薄膜型素子用電極およびその形成方法

【課題】
本発明は薄膜型素子の一方の面から複数のリード線を取り出すことができるようにする。
【解決手段】
薄膜型素子に用いる電極であって、該素子の両面に形成された各電極のうち、一方の面に形成された電極の一部を他方の面に延長して、当該他方の面から複数の導電線を取り出すことができるように構成されていることを特徴とする薄膜型素子を提供する。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は薄膜型電極の形成方法であり、特に一方の面に必要な電極を全て形成する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、薄膜型の素子において、特に圧電素子を用いたスピーカのように複数の電極を形成することが必要とされる場合、電極を表裏両面に形成することが一般的であった。例えば携帯型ゲーム機等ではゲームに必要な音声を出力するときに、圧電素子をスピーカとして、筐体に貼り付けて用いられている。
【０００３】
しかしながらこのような場合、電極が素子の両面に形成されているため、リード線を接続したときに素子を固定する側には、素子と固定面との間に該リード線が設置できる空間が必要とされていた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このため、薄膜型素子であるにもかかわらず、素子を設置するときにリード線が占める空間を確保する必要があり、電子機器等を十分小型化できない問題を有していた。また、素子を設置する際に、効率よく空間を使用するには細いリード線を用いることになり機器の不具合が生じる危険性も有していた。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上述の問題に鑑み、本発明は、薄膜型素子に用いる電極であって、該素子の両面に形成された各電極のうち、一方の面に形成された電極の一部を他方の面に延長して、該他方の面から複数の導電線を取り出すことができるように構成されていることを特徴とする薄膜型素子を提供する。このことによって薄膜型素子を固定する側の面を平坦にすることができ、リード線を一方の面から取り出すことができるので薄膜型素子を設置する空間を最小限にすることができる。
【０００６】
またこの電極材料は導電性ペーストであり、特にＰｔ、Ａｇ、ＭｇＯ、Ｃｕ、Ｎｉ、ＮｉＯ、ＩＴＯ、はんだ、または、カーボンを材料としたペーストである。
【０００７】
さらに前記他方の面に形成された電極の一部を前記一方の面に延長して、いずれの面からも複数の導電線を取り出すことができるように構成されていることを特徴とする薄膜型素子を提供する。
【０００８】
このような電極を形成する方法として、マスクを用いる薄膜型素子の電極形成方法であって、該素子の一方の面に第１の電極を形成する過程と、該素子の他方の面に第２の電極と第１の電極の折り返し部を形成する過程と、該他方の面に形成された第１の電極の折り返し部の端部を前記一方の面の側から吸引して、当該折り返し部と一方の面に形成された第１の電極とを接続することを特徴とする電極形成方法を提供する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明により薄膜型素子リード線等を接続する際、素子を設置する空間を小さくしてもリード線を接続する空間を確保することができる。また素子の一方の面からリード線を取り出すことができるので設計の自由度を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
本発明の実施形態を図を用いて以下に説明する。図１は本発明を用いて作成した薄膜状素子の模式的な図である。図１（ａ）は上面、図１（ｂ）は下面をそれぞれ示している。図示したように薄膜状素子の両面に薄膜状の電極１１、１２を有しており、下面の電極１２には折り返し部１０が形成され上面に折り返されている。このようにして形成した電極は、例えば図１（ｃ）に示したように一方の面からリード線１３を引き出すことが可能となり、よって狭い空間に取り付ける場合に有利となる。
【００１１】
このような薄膜型素子に用いる電極の形成方法を以下に説明する。図２（ａ）に示したように電極を形成する素子１５の一方の面にマスク２１を設置し、ここに導電性ペーストを所望の塗布装置２２で塗布する。このとき折り返し部を形成するためにマスク２１は該素子１５の外側に窓部２５を有しており、この窓部２５にも該導電性ペーストを充填する。
【００１２】
次に、図２（ｂ）に示したように該導電性ペーストが固まる前に、例えば吸引用ノズル２６で該導電性ペーストの折り返し部１０を吸引しながら、該ノズル２６を上方２３または斜め上方２４に移動させる。これによって導電性ペーストの折り返し部１０は図２（ｃ）の状態を経て図２（ｄ）のようになり、導電性ペーストの折り返し部１０が折り返し領域１４上に折り返される。図２（ｃ）、（ｄ）では折り返し部１０はほぼ直角に曲がっているが、このような状態に限定されるものではないことは、当業者であれば十分理解できる。
【００１３】
この後、前記導電性ペーストが固まると電極として使用できるようになる。
【００１４】
以上のような工程を経て薄膜型素子の一方の面から複数のリード線を取り出すことができる。このとき導電性ペーストは、Ｐｔ、Ａｇ、ＭｇＯ、Ｃｕ、Ｎｉ、ＮｉＯ、ＩＴＯ、はんだ、または、カーボンを材料としたペーストであると好ましい。しかしながら材料はこれらに限定されるものではない。また本明細書中で使用する「折り返し部」は図２（ｃ）および（ｄ）に参照符号１０１で示されたような、薄膜型素子１５の側面の領域も含まれる。また図３に示したように、例えば薄膜型素子にコンタクトホール３００を設け、該コンタクトホール３００に導電性ペーストを充填した場合、この領域３０１も折り返し部に含まれる。
【００１５】
本発明の他の実施例は、図４に示したように薄膜型素子の折り返し領域の端部に凹部４００を設け、導電性ペーストが該凹部４００を経由して折り返し領域１４に折り返される。これによって前記折り返し部が該素子の外側に突出することなく、所定の領域に素子を取り付けることができる。
【００１６】
本発明のさらに他の実施例は図５に示したように折り返し部１０を形成する側の電極にも折り返し領域１４を設け、つまり薄膜型素子の両面に折り返し領域１４を設けることによって、該素子のどちらの面からでもリード線を取り出すことができる。これによって、該薄膜型素子を製品等に取り付ける際、素子の方向を定めることなく容易に取り付けることができる。
【００１７】
本発明によって薄膜型素子の一方の面から複数のリード線を取り出すことができるため、該素子の取り付面を平坦にすることができ、これによって該素子の占める空間を小さくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】図１（ａ）は本発明による薄膜型素子の上面図であり、（ｂ）は該素子の下面図であり、（ｃ）は上面の斜視図である。
【図２】図２は本発明の電極形成方法の各工程を示した図であり、（ａ）はマスクを設置し導電性ペーストを塗布する工程を示しており、（ｂ）は導電性ペーストを吸引用ノズルで吸引する工程を示しており、（ｃ）は折り返し部が折り返される途中の状態を示しており、（ｄ）は折り返し部が折り返された状態を示した図である。
【図３】図３はコンタクトホールを有する本発明の他の実施例である。
【図４】図４は折り返し領域の端部に凹部を形成した図である。
【図５】図５は薄膜型素子の両面に折り返し部を有する実施例を示した図である。
【符号の説明】
【００１９】
１０折り返し部
１１、１２薄膜状の電極
１３リード線
１４折り返し領域
１５素子
２１マスク
２２塗布装置
２５窓部

