絶縁体基板の除電方法及び除電装置
【課題】フラットパネルディスプレイに用いられているガラス基板等の絶縁体基板を、ロボットアーム等を用いて基板固定ステージから脱着する際に発生する剥離帯電を効率良く除電する。
【解決手段】絶縁体基板１を、ロボットアーム２等を用いて基板固定ステージ１１に脱着する際に、絶縁体基板１の受け渡しに用いられる基板固定ステージ１１上に設けられた少なくとも３本以上のリフトピン１２の上昇あるいは下降するタイミングをコントロールすることによって効率良く除電することが可能になる。
【解決手段】絶縁体基板１を、ロボットアーム２等を用いて基板固定ステージ１１に脱着する際に、絶縁体基板１の受け渡しに用いられる基板固定ステージ１１上に設けられた少なくとも３本以上のリフトピン１２の上昇あるいは下降するタイミングをコントロールすることによって効率良く除電することが可能になる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、フラットパネルディスプレイに用いられているガラス基板等の絶縁体基板を除電するための除電方法と除電装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、フラットパネルディスプレイ製造工程等において用いられるガラス基板等の絶縁体基板を、ロボットアーム等を用いて、基板固定ステージから脱着する装置が知られている。この装置において、ガラス基板をロボットアーム、リフトピン、あるいは基板固定ステージから離脱する際は、重ね合った２つの物体が離れることに起因する剥離帯電が発生する。このような剥離帯電が発生すると、基板周囲のパーティクルの吸着や、基板上に形成された堆積膜の絶縁破壊を招く恐れがある。
【０００３】
そこで、このような剥離帯電を除電するための手段として、コロナ放電を発生させてコロナ放電を用いた除電手段や軟X線を用いて、絶縁体基板下方から除電する手段が知られている。また、基板固定ステージ表面に導通を取るために導電性材料を用いてコーティングすることによって、剥離帯電量を低減する手段が知られている。
【０００４】
例えば、リフトピン等の支持手段により持ち上げられた基板の下方から軟X線を照射する手段が提案されている (特許文献１参照)。また、リフトピン等の支持手段により持ち上げられている間のみ軟X線を照射することにより軟X線の放射時間を短縮する手段が提案されている (特許文献２参照)。
【特許文献１】特開２００４−２９９８１４号公報
【特許文献２】特開２００６−４９３９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した特許文献１、２に記載の技術のように、基板下方から除電することによる除電手段を用いた場合には、基板裏面に帯電している静電気を除電できたとしても、基板が、ロボットアーム、リフトピン、あるいは、基板固定ステージ等から離脱する際に発生する剥離帯電を剥離と同時に除電することが難しいという課題がある。
【０００６】
また、導通材料を基板固定ステージ前面にコーティングすることによる除電手段を用いた場合には、例えば、レーザを対物レンズ等で集光したものを基板に照射する場合に、その焦点深度以下に基板固定ステージの平面度を維持できないという課題発生する。また、コーティングしたことによって反射率が高くなり、コーティング面からの反射光によって所望の動作（例えばオートフォーカス等）を達成が難しいという課題がある。
【０００７】
そこで、本発明は、基板が、ロボットアーム、リフトピン、あるいは、基板固定ステージ等から離脱する際に発生する剥離帯電を剥離と同時に除電することができる除電装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明は、ロボットアームと基板固定ステージ間の基板の受け渡しのために基板固定ステージ上に設けられた少なくとも３本以上の上下動可能なリフトピンと、基板の側面の１方向から該基板を除電するための除電器とを具備した除電装置であって、該基板を前記ロボットアームから前記リフトピンに受け渡す際に、前記ロボットアームから該基板が、前記除電器を備えている側から順次に離れるように各々の前記リフトピンの上昇するタイミングをコントロールする第１の手段を備え、前記第１の手段を用いて、前記ロボットアームから該基板が離脱する際に発生する剥離帯電を除電するものである。
【０００９】
これにより、基板を、ロボットアーム、リフトピン、又は基板固定ステージから離脱する際に、除電器が位置する基板の側面側から相対向する側面側に向かって順次離脱するように、リフトピンの上昇、あるいは下降するタイミングをコントロールすることにより、基板がロボットアーム、リフトピン、又は基板固定ステージから離脱すると同時に剥離帯電を除電することができる。
【００１０】
また、本発明は、ロボットアームと基板固定ステージ間の基板の受け渡しのために基板固定ステージ上に設けられた少なくとも３本以上の上下動可能なリフトピンと、基板の側面の相対向する２方向から基板を除電するための一対の除電器とを具備した除電装置であって、該基板を前記ロボットアームから前記リフトピンに受け渡す際に、前記ロボットアームから該基板が、前記一対の除電器を備えている２方向の該基板の両側側面から中央に向かって順次離れるように各々の前記リフトピンの上昇するタイミングをコントロールする第２の手段を備え、前記第２の手段を用いて、前記ロボットアームから該基板が離脱する際に発生する剥離帯電を除電するものである。
【００１１】
これにより、基板を、ロボットアーム、リフトピン、又は基板固定ステージから離脱する際に、除電器が位置する相対向する基板の２側面側から中央に向かって順次離脱するように、リフトピンの上昇、あるいは下降するタイミングをコントロールすることにより、基板がロボットアーム、リフトピン、又は基板固定ステージから離脱すると同時に剥離帯電を除電することができる。
【００１２】
また、本発明は、ロボットアームと基板固定ステージ間の基板の受け渡しのために基板固定ステージ上に設けられた少なくとも３本以上の上下動可能なリフトピンと、基板の全ての側面４方向からから該基板を除電するための二対の除電器を具備した除電装置であって、該基板を前記ロボットアームから前記リフトピンに受け渡す際に、前記ロボットアームから該基板が、前記二対の除電器を備えている該基板の側面４方向から中央に向かって順次離れるように各々の前記リフトピンの上昇するタイミングをコントロールする第３の手段を備え、前記第３の手段を用いて、前記ロボットアームから該基板が離脱する際に発生する剥離帯電を除電するものである。
【００１３】
これにより、基板を、ロボットアーム、リフトピン、又は基板固定ステージから離脱する際に、除電器が位置する基板の側面４方向から中央に向かって順次離脱するように、リフトピンの上昇、あるいは下降するタイミングをコントロールすることにより、基板がロボットアーム、リフトピン、又は基板固定ステージから離脱すると同時に剥離帯電を除電することができる。
【００１４】
また、本発明は、ロボットアームと基板固定ステージ間の基板の受け渡しのために基板固定ステージ上に設けられた少なくとも３本以上の上下動可能なリフトピンと、前記基板固定ステージと該基板が接触する外周部４辺に導電性材料によるコーティングを施した基板固定ステージとを具備した除電装置であって、該基板を前記基板固定ステージから前記リフトピンを用いて離脱する際に、該基板の１側面から相対向する反対側側面に向かって順次離脱するように、各々の前記リフトピンの上昇するタイミングをコントロールする第４の手段を備え、前記第４の手段を用いて、前記基板固定ステージから該基板が離れる際に発生する剥離帯電を除電するものである。
【００１５】
これにより、基板を、基板固定ステージからリフトピンを用いて離脱する際に、基板の１側面から相対向する反対側側面に向かって、基板の中央から相対する基板２側面に向かって、あるいは、基板の中央から基板の４側面に向かって順次離脱するように、各々のリフトピンの上昇するタイミングをコントロールすることにより、基板固定ステージから基板が離れるときに発生する剥離帯電量を低減でき、さらに剥離と同時に剥離帯電を除電することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、ガラス基盤等の絶縁体基板を、ロボットアーム、リフトピン、あるいは、基板固定ステージ等から離脱させる際に発生する剥離帯電を効率良く除電することができるという効果を奏する。
また、ガラス基板をリフトピンに真空吸着することにより、基板とリフトピンが相対的に動くことなく除電することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の一実施の形態を、図１〜９を参照して説明する。
図１は、この発明の第１の実施の形態の除電装置を示すものである。
図１において、除電対象の基板としてガラス基板１を用いている。ガラス基板１を固定する基板固定ステージ１１には、３本のリフトピン１２ａ、リフトピン１２ｂ、リフトピン１２ｃを図示しない駆動機構及び制御部によりそれぞれ上下動可能に備えている。なお、３本のリフトピン１２ａ、リフトピン１２ｂ、リフトピン１２ｃに限らず、３本以上の数のリフトピンを設けてもよい。
【００１８】
また、図１の略コ字状のロボットアーム２上に載置された位置と基板固定ステージ１１上の位置との間でガラス基板１を受け渡しができるように、ロボットアーム２が図示しない駆動機構及び制御部により矢印方向又は反矢印方向に移動可能に設けられている。
ここで、リフトピン１２ａ、リフトピン１２ｂ、リフトピン１２ｃの基板固定ステージ１１上の配置位置は、略コ字状のロボットアーム２が基板固定ステージ１１上で移動する範囲とリフトピン１２ａ、リフトピン１２ｂ、リフトピン１２ｃの上昇・下降範囲が互いに干渉することがないように相対的にずらして設けられる。
また、除電器１０には軟Ｘ線照射タイプを用いており、除電器１０はガラス基板１の一側面から照射できるようにロボットアーム２の移動範囲となる側面とは反対側の基板固定ステージ１１の一側面に配置されている。
【００１９】
図２は、ガラス基板１とリフトピン１２が接触した状態の断面を示したものである。
図２において、ガラス基板１を基板固定ステージ１１上のリフトピン１２が下面から固定して支持している状態を示す。
図２に示すように、リフトピン１２の中心に設けられた空間１３を用いて図示しない真空ポンプ及び制御部により真空引きをすることにより基板１の下面をリフトピン１２が吸引する。これにより、ガラス基板１をリフトピン１２で固定させることができる。
【００２０】
図３は、ガラス基板１が、除電装置に搬入、除電プロセス終了後、搬出されるフロー図である。
図３において、ガラス基板１が、ロボットアーム２上に載置された状態で移動することによって図１に示した除電装置に搬入される（ステップＳ１）。次に、除電装置では基板固定ステージ１１上のリフトピン１２が上昇して基板１をロボットアーム２からリフトピン１２に受け渡す（ステップＳ２）。このとき、ロボットアーム２から基板１が、除電器１０を備えている側から順次に離れるように図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン１２の上昇するタイミングをコントロールする。
【００２１】
そして、基板固定ステージ１１上のリフトピン１２が下降してガラス基板１は基板固定ステージ１１に固定される（ステップＳ３）。このとき、基板１からリフトピン１２が、除電器１０の備えている反対側から順番に離脱するように、図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン１２の下降するタイミングをコントロールする。上述したステップＳ１からステップＳ３までの状態で除電器１０により基板１に対する除電が行われている。また、ステップＳ３での状態で基板１に対する所定のプロセスが実行される。
【００２２】
ステップＳ３での基板１に対する所定のプロセス終了後、基板固定ステージ１１上のリフトピン１２が上昇して基板１をリフトピン１２が支持する（ステップＳ４）。このとき、基板固定ステージ１１から基板１が、除電器１０の備えている側から順次離脱するように、図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン１２の上昇するタイミングをコントロールする。
【００２３】
そして、基板１をリフトピン１２からロボットアーム２に受け渡す。このとき、基板１からリフトピン１２が、除電器１０の備えている反対側から順番に離脱するように、図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピンの下降するタイミングをコントロールする。さらに、ガラス基板１が、ロボットアーム２上に載置された状態でステップＳ１と反対方向に移動することによって図１に示した除電装置から搬出される（ステップＳ５）。上述したステップＳ３からステップＳ５までの状態で除電器１０により基板１に対する除電が行われている。
【００２４】
このようにガラス基板１が、ロボットアーム２によって除電装置に搬入、除電プロセス終了後、再びロボットアーム２によって搬出される一連の流れの中でガラス基板１が離脱する相手物が変化する。このガラス基板１が離脱する相手物が変化するとき、図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピンの上昇、下降するタイミングをコントロールする。
【００２５】
図４は、図３で示した流れに沿って、ガラス基板１の側面方向（矢視Ａ）から見たガラス基板１の着脱の流れを示す図であり、図４（ａ）〜（ｄ）は、ガラス基板１のロボットアーム２から離脱するまでの流れを示し、図４（ｅ）、（ｆ）は、ガラス基板１が基板固定ステージ１１に設置されるまでの流れを示し、図４（ｇ）、（ｈ）は、所定のプロセスが終了した後に、ガラス基板１が基板固定ステージ１１から離脱するまでの流れを示し、図４（ｉ）〜（ｋ）は、ガラス基板１をロボットアーム２に受け渡すまでの流れを示している。
【００２６】
まず、図４（ａ）〜（ｄ）に示した、ガラス基板１のロボットアーム２から離脱してリフトピン１２に受け渡すまでの流れを説明する。
まず、ガラス基板１が、ロボットアーム２上に載置された状態で矢印方向に移動することによって除電器１０と反対側から基板固定ステージ１１上にガラス基板１が搬入される（図４（ａ））。
このとき、除電器１０は、ガラス基板１が基板固定ステージ１１上に位置するまでに軟Ｘ線が基板固定ステージ１１全面に到達するよう事前に図示しない制御部によりＯＮ状態に制御される。
【００２７】
次に、ガラス基板１がロボットアーム２と除電器１０側から順次離脱するために、第１に除電器１０側のリフトピン１２ａ、リフトピン１２ｂが図示しない駆動機構及び制御部により同時に上昇し（図４（ｂ））、第２に除電器１０と反対側のリフトピン１２ｃが図示しない駆動機構及び制御部により上昇する（図４（ｃ））。これにより、ガラス基板１がリフトピン１２ａ、リフトピン１２ｂ、リフトピン１２ｃ上に支持された状態となる。
このようにして、ロボットアーム２は、図４（ｃ）の状態でガラス基板１がロボットアーム２から離脱した後に矢印方向に移動することによって退避する（図４（ｄ））。
【００２８】
ガラス基板１とリフトピン１２ａ〜１２ｃは、図４（ｂ）から図４（ｃ）の状態で各リフトピン１２がガラス基板１と接したのと同時に、図２に示したようにリフトピン１２の中心に設けられた空間１３を図示しない真空ポンプ及び制御部により真空引きすることにより真空吸着される。なお、図４（ｃ）の状態で全てのリフトピン１２がガラス基板１と接した後に、上述した真空引きを行っても良い。
【００２９】
次に、図４（ｅ）、（ｆ）に示した、ガラス基板１がリフトピン１２上から基板固定ステージ１１上に載置されるまでの流れを説明する。
このとき、除電器１０は、従前の図４（ａ）に引続き図示しない制御部によりＯＮ状態に制御されている。
リフトピン１２ａ〜１２ｃの下降動作によって、ガラス基板１を除電器１０の反対側から基板固定ステージ１１に載置させるために、第１に除電器１０と反対側のリフトピン１２ｃが図示しない駆動機構及び制御部により下降し（図４（ｅ））、第２に除電器１０側のリフトピン１２ａ、リフトピン１２ｂが図示しない駆動機構及び制御部により同時に下降する（図４（ｆ））。
【００３０】
このとき、除電器１０は、図４（ｆ）に示すガラス基板１が基板固定ステージ１１上に載置されたと同時に図示しない制御部によりＯＦＦ状態に制御される。
上述した図４（ｂ）から図４（ｃ）の状態での各リフトピン１２のガラス基板１に対する真空吸着は、図４（ｆ）に示すガラス基板１が基板固定ステージ１１上に載置された後に図示しない真空ポンプ及び制御部によりＯＦＦ状態に制御される。
【００３１】
次に、図４（ｇ）、（ｈ）に示した、上述した図４（ｆ）での図示しないガラス基板１に対する所定のプロセスが終了した後に、ガラス基板１が基板固定ステージ１１から離脱してリフトピン１２ａ、リフトピン１２ｂ、リフトピン１２ｃ上に支持されるまでの流れを説明する。
予め除電器１０は、図４（ｇ）に示すガラス基板１が基板固定ステージ１１から離脱する動作開始前までに軟Ｘ線が基板固定ステージ全面に到達するよう事前に図示しない制御部によりＯＮ状態に制御される。
【００３２】
