記録ヘッド及び情報記録再生装置
【課題】書き込みの信頼性が向上して高密度記録化を図ることができると共に、手間をかけることなく容易に製造できること。
【解決手段】スライダ６０と、該スライダの流出端面６０ａ側に配設され、一端側から入射された光束を磁気記録媒体の表面に対向する他端側に向けて集光しながら伝播させる伝播部を有する光伝播素子４０と、スライダの流出端面側に配設されると共に、主磁極４７及び補助磁極４５を有し、両磁極の間に記録磁界を発生させる記録素子４１と、を備え、主磁極と、伝播部のうちの少なくとも他端側部分４０とは、スライダの流出端面に平行な同一面内に配置され、前記他端側部分における主磁極側の側面５４ａ上には、伝播されてきた光束から近接場光を発生させる金属膜５５が形成されている記録ヘッドを提供する。
【解決手段】スライダ６０と、該スライダの流出端面６０ａ側に配設され、一端側から入射された光束を磁気記録媒体の表面に対向する他端側に向けて集光しながら伝播させる伝播部を有する光伝播素子４０と、スライダの流出端面側に配設されると共に、主磁極４７及び補助磁極４５を有し、両磁極の間に記録磁界を発生させる記録素子４１と、を備え、主磁極と、伝播部のうちの少なくとも他端側部分４０とは、スライダの流出端面に平行な同一面内に配置され、前記他端側部分における主磁極側の側面５４ａ上には、伝播されてきた光束から近接場光を発生させる金属膜５５が形成されている記録ヘッドを提供する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、近接場光を利用して磁気記録媒体に各種の情報を記録する記録ヘッド、及びこれを備えた情報記録再生装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、コンピュータ機器におけるハードディスク等の磁気記録媒体（以下、ディスクという）は、より大量且つ高密度情報の記録再生を行いたい等のニーズを受けて、さらなる高密度化が求められている。そのため、隣り合う磁区同士の影響や、熱揺らぎを最小限に抑えるために、保磁力の強いものがディスクとして採用され始めている。そのため、ディスクに情報を記録することが困難になっていた。
【０００３】
そこで、上述した不具合を解消するために、光を集光したスポット光、若しくは、光を集光した近接場光を利用して磁区を局所的に加熱して一時的に保磁力を低下させ、その間にディスクへの書き込みを行うハイブリッド磁気記録方式の情報記録再生装置が提供されている。
特に、近接場光を利用する場合には、従来の光学系において限界とされていた光の波長以下となる領域における光学情報を扱うことが可能となる。よって、従来の光情報記録再生装置等を超える記録ビットの高密度化を図ることができる。
【０００４】
ハイブリッド磁気記録方式による記録ヘッドとしては、各種のものが提供されているが、その１つとして近接場光を利用して加熱を行うヘッドが知られている（特許文献１参照）。
この特許文献１に記載の記録ヘッドは、主に補助磁極と、主磁極と、照射されたレーザ光から近接場光を発生させる近接場光発生素子（散乱体）と、照射されたレーザ光を近接場光発生素子に集束させるレンズと、レーザ光を照射するレーザ光源と、を備えており、スライダの流出端面側からこの順に配設されている。
【０００５】
このうち近接場光発生素子は、スライダを基準として見ると、ヘッドの走行方向（スライダの厚み方向）に沿って主磁極に並ぶように、該主磁極上に載置された状態で取り付けられている。これにより、主磁極と補助磁極との間に発生する記録磁界の近くに近接場光を発生させている。
【０００６】
しかしながら、ヘッドの走行方向に沿って主磁極と近接場光発生素子とが並ぶように配置されているので、図１７に示すように、磁場スポットＳＰ１と近接場光スポットＳＰ２とがヘッドの走行方向（矢印方向）にずれてしまい、両スポットＳＰ１、ＳＰ２のスポット中心Ｇ１、Ｇ２を一致させることは困難であった。
【０００７】
図１８に示すように、上記磁場スポットＳＰ１は記録磁界の磁場カーブＣ１が現れる範囲であり、磁場カーブＣ１のピーク位置（磁場が最も強くなる位置）がスポット中心Ｇ１となる。そして、この磁場スポットＳＰ１は、主磁極が近接場光発生素子よりもスライダの流出端側に配置されているので、近接場光スポットＳＰ２よりもスライダのリーディングエッジ寄りに現れる。
【０００８】
一方、上記近接場光スポットＳＰ２は、発生した近接場光による加熱によってディスクの保磁力を低下させる保磁力カーブＣ２が現れる範囲であり、保磁力カーブＣ２のピーク位置（近接場光による熱によって保磁力が最も低下する位置）がスポット中心Ｇ２となる。そして、この近接場光スポットＳＰ２は、近接場光発生素子が主磁極よりもスライダの流出端側に配置されているので、磁場スポットＳＰ１よりもスライダのトレイリングエッジ寄りに現れる。
【０００９】
理想的には、上記磁場スポットＳＰ１と近接場光スポットＳＰ２とが互いに重なり、両スポットＳＰ１、ＳＰ２のスポット中心Ｇ１、Ｇ２同士が一致していることが好ましい。こうすることで、保磁力が最も低下する位置に、最も強い磁場を印加できるので、確実且つ局所的な書き込みが可能になり、高密度記録化に繋げることができる。
