
図１に示すように、本実施の形態においては、前記荷重曲げ部２０は、板面が前記ディスク面と対向する状態で前記中心線ＣＬを挟んで互いに対して離間配置された左右一対の板バネ２１を有している。
【００４２】
好ましくは、前記一対の板バネ２１は、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａが前記磁気ディスク装置へ実装される前の段階において前記磁気ヘッドスライダ５０が前記ディスク面に近づく方向に所定の曲げ位置で予め折り曲げられ、且つ、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの前記磁気ディスク装置への実装時には曲げ戻されることで前記押し付け荷重を発生するように、構成される。
【００４３】
前記荷重曲げ部２０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ〜０．１ｍｍのステンレス板によって形成される。
なお、本実施の形態においては、図１に示すように、前記荷重曲げ部２０は前記ロードビーム部３０の前記本体部３１及び前記フランジ部３２と一体形成されている。
【００４４】
即ち、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１Ａは、前記ロードビーム部３０の前記本体部３１及び前記フランジ部３２と前記荷重曲げ部２０とを一体形成するロードビーム／荷重曲げ形成体を有しており、前記ロードビーム／荷重曲げ形成体における基端側の前記ディスク面とは反対側の上面が前記支持部１０の前記ディスク面と対向する下面に当接された状態で、前記支持部１０に溶接によって接合されている。
当然ながら、前記荷重曲げ部２０を前記本体部３１及び前記フランジ部３２とは別部材によって形成し、前記荷重曲げ部２０を前記本体部３１に溶接等によって連結させることも可能である。
【００４５】
前記フレクシャ部４０は、前記磁気ヘッドスライダ５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０及び前記支持部１０に溶接等によって固着される。
【００４６】
詳しくは、前記フレクシャ部４０はフレクシャ金属プレート４１０を有している。
前記フレクシャ金属プレート４１０は、図２に示すように、前記支持部１０に溶接等によって固着される支持部固着領域４１１と、前記ロードビーム部３０に溶接等によって固着されるロードビーム部固着領域４１２と、前記ロードビーム部固着領域４１２の先端部におけるサスペンション幅方向両側からサスペンション長手方向先端側へ延びる一対の支持片４１３（図１参照）と、前記一対の支持片４１３によって支持された前記ヘッド搭載領域４１５とを有している。
【００４７】
前記ヘッド搭載領域４１５は、図２に示すように、前記ディスク面と対向する下面において前記磁気ヘッドスライダ５０を支持している。
前述の通り、前記ヘッド搭載領域４１５の上面には前記突起３３が接触しており、従って、前記ヘッド搭載領域４１５は前記突起３３を支点としてロール方向及びピッチ方向に柔軟に揺動し得るようになっている。
【００４８】
前記フレクシャ金属プレート４１０は、前記ヘッド搭載領域４１５がロール方向及びピッチ方向に揺動し得るように、前記ロードビーム部３０よりも低剛性とされる。
前記フレクシャ金属プレート４１０は、例えば、厚さ０．０１ｍｍ〜０．０２５ｍｍ程度のステンレス板とされる。
【００４９】
好ましくは、前記フレクシャ部４０には、前記磁気ヘッドスライダ５０を外部部材に電気的に接続する為の配線構造体４２０（図示せず）が一体的に備えられる。
【００５０】
詳しくは、前記配線構造体４２０は、前記フレクシャ金属プレート４１０における前記ディスク面と対向する下面に積層される絶縁層と前記絶縁層における前記ディスク面と対向する面に積層される信号配線とを含み得る。
好ましくは、前記配線構造体は、前記信号配線を囲繞する絶縁性のカバー層を有し得る。
【００５１】
ここで、前記ロードビーム部３０における前記第１及び第２曲げ線ＢＬ１，ＢＬ２での曲げ構造について説明する。
図４に、図２におけるIV部拡大図を示す。
【００５２】
図１，図２及び図４に示すように、前記ロードビーム部３０は、サスペンション長手方向に関し前記ロードビーム部３０の基端部及び前記ディンプル３３の間に位置し且つサスペンション幅方向に沿った前記第１曲げ線ＢＬ１において前記ディスク面に近接する方向へ凸状に折り曲げられており、さらに、サスペンション長手方向に関し前記第１曲げ線ＢＬ１及び前記ディンプル３３の間に位置し且つサスペンション幅方向に沿った前記第２曲げ線ＢＬ２において前記ディスク面に近接する方向へ凸状に折り曲げられている。
【００５３】
即ち、本実施の形態においては、前記ロードビーム部３０は、前記第１及び第２曲げ線ＢＬ１，ＢＬ２の２カ所において同一方向（前記ディスク面に近接する方向）へ凸状となるように折り曲げられている。
なお、図１は、前記第１及び第２曲げ線ＢＬ１，ＢＬ２において折り曲げられる前の状態を示している。
【００５４】
このように、本実施の形態においては、前記第１及び第２曲げ線ＢＬ１，ＢＬ２の双方の折り曲げ方向を前記ディスク面に近接する方向へ凸状となる方向としており、これにより、前記一対のフランジ部３２に歪みが生じることを防止又は可及的に低減しつつ、サスペンション幅方向に沿った第１及び第２曲げ線ＢＬ１，ＢＬ２での前記ロードビーム部３０の折り曲げを可能としている。
【００５５】
即ち、前記一対のフランジ部３２を有するロードビーム部３０は、前記本体部３１を形成する本体部形成領域及び前記一対のフランジ部３２を形成するフランジ部形成領域を有する平板状の基板を、前記本体部形成領域及び前記フランジ部形成領域の境界線が前記ディスク面に面する方向へ凸状となるように曲げ加工することで形成される。
【００５６】
このような前記一対のフランジ部３２付きのロードビーム部３０に対して、サスペンション幅方向に沿った曲げ線において前記ディスク面とは離間する方向へ凸状となるような曲げ加工を行うと、前記一対のフランジ部３２に歪みが生じ易い。
【００５７】