【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄膜型素子に用いる電極であって、該素子の両面に形成された各電極のうち、一方の面に形成された電極の一部を他方の面に延長して、当該他方の面から複数の導電線を取り出すことができるように構成されていることを特徴とする薄膜型素子。
【請求項２】
前記電極材料は導電性ペーストであることを特徴とする請求項１に記載の素子。
【請求項３】
前記電極材料は特にＰｔ、Ａｇ、ＭｇＯ、Ｃｕ、Ｎｉ、ＮｉＯ、ＩＴＯ、はんだ、または、カーボンを材料としたペーストであることを特徴とする請求項１または２に記載の素子。
【請求項４】
前記他方の面に形成された電極の一部を前記一方の面に延長して、いずれの面からも複数の導電線を取り出すことができるように構成されていることを特徴とする請求項１に記載の薄膜型素子。
【請求項５】
マスクを用いる薄膜型素子の電極形成方法であって、
該素子の一方の面に第１の電極を形成する過程と、
該素子の他方の面に第２の電極と第１の電極の折り返し領域を形成する過程と、
該他方の面に形成された第１の電極の折り返し部の端部を前記一方の面の側から吸引して、当該折り返し部と一方の面に形成された第１の電極とを接続することを特徴とする電極形成方法。
【請求項６】
マスクを用いる薄膜型素子の電極形成方法であって、
該素子の一方の面に第１の電極を形成する過程と、
該素子の他方の面に第２の電極と第１の電極の折り返し部を形成する過程と、
該一方の面に形成された第１の電極の端部を、前記他方の面の側から吸引して、当該一方の面に形成された第１の電極と他方の面に形成された第１の電極の折り返し部とを接続することを特徴とする電極形成方法。

【図１】