しかしながら、実際には磁場と近接場光とを同時に発生させるような素子が存在しないので、主磁極と近接場光発生素子とを並ばせる構成となってしまい、両スポットＳＰ１、ＳＰ２のスポット中心Ｇ１、Ｇ２を一致させることは難しい。
【００１０】
従って、上記のように磁場スポットＳＰ１と近接場光スポットＳＰ２とがヘッドの走行方向にずれてしまうが、この場合には、ディスクの保磁力が最も低下した位置と磁場が最も強くなる位置とがヘッドの走行方向にずれてしまい、書き込み不良等が生じる恐れがあった。
そのため、この場合において確実な書き込みを行うためには、磁場スポットＳＰ１及び近接場光スポットＳＰ２の強度をそれぞれ大きくしてスポットサイズを広げる必要があるが、そうすると、書き込みの対象としている記録トラックの隣に位置する別の記録トラックやデータビット等を加熱してしまい、既に記録されているデータを誤消去したり、消費電力の増加を招いたりする等の問題を引き起こしてしまい易かった。
【００１１】
また、スライダを基準として見たときに、近接場光発生素子上に主磁極が載置された状態で取り付けられ、やはりヘッドの走行方向に沿って主磁極と近接場光発生素子とが並ぶように配置されたヘッドも知られている（特許文献２参照）。
しかしながら、この場合であっても図１９及び図２０に示すように、上記の場合とは逆に、保磁力カーブＣ２がリーディングエッジ寄りに現れ、磁場カーブＣ１がトレイリングエッジ寄りに現れるだけで、依然として磁場スポットＳＰ１と近接場光スポットＳＰ２とがヘッドの走行方向（矢印方向）にずれてしまうものであった。そのため、上記と同様の問題が残されている。
【００１２】
そこで、上記特許文献１に記載の構成において、図１８に示す保磁力カーブＣ２を磁場カーブＣ１側にできるだけシフトさせて、両スポットＳＰ１、ＳＰ２のスポット中心Ｇ１、Ｇ２をヘッドの走行方向に沿って近づける工夫を施したヘッドが知られている（特許文献３参照）。
この特許文献３に記載のヘッドの主磁極には、磁気記録媒体に対向する対向面におけるトレイリングエッジ側に窪み部が形成されている。そして、この窪み部内に近接場光発生素子が配置されている。このように構成することで、磁場スポットＳＰ１と近接場光スポットＳＰ２とを、ヘッドの走行方向にできるだけ重ねるようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特許第４１００１３３号公報
【特許文献２】特開２００７−２０７３４９号公報
【特許文献３】特開２００５−４９０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
ところが、主磁極の対向面に窪み部を形成しているので、該窪み部を形成するための縁部によって主磁極の形状が変化してしまい、主磁極の対向面において２箇所の先鋭化部分がトレイリングエッジ側に現れてしまう。そのため、この２箇所の先鋭化部分に記録磁界が局所的にそれぞれ強く発生し易く、結果的に磁気記録媒体のトラック方向に磁場が広がってしまい易かった。そのため、書き込みの対象としている記録トラックの隣に位置する別の記録トラックやデータビット等に磁場を印加してしまい、やはりデータの誤消去を招き易かった。
【００１５】
また、通常ヘッドを作製する場合には、スライダの流出端面上に、該スライダの厚み方向に沿って、フォトリソグラフィ技術を利用して記録素子や近接場光発生素子を順に積層していきながら作製する方法が一般的になされている。そのため、スライダの流出端面に平行な面内であれば、様々な形状にパターニングすることは容易である。
ところが、スライダの対向面は、スライダの流出端面に対して直交する面であるので、この面内で窪み部を形成するには切削加工等の追加工を行う必要があるうえ、技術的に難しいものであった。従って、製造が困難で且つ手間がかかるものであった。
【００１６】
本発明は、このような事情に考慮してなされたもので、その目的は、書き込みの信頼性が向上して高密度記録化を図ることができると共に、手間をかけることなく容易に製造することができる記録ヘッド、及びこれを備えた情報記録再生装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明は、前記課題を解決するために以下の手段を提供する。
（１）本発明に係る記録ヘッドは、一定方向に回転する磁気記録媒体の表面に、該磁気記録媒体の回転方向下流側に流出端面が向いた状態で対向配置されるスライダと、前記スライダの前記流出端面側に配設され、一端側から入射された光束を前記磁気記録媒体の表面に対向する他端側に向けて集光しながら伝播させる伝播部を有する光伝播素子と、前記スライダの前記流出端面側に配設されると共に、主磁極及び補助磁極を有し、両磁極の間に記録磁界を発生させる記録素子と、を備え、前記主磁極と、前記伝播部のうちの少なくとも他端側部分とは、前記スライダの流出端面に平行な同一面内に配置され、前記伝播部の前記他端側部分における前記主磁極側の側面上には、伝播されてきた前記光束から表面プラズモンの励起により近接場光を発生させる金属膜が形成されていることを特徴とする。
【００１８】
本発明に係る記録ヘッドによれば、光伝播素子の伝播部を利用して、入射された光束を集光させながら他端側まで確実に伝播させることができると共に、金属膜を利用してこの伝播された光束から表面プラズモンを励起させて近接場光を発生させることができる。そのため、金属膜で発生された近接場光と、記録素子で発生された記録磁界とを協働させて、磁気記録媒体に各種の情報の書き込みを行える。