これに対し、本実施の形態においては、前記本体部形成領域及び前記フランジ部形成領域の境界線での曲げも前記第１及び第２曲げ線ＢＬ１，ＢＬ２での曲げも前記ディスク面に近接する方向へ凸状となる方向へ行われている。
即ち、前記一対のフランジ部３２は、前記本体部形成領域及び前記フランジ部形成領域の境界線が前記ディスク面に面する方向へ凸状となるように前記フランジ部形成領域が前記本体部形成領域に対して曲げ加工されることで形成されている。そして、前記第１及び第２曲げ線ＢＬ１，ＢＬ２においても前記ディスク面に面する方向へ凸状となる曲げられている。
このように、本実施の形態においては、前記第１及び第２曲げ線ＢＬ１，ＢＬ２での曲げ方向が前記一対のフランジ部の曲げ方向と同一とされており、これにより、前記一対のフランジ部３２に歪みが生じることを防止又は可及的に低減しつつ、サスペンション幅方向に沿った前記第１及び第２曲げ線ＢＬ１，ＢＬ２での曲げ構造を得ている。
【００５８】
以下、前記第１及び第２曲げ線ＢＬ１，ＢＬ２において前記ディスク面に近接する方向へ凸状となるように折り曲げられた構成を備えた磁気ヘッドサスペンション１Ａの実施例１に対して行った解析結果について説明する。
【００５９】
前記実施例１は以下の寸法を有している。
前記ロードビーム部３０の板厚：ｔ（図３参照）＝０．０２５ｍｍ
前記一対のフランジ部３２の高さ：ｈ（図３参照）＝０．２６ｍｍ
前記一対のフランジ部３２の前記本体部３１に対する曲げ角度：θ３（図３参照）＝７０°
前記一対のフランジ部３２のサスペンション長手方向中心線ＣＬに対する傾斜角度：α（図１参照）＝１０°
前記第２曲げ線ＢＬ２での折り曲げ角度：θ２（図４参照）＝３°
【００６０】
さらに、前記実施例１は、前記第１及び第２曲げ線ＢＬ１，ＢＬ２において前記ロードビーム部３０を曲げる前の図１に示す状態を基準にして、以下の寸法を有している。
前記ボス部１５の中心と前記ディンプル３３との間のサスペンション長手方向距離：Ｄ＝１１ｍｍ
前記支持部１０の先端エッジと前記ディンプル３３との間のサスペンション長手方向距離：Ｌ１＝６．２ｍｍ
前記支持部１０の先端エッジと前記第２曲げ線ＢＬ２との間のサスペンション長手方向距離：Ｌ２＝０．９１×Ｌ１（＝５．６４ｍｍ）
前記支持部１０の先端エッジと前記第１曲げ線ＢＬ１との間のサスペンション長手方向距離：Ｌ３＝０．５５×Ｌ１（＝３．４１ｍｍ）
【００６１】
前記構成の前記実施例１に対して、有限要素法を用いて、捩れ一次モードの振動に起因する前記磁気ヘッドスライダ５０のサスペンション幅方向変位の大きさに関する解析（以下、捩れ一次モード解析という）及び曲げ一次モードの振動に起因する前記磁気ヘッドスライダ５０のサスペンション長手方向変位の大きさに関する解析（以下、曲げ一次モード解析という）を行った。
【００６２】
まず、前記捩れ一次モード解析の解析条件について説明する。
前記第１曲げ線ＢＬ１での折り曲げ角度θ１（図４参照）を３°とした状態の前記実施例１（以下、実施例１−１と言う）に対して、前記支持部１０の基準部位（前記ボス部１５）を前記ディスク面と直交するｚ方向（図２参照）及び前記サスペンション長手方向に沿ったｘ方向（図１及び図２参照）に関し拘束し且つ前記磁気ヘッドスライダ５０のディスク対向面（図２及び図４参照）を前記ｚ方向に関し拘束した状態で、前記支持部１０の基準部位に対して前記サスペンション幅方向に沿ったｙ方向に強制振動(周期的外力による定常振動)を与えて前記ロードビーム部３０を捩れ一次モードで振動させ、その際の前記磁気ヘッドスライダ５０のサスペンション幅方向変位を求めた。
【００６３】
具体的には、設定高さＨ（図２参照）を異ならせた複数の実施例１−１を用意し、それぞれに対して、前記基準部位に周波数を所定の範囲内（例えば１００Ｈｚ〜４００００Ｈｚの範囲）において所定ピッチ毎に変化させながら前記強制振動を与えて捩れ一次モードの振動を生じさせ、捩れ一次モードの振動が生じた際の前記磁気ヘッドスライダ５０のサスペンション幅方向変位を前記複数の実施例１−１毎に解析した。
【００６４】
そして、前記複数の実施例１−１の中で捩れ一次モードの振動が生じた際の前記磁気ヘッドスライダ５０のサスペンション幅方向変位が最小となる実施例を見つけ出し、その実施例の設定高さＨを、磁気ヘッドスライダ５０の変位量を最小とさせる設定高さとした。
【００６５】
その結果を実施例１−１（Ｔ）として図５に示す。
【００６６】
前記第１曲げ線ＢＬ１での折り曲げ角度θ１（図４参照）を２°とした状態の前記実施例１（以下、実施例１−２と言う）に対して同様の解析を行った。
即ち、前記設定高さＨをそれぞれ異ならせた複数の実施例１−２を用意し、それぞれに対して、周波数を前記所定範囲内において所定ピッチ毎に変化させながら前記強制振動を与えて捩れ一次モードの振動を生じさせ、捩れ一次モードの振動が生じた際の前記磁気ヘッドスライダ５０のサスペンション幅方向変位を解析した。
そして、前記複数の実施例１−２の中で前記サスペンション幅方向変位が最小となる実施例を見つけ出し、その実施例の設定高さを、磁気ヘッドスライダ５０の変位量を最小とさせる設定高さとした。
その結果を実施例１−２（Ｔ）として図５に示す。
【００６７】
そして、前記実施例１−１（Ｔ）及び前記実施例１−２（Ｔ）を結んで、前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１と捩れ一次モードの振動を生じさせる周波数の強制振動を与えた際に前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小とさせる設定高さＨとの関係を表す直線Ｔ（実施例１）を得た。
【００６８】
前記直線Ｔ（実施例１）について詳しく説明する。
前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの捩れ一次モードの振動に起因する前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小とさせ得る最適の設定高さＨが前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１毎に存在する。
【００６９】