このとき、ガラス基板１を、基板固定ステージ１１上で除電器１０側から順番に離脱させるため、第１に除電器１０側のリフトピン１２ａ、リフトピン１２ｂを図示しない駆動機構及び制御部により同時に上昇させ（図４（ｇ））、第２に除電器１０と反対側のリフトピン１２ｃを図示しない駆動機構及び制御部により上昇させる（図４（ｈ））。これにより、ガラス基板１がリフトピン１２ａ、リフトピン１２ｂ、リフトピン１２ｃ上に支持された状態となる。
【００３３】
ガラス基板１とリフトピン１２ａ〜１２ｃは、図４（ｇ）から図４（ｈ）の状態で各リフトピン１２がガラス基板１と接したのと同時に、図２に示したようにリフトピン１２の中心に設けられた空間１３を図示しない真空ポンプ及び制御部により真空引きすることにより真空吸着される。なお、図４（ｈ）の状態で全てリフトピン１２がガラス基板１と接したのと同時に、上述した真空引きを行っても良い。
【００３４】
次に、図４（ｉ）〜（ｋ）に示した、ガラス基板１をリフトピン１２上からロボットアーム２に受け渡すまでの流れを説明する。
除電器１０は、従前の図４（ｇ）の状態から引き続き図示しない制御部によりＯＮ状態に制御されている。
まず、ロボットアーム２は、図４（ｈ）の状態でガラス基板１がリフトピン１２ａ、リフトピン１２ｂ、リフトピン１２ｃ上に支持された状態となった後にガラス基板１と基板固定ステージ１１の間に図４（ｄ）の矢印方向と反対方向に移動することによって挿入される（図４（ｉ））。
【００３５】
次に、ガラス基板１とリフトピン１２が、除電器１０の反対側から順番に離脱するために、第１に除電器１０の反対側のリフトピン１２ｃが図示しない駆動機構及び制御部により下降し（図４（ｊ））、第２に、リフトピン１２ａ、リフトピン１２ｂが図示しない駆動機構及び制御部により同時に下降する（図４（ｋ））。
【００３６】
このとき、除電器１０は、図４（ｋ）に示すガラス基板１と全てのリフトピン１２が離れたと同時に図示しない制御部によりＯＦＦ状態に制御される。
また、各リフトピン１２の真空引きは、図４（ｊ）から図４（ｋ）の状態で各リフトピン１２がガラス基板１と離れるのと同時に図示しない真空ポンプ及び制御部によりＯＦＦ状態に制御される。なお、図４（ｊ）から図４（ｋ）の状態での各リフトピン１２の真空引きは、各リフトピン１２がガラス基板１と離れる直前に図示しない真空ポンプ及び制御部によりＯＦＦ状態に制御されても良い。
【００３７】
また、上述したリフトピン１２の本数は、基板１のサイズ（基板たわみ許容量）に合わせて選択され、本数が増えた場合でも除電器１０の位置する方向から基板１がロボットアーム２、リフトピン１２、又は基板固定ステージ１１などの相手物から離脱するように図示しない駆動機構及び制御部により各リフトピン１２の上昇、下降のタイミングをコントロールすれば良い。
【００３８】
また、除電器１０が、ロボットアーム２の移動範囲の方向と相対向する位置に設置されてない場合でも除電器１０の位置する方向から基板１がロボットアーム２、リフトピン１２、又は基板固定ステージ１１などの相手物から離脱するように各リフトピン１２の上昇、下降のタイミングを図示しない駆動機構及び制御部によりコントロールすれば良い。
【００３９】
図５は、本発明の第２の実施の形態による除電装置を示す説明図である。
図５において、図１に示した第１の実施の形態による除電装置と同一の部分には同一の符号を付して、その説明を省略する。
ガラス基板１を固定する基板固定ステージ２１には、６本のリフトピン２２ａ〜２２ｆを図示しない駆動機構及び制御部によりそれぞれ上下動可能に備えている。なお、６本のリフトピン２２ａ〜２２ｆに限らず、任意の３本以上の数のリフトピンを設けてもよい。
【００４０】
ここで、リフトピン２２ａ〜２２ｆの基板固定ステージ２１上の配置位置は、略コ字状のロボットアーム２が基板固定ステージ２１上で移動する範囲とリフトピ２２ａ〜２２ｆンの上昇・下降範囲が互いに干渉することがないように相対的にずらして設けられる。
除電器２３ａ、２３ｂには、第１の実施の形態と同様に、軟Ｘ線照射タイプを用い、除電器２３ａ、２３ｂは、ガラス基板１を相対向する両側面から照射できるように、ロボットアーム２の移動範囲となる側面とは直交する側の基板固定ステージ１１の相対向する両側面に配置されている。
リフトピン２２ａ〜２２ｆは、第１の実施の形態で示したものと同様で、図２に示したようにリフトピン１２の中心に設けられた空間１３を図示しない真空ポンプ及び制御部により真空引きすることによりガラス基板１を真空吸着するようになされている。
【００４１】
図３を参照しながら、図５に示した第２の実施の形態による除電装置において、ガラス基板１が、除電装置に搬入、除電プロセス終了後、搬出されるフローについて説明する。
図３において、ガラス基板１が、ロボットアーム２上に載置された状態で移動することによって図５に示した除電装置に搬入される（ステップＳ１）。次に、除電装置では基板固定ステージ２１上のリフトピン２２が上昇して基板１をロボットアーム２からリフトピン２２に受け渡す（ステップＳ２）。このとき、ロボットアーム２から基板１が、一対の除電器２３ａ、２３ｂを備えている２方向の基板１の両側側面から中央に向かって順次離れるように図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン２２の上昇するタイミングをコントロールする。
【００４２】
そして、基板固定ステージ１１上のリフトピン２２が下降してガラス基板１は基板固定ステージ２１に固定される（ステップＳ３）。このとき、基板１からリフトピン２２が、基板１の中央から一対の除電器２３ａ、２３ｂを備えている２方向の１基板の側面両側に向かって順番に離脱するように、図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン２２の下降するタイミングをコントロールする。上述したステップＳ１からステップＳ３までの状態で除電器２３ａ、２３ｂにより基板１に対する除電が行われている。また、ステップＳ３の状態で基板１に対する所定のプロセスが実行される。
【００４３】
ステップＳ３での基板１に対するプロセス終了後、基板固定ステージ２１上のリフトピン２２が上昇して基板１をリフトピン２２が支持する（ステップＳ４）。このとき、基板固定ステージ２１から基板１が、一対の除電器２３ａ、２３ｂを備えている２方向の基板１の側面両側から基板１の中央に向かって順次離脱するように、図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン２２の上昇するタイミングをコントロールする。
【００４４】
そして、基板１をリフトピン２２からロボットアーム２に受け渡す。このとき、基板１からリフトピン２２が、基板１の中央から一対の除電器２３ａ、２３ｂを備えている２方向の基板１の側面両側に向かって順次離脱するように、図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン２２の下降するタイミングをコントロールする。さらに、ガラス基板１が、ロボットアーム２上に載置された状態でステップＳ１と反対方向に移動することによって図５に示した除電装置から搬出される（ステップＳ５）。上述したステップＳ３からステップＳ５までの状態で除電器２３ａ、２３ｂにより基板１に対する除電が行われている。
【００４５】
このようにガラス基板１が、ロボットアーム２によって除電装置に搬入、除電プロセス終了後、再びロボットアーム２によって搬出される一連の流れの中でガラス基板１が離脱する相手物が変化する。このガラス基板１が離脱する相手物が変化するとき、図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピンの上昇、下降するタイミングをコントロールする。
【００４６】
図６は、図３で示した流れに沿ってガラス基板１の側面方向（矢視Ｂ）から見たガラス基板１の着脱の流れを示す図であり、図６（ａ）〜（ｄ）は、ガラス基板１のロボットアーム２から離脱するまでの流れを示し、図６（ｅ）、（ｆ）は、ガラス基板１が基板固定ステージ２１に設置されるまでの流れを示している。図６（ｇ）、（ｈ）は、所定のプロセスが終了した後に、ガラス基板１が基板固定ステージ２１から離脱するまでの流れを示し、図６（ｉ）〜（ｋ）は、ガラス基板１をロボットアーム２に受け渡すまでの流れを示している。
【００４７】
まず、図６（ａ）〜（ｄ）に示した、ガラス基板１をロボットアーム２から離脱してリフトピン２２に受け渡すまでの流れを説明する。
まず、ガラス基板１が、ロボットアーム２上に載置された状態で矢印方向に移動することによって対向する除電器２３ａ、２３ｂと直交する側から基板固定ステージ２１上にガラス基板１が搬入される（図４（ａ））。
このとき、除電器２３ａ、２３ｂは、ガラス基板１が基板固定ステージ２１上に位置するまでに軟Ｘ線が基板固定ステージ全面に到達するよう事前に図示しない制御部によりＯＮ状態に制御される。
【００４８】
次に、ガラス基板１がロボットアーム２と除電器２３ａ、２３ｂ両側から基板１の中央側に順次離脱するために、第１に除電器２３ａ、２３ｂ両側面のリフトピン２２ａ、リフトピン２２ｂ、リフトピン２２ｅ、リフトピン２２ｆが図示しない駆動機構及び制御部により同時に上昇し（図６（ｂ））、第２に基板１の中央側のリフトピン２２ｃ、リフトピン２２ｄが図示しない駆動機構及び制御部により同時に上昇する（図６（ｃ））。これにより、ガラス基板１がリフトピン２２ａ〜２２ｆ上に支持された状態となる。
【００４９】
このようにして、ロボットアーム２は、図６（ｃ）の状態でガラス基板１がロボットアーム２から離脱した後に矢印方向に移動することによって退避する（図６（ｄ））。
ガラス基板１とリフトピン２２ａ〜２２ｆは、図６（ｂ）から図６（ｃ）の状態で各リフトピン２２がガラス基板１と接したのと同時に、図２に示したようにリフトピン２２の中心に設けられた空間１３を図示しない真空ポンプ及び制御部により真空引きすることにより真空吸着される。なお、図６（ｃ）の状態で全てリフトピン２２がガラス基板１と接した後に、上述した真空引きを行っても良い。
【００５０】
次に、図６（ｅ）、（ｆ）に示した、ガラス基板１がリフトピン２２ａ〜２２ｆ上から基板固定ステージ２１上に載置されるまでの流れを説明する。
除電器２３ａ、２３ｂは、従前の図６（ａ）に引続き図示しない制御部によりＯＮ状態に制御されている。
リフトピン２２ａ〜２２ｆの下降動作によって、ガラス基板１が基板１の中央側から除電器２３ａ、２３ｂ両側に向けて基板固定ステージ２１上に順次載置されるために、第１に基板１の中央側のリフトピン２２ｃ、２２ｄが図示しない駆動機構及び制御部により同時に下降し（図６（ｅ））、第２に除電器２３ａ、２３ｂ両側面のリフトピン２２ａ、リフトピン２２ｂ、リフトピン２２ｅ、リフトピン２２ｆが図示しない駆動機構及び制御部により同時に下降する（図６（ｆ））。
【００５１】
このとき、除電器２３ａ、２３ｂは、図６（ｆ）に示すガラス基板１が基板固定ステージ２１上に載置されたと同時に図示しない制御部によりＯＦＦ状態に制御される。
上述した図６（ｂ）から図６（ｃ）の状態での各リフトピン２２の真空吸着は、ガラス基板１が基板固定ステージ２１上に載置された後に図示しない真空ポンプ及び制御部によりＯＦＦ状態に制御される。
【００５２】
次に、図６（ｇ）、（ｈ）に示した、上述した図６（ｆ）での図示しないガラス基板１に対する所定のプロセスが終了した後に、ガラス基板１が基板固定ステージ２１から離脱してリフトピン２２ａ〜２２ｆ上に支持されるまでの流れを説明する。
予め、除電器２３ａ、２３ｂは、図６（ｇ）に示すガラス基板１が基板固定ステージ２１から離脱する動作開始前までに軟Ｘ線が基板固定ステージ２１全面に到達するよう事前に図示しない制御部によりＯＮ状態に制御される。
【００５３】
このとき、ガラス基板１を、除電器２３ａ、２３ｂ両側から基板１の中央側に向かって離脱させるため、第１に除電器２３ａ、２３ｂ両側のリフトピン２２ａ、リフトピン２２ｂ、リフトピン２２ｅ、リフトピン２２ｆを図示しない駆動機構及び制御部により同時に上昇させ（図６（ｇ））、第２に基板１の中央側のリフトピン２２ｃ、リフトピン２２ｄを図示しない駆動機構及び制御部により同時に上昇させる（図６（ｈ））。これにより、ガラス基板１がリフトピン２２ａ〜２２ｆ上に支持された状態となる。
【００５４】
ガラス基板１とリフトピン２２ａ〜２２ｆは、図６（ｇ）から図６（ｈ）の状態で各リフトピン２２がガラス基板１と接したのと同時に、図２に示したようにリフトピン２２の中心に設けられた空間１３を図示しない真空ポンプ及び制御部により真空引きすることにより真空吸着される。なお、全てリフトピンがガラス基板１と接したのと同時に、図６（ｈ）の状態で上述した真空引きを行っても良い。
【００５５】
次に、図６（ｉ）〜（ｋ）に示した、ガラス基板１をリフトピン２２ａ〜２２ｆ上からロボットアーム２に受け渡すまでの流れを説明する。
除電器２３ａ、２３ｂは、従前の図６（ｇ）の状態から引き続き図示しない制御部によりＯＮ状態に制御されている。
まず、ロボットアーム２は、図６（ｈ）の状態でガラス基板１がリフトピン２２ａ〜２２ｆ上に支持された状態となった後にガラス基板１と基板固定ステージ２１の間に図６（ｄ）の方向と反対方向に移動することによって挿入される（図６（ｉ））。
【００５６】
ガラス基板１とリフトピン２２ａ〜２２ｆが、基板１の中央側から除電器２３ａ、２３ｂ両側に向かって順番に離脱するために、第１に基板１の中央側のリフトピン２２ｃ、リフトピン２２ｄを図示しない駆動機構及び制御部により同時に下降させ（図６（ｊ））、第２に除電器２３ａ、２３ｂ両側のリフトピン２２ａ、リフトピン２２ｂ、リフトピン２２ｅ、リフトピン２２ｆを図示しない駆動機構及び制御部により同時に下降させる（図６（ｋ））。
【００５７】
このとき、除電器２３ａ、２３ｂは、図６（ｋ）に示すガラス基板１と全てのリフトピン２２ａ〜２２ｆが離れたと同時に図示しない制御部によりＯＦＦ状態に制御される。
各リフトピン２２ａ〜２２ｆの真空引きは、図６（ｊ）から図６（ｋ）の状態で各リフトピン２２ａ〜２２ｆがガラス基板１と離れるのと同時に図示しない真空ポンプ及び制御部によりＯＦＦ状態に制御される。なお、各リフトピン２２ａ〜２２ｆの真空引きは、各リフトピン２２ａ〜２２ｆがガラス基板と離れる直前に図示しない真空ポンプ及び制御部によりＯＦＦ状態に制御されても良い。
【００５８】
また、上述したリフトピン２２の本数は、第１の実施の形態と同様に、基板１のサイズ（基板たわみ許容量）に合わせて選択され、本数が増えた場合でも除電器２３ａ、２３ｂの位置する方向から基板１がロボットアーム２、リフトピン２２、又は基板固定ステージ２１などの相手物から離脱するように各リフトピン２２の上昇、下降のタイミングをコントロールすれば良い。
【００５９】
また、除電器２３ａ、２３ｂが、９０°回転したロボットアーム２の移動範囲の方向と同じ方向の相対向する位置に設置された場合でも除電器２３ａ、２３ｂの位置する両方向から基板１の中央側に向けて順次基板１がロボットアーム２、リフトピン２２、又は基板固定ステージ２１などの相手物から離脱するように各リフトピン２２の上昇、下降のタイミングをコントロールすれば良い。
【００６０】
図７は、本発明の第３の実施の形態による除電装置を示す説明図である。
図７において、図１に示した第１の実施の形態による除電装置と同一の部分には同一の符号を付して、その説明を省略する。
ガラス基板１を固定する基板固定ステージ３１には、９本のリフトピン３２ａ〜３２ｉを図示しない駆動機構及び制御部によりそれぞれ上下動可能に備えている。なお、９本のリフトピン３２ａ〜３２ｉに限らず、任意の３本以上の数のリフトピンを設けてもよい。
ここで、リフトピン３２ａ〜３２ｉの基板固定ステージ３１上の配置位置は、略コ字状のロボットアーム２が基板固定ステージ３１上で移動する範囲とリフトピン３２ａ〜３２ｉの上昇・下降範囲が互いに干渉することがないように相対的にずらして設けられる。
【００６１】
除電器３３ａ〜３３ｄには、第１の実施の形態と同様に、軟Ｘ線照射タイプを用い、除電器３３ａ〜３３ｄは、ガラス基板１の側面４方向から照射できるように、ロボットアーム２の移動範囲となる側面と基板固定ステージ３１の相対向する両側面と、ロボットアーム２の移動範囲となる側面とは直交する側の基板固定ステージ３１の相対向する両側面に配置されている。
リフトピン３２ａ〜３２ｉは、第１の実施の形態で示したものと同様に、図２に示したようにリフトピン３２の中心に設けられた空間１３を図示しない真空ポンプ及び制御部により真空引きすることによりガラス基板１を基板を吸引するようになされている。
【００６２】
図３を参照しながら、図７に示した第３の実施の形態による除電装置において、ガラス基板１が、除電装置に搬入、除電プロセス終了後、搬出されるフローについて説明する。
図３において、ガラス基板１が、ロボットアーム２上に載置された状態で移動することによって図７に示した除電装置に搬入される（ステップＳ１）。次に、除電装置では基板固定ステージ３１上のリフトピン３２が上昇して基板１をロボットアーム２からリフトピン３２に受け渡す（ステップＳ２）。このとき、ロボットアーム２から基板１が、二対の除電器３３ａ〜３３ｄを備えている基板１の側面４方向から基板１の中央に向かって順次離れるように図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン３２ａ〜３２ｉの上昇するタイミングをコントロールする。
【００６３】