特に、主磁極と、伝播部のうちの少なくとも金属膜が形成される他端側部分とが、スライダの流出端面に平行な同一平面内に配置されているので、ヘッドの走行方向に直交する方向、即ち磁気記録媒体のトラック方向に沿って主磁極と伝播部の他端側部分とが並ぶように配置させることができる。従って、主磁極と金属膜とに関しても同様に上記トラック方向に沿って並ぶように配置させることができる。
【００１９】
従って、記録磁界の磁場スポットと近接場光の近接場光スポットとをトラック方向に並ばせることができると共に、磁場スポットのスポット中心と近接場光のスポット中心とをヘッドの走行方向に対して一致させることが可能である。
通常、磁気記録媒体は、トラック方向に隣り合っている磁区同士の中心間距離の方がヘッドの走行方向に隣り合っている磁区同士の中心間距離よりも大きい。従って、ヘッドの走行方向に両スポットのスポット中心を一致させることで、トラック方向に隣接する別の記録トラックの磁区に極力影響を与えずに、対象とする記録トラックの磁区に対して加熱のピークと磁場のピークとを一致させた状態で加熱及び磁場の印加を行える。
【００２０】
よって、書き込みの信頼性を向上することができ、高密度記録化を図ることができる。しかも、金属膜は、伝播部の他端側部分における主磁極側の側面上に形成されているので、磁場スポットと近接場光スポットとをトラック方向においても極力接近させることができる。この点においても、高密度記録化に繋げることができる。
【００２１】
また、スライダの流出端面に平行な同一平面内での作り込みが行えるので、特別な手法を用いることなく、通常のフォトリソグラフ技術等の半導体製造技術を利用しながら製造を行うことが可能である。従って、容易に製造することができ、量産化が可能であるうえ、ヘッド自在の薄型化を図ることができる。
【００２２】
（２）また、上記本発明に係る記録ヘッドにおいて、前記記録素子が、前記主磁極を支持する絶縁層を有し、該絶縁層には、前記伝播部の前記他端側部分を入り込ませて該他端側部分を前記主磁極と前記同一面内に配置させる段差部が形成され、前記金属膜が、前記主磁極と前記伝播部の他端側部分との間に位置する前記段差部内に形成されていても良い。
【００２３】
この場合には、伝播部の他端側部分が入り込んでいる段差部を利用して金属膜を形成できるので、伝播部の他端側部分における主磁極側の側面上に、規定した長さの金属膜を容易に形成することが可能である。
従って、段差部のサイズを調整することで、必要最小限の長さの金属膜を形成することができる。そのため、磁気記録媒体の表面にできるだけ近いまで伝搬部を利用して効率良く光束を伝播させた後、金属膜に入射させて近接場光を発生させることができる。従って、光束の伝播損失を極力抑制でき、近接場光の発生効率を高めることができ、より光強度の強い近接場光で書き込みを行える。
【００２４】
（３）また、上記本発明に係る記録ヘッドにおいて、前記伝播部が、前記一端側から前記磁気記録媒体の表面に向けて、伝播される前記光束の光軸に直交する断面積が漸次減少するように絞り成形された第１伝播部と、該第１伝播部に連結されると共に、該連結部分から前記他端側まで前記断面積が一定となるように同一形状で延在した第２伝播部と、を有し、前記金属膜が、前記第２伝播部の側面上に形成されていても良い。
【００２５】
この場合には、伝播部の他端側部分が同一形状で延在した第２伝播部とされており、この第２伝播部の主磁極側の側面上に金属膜が形成されているので、複雑に形状変化している側面上に金属膜を形成する場合とは異なり、容易且つ強固に金属膜を形成することが可能であり、金属膜の膜剥がれ等が生じ難い。従って、長期に亘って安定して近接場光を発生させることができ、書き込みの信頼性を向上することができる。
【００２６】
（４）また、上記本発明に係る記録ヘッドにおいて、前記伝播部が、前記光軸に直交する断面が三角形状となるように形成されていても良い。
【００２７】
この場合には、光束をより効率良く集光させながら伝播させ易く、光伝播効率を高めることができる。
【００２８】
（５）また、本発明に係る情報記録再生装置は、上記本発明に係る記録ヘッドと、前記磁気記録媒体の表面に平行な方向に移動可能とされ、該磁気記録媒体の表面に平行で且つ互いに直交する２軸回りに回動自在な状態で前記記録ヘッドを支持するサスペンションと、前記伝播部に前記光束を入射させる光源と、前記磁気記録媒体の外側に配置されたピボット軸と、該ピボット軸の回りを回転可能に形成されると共に、前記サスペンションを支持するアーム部を有するキャリッジと、を備えていることを特徴とする。
【００２９】
本発明に係る情報記録再生装置によれば、上記記録ヘッドを備えているので、書き込みの信頼性が高く、高密度記録化に対応した高品質な装置にすることができる。
【発明の効果】
【００３０】
本発明に係る記録ヘッドによれば、手間をかけることなく容易に製造することが可能であるうえ、ヘッドの走行方向に磁場スポットのスポット中心と近接場光スポットのスポット中心とを一致させることができるので、書き込みの信頼性が向上して高密度記録化を図ることができる。
