【課題】機能成分を効率的に生成することや、オゾンを極力低減させることのできるイオン発生装置を提供する。
【解決手段】放電部１を有する放電電極２と、放電部１に対して電圧を印加させる電圧印加手段とを備えたイオン発生装置において、エックス線を照射するエックス線照射部６を備える。エックス線照射部６からは、放電部１に対してエックス線を照射することにより機能成分の生成を促進させることができ、また、放電空間に照射することでオゾンを分解することができる。 （もっと読む）

【課題】エアシャワー室を設けた場合の高価な設備費とクリーンルーム内の作業効率の低下といった課題を解消でき、しかも被クリーン対象に付着した帯電粒子の除電除塵効果と除電除塵効率の極めて高い除電除塵装置と除電除塵方法を提供する。
【解決手段】被クリーン対象に付着した帯電粒子ｐ１を除電除塵する除電除塵装置１０であって、空気塊を生成する空気砲３とイオナイザ２が一体に構成され、イオナイザ２でイオンを生成した後に空気砲３で空気塊を生成し、この空気塊でイオンを吹き飛ばすように制御されており、吹き飛ばされたイオンが帯電粒子ｐ１を除電して無帯電粒子ｐ２とし、空気塊でこの無帯電粒子ｐ２を吹き飛ばして除塵するものである。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化及び基材の安定搬送に寄与できる印刷装置を提供する。
【解決手段】複数の処理装置と、複数の処理装置の間で基材を搬送する搬送部とを有する。搬送部による基材の搬送経路に臨んで設けられた除電部２０と、搬送部を制御して、処理装置に基材を搬送する際に、除電部を経由する搬送経路Ｒ１〜Ｒ５を辿らせる制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線照射角を広くすることができると共に、Ｘ線放出部を効率良く冷却することができるＸ線発生装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線管２０では、筒状体２５においてフランジ部２６から前側へ突出する開口端部２７がターゲット３１を保持しており、その開口端部２７が、Ｘ線発生装置の前面パネル４の貫通孔４ａ内に配置されている。これにより、ターゲット３１が前面パネル４の外表面近傍に位置することになる。更に、前面パネル４及び筒状体２５が熱伝導性を有しており、筒状体２５のフランジ部２６が、Ｘ線発生装置の前面パネル４に接触している。これにより、ターゲット３１で発生した熱がフランジ部２６を介して前面パネル４に逃がされることになる。 （もっと読む）

【課題】接合状態の二つの物質が剥離時または分離する時、かい面間に生じる静電気放電の抑制方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板上に成形加工した機能性高分子膜を剥離する場合、またはロール巻きされた情報機器用フィルムを巻き戻す際、剥離面または分離面に生じる本来の電気二重層に、反対極性の電気二重層８，９を外部からの作用により重畳することによって、合成された二重層の実効値を小さくし、それによって分離または剥離時の静電気放電を抑制する。 （もっと読む）

【課題】安全にかつ確実に静電気を除去できる静電気除去装置と静電気除去方法を提供すること。
【解決手段】静電気除去装置１０は、本体ケース１と本体ケース１内に配置するエックス線照射部１２と、エックス線照射部１２の入口付近に装着される電極１３とを備えている。エックス線照射部１２からエックス線を照射することにより、円錐形の弱プラズマ環境Ｗを形成する。電極１３をアースＥに接続して０ボルトを維持する。弱プラズマ環境Ｗ内に静電気を帯びた対象物質１５を配置すると、対象物質１５に帯電する電荷が、０ボルトの電極１３に引き寄せられることにより、対象物質１５から静電気を除去する。 （もっと読む）

【課題】 ガラス基板やウェーハの表面の帯電を効果的に除去する除電装置を提供する。
【解決手段】 減圧雰囲気に維持された直管型チューブ３内に電子ビーム６を放出するエミッタ４を配設し、また電子ビーム６の照射を受けて軟Ｘ線を発生するタングステンからなるターゲット膜７をチューブ内面に形成した除電装置であって、前記チューブには多数の窓部８が形成され、この窓部は前記ターゲット膜７にて覆われ、この窓部を覆うターゲット膜はベリリウム（Ｂｅ）膜９で外側から保護されている。 （もっと読む）

【課題】イオン量の減少問題を解消して高い除電性能を得ることができる。
【解決手段】除電しようとする被除電物１４を搬送コンベア１２で搬送しながら、搬送コンベア１２の搬送方向に沿って正イオンを吹き出す正イオン吹出口４０Ａ，４０Ｃと、負イオンを吹き出す負イオン吹出口４０Ｂ，４０Ｄとを交互に配置し、被除電物１４に正イオンと負イオンとを交互に吹き付けることにより、被除電物１４を除電する。 （もっと読む）

