【課題】機能成分を効率的に生成することや、オゾンを極力低減させることのできるイオン発生装置を提供する。
【解決手段】放電部１を有する放電電極２と、放電部１に対して電圧を印加させる電圧印加手段とを備えたイオン発生装置において、エックス線を照射するエックス線照射部６を備える。エックス線照射部６からは、放電部１に対してエックス線を照射することにより機能成分の生成を促進させることができ、また、放電空間に照射することでオゾンを分解することができる。 （もっと読む）

【課題】エアシャワー室を設けた場合の高価な設備費とクリーンルーム内の作業効率の低下といった課題を解消でき、しかも被クリーン対象に付着した帯電粒子の除電除塵効果と除電除塵効率の極めて高い除電除塵装置と除電除塵方法を提供する。
【解決手段】被クリーン対象に付着した帯電粒子ｐ１を除電除塵する除電除塵装置１０であって、空気塊を生成する空気砲３とイオナイザ２が一体に構成され、イオナイザ２でイオンを生成した後に空気砲３で空気塊を生成し、この空気塊でイオンを吹き飛ばすように制御されており、吹き飛ばされたイオンが帯電粒子ｐ１を除電して無帯電粒子ｐ２とし、空気塊でこの無帯電粒子ｐ２を吹き飛ばして除塵するものである。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化及び基材の安定搬送に寄与できる印刷装置を提供する。
【解決手段】複数の処理装置と、複数の処理装置の間で基材を搬送する搬送部とを有する。搬送部による基材の搬送経路に臨んで設けられた除電部２０と、搬送部を制御して、処理装置に基材を搬送する際に、除電部を経由する搬送経路Ｒ１〜Ｒ５を辿らせる制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線照射角を広くすることができると共に、Ｘ線放出部を効率良く冷却することができるＸ線発生装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線管２０では、筒状体２５においてフランジ部２６から前側へ突出する開口端部２７がターゲット３１を保持しており、その開口端部２７が、Ｘ線発生装置の前面パネル４の貫通孔４ａ内に配置されている。これにより、ターゲット３１が前面パネル４の外表面近傍に位置することになる。更に、前面パネル４及び筒状体２５が熱伝導性を有しており、筒状体２５のフランジ部２６が、Ｘ線発生装置の前面パネル４に接触している。これにより、ターゲット３１で発生した熱がフランジ部２６を介して前面パネル４に逃がされることになる。 （もっと読む）

【課題】安全にかつ確実に静電気を除去できる静電気除去装置と静電気除去方法を提供すること。
【解決手段】静電気除去装置１０は、本体ケース１と本体ケース１内に配置するエックス線照射部１２と、エックス線照射部１２の入口付近に装着される電極１３とを備えている。エックス線照射部１２からエックス線を照射することにより、円錐形の弱プラズマ環境Ｗを形成する。電極１３をアースＥに接続して０ボルトを維持する。弱プラズマ環境Ｗ内に静電気を帯びた対象物質１５を配置すると、対象物質１５に帯電する電荷が、０ボルトの電極１３に引き寄せられることにより、対象物質１５から静電気を除去する。 （もっと読む）

【課題】 ガラス基板やウェーハの表面の帯電を効果的に除去する除電装置を提供する。
【解決手段】 減圧雰囲気に維持された直管型チューブ３内に電子ビーム６を放出するエミッタ４を配設し、また電子ビーム６の照射を受けて軟Ｘ線を発生するタングステンからなるターゲット膜７をチューブ内面に形成した除電装置であって、前記チューブには多数の窓部８が形成され、この窓部は前記ターゲット膜７にて覆われ、この窓部を覆うターゲット膜はベリリウム（Ｂｅ）膜９で外側から保護されている。 （もっと読む）

【課題】イオン量の減少問題を解消して高い除電性能を得ることができる。
【解決手段】除電しようとする被除電物１４を搬送コンベア１２で搬送しながら、搬送コンベア１２の搬送方向に沿って正イオンを吹き出す正イオン吹出口４０Ａ，４０Ｃと、負イオンを吹き出す負イオン吹出口４０Ｂ，４０Ｄとを交互に配置し、被除電物１４に正イオンと負イオンとを交互に吹き付けることにより、被除電物１４を除電する。 （もっと読む）

【課題】オゾンや電磁ノイズの発生及び発塵等をなくし、狭いスペースに対しても除電が可能であるチャンバ型イオン搬送式イオン化装置を提供する。
【解決手段】軟Ｘ線、低エネルギー電子線、紫外線又は沿面放電の発生部、あるいは密封放射性同位元素などのイオン化源４を、チャンバ１の内部に配置する。イオン化源４の電源部及び制御部からなる制御装置５は、チャンバ１の外部に配置する。チャンバ１の下流側には、複数の隔壁７，７からなる遮蔽部を設け、イオン化源４から発生する軟Ｘ線、低エネルギー電子線又は放射性同位元素からの放射線等を遮蔽する。 （もっと読む）

【課題】小さな電界で大きな出力の軟Ｘ線を安定した状態で大面積状に発生することができるとともに、発生したＸ線の照射方向を制御して非照射物に対して効率良く集中させて照射することが可能な、安価で性能の良い軟Ｘ線発生装置を提供する。
【解決手段】密閉可能な筒状の真空ハウジング内に、ハウジングの内壁面の長手方向に沿ってＸ線放出物質により構成されたわん曲面を有する陽極を設け、基材表面に針状体を密集して形成させた電極材料からなる冷陰極を前記陽極と間隔を空けて平行に配置してなり、陽極から発生するＸ線を冷陰極側に放射することを特徴とする軟Ｘ線発生装置。 （もっと読む）

【課題】 車両の静電気を人が触れることなく除去し、電撃ショックの防止だけでなくエンジン・補機類・電子部品の性能の効率化及び安定化を常時図る。
【解決手段】 自然界の放射性土壌物質をセラミック化した１個の電気石セラミック体３の周囲にドラバイトを還元焼成した６個の電気石セラミック体３ａを放射状に密集し、同電気石セラミック体３，３ａの集合体を銅板製のケース２内に配置し、電気石セラミック体３ａの対向する両側位置に磁石４をそのＮ極が電気石セラミック体３ａ側へ向くように配置し、ケース２内に荷電シリコン５を充填し、ケース２の張出片２ａに導線６をそれぞれ配線し、これを外ケース７に収容して導線６を露出させる。そして、一方の導線６をバッテリーのマイナス極端子に接続し、他方の導線６を車両の金属部分に取り付ける。 （もっと読む）