また、本発明に係る情報記録再生装置によれば、書き込みの信頼性が高く、高密度記録化に対応した高品質な装置にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明に係る情報記録再生装置の実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示すヘッドジンバルアセンブリの斜視図である。
【図３】図２に示すジンバルの平面図である。
【図４】図３に示すＡ−Ａ線に沿った断面図である。
【図５】図４に示す記録ヘッド周辺を拡大した断面図である。
【図６】図５に示す記録ヘッドの流出端面側をさらに拡大した断面図である。
【図７】図６に示すＢ−Ｂ線に沿った断面図である。
【図８】主磁極周辺をディスク側から見た斜視図である。
【図９】図１に示すターミナル基板の平面図である。
【図１０】ディスクへの書き込みを行う際の磁場スポットと近接場光スポットとの関係を示した図である。
【図１１】ディスクへの書き込みを行う際の磁場カーブと保磁力カーブとの関係を示した図である。
【図１２】記録ヘッドの変形例を示す図であって、図８に相当する斜視図である。
【図１３】記録ヘッドの別の変形例を示す図であって、スポットサイズ変換器を取り外した状態においての図８に相当する斜視図である。
【図１４】図１３において、スポットサイズ変換器を取り付けた状態の斜視図である。
【図１５】スポットサイズ変換器の変形例を示す斜視図である。
【図１６】図１５に示すスポットサイズ変換器を有する記録ヘッドの変形例を示す図であって、図８に相当する斜視図である。
【図１７】従来のヘッドにおいて、ディスクへの書き込みを行う際の磁場スポットと近接場光スポットとの関係を示した図である。
【図１８】従来のヘッドにおいて、ディスクへの書き込みを行う際の磁場カーブと保磁力カーブとの関係を示した図である。
【図１９】従来の別のヘッドにおいて、ディスクへの書き込みを行う際の磁場スポットと近接場光スポットとの関係を示した図である。
【図２０】従来の別のヘッドにおいて、ディスクへの書き込みを行う際の磁場カーブと保磁力カーブとの関係を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、本発明に係る情報記録再生装置の実施形態を、図１から図１６を参照して説明する。なお、本実施形態の情報記録再生装置１は、垂直記録層を有するディスク（磁気記録媒体）Ｄに対して、垂直記録方式で書き込みを行う装置である。
【００３３】
（情報記録再生装置）
本実施形態の情報記録再生装置１は、図１に示すように、キャリッジ１１と、キャリッジ１１の基端側から光電気複合配線３３を介して光束Ｌ（図６参照）を供給するレーザ光源２０と、キャリッジ１１の先端側に支持されたヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）１２と、ヘッドジンバルアセンブリ１２をディスク面Ｄ１（ディスクＤの表面）に平行なＸＹ方向に向けてスキャン移動させるアクチュエータ６と、ディスクＤを所定の方向に向けて回転させるスピンドルモータ７と、情報に応じて変調した電流をヘッドジンバルアセンブリ１２の記録ヘッド２に対して供給する制御部５と、これら各構成品を内部に収容するハウジング９と、を備えている。
【００３４】
ハウジング９は、アルミニウム等の金属材料からなる上部開口部を有する箱型形状のものであり、上面視四角形状の底部９ａと、底部９ａの周縁において底部９ａに対して鉛直方向に立設する周壁（不図示）とで構成されている。そして、周壁に囲まれた内側には、上述した各構成品を収容する凹部が形成される。
なお、図１においては、説明を分かりやすくするため、ハウジング９の周囲を取り囲む周壁を省略している。
【００３５】
ハウジング９には、該ハウジング９の上部開口部を塞ぐように図示しない蓋が着脱可能に固定されるようになっている。底部９ａの略中心には、上記スピンドルモータ７が取り付けられており、該スピンドルモータ７に中心孔を嵌め込むことでディスクＤが着脱自在に固定されている。
【００３６】
ディスクＤの外側で、底部９ａの一つの隅角部には、上述したアクチュエータ６が取り付けられている。このアクチュエータ６には、ピボット軸１０を中心に水平面（ＸＹ方向）内で回動可能なキャリッジ１１が取り付けられている。
このキャリッジ１１は、基端部から先端部に向けて（ディスクＤ方向に向けて）延設されたアーム部１４と、基端部を介してアーム部１４を片持ち状に支持する基部１５とが、削り出し加工等により一体形成されたものである。
基部１５は、略直方体形状に形成されたものであり、ピボット軸１０回りに回動可能に支持されている。つまり、基部１５はピボット軸１０を介してアクチュエータ６に連結されており、このピボット軸１０がキャリッジ１１の回転中心となっている。
【００３７】
アーム部１４は、基部１５におけるアクチュエータ６が取り付けられた側面１５ａと反対側の側面（隅角部の反対側の側面）１５ｂにおいて、基部１５の上面の面方向（ＸＹ方向）と平行に延出する平板状のものであり、基部１５の高さ方向（Ｚ方向）に沿って３枚延出している。
具体的には、アーム部１４は、基端部から先端部に向かうにしたがって先細るテーパ形状に形成されており、各アーム部１４間に、ディスクＤが挟み込まれるように配置されている。つまり、アーム部１４とディスクＤとが、交互に配置可能に構成されており、アクチュエータ６の駆動によってアーム部１４がディスク面Ｄ１に平行な方向（ＸＹ方向）に移動可能になっている。