【課題】オゾンや電磁ノイズの発生及び発塵等をなくし、狭いスペースに対しても除電が可能であるチャンバ型イオン搬送式イオン化装置を提供する。
【解決手段】軟Ｘ線、低エネルギー電子線、紫外線又は沿面放電の発生部、あるいは密封放射性同位元素などのイオン化源４を、チャンバ１の内部に配置する。イオン化源４の電源部及び制御部からなる制御装置５は、チャンバ１の外部に配置する。チャンバ１の下流側には、複数の隔壁７，７からなる遮蔽部を設け、イオン化源４から発生する軟Ｘ線、低エネルギー電子線又は放射性同位元素からの放射線等を遮蔽する。 （もっと読む）

【課題】小さな電界で大きな出力の軟Ｘ線を安定した状態で大面積状に発生することができるとともに、発生したＸ線の照射方向を制御して非照射物に対して効率良く集中させて照射することが可能な、安価で性能の良い軟Ｘ線発生装置を提供する。
【解決手段】密閉可能な筒状の真空ハウジング内に、ハウジングの内壁面の長手方向に沿ってＸ線放出物質により構成されたわん曲面を有する陽極を設け、基材表面に針状体を密集して形成させた電極材料からなる冷陰極を前記陽極と間隔を空けて平行に配置してなり、陽極から発生するＸ線を冷陰極側に放射することを特徴とする軟Ｘ線発生装置。 （もっと読む）

【課題】 車両の静電気を人が触れることなく除去し、電撃ショックの防止だけでなくエンジン・補機類・電子部品の性能の効率化及び安定化を常時図る。
【解決手段】 自然界の放射性土壌物質をセラミック化した１個の電気石セラミック体３の周囲にドラバイトを還元焼成した６個の電気石セラミック体３ａを放射状に密集し、同電気石セラミック体３，３ａの集合体を銅板製のケース２内に配置し、電気石セラミック体３ａの対向する両側位置に磁石４をそのＮ極が電気石セラミック体３ａ側へ向くように配置し、ケース２内に荷電シリコン５を充填し、ケース２の張出片２ａに導線６をそれぞれ配線し、これを外ケース７に収容して導線６を露出させる。そして、一方の導線６をバッテリーのマイナス極端子に接続し、他方の導線６を車両の金属部分に取り付ける。 （もっと読む）

誘電材料（９０）の電荷を変更するためのシステム（１０９）は、紫外線を利用する。このシステムはガス源（１０２）と紫外線源（１０４）を備える。ガス源（１０２）は、誘電材料（９０）に隣接する領域にガス（１０３）を導入する。紫外線源（１０４）は、この領域に照射を行って、誘電材料上の電荷を調節するように配置されている。誘電材料（９０）上の電荷を変更する方法も開示し、この方法では、誘電材料（９０）に隣接する領域にガス（１０３）を導入する。続いて、この領域に紫外線（１０５）を照射して、誘電材料（９０）上の電荷を変更する。
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【課題】簡単な構成で、イオン化エアを長い距離にわたって安定的に搬送することができる断熱膨張によるイオン核凝縮を用いた荷電粒子搬送式イオナイザーを提供する。
【解決手段】チャンバ１０の上方の側壁部に照射窓１１を設けると共に、側壁部の外側に放射線遮蔽用カバー１２を設け、その内部にイオン化源２０を配設し、照射窓を介して、チャンバ内の空気をイオン化するように構成する。また、チャンバ１０の内部に荷電粒子発生ノズル３０を配設し、この荷電粒子発生ノズル３０内に正負イオンを導入すると共に、加湿エアと加圧エアとを供給し、該ノズル内において正負イオンを核として過飽和状態の水蒸気を凝縮させることにより正負の微小ミストを発生させる。そして、正負イオンと正負微小ミストとの混合体を、チューブを介して除電対象となる帯電体に吹き付けるように構成する。 （もっと読む）

ウェブ（４２）上に存在する電界を分割することにより、移動するウェブ（４２）上の電荷を中性化するための方法及び装置（４０）。この電界の一部は、ウェブ（４２）の一方の面に近接した、また所望により接触した接地した要素（５５ａ、５５）によって除去される。ウェブの反対面に近接して、この装置には、ウェブ（４２）にイオンを供給してウェブ（４２）上に残る電荷を中性化するためのイオン源（５７ａ、５７ｂ、５７ｃ）及び、このイオン源（５７ａ、５７ｂ、５７ｃ）とウェブ（４２）との間に配置される第２の接地した要素（５０ａ、５０ｂ、５０ｃ）が含まれる。この方法は、正味で中性化され、かつ両面又は二極性の中性化されたウェブ（４２）を供給する。
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【課題】大型の静電気除去対象物であっても設備が大型化せず静電気除去効果に優れ、そのうえ軟Ｘ線発生に際して発熱しないで扱い易い静電気除去装置を提供すること。
【解決手段】本静電気除去装置２０は、真空容器１０の容器壁に軟Ｘ線照射窓１２を設け、真空容器１０内部ではターゲット１４を軟Ｘ線照射窓１２に対向配置し、ターゲット１４に対向して一方向長手ワイヤ状に延びる電界放射型の電子エミッタ１６を配置した構成。 （もっと読む）