そして、基板固定ステージ３１上のリフトピン３２が下降してガラス基板１は基板固定ステージ３１に固定される（ステップＳ３）。このとき、基板１からリフトピン３２ａ〜３２ｉが、基板１の中央から二対の除電器３３ａ〜３３ｄを備えている基板１の側面４方向に向かって順番に離脱するように、図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン３２ａ〜３２ｉの下降するタイミングをコントロールする。上述したステップＳ１からステップＳ３までの状態で除電器３３ａ〜３３ｄにより基板１に対する除電が行われている。また、ステップＳ３の状態で基板１に対する所定のプロセスが実行される。
【００６４】
ステップＳ３での基板１に対するプロセス終了後、基板固定ステージ３１上のリフトピン３２が上昇して基板１をリフトピン３２が支持する（ステップＳ４）。このとき、基板固定ステージ３１から基板１が、二対の除電器３３ａ〜３３ｄを備えている基板１の側面４方向から基板１の中央に向かって順次離脱するように、図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン３２ａ〜３２ｉの上昇するタイミングをコントロールする。
【００６５】
そして、基板１をリフトピン３２からロボットアーム２に受け渡す。このとき、基板１からリフトピン３２ａ〜３２ｉが、基板１の中央から二対の除電器３３ａ〜３３ｄを備えている基板１の側面４方向に向かって順次離脱するように、図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン３２ａ〜３２ｉの下降するタイミングをコントロールする。さらに、ガラス基板１が、ロボットアーム２上に載置された状態でステップＳ１と反対方向に移動することによって図７に示した除電装置から搬出される（ステップＳ５）。上述したステップＳ３からステップＳ５までの状態で除電器３３ａ〜３３ｄにより基板１に対する除電が行われている。
【００６６】
このようにガラス基板１が、ロボットアーム２によって除電装置に搬入、除電プロセス終了後、再びロボットアーム２によって搬出される一連の流れの中でガラス基板１が離脱する相手物が変化する。このガラス基板１が離脱する相手物が変化するとき、図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン３２ａ〜３２ｉの上昇、下降するタイミングをコントロールする。
【００６７】
図８は、図３で示した流れに沿ってガラス基板１の側面方向（矢視C）から見たガラス基板１の着脱の流れを示す図であり、図８（ａ）〜（ｄ）は、ガラス基板１のロボットアーム２から離脱するまでの流れを示し、図８（ｅ）、（ｆ）は、ガラス基板１が基板固定ステージ３１に設置されるまでの流れを示し、図８（ｇ）、（ｈ）は、所定のプロセスが終了した後に、ガラス基板１が基板固定ステージ３１から離脱するまでの流れを示し、図８（ｉ）〜（ｋ）は、ガラス基板１をロボットアーム２に受け渡すまでの流れを示している。
【００６８】
まず、図８（ａ）〜（ｄ）は、ガラス基板１をロボットアーム２から離脱してリフトピン３２に受け渡すまでの流れを説明する。
まず、ガラス基板１が、ロボットアーム２上に載置された状態で図７の矢印方向に移動することによって二対の除電器３３ａ〜３３ｄのうちの１方向側から基板固定ステージ３１上にガラス基板１が搬入される（図８（ａ））。
このとき、除電器３３ａ〜３３ｄは、ガラス基板１が基板固定ステージ３１上に位置するまでに軟Ｘ線が基板固定ステージ３１全面に到達するよう事前に図示しない制御部によりＯＮ状態に制御される。
【００６９】
次に、ガラス基板１が、ガラス基板１の４側面から基板１の中央側に向かって順次離脱するために、第１に基板１の４隅のリフトピン３２ａ、リフトピン３２ｃ、リフトピン３２ｇ、リフトピン３２ｉが図示しない駆動機構及び制御部により同時に上昇し（図８（ｂ））、第２に基板１の４側面中央のリフトピン３２ｂ、３２ｄ、３２ｆ、３２ｈが図示しない駆動機構及び制御部により同時に上昇し、第３に基板１の中央のリフトピン３２ｅが図示しない駆動機構及び制御部により上昇する（図８（ｃ））。
このようにして、ロボットアーム２は、図８（ｃ）の状態でガラス基板１がロボットアーム２から離脱した後に図７の矢印方向と反対方向に退避する（図８（ｄ））。
【００７０】
ガラス基板１とリフトピン３２ａ〜３２ｉは、図８（ｂ）から図８（ｃ）の状態で各リフトピン３２がガラス基板１と接したのと同時に、図２に示したようにリフトピン３２の中心に設けられた空間１３を図示しない真空ポンプ及び制御部により真空引きすることにより真空吸着される。なお、図８（ｃ）の状態で全てリフトピン３２がガラス基板１と接した後に、上述した真空引きを行っても良い。
【００７１】
次に、図８（ｅ）、（ｆ）に示した、ガラス基板１がリフトピン３２ａ〜３２ｉ上から基板固定ステージ３１上に載置されるまでの流れを説明する。
除電器３３ａ〜３３ｄは、従前の図８（ａ）に引続き図示しない制御部によりＯＮ状態に制御されている。
リフトピン３２ａ〜３２ｉの下降動作によって、ガラス基板１が中央から基板固定ステージ３１に設置するために、第１に基板１の中央のリフトピン３２eが、図示しない駆動機構及び制御部により下降し（図８（ｅ））、第２に基板１の４側面中央のリフトピン３２ｂ、３２ｄ、３２ｆ、３２ｈが図示しない駆動機構及び制御部により同時に下降し、第３に基板１の４隅のリフトピン３２ａ、リフトピン３２ｃ、リフトピン３２ｇ、リフトピン３２ｉが図示しない駆動機構及び制御部により同時に下降する（図８（ｆ））。
【００７２】
このとき、除電器３３ａ〜３３ｄは、図８（ｆ）に示すガラス基板１が基板固定ステージ３１上に載置されたと同時に図示しない制御部によりＯＦＦ状態に制御される。上述した図８（ｂ）から図８（ｃ）の状態での各リフトピン３２の真空吸着は、ガラス基板１が基板固定ステージ３１上に載置された後に図示しない真空ポンプ及び制御部によりＯＦＦ状態に制御される。
【００７３】
次に、図８（ｇ）、（ｈ）に示した、上述した図８（ｆ）での図示しないガラス基板１に対する所定のプロセスが終了した後に、ガラス基板１が基板固定ステージ３１から離脱してリフトピン３２ａ〜３２ｉ上に支持されるまでの流れを説明する。
予め、除電器３３ａ〜３３ｄは、図８（ｇ）に示すガラス基板１が基板固定ステージ３１から離脱する動作開始前までに軟Ｘ線が基板固定ステージ３１全面に到達するよう事前に図示しない制御部によりＯＮ状態に制御される。
【００７４】
このとき、ガラス基板１を、ガラス基板１の４側面から基板１の中央側に向かって離脱させるため、第１に基板１の４隅のリフトピン３２ａ、リフトピン３２ｃ、リフトピン３２ｇ、リフトピン３２ｉを同時に上昇させ（図８（ｇ））、第２に基板１の４側面中央のリフトピン３２ｂ、３２ｄ、３２ｆ、３２ｈを図示しない駆動機構及び制御部により同時に上昇させ、第３に基板１の中央のリフトピン３２ｅを図示しない駆動機構及び制御部により上昇させる（図８（ｈ））。これにより、ガラス基板１がリフトピン３２ａ〜３２ｉ上に支持された状態となる。
【００７５】
ガラス基板１とリフトピン３２ａ〜３２ｉは、図８（ｇ）から図８（ｈ）の状態で各リフトピン３２がガラス基板１と接したのと同時に、図２に示したようにリフトピン３２の中心に設けられた空間１３を図示しない真空ポンプ及び制御部により真空引きすることにより真空吸着される。なお、図８（ｈ）の状態で全てリフトピンがガラス基板１と接したのと同時に、上述した真空引きを行っても良い。
【００７６】
次に、図８（ｉ）〜（ｋ）に示した、ガラス基板１をリフトピン３２ａ〜３２ｉ上からロボットアーム２に受け渡すまでの流れを説明する。
除電器３３ａ〜３３ｄは、従前の図８（ｇ）の状態から引き続き図示しない制御部によりＯＮ状態に制御されている。
まず、ロボットアーム２は、図８（ｈ）の状態でガラス基板１がリフトピン３２ａ〜３２ｉ上に支持された状態となった後にガラス基板１と基板固定ステージ３１の間に図８（ｄ）の方向と反対方向に移動することによって挿入される（図８（ｉ））。
【００７７】
ガラス基板１とリフトピンが、ガラス基板１の中央からガラス基板１の４側面に向かって順番に離脱するために、第１に基板１の中央のリフトピン３２eが、図示しない駆動機構及び制御部により下降し（図８（ｊ））、第２に基板１の４側面中央のリフトピン３２ｂ、３２ｄ、３２ｆ、３２ｈが図示しない駆動機構及び制御部により同時に下降し、第３に基板１の４隅のリフトピン３２ａ、リフトピン３２ｃ、リフトピン３２ｇ、リフトピン３２ｉが図示しない駆動機構及び制御部により同時に下降する（図８（ｋ））。
【００７８】
このとき、除電器３３ａ〜３３ｄは、図８（ｋ）に示すガラス基板１と全てのリフトピン３２ａ〜３２ｉが離れたと同時に図示しない制御部によりＯＦＦ状態に制御される。
各リフトピン３２ａ〜３２ｉの真空引きは、図８（ｊ）から図８（ｋ）の状態で各リフトピン３２ａ〜３２ｉがガラス基板１と離れるのと同時に図示しない真空ポンプ及び制御部によりＯＦＦ状態に制御される。なお、各リフトピン３２ａ〜３２ｉの真空引きは、各リフトピン３２ａ〜３２ｉがガラス基板１と離れる直前にＯＦＦ状態に制御されても良い。
【００７９】
また、リフトピン３２ａ〜３２ｉの本数は、第１の実施の形態と同様に、基板サイズ（基板たわみ許容量）に合わせて選択され、本数が増えた場合でも除電器３３ａ〜３３ｄの位置する方向から基板１がロボットアーム２、リフトピン３２ａ〜３２ｉ、又は基板固定ステージ３１などの相手物から離脱するように各リフトピン３２ａ〜３２ｉの上昇、下降のタイミングをコントロールすれば良い。
【００８０】
図９は、本発明の第４の実施の形態による除電装置を示す説明図である。
図９において、図１に示した第１の実施の形態による除電装置と同一の部分には同一の符号を付して、その説明を省略する。
ガラス基板１を固定する基板固定ステージ４１に、アルミナセラミックスを用いて、９本のリフトピン４２ａ〜４２ｉを図示しない駆動機構及び制御部によりそれぞれ上下動可能に備えている。なお、９本のリフトピン４２ａ〜４２ｉに限らず、任意の３本以上の数のリフトピンを設けてもよい。
【００８１】
ここで、リフトピン４２ａ〜４２ｉの基板固定ステージ４１上の配置位置は、略コ字状のロボットアーム２が基板固定ステージ４１上で移動する範囲とリフトピン４２ａ〜４２ｉの上昇・下降範囲が互いに干渉することがないように相対的にずらして設けられる。
リフトピン４２ａ〜４２ｉは、第１の実施の形態で示したものと同様に、図２に示したようにリフトピン４２の中心に設けられた空間１３を図示しない真空ポンプ及び制御部により真空引きすることによりガラス基板１を基板を吸引するようになされている。
【００８２】
ここで特に、基板固定ステージ４１は、基板固定ステージ４１と基板１とが接する外周部４辺に設けられた外周コーティング部４３ａ〜４３ｄの表面にＴｉＮ（厚さ：１μｍ）コートが施されている。また、４辺の外周コーティング部４３ａ〜４３ｄのＴｉＮコート部分は、基板１の除電を可能とするようにステージ外に接地されている。
【００８３】
図３を参照しながら、図９に示した第４の実施の形態による除電装置において、ガラス基板１が、除電装置に搬入、除電プロセス終了後、搬出されるフローについて説明する。
図３において、ガラス基板１が、ロボットアーム２上に載置された状態で移動することによって図９に示した除電装置に搬入される（ステップＳ１）。次に、除電装置では基板固定ステージ４１上のリフトピン４２が上昇して基板１をロボットアーム２からリフトピン４２に受け渡す（ステップＳ２）。
【００８４】
このとき、ロボットアーム２から基板１が、４辺の外周コーティング部４３ａ〜４３ｄを設けている基板１の１側面（４３ｃ）方向から対向する他の１側面（４３ａ）方向に向かって順次離れるように図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン４２ａ〜４２ｉの上昇するタイミングをコントロールする。
【００８５】
又は、ロボットアーム２から基板１が、４辺の外周コーティング部４３ａ〜４３ｄを設けている基板１の中央から１側面（４３ｃ）方向及び対向する他の１側面（４３ａ）方向に向かって順次離れるように図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン４２ａ〜４２ｉの上昇するタイミングをコントロールする。
【００８６】
又は、ロボットアーム２から基板１が、４辺の外周コーティング部４３ａ〜４３ｄを設けている基板１の中央から４側面（４３ａ〜４３ｄ）方向に向かって順次離れるように図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン４２ａ〜４２ｉの上昇するタイミングをコントロールする。
【００８７】
そして、基板固定ステージ４１上のリフトピン４２が下降してガラス基板１は基板固定ステージ４１に固定される（ステップＳ３）。このとき、基板１からリフトピン４２ａ〜４２ｉが、４辺の外周コーティング部４３ａ〜４３ｄを設けている基板１の１側面（４３ｃ）方向から対向する他の１側面（４３ａ）方向に向かって順番に離脱するように、図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン４２ａ〜４２ｉの下降するタイミングをコントロールする。
【００８８】
又は、ロボットアーム２から基板１が、４辺の外周コーティング部４３ａ〜４３ｄを設けている基板１の中央から１側面（４３ｃ）方向及び対向する他の１側面（４３ａ）方向に向かって順次離れるように図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン４２ａ〜４２ｉの下降するタイミングをコントロールする。
【００８９】
又は、ロボットアーム２から基板１が、４辺の外周コーティング部４３ａ〜４３ｄを設けている基板１の中央から４側面（４３ａ〜４３ｄ）方向に向かって順次離れるように図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン４２ａ〜４２ｉの下降するタイミングをコントロールする。
【００９０】
上述したステップＳ１からステップＳ３までの状態で外周コーティング部４３ａ〜４３ｄにより基板１に対する除電が行われている。また、ステップＳ３の状態で基板１に対する所定のプロセスが実行される。
【００９１】
ステップＳ３での基板１に対するプロセス終了後、基板固定ステージ４１上のリフトピン４２が上昇して基板１をリフトピン４２が支持する（ステップＳ４）。このとき、基板固定ステージ４１から基板１が、外周コーティング部４３ａ〜４３ｄを設けている基板１の１側面（４３ｃ）方向から対向する他の１側面（４３ａ）方向に向かって順次離脱するように、図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン４２ａ〜４２ｉの上昇するタイミングをコントロールする。
【００９２】
又は、ロボットアーム２から基板１が、４辺の外周コーティング部４３ａ〜４３ｄを設けている基板１の中央から１側面（４３ｃ）方向及び対向する他の１側面（４３ａ）方向に向かって順次離れるように図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン４２ａ〜４２ｉの上昇するタイミングをコントロールする。
【００９３】
又は、ロボットアーム２から基板１が、４辺の外周コーティング部４３ａ〜４３ｄを設けている基板１の中央から４側面（４３ａ〜４３ｄ）方向に向かって順次離れるように図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン４２ａ〜４２ｉの上昇するタイミングをコントロールする。
【００９４】
そして、基板１をリフトピン４２からロボットアーム２に受け渡す。このとき、基板１からリフトピン４２ａ〜４２ｉが、外周コーティング部４３ａ〜４３ｄを設けている基板１の１側面（４３ｃ）方向から対向する他の１側面（４３ａ）方向に向かって順次離脱するように、図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン４２ａ〜４２ｉの下降するタイミングをコントロールする。
【００９５】
又は、ロボットアーム２から基板１が、４辺の外周コーティング部４３ａ〜４３ｄを設けている基板１の中央から１側面（４３ｃ）方向及び対向する他の１側面（４３ａ）方向に向かって順次離れるように図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン４２ａ〜４２ｉの下降するタイミングをコントロールする。
【００９６】
又は、ロボットアーム２から基板１が、４辺の外周コーティング部４３ａ〜４３ｄを設けている基板１の中央から４側面（４３ａ〜４３ｄ）方向に向かって順次離れるように図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン４２ａ〜４２ｉの下降するタイミングをコントロールする。
【００９７】
さらに、ガラス基板１が、ロボットアーム２上に載置された状態でステップＳ１と反対方向に移動することによって図７に示した除電装置から搬出される（ステップＳ５）。上述したステップＳ３からステップＳ５までの状態で外周コーティング部４３ａ〜４３ｄにより基板１に対する除電が行われている。
【００９８】
このようにガラス基板１が、ロボットアーム２によって除電装置に搬入、除電プロセス終了後、再びロボットアーム２によって搬出される一連の流れの中でガラス基板１が離脱する相手物が変化する。このガラス基板１が離脱する相手物が変化するとき、図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン４２ａ〜４２ｉの上昇、下降するタイミングをコントロールする。
【００９９】