なお、キャリッジ１１及びヘッドジンバルアセンブリ１２は、ディスクＤの回転停止時にアクチュエータ６の駆動によって、ディスクＤ上から退避するようになっている。
【００３８】
ヘッドジンバルアセンブリ１２は、後述する記録ヘッド２にレーザ光源２０からの光束Ｌを導いて近接場光Ｓ（図７参照）を発生させ、該近接場光Ｓを利用してディスクＤに各種情報を記録再生させるものである。
図２から図５に示すように、本実施形態のヘッドジンバルアセンブリ１２は、上記記録ヘッド２をディスクＤから浮上させる機能を有しており、該記録ヘッド２と、金属性材料により薄い板状に形成され、ディスク面Ｄ１に平行なＸＹ方向に移動可能なサスペンション３と、記録ヘッド２をディスク面Ｄ１に平行で且つ互いに直交する２軸（Ｘ軸、Ｙ軸）回りに回動自在な状態、即ち２軸を中心として捻れることができるようにサスペンション３の下面に固定させるジンバル手段１６と、を備えている。
【００３９】
記録ヘッド２は、ディスクＤとサスペンション３との間に配置された状態で、サスペンション３の下面に後述するジンバル１７を挟んで支持されている。
図５及び図６に示すように、この記録ヘッド２は、ディスク面Ｄ１から所定距離だけ浮上した状態でディスクＤに対向配置され、ディスク面Ｄ１に対向する浮上面２ａを有するスライダ６０と、スライダ６０の流出端面（先端面）６０ａ側に配設された、スポットサイズ変換器（光伝播素子）４０、記録素子４１、再生素子４２と、を備えている。
【００４０】
なお、上記スライダ６０は、該スライダ６０からディスクＤを見たときに、ディスクＤの回転方向下流側に流出端面６０ａが位置するように、ディスクＤに対向配置されている。また、この流出端面６０ａに対して向かい合う面は、ディスクＤの回転方向上流側に位置する流入端面として機能する。よって、ディスクＤの回転時、回転するディスクＤによって発生した空気は、流入端面側から浮上面２ａに沿って流れた後、流出端面６０ａ側から抜けるようになっている。
なお、記録ヘッド２は、スライダ６０の流出端面６０ａ側が最もディスク面Ｄ１に近接した状態でディスクＤ上を浮上する。従って、スライダ６０の流出端面６０ａ側に上記各構成品が配置されていることで、これらを可能な限りディスク面Ｄ１に近づけることができ、ディスクＤの保磁力を効率良く低下させてディスクＤへの書き込みが容易とされている。
【００４１】
ところで、本実施形態においては、スライダ６０の流出端面６０ａ側から順に、記録素子４１、スポットサイズ変換器４０、再生素子４２が並ぶように配設されている。しかも、記録素子４１の後述する主磁極４７と、スポットサイズ変換器４０の後述する伝播部５０の第２伝播部５４とは、スライダ６０の流出端面６０ａに平行な同一面内に配置されている。この点は、後に詳細に説明する。
【００４２】
スライダ６０は、石英ガラス等の光透過性材料や、ＡｌＴｉＣ（アルチック）等のセラミック等によって直方体状に形成されている。また、スライダ６０は、浮上面２ａをディスクＤ側に向けた状態で、ジンバル１７（図３参照）を介してサスペンション３（図３参照）の先端にぶら下がるように支持されている。
【００４３】
再生素子４２は、ディスクＤから漏れ出ている磁界の大きさに応じて電気抵抗が変換する磁気抵抗効果膜である。この再生素子４２には、後述する電気配線３１を介して制御部５（図１参照）からバイアス電流が供給されている。これにより制御部５は、ディスクＤから漏れ出た磁界の変化を電圧の変化として検出することでき、この電圧の変化から信号の再生を行うことが可能とされている。
【００４４】
記録素子４１は、スライダ６０の流出端面６０ａ側に位置する補助磁極４５と、磁気回路４６を介して補助磁極４５に接続され、ディスクＤに対して垂直な記録磁界を補助磁極４５との間で発生させる主磁極４７と、磁気回路４６を中心として該磁気回路４６の周囲を渦巻状に巻回されたコイル４８と、を備えている。
【００４５】
両磁極４５、４７及び磁気回路４６は、磁束密度が高い高飽和磁束密度（Ｂｓ）材料（例えば、ＣｏＮｉＦｅ合金、ＣｏＦｅ合金等）により形成されている。また、コイル４８は、ショートしないように、隣り合うコイル線間、磁気回路４６との間、両磁極４５、４７との間に隙間が空くように配置されており、この状態で絶縁層４９によってモールドされている。つまり、両磁極４５、４７、磁気回路４６及びコイル４８は、絶縁層４９によって支持された状態となっている。また、コイル４８は情報に応じて変調された電流が制御部５から供給されるようになっている。
【００４６】
ところで、上記コイル４８は、図６から図８に示すように、ディスクＤのトラック方向（Ｘ方向）に平行なスライダ６０の横幅方向においてスライダ６０の一方の側面側に寄った位置に形成されている。これに対して主磁極４７及び補助磁極４５は、コイル４８よりもスライダ６０の横幅方向中心線Ｃに近い位置にそれぞれ形成されると共に、絶縁層４９を間にしてヘッドの走行方向（Ｙ方向）に間隔を開けて向かい合うように形成されている。この際、主磁極４７及び補助磁極４５は、ディスクＤに対向する端面がスライダ６０の浮上面２ａと面一となるように設計されている。