前記直線Ｔ（実施例１）は、この前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１及び最適な設定高さＨの関係を表しており、この直線の関係を満たすように前記曲げ角度θ１及び前記設定高さＨを設定することで、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａに捩れ一次モードの振動が生じたとしても、その際の前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小とさせることができる。
【００７０】
前記曲げ一次モード解析は以下の条件で行った。
前記実施例１−１に対して、前記支持部１０の前記基準部位を完全拘束（ｘ、ｙ及びｚ方向に関し拘束）し且つ前記磁気ヘッドスライダ５０のディスク対向面を前記ｚ方向に関し拘束した状態で、前記ロードビーム部３０のサスペンション長手方向略中央の所定位置において前記中央長手線を基準にしてサスペンション幅方向一方側のみにz方向に沿った強制振動を与えて、前記ロードビーム部３０を曲げ一次モードで振動させ、その際の磁気ヘッドスライダ５０のサスペンション長手方向変位を求めた。
【００７１】
具体的には、前記設定高さＨを異ならせた複数の実施例１−１及び複数の実施例１−２を用意して、それぞれに対して、前記所定位置に周波数を所定の範囲内（例えば１００Ｈｚ〜４００００Ｈｚの範囲）において所定ピッチ毎に変化させながら前記強制振動を与えて曲げ一次モードの振動を生じさせ、曲げ一次モードの振動が生じた際の磁気ヘッドスライダ５０のサスペンション長手方向変位を前記複数の実施例１−１及び前記複数の実施例１−２毎に解析した。
【００７２】
そして、前記複数の実施例１−１の中で曲げ一次モードの振動が生じた際の前記磁気ヘッドスライダ５０のサスペンション長手方向変位が最小となる実施例を見つけ出し、その実施例の設定高さＨを、磁気ヘッドスライダ５０の変位量を最小とさせる設定高さとした。
その結果を実施例１−１（Ｂ）として図５に示す。
【００７３】
同様に、前記複数の実施例１−２の中で曲げ一次モードの振動が生じた際の前記磁気ヘッドスライダ５０のサスペンション長手方向変位が最小となる実施例を見つけ出し、その実施例の設定高さＨを、磁気ヘッドスライダ５０の変位量を最小とさせる設定高さとした。
その結果を実施例１−２（Ｂ）として、図５に示す。
【００７４】
そして、前記実施例１−１（Ｂ）及び前記実施例１−２（Ｂ）を結んで、前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１と曲げ一次モードの振動を生じさせる周波数の強制振動を与えた際に前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小とさせる前記設定高さＨとの関係を表す直線Ｂ（実施例１）を得た。
【００７５】
この直線Ｂ（実施例１）について詳しく説明する。
前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの曲げ一次モードの振動に起因する前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小とさせ得る最適の設定高さＨが前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１毎に存在する。
【００７６】
前記直線Ｂ（実施例１）は、この前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度及び最適な設定高さＨの関係を表しており、この直線の関係を満たすように前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１及び前記設定高さＨを設定することで、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａに曲げ一次モードの振動が生じたとしても、その際の前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小とさせることができる。
【００７７】
ここで、前記直線Ｔ（実施例１）と前記直線Ｂ（実施例１）とは交点（実施例１）において交差しており、この交点（実施例１）は前記捩れ一次モードの振動及び前記曲げ一次モードの振動の双方に対して前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小にし得る点を意味する。
【００７８】
即ち、前記実施例１においては、前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１を約２．３°（且つ前記設定高さＨ＝約０．６５ｍｍ）とすることで、捩れ一次モードの振動及び曲げ一次モードの振動の双方において前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小とすることができる。
【００７９】
前記第２曲げ線ＢＬ２で折り曲げを行わない点のみにおいて前記実施例１と相違した比較例１であって、前記第１曲げ線ＢＬ１での折り曲げ角度θ１が５°及び２°とされた比較例１（以下、それぞれ、比較例１−１及び１−２という）に対して同様の解析を行った。
【００８０】
即ち、設定高さＨが異なる複数の前記比較例１−１及び設定高さＨが異なる複数の前記比較例１−２を用意し、それぞれに対して前記強制振動を与えて捩れ一次モードの振動を生じさせて、その際の前記磁気ヘッドスライダ５０の変位量を求めた。
そして、前記複数の比較例１−１の中で捩れ一次モードの振動を生じさせる強制振動を与えた際に前記磁気ヘッドスライダ５０の変位量が最小となる一の比較例１−１の設定高さＨ及び前記複数の比較例１−２の中で捩れ一次モードの振動を生じさせる強制振動を与えた際に前記磁気ヘッドスライダ５０の変位量が最小となる一の比較例１−２の設定高さＨを求め、直線Ｔ（比較例１）を得た（図５参照）。
【００８１】
同様に、前記複数の比較例１−１及び前記複数の比較例１−２のそれぞれに対して前記強制振動を与えて曲げ一次モードの振動を生じさせて、その際の前記磁気ヘッドスライダ５０の変位量を求めた。