具体的には、上述したステップＳ４で基板１が基板固定ステージ４１から離脱する際に、基板１が基板固定ステージ４１から最後に離れる部分が基板固定ステージ４１の外周部にコーティングした一辺の外周コーティング部４３ａになるように、第１に基板１の１側面のリフトピン４２ａ、４２ｂ、４２ｃを図示しない駆動機構及び制御部により同時に上昇させ、第２に基板１の１側面と直交する２側面中央のリフトピン４２ｄ、４２ｅ、４２ｆを図示しない駆動機構及び制御部により同時に上昇させ、第３に基板１の対向する他の１側面のリフトピン４２ｇ、４２ｈ、４２ｉを図示しない駆動機構及び制御部により同時に上昇させる。
【０１００】
ガラス基板１とリフトピン４２ａ〜４２ｉは、各リフトピン４２ａ〜４２ｉがガラス基板１と接したのと同時に、図２に示したようにリフトピン３２の中心に設けられた空間１３を図示しない真空ポンプ及び制御部により真空引きすることにより真空吸着される。なお、全てリフトピン４２ａ〜４２ｉがガラス基板１と接した後に、上述した真空引きを行っても良い。
【０１０１】
また、基板１が基板固定ステージ４１から最後に離れる部分が基板固定ステージ４１の外周部にコーティングした相対向する２辺の外周コーティング部４３ａ、４３ｃになるように、第１に基板１の１側面と直交する２側面中央のリフトピン４２ｄ、４２ｅ、４２ｆを図示しない駆動機構及び制御部により上昇させ、第２に基板１の１側面及び対向する他の１側面のリフトピン４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｇ、４２ｈ、４２ｉを図示しない駆動機構及び制御部により同時に上昇させる。
【０１０２】
また、基板１が基板固定ステージ４１から最後に離れる部分が基板固定ステージ４１の外周部にコーティングした４辺の外周コーティング部４３ａ〜４３ｄ同時となるように、第１に基板１の中央のリフトピン４２ｅを上昇させ、第２に基板１の４側面中央のリフトピン４２ｂ、４２ｄ、４２ｆ、４２ｈを上昇させ、第３に基板１の４隅のリフトピン４２ａ、４２ｃ、４２ｇ、４２ｉを上昇させる。
【０１０３】
また、基板固定ステージ４１の外周コーティング部４３ａ〜４３ｄは、３辺、２辺、あるいは、１辺のみでも良く、基板１が基板固定ステージ４１と最後に離脱する部分が、基板固定ステージ４１の外周コーティング部４３ａ〜４３ｄのいずれかの面になるように各リフトピン４２ａ〜４２ｉの上昇、下降のタイミングをコントロールすれば良い。
【０１０４】
また、リフトピン４２ａ〜４２ｉの本数は、第１の実施の形態と同様に、基板サイズ（基板たわみ許容量）に合わせて選択され、本数が増えた場合でも基板１が基板固定ステージ４１と最後に離脱する部分が、基板固定ステージ４１の外周コーティング部４３ａ〜４３ｄの面になるように各リフトピン４２ａ〜４２ｉの上昇、下降のタイミングをコントロールすれば良い。
【０１０５】
なお、上述した本実施の形態例に限らず、本発明の要旨を逸脱しない限り、適宜変更しうることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【０１０６】
【図１】本発明の一実施の形態による除電装置を示す説明図である。
【図２】ガラス基板１とリフトピン１２が接触した状態の断面を示す図である。
【図３】ガラス基板１が、除電装置に搬入、除電プロセス終了後、搬出されるフロー図である。
【図４】図３で示した流れに沿って、ガラス基板１の側面方向（矢視Ａ）から見たガラス基板１の着脱の流れを示す図であり、図４（ａ）〜（ｄ）は、ガラス基板１のロボットアーム２から離脱するまでの流れを示し、図４（ｅ）、（ｆ）は、ガラス基板１が基板固定ステージ１１に設置されるまでの流れを示し、図４（ｇ）、（ｈ）は、所定のプロセスが終了した後に、ガラス基板１が基板固定ステージ１１から離脱するまでの流れを示し、図４（ｉ）〜（ｋ）は、ガラス基板１をロボットアーム２に受け渡すまでの流れを示している。
【図５】本発明の第２の実施の形態による除電装置を示す説明図である。
【図６】図３で示した流れに沿ってガラス基板１の側面方向（矢視Ｂ）から見たガラス基板１の着脱の流れを示す図であり、図６（ａ）〜（ｄ）は、ガラス基板１のロボットアーム２から離脱するまでの流れを示し、図６（ｅ）、（ｆ）は、ガラス基板１が基板固定ステージ２１に設置されるまでの流れを示している。図６（ｇ）、（ｈ）は、所定のプロセスが終了した後に、ガラス基板１が基板固定ステージ２１から離脱するまでの流れを示し、図６（ｉ）〜（ｋ）は、ガラス基板１をロボットアーム２に受け渡すまでの流れを示している。
【図７】本発明の第３の実施の形態による除電装置を示す説明図である。
【図８】図３で示した流れに沿ってガラス基板１の側面方向（矢視Ｃ）から見たガラス基板１の着脱の流れを示す図であり、図８（ａ）〜（ｄ）は、ガラス基板１のロボットアーム２から離脱するまでの流れを示し、図８（ｅ）、（ｆ）は、ガラス基板１が基板固定ステージ３１に設置されるまでの流れを示し、図８（ｇ）、（ｈ）は、所定のプロセスが終了した後に、ガラス基板１が基板固定ステージ３１から離脱するまでの流れを示し、図８（ｉ）〜（ｋ）は、ガラス基板１をロボットアーム２に受け渡すまでの流れを示している。
【図９】本発明の第４の実施の形態による除電装置を示す説明図である。
【符号の説明】
【０１０７】
１…基板、２…ロボットアーム、１０、２３、３３…除電器、１１、２１、３１、４１…基板固定ステージ、１２、２２、３２、４２…リフトピン、１３…空間、４３…外周コーティング部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、フラットパネルディスプレイに用いられているガラス基板等の絶縁体基板を除電するための除電方法と除電装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、フラットパネルディスプレイ製造工程等において用いられるガラス基板等の絶縁体基板を、ロボットアーム等を用いて、基板固定ステージから脱着する装置が知られている。この装置において、ガラス基板をロボットアーム、リフトピン、あるいは基板固定ステージから離脱する際は、重ね合った２つの物体が離れることに起因する剥離帯電が発生する。このような剥離帯電が発生すると、基板周囲のパーティクルの吸着や、基板上に形成された堆積膜の絶縁破壊を招く恐れがある。
【０００３】
そこで、このような剥離帯電を除電するための手段として、コロナ放電を発生させてコロナ放電を用いた除電手段や軟X線を用いて、絶縁体基板下方から除電する手段が知られている。また、基板固定ステージ表面に導通を取るために導電性材料を用いてコーティングすることによって、剥離帯電量を低減する手段が知られている。
【０００４】
例えば、リフトピン等の支持手段により持ち上げられた基板の下方から軟X線を照射する手段が提案されている (特許文献１参照)。また、リフトピン等の支持手段により持ち上げられている間のみ軟X線を照射することにより軟X線の放射時間を短縮する手段が提案されている (特許文献２参照)。
【特許文献１】特開２００４−２９９８１４号公報
【特許文献２】特開２００６−４９３９０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した特許文献１、２に記載の技術のように、基板下方から除電することによる除電手段を用いた場合には、基板裏面に帯電している静電気を除電できたとしても、基板が、ロボットアーム、リフトピン、あるいは、基板固定ステージ等から離脱する際に発生する剥離帯電を剥離と同時に除電することが難しいという課題がある。
【０００６】
また、導通材料を基板固定ステージ前面にコーティングすることによる除電手段を用いた場合には、例えば、レーザを対物レンズ等で集光したものを基板に照射する場合に、その焦点深度以下に基板固定ステージの平面度を維持できないという課題発生する。また、コーティングしたことによって反射率が高くなり、コーティング面からの反射光によって所望の動作（例えばオートフォーカス等）を達成が難しいという課題がある。
【０００７】
そこで、本発明は、基板が、ロボットアーム、リフトピン、あるいは、基板固定ステージ等から離脱する際に発生する剥離帯電を剥離と同時に除電することができる除電装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明は、ロボットアームと基板固定ステージ間の基板の受け渡しのために基板固定ステージ上に設けられた少なくとも３本以上の上下動可能なリフトピンと、基板の側面の１方向から該基板を除電するための除電器とを具備した除電装置であって、該基板を前記ロボットアームから前記リフトピンに受け渡す際に、前記ロボットアームから該基板が、前記除電器を備えている側から順次に離れるように各々の前記リフトピンの上昇するタイミングをコントロールする第１の手段を備え、前記第１の手段を用いて、前記ロボットアームから該基板が離脱する際に発生する剥離帯電を除電するものである。
【０００９】
これにより、基板を、ロボットアーム、リフトピン、又は基板固定ステージから離脱する際に、除電器が位置する基板の側面側から相対向する側面側に向かって順次離脱するように、リフトピンの上昇、あるいは下降するタイミングをコントロールすることにより、基板がロボットアーム、リフトピン、又は基板固定ステージから離脱すると同時に剥離帯電を除電することができる。
【００１０】
また、本発明は、ロボットアームと基板固定ステージ間の基板の受け渡しのために基板固定ステージ上に設けられた少なくとも３本以上の上下動可能なリフトピンと、基板の側面の相対向する２方向から基板を除電するための一対の除電器とを具備した除電装置であって、該基板を前記ロボットアームから前記リフトピンに受け渡す際に、前記ロボットアームから該基板が、前記一対の除電器を備えている２方向の該基板の両側側面から中央に向かって順次離れるように各々の前記リフトピンの上昇するタイミングをコントロールする第２の手段を備え、前記第２の手段を用いて、前記ロボットアームから該基板が離脱する際に発生する剥離帯電を除電するものである。
【００１１】
これにより、基板を、ロボットアーム、リフトピン、又は基板固定ステージから離脱する際に、除電器が位置する相対向する基板の２側面側から中央に向かって順次離脱するように、リフトピンの上昇、あるいは下降するタイミングをコントロールすることにより、基板がロボットアーム、リフトピン、又は基板固定ステージから離脱すると同時に剥離帯電を除電することができる。
【００１２】
また、本発明は、ロボットアームと基板固定ステージ間の基板の受け渡しのために基板固定ステージ上に設けられた少なくとも３本以上の上下動可能なリフトピンと、基板の全ての側面４方向からから該基板を除電するための二対の除電器を具備した除電装置であって、該基板を前記ロボットアームから前記リフトピンに受け渡す際に、前記ロボットアームから該基板が、前記二対の除電器を備えている該基板の側面４方向から中央に向かって順次離れるように各々の前記リフトピンの上昇するタイミングをコントロールする第３の手段を備え、前記第３の手段を用いて、前記ロボットアームから該基板が離脱する際に発生する剥離帯電を除電するものである。
【００１３】
これにより、基板を、ロボットアーム、リフトピン、又は基板固定ステージから離脱する際に、除電器が位置する基板の側面４方向から中央に向かって順次離脱するように、リフトピンの上昇、あるいは下降するタイミングをコントロールすることにより、基板がロボットアーム、リフトピン、又は基板固定ステージから離脱すると同時に剥離帯電を除電することができる。
【００１４】
また、本発明は、ロボットアームと基板固定ステージ間の基板の受け渡しのために基板固定ステージ上に設けられた少なくとも３本以上の上下動可能なリフトピンと、前記基板固定ステージと該基板が接触する外周部４辺に導電性材料によるコーティングを施した基板固定ステージとを具備した除電装置であって、該基板を前記基板固定ステージから前記リフトピンを用いて離脱する際に、該基板の１側面から相対向する反対側側面に向かって順次離脱するように、各々の前記リフトピンの上昇するタイミングをコントロールする第４の手段を備え、前記第４の手段を用いて、前記基板固定ステージから該基板が離れる際に発生する剥離帯電を除電するものである。
【００１５】
これにより、基板を、基板固定ステージからリフトピンを用いて離脱する際に、基板の１側面から相対向する反対側側面に向かって、基板の中央から相対する基板２側面に向かって、あるいは、基板の中央から基板の４側面に向かって順次離脱するように、各々のリフトピンの上昇するタイミングをコントロールすることにより、基板固定ステージから基板が離れるときに発生する剥離帯電量を低減でき、さらに剥離と同時に剥離帯電を除電することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、ガラス基盤等の絶縁体基板を、ロボットアーム、リフトピン、あるいは、基板固定ステージ等から離脱させる際に発生する剥離帯電を効率良く除電することができるという効果を奏する。
また、ガラス基板をリフトピンに真空吸着することにより、基板とリフトピンが相対的に動くことなく除電することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の一実施の形態を、図１〜９を参照して説明する。
図１は、この発明の第１の実施の形態の除電装置を示すものである。
図１において、除電対象の基板としてガラス基板１を用いている。ガラス基板１を固定する基板固定ステージ１１には、３本のリフトピン１２ａ、リフトピン１２ｂ、リフトピン１２ｃを図示しない駆動機構及び制御部によりそれぞれ上下動可能に備えている。なお、３本のリフトピン１２ａ、リフトピン１２ｂ、リフトピン１２ｃに限らず、３本以上の数のリフトピンを設けてもよい。
【００１８】
また、図１の略コ字状のロボットアーム２上に載置された位置と基板固定ステージ１１上の位置との間でガラス基板１を受け渡しができるように、ロボットアーム２が図示しない駆動機構及び制御部により矢印方向又は反矢印方向に移動可能に設けられている。
ここで、リフトピン１２ａ、リフトピン１２ｂ、リフトピン１２ｃの基板固定ステージ１１上の配置位置は、略コ字状のロボットアーム２が基板固定ステージ１１上で移動する範囲とリフトピン１２ａ、リフトピン１２ｂ、リフトピン１２ｃの上昇・下降範囲が互いに干渉することがないように相対的にずらして設けられる。
また、除電器１０には軟Ｘ線照射タイプを用いており、除電器１０はガラス基板１の一側面から照射できるようにロボットアーム２の移動範囲となる側面とは反対側の基板固定ステージ１１の一側面に配置されている。
【００１９】
図２は、ガラス基板１とリフトピン１２が接触した状態の断面を示したものである。
図２において、ガラス基板１を基板固定ステージ１１上のリフトピン１２が下面から固定して支持している状態を示す。
図２に示すように、リフトピン１２の中心に設けられた空間１３を用いて図示しない真空ポンプ及び制御部により真空引きをすることにより基板１の下面をリフトピン１２が吸引する。これにより、ガラス基板１をリフトピン１２で固定させることができる。
【００２０】
図３は、ガラス基板１が、除電装置に搬入、除電プロセス終了後、搬出されるフロー図である。
図３において、ガラス基板１が、ロボットアーム２上に載置された状態で移動することによって図１に示した除電装置に搬入される（ステップＳ１）。次に、除電装置では基板固定ステージ１１上のリフトピン１２が上昇して基板１をロボットアーム２からリフトピン１２に受け渡す（ステップＳ２）。このとき、ロボットアーム２から基板１が、除電器１０を備えている側から順次に離れるように図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン１２の上昇するタイミングをコントロールする。
【００２１】
そして、基板固定ステージ１１上のリフトピン１２が下降してガラス基板１は基板固定ステージ１１に固定される（ステップＳ３）。このとき、基板１からリフトピン１２が、除電器１０の備えている反対側から順番に離脱するように、図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン１２の下降するタイミングをコントロールする。上述したステップＳ１からステップＳ３までの状態で除電器１０により基板１に対する除電が行われている。また、ステップＳ３での状態で基板１に対する所定のプロセスが実行される。
【００２２】
ステップＳ３での基板１に対する所定のプロセス終了後、基板固定ステージ１１上のリフトピン１２が上昇して基板１をリフトピン１２が支持する（ステップＳ４）。このとき、基板固定ステージ１１から基板１が、除電器１０の備えている側から順次離脱するように、図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン１２の上昇するタイミングをコントロールする。
【００２３】
そして、基板１をリフトピン１２からロボットアーム２に受け渡す。このとき、基板１からリフトピン１２が、除電器１０の備えている反対側から順番に離脱するように、図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピンの下降するタイミングをコントロールする。さらに、ガラス基板１が、ロボットアーム２上に載置された状態でステップＳ１と反対方向に移動することによって図１に示した除電装置から搬出される（ステップＳ５）。上述したステップＳ３からステップＳ５までの状態で除電器１０により基板１に対する除電が行われている。