なお、図７においては、補助磁極４５の図示を省略している。
【００４７】
スポットサイズ変換器４０は、一端側から入射された光束Ｌをディスク面Ｄ１に対向する他端側に向けて集光しながら伝播させる伝播部５０と、該伝播部５０を内部に閉じ込める図示しないクラッドと、で構成される略板状の素子であって、上記したように記録素子４１よりもトレイリングエッジ側に位置するように記録素子４１に隣接して固定されている。
【００４８】
伝播部５０は、スライダ６０の流出端面６０ａに沿って延在しており、一端側がスライダ６０の上方に向き、他端側がディスクＤに向いた状態で、上記横幅方向中心線Ｃ上に配置されている。また、この伝播部５０は、第１伝播部５３及び第２伝播部５４で一体的に構成されている。
【００４９】
第１伝播部５３は、一端側からディスクＤに向かうにつれて、その長手方向（Ｚ方向）に直交（伝播される光束Ｌの光軸に直交する）断面積、即ちスライダ６０の流出端面６０ａに直交する面内における断面積が漸次減少するように絞り成形された部分であり、これにより光束Ｌを集光しながら伝播することが可能とされている。
第２伝播部５４は、第１伝播部５３に連結されると共に、この連結部分Ｐ（図７参照）から他端側まで上記断面積が一定となるように同一形状で延在している部分であり、伝播部５０全体の他端側部分として機能する。
【００５０】
なお、第１伝播部５３及び第２伝播部５４は、断面四角形状となるように形成されている。また、第２伝播部５４の端面は、スライダ６０の浮上面２ａに対して面一となるように設計されている。
また、上記第１伝播部５３及び第２伝播部５４は、共にクラッドの屈折率よりも高い屈折率の材料からなり、クラッドとの屈折率の違いから光束Ｌを全反射条件で導くコアとされている。
図示しないクラッドは、コアである第１伝播部５３及び第２伝播部５４に密着して第１伝播部５３を内部に閉じ込めている。この際、クラッドは、第２伝播部５４の端面を覆うように形成されていても構わないし、露出させるように形成されていても構わない。
【００５１】
なお、クラッド及びコアとして使用される材料の組み合わせの一例を記載すると、例えば、石英（ＳｉＯ２）でコアを形成し、フッ素をドープした石英でクラッドを形成する組み合わせが考えられる。この場合には、光束Ｌの波長が４００ｎｍのときに、コアの屈折率が１．４７となり、クラッドの屈折率が１．４７未満となるので好ましい組み合わせである。また、ゲルマニウムをドープした石英でコアを形成し、石英（ＳｉＯ２）でクラッドを形成する組み合わせも考えられる。この場合には、光束Ｌの波長が４００ｎｍのときに、コアの屈折率が１．４７より大きくなり、クラッドの屈折率が１．４７となるのでやはり好ましい組み合わせである。
【００５２】
特に、コアとクラッドとの屈折率差が大きいほど、コア内に光束Ｌを閉じ込める力が大きくなるので、コアに酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５：波長が５５０ｎｍのときに屈折率が２．１６）を用い、クラッドに石英等を用いて、両者の屈折率差を大きくすることがより好ましい。また、赤外領域の光束Ｌを利用する場合には、赤外光に対して透明な材料であるシリコン（Ｓｉ：屈折率が約４）でコアを形成することも有効である。
【００５３】
ところで、上述した伝播部５０のうち少なくとも第２伝播部５４に関しては、図８に示すように、記録素子４１の絶縁層４９に主磁極４７の厚みＴだけ部分的に埋没されている。これにより、主磁極４７と第２伝播部５４とは、スライダ６０の流出端面６０ａに平行な同一平面内で微小間隔を開けて並ぶように配置されている。
そして、第２伝播部５４における主磁極４７側の側面５４ａ上には、第１伝播部５３及び第２伝播部５４によって伝播されてきた光束Ｌから表面プラズモンの励起により近接場光Ｓを発生させる金属膜（例えば金膜）５５が上記微小隙間を埋めるように形成されている。
【００５４】
なお、上記金属膜５５は、クラッドを介することなく第２伝播部５４の上記側面５４ａ上に形成されている。そのため、金属膜５５には第２伝播部５４によって伝播されてきた光束Ｌが損失なく入射され、表面プラズモンの励起によって該金属膜５５の端面側に近接場光Ｓが局所的に発生する。
【００５５】
また、図２から図５に示すように、スライダ６０の下面は、上述したようにディスク面Ｄ１に対向する浮上面２ａとなっている。この浮上面２ａは、回転するディスクＤによって生じた空気流の粘性から、浮上するための圧力を発生させる面であり、ＡＢＳ（ＡｉｒＢｅａｒｉｎｇ Ｓｕｒｆａｃｅ）と呼ばれている。
具体的には、スライダ６０をディスク面Ｄ１から離そうとする正圧とスライダ６０をディスク面Ｄ１に引き付けようとする負圧とを調整して、スライダ６０を最適な状態で浮上させるように設計されている。
スライダ６０は、この浮上面２ａによってディスク面Ｄ１から浮上する力を受けていると共に、サスペンション３によってディスクＤ側に押さえ付けられる力を受けている。そしてスライダ６０は、この両者の力のバランスによって、ディスク面Ｄ１から浮上している。
【００５６】
図２及び図３に示すように、サスペンション３は、上面視略四角状に形成されたベースプレート２２と、ベースプレート２２の先端側にヒンジ板２３を介して連結された平面視略三角状のロードビーム２４と、で構成されている。