そして、前記複数の比較例１−１の中で曲げ一次モードの振動を生じさせる強制振動を与えた際に前記磁気ヘッドスライダ５０の変位量が最小となる一の比較例１−１の設定高さＨ及び前記複数の比較例１−２の中で曲げ一次モードの振動を生じさせる強制振動を与えた際に前記磁気ヘッドスライダ５０の変位量が最小となる一の比較例１−２の設定高さＨを求め、直線Ｂ（比較例１）を得た（図５参照）。
【００８２】
図５から、前記比較例１においては、前記捩れ一次モードの振動及び前記曲げ一次モードの振動の双方に対して前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小にし得る前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１は約３．８°（且つ前記設定高さＨ＝約０．７４ｍｍ）であることが分かる（交点（比較例１））。
【００８３】
これは、前記実施例１において前記捩れ一次モードの振動及び前記曲げ一次モードの振動の双方に対して前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小にし得る前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１（＝約２．３°）よりも大きい。
【００８４】
つまり、前記第２曲げ線ＢＬ２において折り曲げを行った構成（前記実施例１）は、前記第２曲げ線ＢＬ２において折り曲げを行わない構成（前記比較例１）に比して、前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度をより小さくした状態で、前記捩れ一次モードの振動及び前記曲げ一次モードの振動の双方に対して前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小にすることができる。
【００８５】
なお、前記板バネ２１の前記曲げ位置を変更することで、直線Ｔ（実施例１）及び直線Ｂ（実施例１）を図５において縦軸方向に沿って平行移動させることができる。即ち、前記板バネ２１の前記曲げ位置を変更することで、前記交点（実施例１）における曲げ角度θ１の値をほぼ維持したままで設定高さＨの値のみを変化させることができる。
従って、前記捩れ一次モードの振動に起因する前記磁気ヘッドスライダ５０の変位及び前記曲げ一次モードの振動に起因する前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を同時に最小とする設定高さＨ（例えば、交点（実施例１））の値を仕様又は所望に応じて所定値に設定する必要がある場合には、前記板バネ２１の前記曲げ位置の変更によって対応可能である。
【００８６】
前記一対のフランジ部３２を有する磁気ヘッドサスペンションにおいては、サスペンション幅方向に沿った曲げ線に沿った折り曲げ角度は小さいほど好ましく、３．０°を越えると前記一対のフランジ部３２に歪みが生じることが経験上、判明している。
【００８７】
従って、前記実施例１によれば、前記一対のフランジ部３２に歪みが生じることを防止又は可及的に低減しつつ、前記捩れ一次モードの振動及び前記曲げ一次モードの振動の双方に対して前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小にすることができる。
【００８８】
前記傾斜角度αが１１．７°に変更された点においてのみ前記実施例１と相違する実施例２に対して同様の解析を行った。
即ち、前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１と捩れ一次モードの振動を生じさせる強制振動を与えた際に前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小とさせる前記設定高さＨとの関係を表す直線Ｔ（実施例２）、並びに、前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１と曲げ一次モードの振動を生じさせる強制振動を与えた際に前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小とさせる前記設定高さＨとの関係を表す直線Ｂ（実施例２）を得た。
これらを図６に示す。
【００８９】
さらに、前記傾斜角度αが１１．７°に変更された点においてのみ前記比較例１と相違する比較例２に対しても同様の解析を行った。
即ち、前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１と捩れ一次モードの振動を生じさせる強制振動を与えた際に前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小とさせる前記設定高さＨとの関係を表す直線Ｔ（比較例２）、並びに、前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１と曲げ一次モードの振動を生じさせる強制振動を与えた際に前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小とさせる前記設定高さＨとの関係を表す直線Ｂ（比較例２）を得た。
これらを図６に併せて示す。
【００９０】
図６から、前記実施例２においては前記捩れ一次モードの振動及び前記曲げ一次モードの振動の双方に対して前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小にさせる前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１は約３．１°（交点（実施例２））であり、前記比較例２においては前記曲げ角度θ１は約４．３°（交点（比較例２））であった。
【００９１】