【００２４】
このようにガラス基板１が、ロボットアーム２によって除電装置に搬入、除電プロセス終了後、再びロボットアーム２によって搬出される一連の流れの中でガラス基板１が離脱する相手物が変化する。このガラス基板１が離脱する相手物が変化するとき、図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピンの上昇、下降するタイミングをコントロールする。
【００２５】
図４は、図３で示した流れに沿って、ガラス基板１の側面方向（矢視Ａ）から見たガラス基板１の着脱の流れを示す図であり、図４（ａ）〜（ｄ）は、ガラス基板１のロボットアーム２から離脱するまでの流れを示し、図４（ｅ）、（ｆ）は、ガラス基板１が基板固定ステージ１１に設置されるまでの流れを示し、図４（ｇ）、（ｈ）は、所定のプロセスが終了した後に、ガラス基板１が基板固定ステージ１１から離脱するまでの流れを示し、図４（ｉ）〜（ｋ）は、ガラス基板１をロボットアーム２に受け渡すまでの流れを示している。
【００２６】
まず、図４（ａ）〜（ｄ）に示した、ガラス基板１のロボットアーム２から離脱してリフトピン１２に受け渡すまでの流れを説明する。
まず、ガラス基板１が、ロボットアーム２上に載置された状態で矢印方向に移動することによって除電器１０と反対側から基板固定ステージ１１上にガラス基板１が搬入される（図４（ａ））。
このとき、除電器１０は、ガラス基板１が基板固定ステージ１１上に位置するまでに軟Ｘ線が基板固定ステージ１１全面に到達するよう事前に図示しない制御部によりＯＮ状態に制御される。
【００２７】
次に、ガラス基板１がロボットアーム２と除電器１０側から順次離脱するために、第１に除電器１０側のリフトピン１２ａ、リフトピン１２ｂが図示しない駆動機構及び制御部により同時に上昇し（図４（ｂ））、第２に除電器１０と反対側のリフトピン１２ｃが図示しない駆動機構及び制御部により上昇する（図４（ｃ））。これにより、ガラス基板１がリフトピン１２ａ、リフトピン１２ｂ、リフトピン１２ｃ上に支持された状態となる。
このようにして、ロボットアーム２は、図４（ｃ）の状態でガラス基板１がロボットアーム２から離脱した後に矢印方向に移動することによって退避する（図４（ｄ））。
【００２８】
ガラス基板１とリフトピン１２ａ〜１２ｃは、図４（ｂ）から図４（ｃ）の状態で各リフトピン１２がガラス基板１と接したのと同時に、図２に示したようにリフトピン１２の中心に設けられた空間１３を図示しない真空ポンプ及び制御部により真空引きすることにより真空吸着される。なお、図４（ｃ）の状態で全てのリフトピン１２がガラス基板１と接した後に、上述した真空引きを行っても良い。
【００２９】
次に、図４（ｅ）、（ｆ）に示した、ガラス基板１がリフトピン１２上から基板固定ステージ１１上に載置されるまでの流れを説明する。
このとき、除電器１０は、従前の図４（ａ）に引続き図示しない制御部によりＯＮ状態に制御されている。
リフトピン１２ａ〜１２ｃの下降動作によって、ガラス基板１を除電器１０の反対側から基板固定ステージ１１に載置させるために、第１に除電器１０と反対側のリフトピン１２ｃが図示しない駆動機構及び制御部により下降し（図４（ｅ））、第２に除電器１０側のリフトピン１２ａ、リフトピン１２ｂが図示しない駆動機構及び制御部により同時に下降する（図４（ｆ））。
【００３０】
このとき、除電器１０は、図４（ｆ）に示すガラス基板１が基板固定ステージ１１上に載置されたと同時に図示しない制御部によりＯＦＦ状態に制御される。
上述した図４（ｂ）から図４（ｃ）の状態での各リフトピン１２のガラス基板１に対する真空吸着は、図４（ｆ）に示すガラス基板１が基板固定ステージ１１上に載置された後に図示しない真空ポンプ及び制御部によりＯＦＦ状態に制御される。
【００３１】
次に、図４（ｇ）、（ｈ）に示した、上述した図４（ｆ）での図示しないガラス基板１に対する所定のプロセスが終了した後に、ガラス基板１が基板固定ステージ１１から離脱してリフトピン１２ａ、リフトピン１２ｂ、リフトピン１２ｃ上に支持されるまでの流れを説明する。
予め除電器１０は、図４（ｇ）に示すガラス基板１が基板固定ステージ１１から離脱する動作開始前までに軟Ｘ線が基板固定ステージ全面に到達するよう事前に図示しない制御部によりＯＮ状態に制御される。
【００３２】
このとき、ガラス基板１を、基板固定ステージ１１上で除電器１０側から順番に離脱させるため、第１に除電器１０側のリフトピン１２ａ、リフトピン１２ｂを図示しない駆動機構及び制御部により同時に上昇させ（図４（ｇ））、第２に除電器１０と反対側のリフトピン１２ｃを図示しない駆動機構及び制御部により上昇させる（図４（ｈ））。これにより、ガラス基板１がリフトピン１２ａ、リフトピン１２ｂ、リフトピン１２ｃ上に支持された状態となる。
【００３３】
ガラス基板１とリフトピン１２ａ〜１２ｃは、図４（ｇ）から図４（ｈ）の状態で各リフトピン１２がガラス基板１と接したのと同時に、図２に示したようにリフトピン１２の中心に設けられた空間１３を図示しない真空ポンプ及び制御部により真空引きすることにより真空吸着される。なお、図４（ｈ）の状態で全てリフトピン１２がガラス基板１と接したのと同時に、上述した真空引きを行っても良い。
【００３４】
次に、図４（ｉ）〜（ｋ）に示した、ガラス基板１をリフトピン１２上からロボットアーム２に受け渡すまでの流れを説明する。
除電器１０は、従前の図４（ｇ）の状態から引き続き図示しない制御部によりＯＮ状態に制御されている。
まず、ロボットアーム２は、図４（ｈ）の状態でガラス基板１がリフトピン１２ａ、リフトピン１２ｂ、リフトピン１２ｃ上に支持された状態となった後にガラス基板１と基板固定ステージ１１の間に図４（ｄ）の矢印方向と反対方向に移動することによって挿入される（図４（ｉ））。
【００３５】
次に、ガラス基板１とリフトピン１２が、除電器１０の反対側から順番に離脱するために、第１に除電器１０の反対側のリフトピン１２ｃが図示しない駆動機構及び制御部により下降し（図４（ｊ））、第２に、リフトピン１２ａ、リフトピン１２ｂが図示しない駆動機構及び制御部により同時に下降する（図４（ｋ））。
【００３６】
このとき、除電器１０は、図４（ｋ）に示すガラス基板１と全てのリフトピン１２が離れたと同時に図示しない制御部によりＯＦＦ状態に制御される。
また、各リフトピン１２の真空引きは、図４（ｊ）から図４（ｋ）の状態で各リフトピン１２がガラス基板１と離れるのと同時に図示しない真空ポンプ及び制御部によりＯＦＦ状態に制御される。なお、図４（ｊ）から図４（ｋ）の状態での各リフトピン１２の真空引きは、各リフトピン１２がガラス基板１と離れる直前に図示しない真空ポンプ及び制御部によりＯＦＦ状態に制御されても良い。
【００３７】
また、上述したリフトピン１２の本数は、基板１のサイズ（基板たわみ許容量）に合わせて選択され、本数が増えた場合でも除電器１０の位置する方向から基板１がロボットアーム２、リフトピン１２、又は基板固定ステージ１１などの相手物から離脱するように図示しない駆動機構及び制御部により各リフトピン１２の上昇、下降のタイミングをコントロールすれば良い。
【００３８】
また、除電器１０が、ロボットアーム２の移動範囲の方向と相対向する位置に設置されてない場合でも除電器１０の位置する方向から基板１がロボットアーム２、リフトピン１２、又は基板固定ステージ１１などの相手物から離脱するように各リフトピン１２の上昇、下降のタイミングを図示しない駆動機構及び制御部によりコントロールすれば良い。
【００３９】
図５は、本発明の第２の実施の形態による除電装置を示す説明図である。
図５において、図１に示した第１の実施の形態による除電装置と同一の部分には同一の符号を付して、その説明を省略する。
ガラス基板１を固定する基板固定ステージ２１には、６本のリフトピン２２ａ〜２２ｆを図示しない駆動機構及び制御部によりそれぞれ上下動可能に備えている。なお、６本のリフトピン２２ａ〜２２ｆに限らず、任意の３本以上の数のリフトピンを設けてもよい。
【００４０】
ここで、リフトピン２２ａ〜２２ｆの基板固定ステージ２１上の配置位置は、略コ字状のロボットアーム２が基板固定ステージ２１上で移動する範囲とリフトピ２２ａ〜２２ｆンの上昇・下降範囲が互いに干渉することがないように相対的にずらして設けられる。
除電器２３ａ、２３ｂには、第１の実施の形態と同様に、軟Ｘ線照射タイプを用い、除電器２３ａ、２３ｂは、ガラス基板１を相対向する両側面から照射できるように、ロボットアーム２の移動範囲となる側面とは直交する側の基板固定ステージ１１の相対向する両側面に配置されている。
リフトピン２２ａ〜２２ｆは、第１の実施の形態で示したものと同様で、図２に示したようにリフトピン１２の中心に設けられた空間１３を図示しない真空ポンプ及び制御部により真空引きすることによりガラス基板１を真空吸着するようになされている。
【００４１】
図３を参照しながら、図５に示した第２の実施の形態による除電装置において、ガラス基板１が、除電装置に搬入、除電プロセス終了後、搬出されるフローについて説明する。
図３において、ガラス基板１が、ロボットアーム２上に載置された状態で移動することによって図５に示した除電装置に搬入される（ステップＳ１）。次に、除電装置では基板固定ステージ２１上のリフトピン２２が上昇して基板１をロボットアーム２からリフトピン２２に受け渡す（ステップＳ２）。このとき、ロボットアーム２から基板１が、一対の除電器２３ａ、２３ｂを備えている２方向の基板１の両側側面から中央に向かって順次離れるように図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン２２の上昇するタイミングをコントロールする。
【００４２】
そして、基板固定ステージ１１上のリフトピン２２が下降してガラス基板１は基板固定ステージ２１に固定される（ステップＳ３）。このとき、基板１からリフトピン２２が、基板１の中央から一対の除電器２３ａ、２３ｂを備えている２方向の１基板の側面両側に向かって順番に離脱するように、図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン２２の下降するタイミングをコントロールする。上述したステップＳ１からステップＳ３までの状態で除電器２３ａ、２３ｂにより基板１に対する除電が行われている。また、ステップＳ３の状態で基板１に対する所定のプロセスが実行される。
【００４３】
ステップＳ３での基板１に対するプロセス終了後、基板固定ステージ２１上のリフトピン２２が上昇して基板１をリフトピン２２が支持する（ステップＳ４）。このとき、基板固定ステージ２１から基板１が、一対の除電器２３ａ、２３ｂを備えている２方向の基板１の側面両側から基板１の中央に向かって順次離脱するように、図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン２２の上昇するタイミングをコントロールする。
【００４４】
そして、基板１をリフトピン２２からロボットアーム２に受け渡す。このとき、基板１からリフトピン２２が、基板１の中央から一対の除電器２３ａ、２３ｂを備えている２方向の基板１の側面両側に向かって順次離脱するように、図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン２２の下降するタイミングをコントロールする。さらに、ガラス基板１が、ロボットアーム２上に載置された状態でステップＳ１と反対方向に移動することによって図５に示した除電装置から搬出される（ステップＳ５）。上述したステップＳ３からステップＳ５までの状態で除電器２３ａ、２３ｂにより基板１に対する除電が行われている。
【００４５】
このようにガラス基板１が、ロボットアーム２によって除電装置に搬入、除電プロセス終了後、再びロボットアーム２によって搬出される一連の流れの中でガラス基板１が離脱する相手物が変化する。このガラス基板１が離脱する相手物が変化するとき、図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピンの上昇、下降するタイミングをコントロールする。
【００４６】
図６は、図３で示した流れに沿ってガラス基板１の側面方向（矢視Ｂ）から見たガラス基板１の着脱の流れを示す図であり、図６（ａ）〜（ｄ）は、ガラス基板１のロボットアーム２から離脱するまでの流れを示し、図６（ｅ）、（ｆ）は、ガラス基板１が基板固定ステージ２１に設置されるまでの流れを示している。図６（ｇ）、（ｈ）は、所定のプロセスが終了した後に、ガラス基板１が基板固定ステージ２１から離脱するまでの流れを示し、図６（ｉ）〜（ｋ）は、ガラス基板１をロボットアーム２に受け渡すまでの流れを示している。
【００４７】
まず、図６（ａ）〜（ｄ）に示した、ガラス基板１をロボットアーム２から離脱してリフトピン２２に受け渡すまでの流れを説明する。
まず、ガラス基板１が、ロボットアーム２上に載置された状態で矢印方向に移動することによって対向する除電器２３ａ、２３ｂと直交する側から基板固定ステージ２１上にガラス基板１が搬入される（図４（ａ））。
このとき、除電器２３ａ、２３ｂは、ガラス基板１が基板固定ステージ２１上に位置するまでに軟Ｘ線が基板固定ステージ全面に到達するよう事前に図示しない制御部によりＯＮ状態に制御される。
【００４８】
次に、ガラス基板１がロボットアーム２と除電器２３ａ、２３ｂ両側から基板１の中央側に順次離脱するために、第１に除電器２３ａ、２３ｂ両側面のリフトピン２２ａ、リフトピン２２ｂ、リフトピン２２ｅ、リフトピン２２ｆが図示しない駆動機構及び制御部により同時に上昇し（図６（ｂ））、第２に基板１の中央側のリフトピン２２ｃ、リフトピン２２ｄが図示しない駆動機構及び制御部により同時に上昇する（図６（ｃ））。これにより、ガラス基板１がリフトピン２２ａ〜２２ｆ上に支持された状態となる。
【００４９】
このようにして、ロボットアーム２は、図６（ｃ）の状態でガラス基板１がロボットアーム２から離脱した後に矢印方向に移動することによって退避する（図６（ｄ））。
ガラス基板１とリフトピン２２ａ〜２２ｆは、図６（ｂ）から図６（ｃ）の状態で各リフトピン２２がガラス基板１と接したのと同時に、図２に示したようにリフトピン２２の中心に設けられた空間１３を図示しない真空ポンプ及び制御部により真空引きすることにより真空吸着される。なお、図６（ｃ）の状態で全てリフトピン２２がガラス基板１と接した後に、上述した真空引きを行っても良い。
【００５０】
次に、図６（ｅ）、（ｆ）に示した、ガラス基板１がリフトピン２２ａ〜２２ｆ上から基板固定ステージ２１上に載置されるまでの流れを説明する。
除電器２３ａ、２３ｂは、従前の図６（ａ）に引続き図示しない制御部によりＯＮ状態に制御されている。
リフトピン２２ａ〜２２ｆの下降動作によって、ガラス基板１が基板１の中央側から除電器２３ａ、２３ｂ両側に向けて基板固定ステージ２１上に順次載置されるために、第１に基板１の中央側のリフトピン２２ｃ、２２ｄが図示しない駆動機構及び制御部により同時に下降し（図６（ｅ））、第２に除電器２３ａ、２３ｂ両側面のリフトピン２２ａ、リフトピン２２ｂ、リフトピン２２ｅ、リフトピン２２ｆが図示しない駆動機構及び制御部により同時に下降する（図６（ｆ））。
【００５１】
このとき、除電器２３ａ、２３ｂは、図６（ｆ）に示すガラス基板１が基板固定ステージ２１上に載置されたと同時に図示しない制御部によりＯＦＦ状態に制御される。
上述した図６（ｂ）から図６（ｃ）の状態での各リフトピン２２の真空吸着は、ガラス基板１が基板固定ステージ２１上に載置された後に図示しない真空ポンプ及び制御部によりＯＦＦ状態に制御される。
【００５２】
次に、図６（ｇ）、（ｈ）に示した、上述した図６（ｆ）での図示しないガラス基板１に対する所定のプロセスが終了した後に、ガラス基板１が基板固定ステージ２１から離脱してリフトピン２２ａ〜２２ｆ上に支持されるまでの流れを説明する。
予め、除電器２３ａ、２３ｂは、図６（ｇ）に示すガラス基板１が基板固定ステージ２１から離脱する動作開始前までに軟Ｘ線が基板固定ステージ２１全面に到達するよう事前に図示しない制御部によりＯＮ状態に制御される。
【００５３】
このとき、ガラス基板１を、除電器２３ａ、２３ｂ両側から基板１の中央側に向かって離脱させるため、第１に除電器２３ａ、２３ｂ両側のリフトピン２２ａ、リフトピン２２ｂ、リフトピン２２ｅ、リフトピン２２ｆを図示しない駆動機構及び制御部により同時に上昇させ（図６（ｇ））、第２に基板１の中央側のリフトピン２２ｃ、リフトピン２２ｄを図示しない駆動機構及び制御部により同時に上昇させる（図６（ｈ））。これにより、ガラス基板１がリフトピン２２ａ〜２２ｆ上に支持された状態となる。
【００５４】
ガラス基板１とリフトピン２２ａ〜２２ｆは、図６（ｇ）から図６（ｈ）の状態で各リフトピン２２がガラス基板１と接したのと同時に、図２に示したようにリフトピン２２の中心に設けられた空間１３を図示しない真空ポンプ及び制御部により真空引きすることにより真空吸着される。なお、全てリフトピンがガラス基板１と接したのと同時に、図６（ｈ）の状態で上述した真空引きを行っても良い。
【００５５】
次に、図６（ｉ）〜（ｋ）に示した、ガラス基板１をリフトピン２２ａ〜２２ｆ上からロボットアーム２に受け渡すまでの流れを説明する。
除電器２３ａ、２３ｂは、従前の図６（ｇ）の状態から引き続き図示しない制御部によりＯＮ状態に制御されている。
まず、ロボットアーム２は、図６（ｈ）の状態でガラス基板１がリフトピン２２ａ〜２２ｆ上に支持された状態となった後にガラス基板１と基板固定ステージ２１の間に図６（ｄ）の方向と反対方向に移動することによって挿入される（図６（ｉ））。