【００５７】
ベースプレート２２は、ステンレス等の厚みの薄い金属材料によって構成されており、基端側には厚さ方向に貫通する開口２２ａが形成されている。そして、この開口２２ａを介してベースプレート２２がアーム部１４の先端に固定されている。
ベースプレート２２の下面には、ステンレス等の金属材料により構成されたシート状の上記ヒンジ板２３が配置されている。このヒンジ板２３は、ベースプレート２２の下面の全面に亘って形成された平板状の板材であり、その先端部分はベースプレート２２の先端からベースプレート２２の長手方向に沿って延出する延出部２３ａとして形成されている。この延出部２３ａは、ヒンジ板２３の幅方向両端部から２本延出しており、その先端部分にロードビーム２４が連結されている。
【００５８】
ロードビーム２４は、ベースプレート２２と同様にステンレス等の厚みの薄い金属材料によって形成されており、その基端がベースプレート２２の先端との間に間隙を有した状態でヒンジ板２３に連結されている。
これにより、サスペンション３は、ベースプレート２２とロードビーム２４との間を中心に屈曲して、ディスク面Ｄ１に垂直なＺ方向に向けて撓み易くなっている。
【００５９】
また、サスペンション３上には、フレクシャ２５が設けられている。
このフレクシャ２５は、ステンレス等の金属材料により形成されたシート状のものであり、シート状に形成されることで厚さ方向に撓み変形可能に構成されている。また、このフレクシャ２５は、ロードビーム２４の先端側に固定され、外形が上面視略五角形状に形成されたジンバル１７と、ジンバル１７より幅狭に形成され、ジンバル１７の基端からサスペンション３上に沿って延在する支持体１８とで構成されている。
【００６０】
ジンバル１７は、中間付近から先端にかけてディスク面Ｄ１に向けて厚さ方向に僅かながら反るように形成されている。そして、この反りが加わった先端側がロードビーム２４に接触しないように、基端側から略中間付近にかけてロードビーム２４に固定されている。また、この浮いた状態のジンバル１７の先端側には、周囲がコ形状に刳り貫かれた切欠部２６が形成されており、この切欠部２６に囲まれた部分には連結部１７ａによって片持ち状に支持されたパッド部１７ｂが形成されている。
つまり、このパッド部１７ｂは、連結部１７ａによってジンバル１７の先端側から基端側に向けて張出し形成されており、その周囲に切欠部２６を備えている。
【００６１】
これにより、パッド部１７ｂはジンバル１７の厚さ方向に撓みやすくなっており、このパッド部１７ｂのみがサスペンション３の下面と平行になるように角度調整されている。そして、このパッド部１７ｂ上に上述した記録ヘッド２が載置固定されている。つまり、記録ヘッド２は、パッド部１７ｂを介してロードビーム２４にぶら下がった状態となっている。
【００６２】
また、図３及び図４に示すように、ロードビーム２４の先端には、パッド部１７ｂ及び記録ヘッド２の略中心に向かって突出する突起部１９が形成されている。この突起部１９の先端は、丸みを帯びた状態となっている。そして突起部１９は、記録ヘッド２がディスクＤから受ける風圧によりロードビーム２４側に浮上したときに、パッド部１７ｂの表面（上面）に点接触するようになっている。
つまり、突起部１９は、ジンバル１７のパッド部１７ｂを介して、記録ヘッド２を支持すると共に、ディスク面Ｄ１に向けて（Ｚ方向に向けて）記録ヘッド２に荷重を付与するようになっている。そして、突起部１９とパッド部１７ｂとの接触点（支持点）が、突起部１９による記録ヘッド２の荷重点になっている。
なお、これら突起部１９とパッド部１７ｂを有するジンバル１７とが、ジンバル手段１６を構成している。
【００６３】
図２に示す支持体１８は、ジンバル１７に一体形成されたシート状のものであり、サスペンション３上をアーム部１４に向かって延設されている。つまり、支持体１８は、サスペンション３が変形した際にサスペンション３の変形に追従するように構成されている。また、この支持体１８は、アーム部１４上から側面に回りこんで、キャリッジ１１の基部１５に至るまで引き回されている。
【００６４】
図１及び図９に示すように、キャリッジ１１の基部１５における側面１５ｃには、ターミナル基板３０が配置されている。このターミナル基板３０は、ハウジング９に設けられた制御部５と記録ヘッド２とを電気的に接続する際の中継点となるものであり、その表面には、各種制御回路（不図示）が形成されている。
制御部５とターミナル基板３０とは、可撓性を有するフラットケーブル４により電気的に接続されている一方、ターミナル基板３０と記録ヘッド２とは、電気配線３１により接続されている。この電気配線３１は、各キャリッジ１１に設けられた記録ヘッド２に対応して３組設けられており、フラットケーブル４を介して制御部５から出力された信号が、電気配線３１を介して記録ヘッド２に出力されるようになっている。
【００６５】
ターミナル基板３０上には、記録ヘッド２のスポットサイズ変換器４０に向けて光束Ｌを供給する上記レーザ光源２０が配置されている。レーザ光源２０は、フラットケーブル４を介して制御部５から出力された信号を受信し、この信号に基づいて光束Ｌを出射するものであり、各アーム部１４に設けられた記録ヘッド２に対応して基部１５の高さ方向（Ｚ方向）に沿って３個配列されている。各レーザ光源２０の出射側には、出射された光束Ｌを記録ヘッド２まで導く光導波路３２が接続されている。