このことからも、前記第２曲げ線ＢＬ２において折り曲げを行った構成（前記実施例２）が前記第２曲げ線ＢＬ２において折り曲げを行わない構成（前記比較例２）に比して、前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度をより小さくした状態で、前記捩れ一次モードの振動及び前記曲げ一次モードの振動の双方に対して前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小にさせ得ることが理解される。
【００９２】
好ましくは、図１に示すように、前記本体部３１における前記ディスク面とは反対側の面には前記第１曲げ線ＢＬ１より基端側の領域に制振材６０が固着される。
斯かる構成によれば、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの振動時における前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を減衰させることができる。
【００９３】
図７及び図８に、それぞれ、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１Ａの第１及び第２変形例１Ｂ，１Ｃの上面図を示す。
なお、図中、本実施の形態１におけると同一部材には同一符合を付している。
【００９４】
前記第１及び第２変形例１Ｂ，１Ｃは、前記磁気ヘッドサスペンション１Ａにおいて、前記ロードビーム部３０の代わりに、それぞれ、ロードビーム部３０Ｂ，３０Ｃを備えている。
【００９５】
前記ロードビーム部３０Ｂ，３０Ｃは何れも、一対のフランジ部３２Ｂ，３２Ｃが基端側から先端側へ行く従って第１傾斜角αで前記中心線ＣＬに近接する基端領域３２（１）と変曲点Ｐを挟んで前記基端領域３２（１）から先端側へ延びる先端領域３２（２）であって、基端側から先端側へ行くに従って前記第１傾斜角αよりも小さい第２傾斜角βで前記中心線ＣＬに近接する先端領域３２（２）とを含むように構成されている。
【００９６】
前記第１変形例１Ｂ及び前記第２変形例１Ｃによれば、前記ロードビーム部３０Ｂ，３０Ｃの先端側における前記中心線ＣＬ回りの慣性モーメントをより効果的に低減でき、これにより、捩れ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダ５０の変位及び曲げ一次モードの振動に起因する磁気ヘッドスライダ５０の変位の双方を同時に最小にさせ得る前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１をより小さくできる。
【００９７】
なお、前記第１変形例１Ｂにおいては、図７に示すように、前記変曲点Ｐは、サスペンション長手方向に関し前記第１曲げ線ＢＬ１と略同一位置に位置されている。
一方、前記第２実施例１Ｃにおいては、図８に示すように、前記変曲点Ｐは、サスペンション長手方向に関し前記第１曲げ線ＢＬ２より基端側に位置されている。
【００９８】
以下、前記変曲点Ｐを有する前記第１変形例１Ｂ及び前記第２変形例１Ｃに関する実施例３及び比較例３に対して行った解析結果について説明する。
図９Ａに前記比較例３の平面図を、図９Ｂ〜図９Ｆに前記実施例３の平面図を示す。
なお、図９Ａ〜図９Ｆにおいては、前記フレクシャ部４０の図示を省略している。
【００９９】
前記実施例３及び前記比較例３は以下の寸法を有している。
前記ロードビーム部３０、３０Ｂ、３０Ｃの板厚：ｔ＝０．０２５ｍｍ
前記一対のフランジ部３２Ｂ、３２Ｃの高さ：ｈ＝０．２６ｍｍ
前記一対のフランジ部３２Ｂ、３２Ｃの前記本体部３１に対する曲げ角度：７０°
前記第２曲げ線ＢＬ２での折り曲げ角度（図４におけるθ２に相当する角度）：３°
【０１００】
さらに、前記実施例３及び前記比較例３は、前記第１及び第２曲げ線ＢＬ１，ＢＬ２において前記ロードビーム部３０を曲げる前の状態を基準にして、以下の寸法を有している（図９Ａ〜図９Ｆ参照）。
前記ボス部１５の中心と前記ディンプル３３との間のサスペンション長手方向距離：Ｄ＝１１ｍｍ
前記支持部１０の先端エッジと前記ディンプル３３との間のサスペンション長手方向距離：Ｌ１＝６．２ｍｍ
前記支持部１０の先端エッジと前記第２曲げ線ＢＬ２との間のサスペンション長手方向距離：Ｌ２＝４．９ｍｍ
前記支持部１０の先端エッジと前記第１曲げ線ＢＬ１との間のサスペンション長手方向距離：Ｌ３＝３．４ｍｍ
【０１０１】
前記構成を備えつつ、前記変曲点を有さないサスペンション（図９Ａ参照、前記比較例３）、前記変曲点Ｐと前記支持部１０の先端エッジとの間のサスペンション長手方向距離Ｌ５が１．６５×Ｌ３（＝５．６ｍｍ）となるように前記変曲点Ｐの位置が設定されているサスペンション（図９Ｂ参照、以下、実施例３−１という）、前記サスペンション長手方向距離Ｌ５が１．２９×Ｌ３（＝４．４ｍｍ）となるように前記変曲点Ｐの位置が設定されているサスペンション（図９Ｃ参照、以下、実施例３−２という）、前記サスペンション長手方向距離Ｌ５が１．０×Ｌ３（＝３．４ｍｍ）となるように前記変曲点Ｐの位置が設定されているサスペンション（図９Ｄ参照、以下、実施例３−３という）、前記サスペンション長手方向距離Ｌ５が０．７２×Ｌ３（＝２．４ｍｍ）となるように前記変曲点Ｐの位置が設定されているサスペンション（図９Ｅ参照、以下、実施例３−４という）、及び前記サスペンション長手方向距離Ｌ５が０．４１×Ｌ３（＝１．４ｍｍ）となるように前記変曲点Ｐの位置が設定されているサスペンション（図９Ｆ参照、以下、実施例３−５という）を用意した。
【０１０２】
なお、前記比較例３においては、前記ロードビーム部３０は基端側の幅Ｗが３．５２ｍｍとされ且つ前記フランジ部３２は基端側から先端側へ行くに従って傾斜角１２°で前記サスペンション長手方向中心線ＣＬに近接している。
【０１０３】
一方、前記実施例３−１〜３−５においては、前記ロードビーム部３０Ｂ（３０Ｃ）の基端側の幅が前記比較例における前記ロードビーム部の基端側幅Ｗと同一とされ且つ前記ロードビーム部３０Ｂ（３０Ｃ）における前記先端領域３２（２）の前記サスペンション長手方向中心線ＣＬに対する傾斜角αが９°に固定されている。そして、前記実施例３−１〜３−５においては、前記変曲点Ｐの位置が前述のように変更された結果、前記ロードビーム部３０Ｂ（３０Ｃ）における前記基端領域３２（１）の前記サスペンション長手方向中心線ＣＬに対する傾斜角βは、それぞれ、１３°、１４°、１５°、１８°及び２６°となっている。