【００５６】
ガラス基板１とリフトピン２２ａ〜２２ｆが、基板１の中央側から除電器２３ａ、２３ｂ両側に向かって順番に離脱するために、第１に基板１の中央側のリフトピン２２ｃ、リフトピン２２ｄを図示しない駆動機構及び制御部により同時に下降させ（図６（ｊ））、第２に除電器２３ａ、２３ｂ両側のリフトピン２２ａ、リフトピン２２ｂ、リフトピン２２ｅ、リフトピン２２ｆを図示しない駆動機構及び制御部により同時に下降させる（図６（ｋ））。
【００５７】
このとき、除電器２３ａ、２３ｂは、図６（ｋ）に示すガラス基板１と全てのリフトピン２２ａ〜２２ｆが離れたと同時に図示しない制御部によりＯＦＦ状態に制御される。
各リフトピン２２ａ〜２２ｆの真空引きは、図６（ｊ）から図６（ｋ）の状態で各リフトピン２２ａ〜２２ｆがガラス基板１と離れるのと同時に図示しない真空ポンプ及び制御部によりＯＦＦ状態に制御される。なお、各リフトピン２２ａ〜２２ｆの真空引きは、各リフトピン２２ａ〜２２ｆがガラス基板と離れる直前に図示しない真空ポンプ及び制御部によりＯＦＦ状態に制御されても良い。
【００５８】
また、上述したリフトピン２２の本数は、第１の実施の形態と同様に、基板１のサイズ（基板たわみ許容量）に合わせて選択され、本数が増えた場合でも除電器２３ａ、２３ｂの位置する方向から基板１がロボットアーム２、リフトピン２２、又は基板固定ステージ２１などの相手物から離脱するように各リフトピン２２の上昇、下降のタイミングをコントロールすれば良い。
【００５９】
また、除電器２３ａ、２３ｂが、９０°回転したロボットアーム２の移動範囲の方向と同じ方向の相対向する位置に設置された場合でも除電器２３ａ、２３ｂの位置する両方向から基板１の中央側に向けて順次基板１がロボットアーム２、リフトピン２２、又は基板固定ステージ２１などの相手物から離脱するように各リフトピン２２の上昇、下降のタイミングをコントロールすれば良い。
【００６０】
図７は、本発明の第３の実施の形態による除電装置を示す説明図である。
図７において、図１に示した第１の実施の形態による除電装置と同一の部分には同一の符号を付して、その説明を省略する。
ガラス基板１を固定する基板固定ステージ３１には、９本のリフトピン３２ａ〜３２ｉを図示しない駆動機構及び制御部によりそれぞれ上下動可能に備えている。なお、９本のリフトピン３２ａ〜３２ｉに限らず、任意の３本以上の数のリフトピンを設けてもよい。
ここで、リフトピン３２ａ〜３２ｉの基板固定ステージ３１上の配置位置は、略コ字状のロボットアーム２が基板固定ステージ３１上で移動する範囲とリフトピン３２ａ〜３２ｉの上昇・下降範囲が互いに干渉することがないように相対的にずらして設けられる。
【００６１】
除電器３３ａ〜３３ｄには、第１の実施の形態と同様に、軟Ｘ線照射タイプを用い、除電器３３ａ〜３３ｄは、ガラス基板１の側面４方向から照射できるように、ロボットアーム２の移動範囲となる側面と基板固定ステージ３１の相対向する両側面と、ロボットアーム２の移動範囲となる側面とは直交する側の基板固定ステージ３１の相対向する両側面に配置されている。
リフトピン３２ａ〜３２ｉは、第１の実施の形態で示したものと同様に、図２に示したようにリフトピン３２の中心に設けられた空間１３を図示しない真空ポンプ及び制御部により真空引きすることによりガラス基板１を基板を吸引するようになされている。
【００６２】
図３を参照しながら、図７に示した第３の実施の形態による除電装置において、ガラス基板１が、除電装置に搬入、除電プロセス終了後、搬出されるフローについて説明する。
図３において、ガラス基板１が、ロボットアーム２上に載置された状態で移動することによって図７に示した除電装置に搬入される（ステップＳ１）。次に、除電装置では基板固定ステージ３１上のリフトピン３２が上昇して基板１をロボットアーム２からリフトピン３２に受け渡す（ステップＳ２）。このとき、ロボットアーム２から基板１が、二対の除電器３３ａ〜３３ｄを備えている基板１の側面４方向から基板１の中央に向かって順次離れるように図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン３２ａ〜３２ｉの上昇するタイミングをコントロールする。
【００６３】
そして、基板固定ステージ３１上のリフトピン３２が下降してガラス基板１は基板固定ステージ３１に固定される（ステップＳ３）。このとき、基板１からリフトピン３２ａ〜３２ｉが、基板１の中央から二対の除電器３３ａ〜３３ｄを備えている基板１の側面４方向に向かって順番に離脱するように、図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン３２ａ〜３２ｉの下降するタイミングをコントロールする。上述したステップＳ１からステップＳ３までの状態で除電器３３ａ〜３３ｄにより基板１に対する除電が行われている。また、ステップＳ３の状態で基板１に対する所定のプロセスが実行される。
【００６４】
ステップＳ３での基板１に対するプロセス終了後、基板固定ステージ３１上のリフトピン３２が上昇して基板１をリフトピン３２が支持する（ステップＳ４）。このとき、基板固定ステージ３１から基板１が、二対の除電器３３ａ〜３３ｄを備えている基板１の側面４方向から基板１の中央に向かって順次離脱するように、図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン３２ａ〜３２ｉの上昇するタイミングをコントロールする。
【００６５】
そして、基板１をリフトピン３２からロボットアーム２に受け渡す。このとき、基板１からリフトピン３２ａ〜３２ｉが、基板１の中央から二対の除電器３３ａ〜３３ｄを備えている基板１の側面４方向に向かって順次離脱するように、図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン３２ａ〜３２ｉの下降するタイミングをコントロールする。さらに、ガラス基板１が、ロボットアーム２上に載置された状態でステップＳ１と反対方向に移動することによって図７に示した除電装置から搬出される（ステップＳ５）。上述したステップＳ３からステップＳ５までの状態で除電器３３ａ〜３３ｄにより基板１に対する除電が行われている。
【００６６】
このようにガラス基板１が、ロボットアーム２によって除電装置に搬入、除電プロセス終了後、再びロボットアーム２によって搬出される一連の流れの中でガラス基板１が離脱する相手物が変化する。このガラス基板１が離脱する相手物が変化するとき、図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン３２ａ〜３２ｉの上昇、下降するタイミングをコントロールする。
【００６７】
図８は、図３で示した流れに沿ってガラス基板１の側面方向（矢視C）から見たガラス基板１の着脱の流れを示す図であり、図８（ａ）〜（ｄ）は、ガラス基板１のロボットアーム２から離脱するまでの流れを示し、図８（ｅ）、（ｆ）は、ガラス基板１が基板固定ステージ３１に設置されるまでの流れを示し、図８（ｇ）、（ｈ）は、所定のプロセスが終了した後に、ガラス基板１が基板固定ステージ３１から離脱するまでの流れを示し、図８（ｉ）〜（ｋ）は、ガラス基板１をロボットアーム２に受け渡すまでの流れを示している。
【００６８】
まず、図８（ａ）〜（ｄ）は、ガラス基板１をロボットアーム２から離脱してリフトピン３２に受け渡すまでの流れを説明する。
まず、ガラス基板１が、ロボットアーム２上に載置された状態で図７の矢印方向に移動することによって二対の除電器３３ａ〜３３ｄのうちの１方向側から基板固定ステージ３１上にガラス基板１が搬入される（図８（ａ））。
このとき、除電器３３ａ〜３３ｄは、ガラス基板１が基板固定ステージ３１上に位置するまでに軟Ｘ線が基板固定ステージ３１全面に到達するよう事前に図示しない制御部によりＯＮ状態に制御される。
【００６９】
次に、ガラス基板１が、ガラス基板１の４側面から基板１の中央側に向かって順次離脱するために、第１に基板１の４隅のリフトピン３２ａ、リフトピン３２ｃ、リフトピン３２ｇ、リフトピン３２ｉが図示しない駆動機構及び制御部により同時に上昇し（図８（ｂ））、第２に基板１の４側面中央のリフトピン３２ｂ、３２ｄ、３２ｆ、３２ｈが図示しない駆動機構及び制御部により同時に上昇し、第３に基板１の中央のリフトピン３２ｅが図示しない駆動機構及び制御部により上昇する（図８（ｃ））。
このようにして、ロボットアーム２は、図８（ｃ）の状態でガラス基板１がロボットアーム２から離脱した後に図７の矢印方向と反対方向に退避する（図８（ｄ））。
【００７０】
ガラス基板１とリフトピン３２ａ〜３２ｉは、図８（ｂ）から図８（ｃ）の状態で各リフトピン３２がガラス基板１と接したのと同時に、図２に示したようにリフトピン３２の中心に設けられた空間１３を図示しない真空ポンプ及び制御部により真空引きすることにより真空吸着される。なお、図８（ｃ）の状態で全てリフトピン３２がガラス基板１と接した後に、上述した真空引きを行っても良い。
【００７１】
次に、図８（ｅ）、（ｆ）に示した、ガラス基板１がリフトピン３２ａ〜３２ｉ上から基板固定ステージ３１上に載置されるまでの流れを説明する。
除電器３３ａ〜３３ｄは、従前の図８（ａ）に引続き図示しない制御部によりＯＮ状態に制御されている。
リフトピン３２ａ〜３２ｉの下降動作によって、ガラス基板１が中央から基板固定ステージ３１に設置するために、第１に基板１の中央のリフトピン３２eが、図示しない駆動機構及び制御部により下降し（図８（ｅ））、第２に基板１の４側面中央のリフトピン３２ｂ、３２ｄ、３２ｆ、３２ｈが図示しない駆動機構及び制御部により同時に下降し、第３に基板１の４隅のリフトピン３２ａ、リフトピン３２ｃ、リフトピン３２ｇ、リフトピン３２ｉが図示しない駆動機構及び制御部により同時に下降する（図８（ｆ））。
【００７２】
このとき、除電器３３ａ〜３３ｄは、図８（ｆ）に示すガラス基板１が基板固定ステージ３１上に載置されたと同時に図示しない制御部によりＯＦＦ状態に制御される。上述した図８（ｂ）から図８（ｃ）の状態での各リフトピン３２の真空吸着は、ガラス基板１が基板固定ステージ３１上に載置された後に図示しない真空ポンプ及び制御部によりＯＦＦ状態に制御される。
【００７３】
次に、図８（ｇ）、（ｈ）に示した、上述した図８（ｆ）での図示しないガラス基板１に対する所定のプロセスが終了した後に、ガラス基板１が基板固定ステージ３１から離脱してリフトピン３２ａ〜３２ｉ上に支持されるまでの流れを説明する。
予め、除電器３３ａ〜３３ｄは、図８（ｇ）に示すガラス基板１が基板固定ステージ３１から離脱する動作開始前までに軟Ｘ線が基板固定ステージ３１全面に到達するよう事前に図示しない制御部によりＯＮ状態に制御される。
【００７４】
このとき、ガラス基板１を、ガラス基板１の４側面から基板１の中央側に向かって離脱させるため、第１に基板１の４隅のリフトピン３２ａ、リフトピン３２ｃ、リフトピン３２ｇ、リフトピン３２ｉを同時に上昇させ（図８（ｇ））、第２に基板１の４側面中央のリフトピン３２ｂ、３２ｄ、３２ｆ、３２ｈを図示しない駆動機構及び制御部により同時に上昇させ、第３に基板１の中央のリフトピン３２ｅを図示しない駆動機構及び制御部により上昇させる（図８（ｈ））。これにより、ガラス基板１がリフトピン３２ａ〜３２ｉ上に支持された状態となる。
【００７５】
ガラス基板１とリフトピン３２ａ〜３２ｉは、図８（ｇ）から図８（ｈ）の状態で各リフトピン３２がガラス基板１と接したのと同時に、図２に示したようにリフトピン３２の中心に設けられた空間１３を図示しない真空ポンプ及び制御部により真空引きすることにより真空吸着される。なお、図８（ｈ）の状態で全てリフトピンがガラス基板１と接したのと同時に、上述した真空引きを行っても良い。
【００７６】
次に、図８（ｉ）〜（ｋ）に示した、ガラス基板１をリフトピン３２ａ〜３２ｉ上からロボットアーム２に受け渡すまでの流れを説明する。
除電器３３ａ〜３３ｄは、従前の図８（ｇ）の状態から引き続き図示しない制御部によりＯＮ状態に制御されている。
まず、ロボットアーム２は、図８（ｈ）の状態でガラス基板１がリフトピン３２ａ〜３２ｉ上に支持された状態となった後にガラス基板１と基板固定ステージ３１の間に図８（ｄ）の方向と反対方向に移動することによって挿入される（図８（ｉ））。
【００７７】
ガラス基板１とリフトピンが、ガラス基板１の中央からガラス基板１の４側面に向かって順番に離脱するために、第１に基板１の中央のリフトピン３２eが、図示しない駆動機構及び制御部により下降し（図８（ｊ））、第２に基板１の４側面中央のリフトピン３２ｂ、３２ｄ、３２ｆ、３２ｈが図示しない駆動機構及び制御部により同時に下降し、第３に基板１の４隅のリフトピン３２ａ、リフトピン３２ｃ、リフトピン３２ｇ、リフトピン３２ｉが図示しない駆動機構及び制御部により同時に下降する（図８（ｋ））。
【００７８】
このとき、除電器３３ａ〜３３ｄは、図８（ｋ）に示すガラス基板１と全てのリフトピン３２ａ〜３２ｉが離れたと同時に図示しない制御部によりＯＦＦ状態に制御される。
各リフトピン３２ａ〜３２ｉの真空引きは、図８（ｊ）から図８（ｋ）の状態で各リフトピン３２ａ〜３２ｉがガラス基板１と離れるのと同時に図示しない真空ポンプ及び制御部によりＯＦＦ状態に制御される。なお、各リフトピン３２ａ〜３２ｉの真空引きは、各リフトピン３２ａ〜３２ｉがガラス基板１と離れる直前にＯＦＦ状態に制御されても良い。
【００７９】
また、リフトピン３２ａ〜３２ｉの本数は、第１の実施の形態と同様に、基板サイズ（基板たわみ許容量）に合わせて選択され、本数が増えた場合でも除電器３３ａ〜３３ｄの位置する方向から基板１がロボットアーム２、リフトピン３２ａ〜３２ｉ、又は基板固定ステージ３１などの相手物から離脱するように各リフトピン３２ａ〜３２ｉの上昇、下降のタイミングをコントロールすれば良い。
【００８０】
図９は、本発明の第４の実施の形態による除電装置を示す説明図である。
図９において、図１に示した第１の実施の形態による除電装置と同一の部分には同一の符号を付して、その説明を省略する。
ガラス基板１を固定する基板固定ステージ４１に、アルミナセラミックスを用いて、９本のリフトピン４２ａ〜４２ｉを図示しない駆動機構及び制御部によりそれぞれ上下動可能に備えている。なお、９本のリフトピン４２ａ〜４２ｉに限らず、任意の３本以上の数のリフトピンを設けてもよい。
【００８１】
ここで、リフトピン４２ａ〜４２ｉの基板固定ステージ４１上の配置位置は、略コ字状のロボットアーム２が基板固定ステージ４１上で移動する範囲とリフトピン４２ａ〜４２ｉの上昇・下降範囲が互いに干渉することがないように相対的にずらして設けられる。
リフトピン４２ａ〜４２ｉは、第１の実施の形態で示したものと同様に、図２に示したようにリフトピン４２の中心に設けられた空間１３を図示しない真空ポンプ及び制御部により真空引きすることによりガラス基板１を基板を吸引するようになされている。
【００８２】
ここで特に、基板固定ステージ４１は、基板固定ステージ４１と基板１とが接する外周部４辺に設けられた外周コーティング部４３ａ〜４３ｄの表面にＴｉＮ（厚さ：１μｍ）コートが施されている。また、４辺の外周コーティング部４３ａ〜４３ｄのＴｉＮコート部分は、基板１の除電を可能とするようにステージ外に接地されている。
【００８３】
図３を参照しながら、図９に示した第４の実施の形態による除電装置において、ガラス基板１が、除電装置に搬入、除電プロセス終了後、搬出されるフローについて説明する。
図３において、ガラス基板１が、ロボットアーム２上に載置された状態で移動することによって図９に示した除電装置に搬入される（ステップＳ１）。次に、除電装置では基板固定ステージ４１上のリフトピン４２が上昇して基板１をロボットアーム２からリフトピン４２に受け渡す（ステップＳ２）。
【００８４】
このとき、ロボットアーム２から基板１が、４辺の外周コーティング部４３ａ〜４３ｄを設けている基板１の１側面（４３ｃ）方向から対向する他の１側面（４３ａ）方向に向かって順次離れるように図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン４２ａ〜４２ｉの上昇するタイミングをコントロールする。
【００８５】
又は、ロボットアーム２から基板１が、４辺の外周コーティング部４３ａ〜４３ｄを設けている基板１の中央から１側面（４３ｃ）方向及び対向する他の１側面（４３ａ）方向に向かって順次離れるように図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン４２ａ〜４２ｉの上昇するタイミングをコントロールする。
【００８６】
又は、ロボットアーム２から基板１が、４辺の外周コーティング部４３ａ〜４３ｄを設けている基板１の中央から４側面（４３ａ〜４３ｄ）方向に向かって順次離れるように図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン４２ａ〜４２ｉの上昇するタイミングをコントロールする。
【００８７】
そして、基板固定ステージ４１上のリフトピン４２が下降してガラス基板１は基板固定ステージ４１に固定される（ステップＳ３）。このとき、基板１からリフトピン４２ａ〜４２ｉが、４辺の外周コーティング部４３ａ〜４３ｄを設けている基板１の１側面（４３ｃ）方向から対向する他の１側面（４３ａ）方向に向かって順番に離脱するように、図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン４２ａ〜４２ｉの下降するタイミングをコントロールする。