【課題】チャンバーの壁面から粒子が発生することを防止する、簡便に使用可能な軟Ｘ線光イオン化荷電器を提供する。
【解決手段】粒子を含むエアロゾルの流路をなすチャンバーを持ち、外面一側に、前記チャンバーと連結される孔が形成されているハウジングと、前記ハウジングの孔に装着され、前記チャンバーに軟Ｘ線を照射して前記粒子を中和するヘッドを持つ光イオン化装置と、前記チャンバーと前記ヘッドの間に装着され、前記軟Ｘ線が透過可能な材料からなる透明窓とを具備する軟Ｘ線光イオン化荷電器が提供される。当該軟Ｘ線光イオン化荷電器は、前記透明窓の縁部に配置され、前記孔に密着する軟質の支持リングをさらに具備する。前記透明窓は、硬度が２．５以上であり、厚さが０．３ｍｍ以下である。前記透明窓はスライスガラス及びスライス雲母のいずれか１種でなる。 （もっと読む）

【課題】 前工程を経た帯電体を効果的に除電して搬送する。
【解決手段】 帯電したガラス基板Ｍを保持して搬送する搬送ロボット２と、ガラス基板Ｍに帯電した電気を空気イオンによって中和して除電する軟Ｘ線照射器３とを備える。ガラス基板Ｍを保持する搬送ロボット２のアーム２４に、接地電位に設定された金網板４を、ガラス基板Ｍに所定の距離を隔てて対向するように配設し、少なくともガラス基板Ｍと金網板４との間に空気イオンが形成されるように軟Ｘ線照射器３を配設する。 （もっと読む）

【課題】サブミクロン粒子をも除去することができる衝撃波を用いた無発塵除電除塵システムを提供する。
【解決手段】イオン化チャンバ１内に供給されたイオン搬送ガスの一部を所定のイオン化源によってイオン化し、該チャンバ内で発生したイオンを除電対象となるガラス基板５に供給して除電する除電部と、円筒状のシリンダ１１とその内壁に沿って摺動可能に配設されたピストン１２から構成され、電磁弁２４の開閉動作により間欠的に連続して衝撃波を発生させると共に、その衝撃波を除電処理後のガラス基板５に当てる衝撃波発生ヘッド１０と、衝撃波を発生させるためにガラス基板５に吹き付けられたエアを吸い込み、排気する排気チャンバ３０とからなる除塵部とを備える。 （もっと読む）

本発明は帯電物体の電荷を除去するために軟Ｘ線を生成させる多数のヘッド部及びこれらを制御するための制御部を備えて構成される光イオナイザに関するものであって、上のそれぞれのヘッド部は、低電圧を供給を受けて高電圧に昇圧する高電圧発生部と；上の高電圧発生部から高電圧を印加を受けてＸ線を発生させるＸ線管と；上のＸ線管の後側に固定設置されて上のＸ線管を振動から保護するシリコンキャップと；電子を生成するバルブと；ターゲットで電子の衝突により発生するＸ線を外部に放出する出力窓と；逆コ字状の保護容器側面部及びコ字状の保護容器ふた部で構成される保護容器と；上の出力窓と熱的及び電気的に連結されて上のＸ線管の前段部に固定設置され、上の保護容器側面部の前面と接触して上のターゲットで発生した熱を上のＸ線管外部に放出させるフランジ部と；及び上のフランジ部の外周縁の直径と同じ直径を有する第１貫通口を具備し、上の保護容器前面に具備されて上の第１貫通口より小さい直径を有する第２貫通口と共に上のＸ線管で発生されたＸ線が上の保護容器外部に放出されるようにするフランジ補強板と；を含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】この発明は上記した従来技術等が持っている問題点を解決するための軟Ｘ線を利用したイオナイザーを提供することを目的とする。
【解決手段】この発明は、帯電物体に向けて軟Ｘ線を放出し、放出された軟Ｘ線によって空気中のガスを電離させ、電離されたガスから発生されるプラスイオン、マイナスイオン及び電子のうちの何れか１つ以上によって前記帯電物体の電位を０にするために軟Ｘ線を生成させるヘッド部と、１つ以上の前記ヘッド部を制御するための制御部とを具備してなる軟Ｘ線を利用したイオナイザーに関するものである。この発明のイオナイザーのヘッド部は、チューブで生成された電子を電位差によって引きつけるターゲットを具備し、前記ターゲットの材質としてベリリウム窓に銀を蒸着させたものを使用する。 （もっと読む）