【０１０４】
前記比較例３及び実施例３−１〜３−５に対して、有限要素法を用いて、前記捩れ一次モード解析及び前記曲げ一次モード解析を行った。
【０１０５】
まず、前記捩れ一次モード解析について説明する。
前記比較例３及び実施例３−１〜３−５の各々に対して、前記第１曲げ線ＢＬ１での折り曲げ角度θ１（図４参照）を３°に固定した状態で前記設定高さＨ（図２参照）を異ならせた複数のサスペンションを用意し、複数のサスペンションのそれぞれに対して、前記基準部位に強制振動を与えて捩れ一次モードの振動を生じさせ、捩れ一次モードの振動が生じた際の前記磁気ヘッドスライダ５０のサスペンション幅方向変位を解析し、前記異なる設定高さＨのうち前記幅方向変位を最小とさせる設定高さＨを求めた。
【０１０６】
前記第１前線ＢＬ１での折り曲げ角度θ１を２°に固定した状態で同様の解析を行った。
即ち、θ１が２°に固定された前記比較例３及び実施例３−１〜３−５の各々に対して、前記設定高さＨを異ならせた複数のサスペンションを用意し、それぞれに対して、同様の解析を行った。
【０１０７】
そして、前記比較例３及び実施例３−１〜３−５の各々に対して、前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１と捩れ一次モードの振動時における前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小とさせる設定高さＨとの関係を表す直線（以下、捩れ一次モード直線という）を得た。
【０１０８】
次に、前記曲げ一次モード解析について説明する。
前記比較例３及び実施例３−１〜３−５の各々に対して、前記第１曲げ線ＢＬ１での折り曲げ角度θ１（図４参照）を３°に固定した状態で前記設定高さＨ（図２参照）を異ならせた複数のサスペンションを用意し、複数のサスペンションのそれぞれに対して、前記基準部位を完全拘束（ｘ、ｙ及びｚ方向に関し拘束）し且つ前記磁気ヘッドスライダ５０のディスク対向面を前記ｚ方向に関し拘束した状態で、前記ロードビーム部３０のサスペンション長手方向略中央の所定位置において前記中央長手線を基準にしてサスペンション幅方向一方側のみにz方向に沿った強制振動を与えて曲げ一次モードの振動を生じさせ、曲げ一次モードの振動が生じた際の前記磁気ヘッドスライダ５０のサスペンション長手方向変位を解析し、前記異なる設定高さＨのうち前記長手方向変位を最小とさせる設定高さＨを求めた。
【０１０９】
前記第１前線ＢＬ１での折り曲げ角度θ１を２°に設定した状態で同様の解析を行った。
即ち、θ１が２°に設定された前記比較例３及び実施例３−１〜３−５の各々に対して、前記設定高さＨを異ならせた複数のサスペンションを用意し、それぞれに対して、同様の解析を行った。
【０１１０】
そして、前記比較例３及び実施例３−１〜３−５の各々に対して、前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１と曲げ一次モードの振動時における前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小とさせる設定高さＨとの関係を表す直線（以下、曲げ一次モード直線という）を得た。
【０１１１】
前記比較例３及び実施例３−１〜３−５の各々において、前記捩れ一次モード直線と前記曲げ一次モード直線との交点を求めて、その交点における曲げ角度θ１(min)を得た。
この曲げ角度θ１(min)は、捩れ一次モードの振動時及び曲げ一次モードの振動時の双方において前記磁気ヘッドスライダの変位を最小とさせる曲げ角度である。
即ち、前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１をθ１(min)に設定することで、捩れ一次モードの振動時及び曲げ一次モードの振動時の双方において前記磁気ヘッドスライダ５０の変位を最小とさせることができる。
【０１１２】
図１０に、前記θ１(min)と前記変曲点Ｐの位置との関係を表すグラフを示す。
図１０から、前記変曲点Ｐと前記支持部１０の先端エッジとの間のサスペンション長手方向距離Ｌ５が１．０×Ｌ３より大きい場合、即ち、前記変曲点Ｐが前記第１曲げ線ＢＬ１よりサスペンション長手方向先端側に位置する場合には、前記変曲点Ｐの位置に拘わらずθ１(min)は約２．２°の一定値となった。
【０１１３】
これに対し、前記距離Ｌ５が１．０×Ｌ３以下の場合、即ち、前記変曲点Ｐが前記第１曲げ線ＢＬ１よりサスペンション長手方向基端側に位置する場合には、前記変曲点Ｐをサスペンション長手方向基端側へ位置させるに従ってθ１(min)が前記一定値から徐々に小さくなった。
【０１１４】
このことから、Ｌ５≦１．０×Ｌ３となるように前記変曲点Ｐのサスペンション長手方向位置を設定することにより、前記第１曲げ線ＢＬ１での曲げ角度θ１を小さくしつつ、捩れ一次モードの振動時及び曲げ一次モードの振動時の双方において磁気ヘッドスライダ５０の変位を小さくすることができると解される。
【０１１５】
次に、前記第１変形例１Ｂ及び前記第２変形例１Ｃに関する他の実施例４に対して行った解析結果について説明する。
図１１に、前記実施例４の平面図を示す。
なお、図１１においては、前記フレクシャ部４０の図示を省略している。
【０１１６】
前記実施例４として、前記第１曲げ線ＢＬ１と前記支持部１０の先端エッジとの間の距離Ｌ３を０．５５×Ｌ１（＝３．４１ｍｍ）に固定し且つ前記変曲点Ｐと前記支持部１０の先端エッジとの間の距離Ｌ５を０．２３×Ｌ１（＝１．４ｍｍ）に固定した状態で、前記第１曲げ線Ｌ１から前記第２曲げ線Ｌ２までのサスペンション長手方向距離Ｌ４を異ならせた複数のサスペンション（実施例４−１〜４−４）を用意した。
【０１１７】
前記実施例４−１〜４−４においては、前記距離Ｌ４を、それぞれ、０．０５×Ｌ１（＝０．３１ｍｍ）、０．１２×Ｌ１（＝０．７４ｍｍ）、０．２４×Ｌ１（＝１．５ｍｍ）及び０．３６×Ｌ１（＝２．２ｍｍ）とした。
なお、前記実施例４−１〜４−４におけるその他の寸法は前記実施例３と同一である。
【０１１８】