【００８８】
又は、ロボットアーム２から基板１が、４辺の外周コーティング部４３ａ〜４３ｄを設けている基板１の中央から１側面（４３ｃ）方向及び対向する他の１側面（４３ａ）方向に向かって順次離れるように図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン４２ａ〜４２ｉの下降するタイミングをコントロールする。
【００８９】
又は、ロボットアーム２から基板１が、４辺の外周コーティング部４３ａ〜４３ｄを設けている基板１の中央から４側面（４３ａ〜４３ｄ）方向に向かって順次離れるように図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン４２ａ〜４２ｉの下降するタイミングをコントロールする。
【００９０】
上述したステップＳ１からステップＳ３までの状態で外周コーティング部４３ａ〜４３ｄにより基板１に対する除電が行われている。また、ステップＳ３の状態で基板１に対する所定のプロセスが実行される。
【００９１】
ステップＳ３での基板１に対するプロセス終了後、基板固定ステージ４１上のリフトピン４２が上昇して基板１をリフトピン４２が支持する（ステップＳ４）。このとき、基板固定ステージ４１から基板１が、外周コーティング部４３ａ〜４３ｄを設けている基板１の１側面（４３ｃ）方向から対向する他の１側面（４３ａ）方向に向かって順次離脱するように、図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン４２ａ〜４２ｉの上昇するタイミングをコントロールする。
【００９２】
又は、ロボットアーム２から基板１が、４辺の外周コーティング部４３ａ〜４３ｄを設けている基板１の中央から１側面（４３ｃ）方向及び対向する他の１側面（４３ａ）方向に向かって順次離れるように図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン４２ａ〜４２ｉの上昇するタイミングをコントロールする。
【００９３】
又は、ロボットアーム２から基板１が、４辺の外周コーティング部４３ａ〜４３ｄを設けている基板１の中央から４側面（４３ａ〜４３ｄ）方向に向かって順次離れるように図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン４２ａ〜４２ｉの上昇するタイミングをコントロールする。
【００９４】
そして、基板１をリフトピン４２からロボットアーム２に受け渡す。このとき、基板１からリフトピン４２ａ〜４２ｉが、外周コーティング部４３ａ〜４３ｄを設けている基板１の１側面（４３ｃ）方向から対向する他の１側面（４３ａ）方向に向かって順次離脱するように、図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン４２ａ〜４２ｉの下降するタイミングをコントロールする。
【００９５】
又は、ロボットアーム２から基板１が、４辺の外周コーティング部４３ａ〜４３ｄを設けている基板１の中央から１側面（４３ｃ）方向及び対向する他の１側面（４３ａ）方向に向かって順次離れるように図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン４２ａ〜４２ｉの下降するタイミングをコントロールする。
【００９６】
又は、ロボットアーム２から基板１が、４辺の外周コーティング部４３ａ〜４３ｄを設けている基板１の中央から４側面（４３ａ〜４３ｄ）方向に向かって順次離れるように図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン４２ａ〜４２ｉの下降するタイミングをコントロールする。
【００９７】
さらに、ガラス基板１が、ロボットアーム２上に載置された状態でステップＳ１と反対方向に移動することによって図７に示した除電装置から搬出される（ステップＳ５）。上述したステップＳ３からステップＳ５までの状態で外周コーティング部４３ａ〜４３ｄにより基板１に対する除電が行われている。
【００９８】
このようにガラス基板１が、ロボットアーム２によって除電装置に搬入、除電プロセス終了後、再びロボットアーム２によって搬出される一連の流れの中でガラス基板１が離脱する相手物が変化する。このガラス基板１が離脱する相手物が変化するとき、図示しない駆動機構及び制御部により各々のリフトピン４２ａ〜４２ｉの上昇、下降するタイミングをコントロールする。
【００９９】
具体的には、上述したステップＳ４で基板１が基板固定ステージ４１から離脱する際に、基板１が基板固定ステージ４１から最後に離れる部分が基板固定ステージ４１の外周部にコーティングした一辺の外周コーティング部４３ａになるように、第１に基板１の１側面のリフトピン４２ａ、４２ｂ、４２ｃを図示しない駆動機構及び制御部により同時に上昇させ、第２に基板１の１側面と直交する２側面中央のリフトピン４２ｄ、４２ｅ、４２ｆを図示しない駆動機構及び制御部により同時に上昇させ、第３に基板１の対向する他の１側面のリフトピン４２ｇ、４２ｈ、４２ｉを図示しない駆動機構及び制御部により同時に上昇させる。
【０１００】
ガラス基板１とリフトピン４２ａ〜４２ｉは、各リフトピン４２ａ〜４２ｉがガラス基板１と接したのと同時に、図２に示したようにリフトピン３２の中心に設けられた空間１３を図示しない真空ポンプ及び制御部により真空引きすることにより真空吸着される。なお、全てリフトピン４２ａ〜４２ｉがガラス基板１と接した後に、上述した真空引きを行っても良い。
【０１０１】
また、基板１が基板固定ステージ４１から最後に離れる部分が基板固定ステージ４１の外周部にコーティングした相対向する２辺の外周コーティング部４３ａ、４３ｃになるように、第１に基板１の１側面と直交する２側面中央のリフトピン４２ｄ、４２ｅ、４２ｆを図示しない駆動機構及び制御部により上昇させ、第２に基板１の１側面及び対向する他の１側面のリフトピン４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、４２ｇ、４２ｈ、４２ｉを図示しない駆動機構及び制御部により同時に上昇させる。
【０１０２】
また、基板１が基板固定ステージ４１から最後に離れる部分が基板固定ステージ４１の外周部にコーティングした４辺の外周コーティング部４３ａ〜４３ｄ同時となるように、第１に基板１の中央のリフトピン４２ｅを上昇させ、第２に基板１の４側面中央のリフトピン４２ｂ、４２ｄ、４２ｆ、４２ｈを上昇させ、第３に基板１の４隅のリフトピン４２ａ、４２ｃ、４２ｇ、４２ｉを上昇させる。
【０１０３】
また、基板固定ステージ４１の外周コーティング部４３ａ〜４３ｄは、３辺、２辺、あるいは、１辺のみでも良く、基板１が基板固定ステージ４１と最後に離脱する部分が、基板固定ステージ４１の外周コーティング部４３ａ〜４３ｄのいずれかの面になるように各リフトピン４２ａ〜４２ｉの上昇、下降のタイミングをコントロールすれば良い。
【０１０４】
また、リフトピン４２ａ〜４２ｉの本数は、第１の実施の形態と同様に、基板サイズ（基板たわみ許容量）に合わせて選択され、本数が増えた場合でも基板１が基板固定ステージ４１と最後に離脱する部分が、基板固定ステージ４１の外周コーティング部４３ａ〜４３ｄの面になるように各リフトピン４２ａ〜４２ｉの上昇、下降のタイミングをコントロールすれば良い。
【０１０５】
なお、上述した本実施の形態例に限らず、本発明の要旨を逸脱しない限り、適宜変更しうることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【０１０６】
【図１】本発明の一実施の形態による除電装置を示す説明図である。
【図２】ガラス基板１とリフトピン１２が接触した状態の断面を示す図である。
【図３】ガラス基板１が、除電装置に搬入、除電プロセス終了後、搬出されるフロー図である。
【図４】図３で示した流れに沿って、ガラス基板１の側面方向（矢視Ａ）から見たガラス基板１の着脱の流れを示す図であり、図４（ａ）〜（ｄ）は、ガラス基板１のロボットアーム２から離脱するまでの流れを示し、図４（ｅ）、（ｆ）は、ガラス基板１が基板固定ステージ１１に設置されるまでの流れを示し、図４（ｇ）、（ｈ）は、所定のプロセスが終了した後に、ガラス基板１が基板固定ステージ１１から離脱するまでの流れを示し、図４（ｉ）〜（ｋ）は、ガラス基板１をロボットアーム２に受け渡すまでの流れを示している。
【図５】本発明の第２の実施の形態による除電装置を示す説明図である。
【図６】図３で示した流れに沿ってガラス基板１の側面方向（矢視Ｂ）から見たガラス基板１の着脱の流れを示す図であり、図６（ａ）〜（ｄ）は、ガラス基板１のロボットアーム２から離脱するまでの流れを示し、図６（ｅ）、（ｆ）は、ガラス基板１が基板固定ステージ２１に設置されるまでの流れを示している。図６（ｇ）、（ｈ）は、所定のプロセスが終了した後に、ガラス基板１が基板固定ステージ２１から離脱するまでの流れを示し、図６（ｉ）〜（ｋ）は、ガラス基板１をロボットアーム２に受け渡すまでの流れを示している。
【図７】本発明の第３の実施の形態による除電装置を示す説明図である。
【図８】図３で示した流れに沿ってガラス基板１の側面方向（矢視Ｃ）から見たガラス基板１の着脱の流れを示す図であり、図８（ａ）〜（ｄ）は、ガラス基板１のロボットアーム２から離脱するまでの流れを示し、図８（ｅ）、（ｆ）は、ガラス基板１が基板固定ステージ３１に設置されるまでの流れを示し、図８（ｇ）、（ｈ）は、所定のプロセスが終了した後に、ガラス基板１が基板固定ステージ３１から離脱するまでの流れを示し、図８（ｉ）〜（ｋ）は、ガラス基板１をロボットアーム２に受け渡すまでの流れを示している。
【図９】本発明の第４の実施の形態による除電装置を示す説明図である。
【符号の説明】
【０１０７】
１…基板、２…ロボットアーム、１０、２３、３３…除電器、１１、２１、３１、４１…基板固定ステージ、１２、２２、３２、４２…リフトピン、１３…空間、４３…外周コーティング部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロボットアームと基板固定ステージ間の基板の受け渡しのために基板固定ステージ上に設けられた少なくとも３本以上の上下動可能なリフトピンと、
該基板の側面の１方向から該基板を除電するための除電器とを具備した除電装置であって、
該基板を前記ロボットアームから前記リフトピンに受け渡す際に、前記ロボットアームから該基板が、前記除電器を備えている側から順次に離れるように各々の前記リフトピンの上昇するタイミングをコントロールする第１の手段を備え、
前記第１の手段を用いて、前記ロボットアームから該基板が離脱する際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電方法および除電装置。
【請求項２】
請求項１の除電装置であって、
前記第１の手段は、該基板を前記リフトピンから前記ロボットアームに受け渡す際に、該基板から前記リフトピンが、前記除電器を備えている反対側から順番に離脱するように、各々の前記リフトピンの下降するタイミングをコントロールするようにし、
前記第１の手段を用いて、該基板から前記リフトピンが離れる際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電装置。
【請求項３】
請求項１の除電装置であって、
前記第１の手段は、該基板を前記基板固定ステージに前記リフトピンを用いて設置する際に、該基板から前記リフトピンが、前記除電器を備えている反対側から順番に離脱するように、各々の前記リフトピンの下降するタイミングをコントロールするようにし、
前記第１の手段を用いて、該基板から前記リフトピンが離れる際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電装置。
【請求項４】
請求項１の除電装置であって、
前記第１の手段は、該基板を前記基板固定ステージから前記リフトピンを用いて離脱する際に、前記基板固定ステージから該基板が、前記除電器を備えている側から順次離脱するように、各々の前記リフトピンの上昇するタイミングをコントロールするようにし、
前記第１の手段を用いて、前記基板固定ステージから該基板が離れる際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電装置。
【請求項５】
ロボットアームと基板固定ステージ間の基板の受け渡しのために基板固定ステージ上に設けられた少なくとも３本以上の上下動可能なリフトピンと、
該基板の側面の相対向する２方向から基板を除電するための一対の除電器とを具備した除電装置であって、
該基板を前記ロボットアームから前記リフトピンに受け渡す際に、前記ロボットアームから該基板が、前記一対の除電器を備えている２方向の該基板の両側側面から中央に向かって順次離れるように各々の前記リフトピンの上昇するタイミングをコントロールする第２の手段を備え、
前記第２の手段を用いて、前記ロボットアームから該基板が離脱する際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電装置。
【請求項６】
請求項５の除電装置であって、
前記第２の手段は、該基板を前記リフトピンから前記ロボットアームに受け渡す際に、該基板から前記リフトピンが、該基板の中央から前記一対の除電器を備えている２方向の該基板の側面両側に向かって順次離脱するように、各々のリフトピンの下降するタイミングをコントロールするようにし、
前記第２の手段を用いて、該基板から前記リフトピンが離れる際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電装置。
【請求項７】
請求項５の除電装置であって、
前記第２の手段は、該基板を前記基板固定ステージに前記リフトピンを用いて設置する際に、該基板から前記リフトピンが、該基板の中央から前記一対の除電器を備えている２方向の該基板の側面両側に向かって順番に離脱するように、各々の前記リフトピンの下降するタイミングをコントロールするようにし、
前記第２の手段を用いて、該基板から前記リフトピンが離れる際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電装置。
【請求項８】
請求項５の除電装置であって、
前記第２の手段は、該基板を前記基板固定ステージから前記リフトピンを用いて離脱する際に、前記基板固定ステージから該基板が、前記一対の除電器を備えている２方向の該基板の側面両側から該基板の中央に向かって順次離脱するように、各々のリフトピンの上昇するタイミングをコントロールするようにし、
前記第２の手段を用いて、前記基板固定ステージから該基板が離れる際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電装置。
【請求項９】
ロボットアームと基板固定ステージ間の基板の受け渡しのために基板固定ステージ上に設けられた少なくとも３本以上の上下動可能なリフトピンと、
該基板の全ての側面４方向からから該基板を除電するための二対の除電器を具備した除電装置であって、
該基板を前記ロボットアームから前記リフトピンに受け渡す際に、前記ロボットアームから該基板が、前記二対の除電器を備えている該基板の側面４方向から中央に向かって順次離れるように各々の前記リフトピンの上昇するタイミングをコントロールする第３の手段を備え、
前記第３の手段を用いて、前記ロボットアームから該基板が離脱する際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電装置。
【請求項１０】
請求項９の除電装置であって、
前記第３の手段は、該基板を前記リフトピンから前記ロボットアームに受け渡す際に、該基板から前記リフトピンが、該基板の中央から前記二対の除電器を備えている該基板の側面４方向に向かって順次離脱するように、各々の前記リフトピンの下降するタイミングをコントロールするようにし、
前記第３の手段を用いて、該基板から前記リフトピンが離れる際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電装置。
【請求項１１】
請求項９の除電装置であって、
前記第３の手段は、該基板を前記基板固定ステージに前記リフトピンを用いて設置する際に、該基板から前記リフトピンが、該基板の中央から前記二対の除電器を備えている該基板の側面４方向に向かって順番に離脱するように、各々の前記リフトピンの下降するタイミングをコントロールするようにし、
前記第３の手段を用いて、該基板から前記リフトピンが離れる際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電装置。
【請求項１２】
請求項９の除電装置であって、
前記第３の手段は、該基板を前記基板固定ステージから前記リフトピンを用いて離脱する際に、前記基板固定ステージから該基板が、前記二対の除電器を備えている該基板の側面４方向から該基板の中央に向かって順次離脱するように、各々の前記リフトピンの上昇するタイミングをコントロールするようにし、
前記第３の手段を用いて、前記基板固定ステージから該基板が離れる際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電装置。
【請求項１３】
ロボットアームと基板固定ステージ間の基板の受け渡しのために基板固定ステージ上に設けられた少なくとも３本以上の上下動可能なリフトピンと、
前記基板固定ステージと該基板が接触する外周部４辺に導電性材料によるコーティングを施した基板固定ステージとを具備した除電装置であって、
該基板を前記基板固定ステージから前記リフトピンを用いて離脱する際に、該基板の１側面から相対向する反対側側面に向かって順次離脱するように、各々の前記リフトピンの上昇するタイミングをコントロールする第４の手段を備え、
前記第４の手段を用いて、前記基板固定ステージから該基板が離れる際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電装置。
【請求項１４】
請求項１３の除電装置であって、
前記第４の手段は、該基板を前記基板固定ステージから前記リフトピンを用いて離脱する際に、該基板の中央から相対向する２側面に向かって順次離脱するように、各々の前記リフトピンの上昇するタイミングをコントロールするようにし、
前記第４の手段を用いて、前記基板固定ステージから該基板が離れる際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電装置。
【請求項１５】
請求項１３の除電装置であって、
前記第４の手段は、該基板を前記基板固定ステージから前記リフトピンを用いて離脱する際に、該基板の中央から全ての４側面に向かって順次離脱するように、各々の前記リフトピンの上昇するタイミングをコントロールするようにし、
前記第４の手段を用いて、前記基板固定ステージから該基板が離れる際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電装置。
【請求項１６】
請求項１の除電装置であって、
前記リフトピンと該基板を吸引するための第５の手段を前記リフトピンに具備したことを特徴とする除電装置。
【請求項１７】
ロボットアームと基板固定ステージ間の基板の受け渡しのために基板固定ステージ上に設けられた少なくとも３本以上のリフトピンを上下動させ、
該基板の側面の１方向から該基板を除電器により除電する除電方法であって、
該基板を前記ロボットアームから前記リフトピンに受け渡す際に、前記ロボットアームから該基板が、前記除電器により除電される側から順次に離れるように各々の前記リフトピンの上昇するタイミングをコントロールし、
前記ロボットアームから該基板が離脱する際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電方法。
【請求項１８】
ロボットアームと基板固定ステージ間の基板の受け渡しのために基板固定ステージ上に設けられた少なくとも３本以上のリフトピンを上下動させ、
該基板の側面の相対向する２方向から基板を一対の除電器により除電する除電方法であって、
該基板を前記ロボットアームから前記リフトピンに受け渡す際に、前記ロボットアームから該基板が、前記一対の除電器を備えている２方向の該基板の両側側面から中央に向かって順次離れるように各々の前記リフトピンの上昇するタイミングをコントロールし、
前記ロボットアームから該基板が離脱する際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電方法。
【請求項１９】
ロボットアームと基板固定ステージ間の基板の受け渡しのために基板固定ステージ上に設けられた少なくとも３本以上のリフトピンを上下動させ、
該基板の全ての側面４方向からから該基板を二対の除電器により除電する除電方法であって、
該基板を前記ロボットアームから前記リフトピンに受け渡す際に、前記ロボットアームから該基板が、前記二対の除電器を備えている該基板の側面４方向から中央に向かって順次離れるように各々の前記リフトピンの上昇するタイミングをコントロールし、
前記ロボットアームから該基板が離脱する際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電方法。
【請求項２０】
ロボットアームと基板固定ステージ間の基板の受け渡しのために基板固定ステージ上に設けられた少なくとも３本以上のリフトピンを上下動させ、
前記基板固定ステージと該基板が接触する外周部４辺に導電性材料によるコーティングを施した基板固定ステージにより除電する除電方法であって、
該基板を前記基板固定ステージから前記リフトピンを用いて離脱する際に、該基板の１側面から相対向する反対側側面に向かって順次離脱するように、各々の前記リフトピンの上昇するタイミングをコントロールし、
前記基板固定ステージから該基板が離れる際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電方法。
【請求項１】
ロボットアームと基板固定ステージ間の基板の受け渡しのために基板固定ステージ上に設けられた少なくとも３本以上の上下動可能なリフトピンと、
該基板の側面の１方向から該基板を除電するための除電器とを具備した除電装置であって、
該基板を前記ロボットアームから前記リフトピンに受け渡す際に、前記ロボットアームから該基板が、前記除電器を備えている側から順次に離れるように各々の前記リフトピンの上昇するタイミングをコントロールする第１の手段を備え、
前記第１の手段を用いて、前記ロボットアームから該基板が離脱する際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電方法および除電装置。
【請求項２】
請求項１の除電装置であって、
前記第１の手段は、該基板を前記リフトピンから前記ロボットアームに受け渡す際に、該基板から前記リフトピンが、前記除電器を備えている反対側から順番に離脱するように、各々の前記リフトピンの下降するタイミングをコントロールするようにし、
前記第１の手段を用いて、該基板から前記リフトピンが離れる際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電装置。
【請求項３】
請求項１の除電装置であって、
前記第１の手段は、該基板を前記基板固定ステージに前記リフトピンを用いて設置する際に、該基板から前記リフトピンが、前記除電器を備えている反対側から順番に離脱するように、各々の前記リフトピンの下降するタイミングをコントロールするようにし、
前記第１の手段を用いて、該基板から前記リフトピンが離れる際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電装置。
【請求項４】
請求項１の除電装置であって、
前記第１の手段は、該基板を前記基板固定ステージから前記リフトピンを用いて離脱する際に、前記基板固定ステージから該基板が、前記除電器を備えている側から順次離脱するように、各々の前記リフトピンの上昇するタイミングをコントロールするようにし、
前記第１の手段を用いて、前記基板固定ステージから該基板が離れる際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電装置。
【請求項５】
ロボットアームと基板固定ステージ間の基板の受け渡しのために基板固定ステージ上に設けられた少なくとも３本以上の上下動可能なリフトピンと、
該基板の側面の相対向する２方向から基板を除電するための一対の除電器とを具備した除電装置であって、
該基板を前記ロボットアームから前記リフトピンに受け渡す際に、前記ロボットアームから該基板が、前記一対の除電器を備えている２方向の該基板の両側側面から中央に向かって順次離れるように各々の前記リフトピンの上昇するタイミングをコントロールする第２の手段を備え、
前記第２の手段を用いて、前記ロボットアームから該基板が離脱する際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電装置。
【請求項６】
請求項５の除電装置であって、
前記第２の手段は、該基板を前記リフトピンから前記ロボットアームに受け渡す際に、該基板から前記リフトピンが、該基板の中央から前記一対の除電器を備えている２方向の該基板の側面両側に向かって順次離脱するように、各々のリフトピンの下降するタイミングをコントロールするようにし、
前記第２の手段を用いて、該基板から前記リフトピンが離れる際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電装置。
【請求項７】
請求項５の除電装置であって、
前記第２の手段は、該基板を前記基板固定ステージに前記リフトピンを用いて設置する際に、該基板から前記リフトピンが、該基板の中央から前記一対の除電器を備えている２方向の該基板の側面両側に向かって順番に離脱するように、各々の前記リフトピンの下降するタイミングをコントロールするようにし、
前記第２の手段を用いて、該基板から前記リフトピンが離れる際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電装置。
【請求項８】
請求項５の除電装置であって、
前記第２の手段は、該基板を前記基板固定ステージから前記リフトピンを用いて離脱する際に、前記基板固定ステージから該基板が、前記一対の除電器を備えている２方向の該基板の側面両側から該基板の中央に向かって順次離脱するように、各々のリフトピンの上昇するタイミングをコントロールするようにし、
前記第２の手段を用いて、前記基板固定ステージから該基板が離れる際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電装置。
【請求項９】
ロボットアームと基板固定ステージ間の基板の受け渡しのために基板固定ステージ上に設けられた少なくとも３本以上の上下動可能なリフトピンと、
該基板の全ての側面４方向からから該基板を除電するための二対の除電器を具備した除電装置であって、
該基板を前記ロボットアームから前記リフトピンに受け渡す際に、前記ロボットアームから該基板が、前記二対の除電器を備えている該基板の側面４方向から中央に向かって順次離れるように各々の前記リフトピンの上昇するタイミングをコントロールする第３の手段を備え、
前記第３の手段を用いて、前記ロボットアームから該基板が離脱する際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電装置。
【請求項１０】
請求項９の除電装置であって、
前記第３の手段は、該基板を前記リフトピンから前記ロボットアームに受け渡す際に、該基板から前記リフトピンが、該基板の中央から前記二対の除電器を備えている該基板の側面４方向に向かって順次離脱するように、各々の前記リフトピンの下降するタイミングをコントロールするようにし、
前記第３の手段を用いて、該基板から前記リフトピンが離れる際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電装置。
【請求項１１】
請求項９の除電装置であって、
前記第３の手段は、該基板を前記基板固定ステージに前記リフトピンを用いて設置する際に、該基板から前記リフトピンが、該基板の中央から前記二対の除電器を備えている該基板の側面４方向に向かって順番に離脱するように、各々の前記リフトピンの下降するタイミングをコントロールするようにし、
前記第３の手段を用いて、該基板から前記リフトピンが離れる際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電装置。
【請求項１２】
請求項９の除電装置であって、
前記第３の手段は、該基板を前記基板固定ステージから前記リフトピンを用いて離脱する際に、前記基板固定ステージから該基板が、前記二対の除電器を備えている該基板の側面４方向から該基板の中央に向かって順次離脱するように、各々の前記リフトピンの上昇するタイミングをコントロールするようにし、
前記第３の手段を用いて、前記基板固定ステージから該基板が離れる際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電装置。
【請求項１３】
ロボットアームと基板固定ステージ間の基板の受け渡しのために基板固定ステージ上に設けられた少なくとも３本以上の上下動可能なリフトピンと、
前記基板固定ステージと該基板が接触する外周部４辺に導電性材料によるコーティングを施した基板固定ステージとを具備した除電装置であって、
該基板を前記基板固定ステージから前記リフトピンを用いて離脱する際に、該基板の１側面から相対向する反対側側面に向かって順次離脱するように、各々の前記リフトピンの上昇するタイミングをコントロールする第４の手段を備え、
前記第４の手段を用いて、前記基板固定ステージから該基板が離れる際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電装置。
【請求項１４】
請求項１３の除電装置であって、
前記第４の手段は、該基板を前記基板固定ステージから前記リフトピンを用いて離脱する際に、該基板の中央から相対向する２側面に向かって順次離脱するように、各々の前記リフトピンの上昇するタイミングをコントロールするようにし、
前記第４の手段を用いて、前記基板固定ステージから該基板が離れる際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電装置。
【請求項１５】
請求項１３の除電装置であって、
前記第４の手段は、該基板を前記基板固定ステージから前記リフトピンを用いて離脱する際に、該基板の中央から全ての４側面に向かって順次離脱するように、各々の前記リフトピンの上昇するタイミングをコントロールするようにし、
前記第４の手段を用いて、前記基板固定ステージから該基板が離れる際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電装置。
【請求項１６】
請求項１の除電装置であって、
前記リフトピンと該基板を吸引するための第５の手段を前記リフトピンに具備したことを特徴とする除電装置。
【請求項１７】
ロボットアームと基板固定ステージ間の基板の受け渡しのために基板固定ステージ上に設けられた少なくとも３本以上のリフトピンを上下動させ、
該基板の側面の１方向から該基板を除電器により除電する除電方法であって、
該基板を前記ロボットアームから前記リフトピンに受け渡す際に、前記ロボットアームから該基板が、前記除電器により除電される側から順次に離れるように各々の前記リフトピンの上昇するタイミングをコントロールし、
前記ロボットアームから該基板が離脱する際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電方法。
【請求項１８】
ロボットアームと基板固定ステージ間の基板の受け渡しのために基板固定ステージ上に設けられた少なくとも３本以上のリフトピンを上下動させ、
該基板の側面の相対向する２方向から基板を一対の除電器により除電する除電方法であって、
該基板を前記ロボットアームから前記リフトピンに受け渡す際に、前記ロボットアームから該基板が、前記一対の除電器を備えている２方向の該基板の両側側面から中央に向かって順次離れるように各々の前記リフトピンの上昇するタイミングをコントロールし、
前記ロボットアームから該基板が離脱する際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電方法。
【請求項１９】
ロボットアームと基板固定ステージ間の基板の受け渡しのために基板固定ステージ上に設けられた少なくとも３本以上のリフトピンを上下動させ、
該基板の全ての側面４方向からから該基板を二対の除電器により除電する除電方法であって、
該基板を前記ロボットアームから前記リフトピンに受け渡す際に、前記ロボットアームから該基板が、前記二対の除電器を備えている該基板の側面４方向から中央に向かって順次離れるように各々の前記リフトピンの上昇するタイミングをコントロールし、
前記ロボットアームから該基板が離脱する際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電方法。
【請求項２０】
ロボットアームと基板固定ステージ間の基板の受け渡しのために基板固定ステージ上に設けられた少なくとも３本以上のリフトピンを上下動させ、
前記基板固定ステージと該基板が接触する外周部４辺に導電性材料によるコーティングを施した基板固定ステージにより除電する除電方法であって、
該基板を前記基板固定ステージから前記リフトピンを用いて離脱する際に、該基板の１側面から相対向する反対側側面に向かって順次離脱するように、各々の前記リフトピンの上昇するタイミングをコントロールし、
前記基板固定ステージから該基板が離れる際に発生する剥離帯電を除電することを特徴とする除電方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開２００８−４７４１４（Ｐ２００８−４７４１４Ａ）
【公開日】平成２０年２月２８日（２００８．２．２８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−２２１６３５（Ｐ２００６−２２１６３５）
【出願日】平成１８年８月１５日（２００６．８．１５）
【出願人】（０００００２１８５）ソニー株式会社 (34,172)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年２月２８日（２００８．２．２８）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年８月１５日（２００６．８．１５）
【出願人】（０００００２１８５）ソニー株式会社 (34,172)
【Ｆターム（参考）】
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