前記実施例４−１〜４−４に対して前記実施例３におけると同様の解析を行った。
その結果を図１２に示す。
【０１１９】
図１２から、前記距離Ｌ４（前記第２曲げ線ＢＬ２と前記第１曲げ線ＢＬ１との間の距離）が０．１５×Ｌ１を越えると前記距離Ｌ４が長くなるに従って前記θ１(min)が大きくなるが、前記距離Ｌ４が０．１５×Ｌ１以下の場合には前記θ１(min)が小さくなった。
【０１２０】
このことから、Ｌ４≦が０．１５×Ｌ１となるように前記第１曲げ線ＢＬ１に対する前記第２曲げ線ＢＬ２の位置を設定することにより、捩れ一次モードの振動時及び曲げ一次モードの振動時の双方において前記磁気ヘッドスライダの変位を最小とさせ得ることができると解される。
【０１２１】
次に、前記第１変形例１Ｂ及び前記第２変形例１Ｃに関するさらに他の実施例５に対して行った解析結果について説明する。
図１３に、前記実施例５の平面図を示す。
なお、図１３においては、前記フレクシャ部４０の図示を省略している。
【０１２２】
前記実施例５として、前記第２曲げ線ＢＬ２と前記支持部１０の先端エッジとの間の距離Ｌ２を０．７９×Ｌ１（＝４．９ｍｍ）に固定し且つ前記変曲点Ｐと前記支持部１０の先端エッジとの間の距離Ｌ５を０．２３×Ｌ１（＝１．４ｍｍ）に固定した状態で、前記第１曲げ線Ｌ１と前記支持部１０の先端エッジとの間の距離Ｌ３を異ならせた複数のサスペンション（実施例５−１〜５−４）を用意した。
【０１２３】
前記実施例５−１〜５−４においては、前記距離Ｌ３を、それぞれ、０．７３×Ｌ１（＝４．５ｍｍ）、０．６７×Ｌ１（＝４．２ｍｍ）、０．５５×Ｌ１（＝３．４ｍｍ）及び０．４３×Ｌ１（＝２．７ｍｍ）とした。
なお、前記実施例５−１〜５−４におけるその他の寸法は前記実施例３と同一である。
【０１２４】
前記実施例５−１〜５−４に対して前記実施例３におけると同様の解析を行った。
その結果を図１４に示す。
【０１２５】
図１４から、０．５３×Ｌ１≦Ｌ３≦０．６７×Ｌ１の範囲では、前記θ１(min)を小さくすることができる。
このことから、好ましくは、前記第１曲げ線ＢＬ１は、０．５３×Ｌ１≦Ｌ３≦０．６７×Ｌ１を満たすように位置設定される。
【符号の説明】
【０１２６】
１Ａ，１Ｂ，１Ｃ 磁気ヘッドサスペンション
１０ 支持部
２０ 荷重曲げ部
３０，３０Ｂ，３０Ｃ ロードビーム部
３１ 本体部
３２ フランジ部
３２（１） 基端領域
３２（２） 先端領域
３３ 突起（ディンプル）
４０ フレクシャ部
５０ 磁気ヘッドスライダ
６０ 制振材
４１５ ヘッド搭載領域
ＢＬ１ 第１曲げ線
ＢＬ２ 第２曲げ線
ＣＬ サスペンション長手方向中心線
Ｐ 変曲点
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部と、磁気ヘッドスライダを前記ディスク面に向けて押し付ける為の荷重を発生し得るように前記支持部に連結された荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部を介して前記支持部に支持され且つ前記荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記ロードビーム部及び前記支持部に支持され且つ先端側に前記磁気ヘッドスライダを支持するヘッド搭載領域を有するフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記ロードビーム部は、前記ディスク面と対向する平板状の本体部と前記本体部のサスペンション幅方向両端部から前記ディスク面とは離間する側へ折り曲げられた一対のフランジ部とを有し、
前記本体部には、前記ヘッド搭載領域における前記磁気ヘッドスライダを支持する支持面とは反対側の裏面に当接するように前記ディスク面に近接する方向へ突出されたディンプルが設けられ、
前記ロードビーム部は、サスペンション長手方向に関し基端部及び前記ディンプルの間に位置し且つサスペンション幅方向に沿った第１曲げ線並びにサスペンション長手方向に関し前記第１曲げ線及び前記ディンプルの間に位置し且つサスペンション幅方向に沿った第２曲げ線の双方において前記ディスク面に近接する方向へ凸状に折り曲げられていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２】
前記第１及び第２曲げ線での曲げ角度は共に３°以下であることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項３】
前記一対のフランジ部は、基端側から先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線に近接するように傾斜されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項４】
前記一対のフランジ部は、基端側から先端側へ行く従って第１傾斜角で前記中心線に近接する基端領域と、変曲点を挟んで前記基端領域から先端側へ延びる先端領域であって、基端側から先端側へ行くに従って前記第１傾斜角よりも小さい第２傾斜角で前記中心線に近接する先端領域とを含むことを特徴とする請求項３に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項５】
前記変曲点は、サスペンション長手方向に関し前記第１曲げ線と同一位置又は前記第１曲げ線より基端側に位置されていることを特徴とする請求項４に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項６】
前記支持部の先端エッジ及び前記ディンプルの間のサスペンション長手方向距離をＬ１とした場合に、前記第１曲げ線及び前記支持部の先端エッジの間のサスペンション長手方向距離Ｌ３が０．５３×Ｌ１≦Ｌ３≦０．６７×Ｌ１を満たすように前記第１曲げ線のサスペンション長手方向位置が設定されていることを特徴とする請求項１から５の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項７】
前記支持部の先端エッジ及び前記ディンプルの間のサスペンション長手方向距離をＬ１とした場合に、前記第１曲げ線及び前記第２曲げ線の間のサスペンション長手方向距離Ｌ４がＬ４≦０．１５×Ｌ１を満たすように前記第１曲げ線に対する前記第２曲げ線のサスペンション長手方向位置が設定されていることを特徴とする請求項１から６の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項８】
前記本体部における前記ディスク面とは反対側の面には、前記第１曲げ線より基端側の領域に制振材が固着されていることを特徴とする請求項１から７の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項１】
アクチュエータによって直接又は間接的に揺動中心回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部と、磁気ヘッドスライダを前記ディスク面に向けて押し付ける為の荷重を発生し得るように前記支持部に連結された荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部を介して前記支持部に支持され且つ前記荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記ロードビーム部及び前記支持部に支持され且つ先端側に前記磁気ヘッドスライダを支持するヘッド搭載領域を有するフレクシャ部とを備えた磁気ヘッドサスペンションであって、
前記ロードビーム部は、前記ディスク面と対向する平板状の本体部と前記本体部のサスペンション幅方向両端部から前記ディスク面とは離間する側へ折り曲げられた一対のフランジ部とを有し、
前記本体部には、前記ヘッド搭載領域における前記磁気ヘッドスライダを支持する支持面とは反対側の裏面に当接するように前記ディスク面に近接する方向へ突出されたディンプルが設けられ、
前記ロードビーム部は、サスペンション長手方向に関し基端部及び前記ディンプルの間に位置し且つサスペンション幅方向に沿った第１曲げ線並びにサスペンション長手方向に関し前記第１曲げ線及び前記ディンプルの間に位置し且つサスペンション幅方向に沿った第２曲げ線の双方において前記ディスク面に近接する方向へ凸状に折り曲げられていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項２】
前記第１及び第２曲げ線での曲げ角度は共に３°以下であることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項３】
前記一対のフランジ部は、基端側から先端側へ行くに従ってサスペンション長手方向中心線に近接するように傾斜されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項４】
前記一対のフランジ部は、基端側から先端側へ行く従って第１傾斜角で前記中心線に近接する基端領域と、変曲点を挟んで前記基端領域から先端側へ延びる先端領域であって、基端側から先端側へ行くに従って前記第１傾斜角よりも小さい第２傾斜角で前記中心線に近接する先端領域とを含むことを特徴とする請求項３に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項５】
前記変曲点は、サスペンション長手方向に関し前記第１曲げ線と同一位置又は前記第１曲げ線より基端側に位置されていることを特徴とする請求項４に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項６】
前記支持部の先端エッジ及び前記ディンプルの間のサスペンション長手方向距離をＬ１とした場合に、前記第１曲げ線及び前記支持部の先端エッジの間のサスペンション長手方向距離Ｌ３が０．５３×Ｌ１≦Ｌ３≦０．６７×Ｌ１を満たすように前記第１曲げ線のサスペンション長手方向位置が設定されていることを特徴とする請求項１から５の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項７】
前記支持部の先端エッジ及び前記ディンプルの間のサスペンション長手方向距離をＬ１とした場合に、前記第１曲げ線及び前記第２曲げ線の間のサスペンション長手方向距離Ｌ４がＬ４≦０．１５×Ｌ１を満たすように前記第１曲げ線に対する前記第２曲げ線のサスペンション長手方向位置が設定されていることを特徴とする請求項１から６の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項８】
前記本体部における前記ディスク面とは反対側の面には、前記第１曲げ線より基端側の領域に制振材が固着されていることを特徴とする請求項１から７の何れかに記載の磁気ヘッドサスペンション。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９Ａ】
【図９Ｂ】
【図９Ｃ】
【図９Ｄ】
【図９Ｅ】
【図９Ｆ】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９Ａ】
【図９Ｂ】
【図９Ｃ】
【図９Ｄ】
【図９Ｅ】
【図９Ｆ】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【公開番号】特開２０１２−１１３７９７（Ｐ２０１２−１１３７９７Ａ）
【公開日】平成２４年６月１４日（２０１２．６．１４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−３１０８３（Ｐ２０１１−３１０８３）
【出願日】平成２３年２月１６日（２０１１．２．１６）
【出願人】（０００１７５７２２）サンコール株式会社 (96)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年６月１４日（２０１２．６．１４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年２月１６日（２０１１．２．１６）
【出願人】（０００１７５７２２）サンコール株式会社 (96)
【Ｆターム（参考）】
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