【００６６】
図２及び図３に示すように、光導波路３２と電気配線３１とは、レーザ光源２０と記録ヘッド２との間において、その基端側から先端に至るまで一体的に形成された光電気複合配線３３として構成されている。
この光電気複合配線３３は、ターミナル基板３０の表面からアーム部１４の側面を通って、アーム部１４上に引き回されている。具体的には、光電気複合配線３３は、アーム部１４及びサスペンション３上において、フレクシャ２５の支持体１８上に配置されており、該支持体１８を間に挟んだ状態でサスペンション３の先端まで引き回されている。
【００６７】
そして、光電気複合配線３３は、サスペンション３の先端、即ちジンバル１７の中間位置において電気配線３１と光導波路３２とに分岐している。
具体的には、光導波路３２は、光電気複合配線３３の先端側における分岐地点からジンバル１７の長手方向に沿って延在しており、ジンバル１７の切欠部２６を跨いで記録ヘッド２の流入端側に直接接続されている。光導波路３２は、光電気複合配線３３の分岐地点においてジンバル１７の下面から離間されており、分岐地点から記録ヘッド２の流入端側に向かうにつれ、パッド部１７ｂとジンバル１７との間を架け渡すように僅かながら浮いた状態で延在している。
つまり、ジンバル１７の下面において、光導波路３２は略直線的（曲率半径が略無限大）に延在した状態で、記録ヘッド２の幅方向（Ｘ方向）中央部から記録ヘッド２の流入端側に引き回されている。
【００６８】
一方、上記分岐地点において、電気配線３１はジンバル１７の外周部分に向けて屈曲されており、ジンバル１７の外周部分、つまり切欠部２６の外側から引き回されている。そして、切欠部２６の外側から引き回された電気配線３１は、連結部１７ａ上を通って記録ヘッド２の流出端面６０ａ側に接続されている。即ち、電気配線３１は、スライダ６０の流出端面６０ａ側に設けられた再生素子４２と記録素子４１とのそれぞれに対して、記録ヘッド２の外部から直接接続されている。
【００６９】
なお、光導波路３２の構成材料は、上記したスポットサイズ変換器４０のコア及びクラッドと同様の材料を用いることも可能であるが、本実施形態では以下に示すような樹脂材料が好適に用いられている。
例えばＰＭＭＡ（メタクリル酸メチル樹脂）により、厚さが３〜１０μｍでコア３２ａを形成し、フッ素含有重合体により、厚さが数十μｍでクラッド３２ｂを形成する組み合わせが考えられる。また、コア３２ａ及びクラッド３２ｂをともにエポキシ樹脂（例えば、コア屈折率１．５２２〜１．５２３、クラッド屈折率１．５１８〜１．５１９）で構成したり、フッ素化ポリイミドで構成したりすることも可能である。この場合、コア３２ａとクラッド３２ｂとを構成する樹脂材料の配合等を調整して、両者の屈折率差を大きくすることが好ましい。例えば、フッ素化ポリイミドの場合、フッ素含有量を調整したり、放射光等のエネルギー照射によって、屈折率を制御したりすることができる。このように、光導波路３２の構成材料に樹脂材料を用いることで、光電気複合配線３３を半導体プロセスにより製造することが可能である。
【００７０】
ところで、図６に示すように、光導波路３２の先端面は斜めにカットされたミラー面３５とされており、レーザ光源２０によって導入された光束Ｌを、該光束Ｌの向きが略９０度変わるように反射させている。これにより、ミラー面３５で反射された光束Ｌが、記録ヘッド２のスポットサイズ変換器４０を構成する伝播部５０内に導入されるようになっている。なお、ミラー面３５は、少なくともコア３２ａを含む領域にアルミ等からなる反射板を蒸着法等により形成するような構成としても構わない。
【００７１】
（情報記録再生方法）
次に、このように構成された情報記録再生装置１により、ディスクＤに各種の情報を記録再生する手順について説明する。
【００７２】
まず、スピンドルモータ７を駆動させてディスクＤを所定方向に回転させる。次いで、アクチュエータ６を作動させて、ピボット軸１０を回転中心としてキャリッジ１１を回動させ、キャリッジ１１を介してヘッドジンバルアセンブリ１２をＸＹ方向にスキャンさせる。これにより、図１に示すように、ディスクＤ上の所望する位置に記録ヘッド２を位置させることができる。
【００７３】
この際、記録ヘッド２は、サスペンション３によって支持されていると共に所定の力でディスクＤ側に押さえ付けられている。また、これと同時に記録ヘッド２は、浮上面２ａを利用して、回転するディスクＤによって生じる風圧の影響を受けて浮上する力を受けている。この両者の力のバランスによって、記録ヘッド２はディスクＤ上から離間した位置に浮上している。
しかも記録ヘッド２は、風圧を受けてサスペンション３側に押されるので、記録ヘッド２を固定するジンバル１７のパッド部１７ｂとサスペンション３に形成された突起部１９とが、点接触した状態となる。そして、この浮上する力は、突起部１９を介してサスペンション３に伝わり、該サスペンション３をディスク面Ｄ１に垂直なＺ方向に向けて撓ませるように作用する。これにより、上記したように記録ヘッド２は浮上する。
【００７４】
ここで、情報の記録を行う場合、制御部５はレーザ光源２０を作動させると共に、情報に応じて変調した電流をコイル４８に供給して記録素子４１を作動させる。
レーザ光源２０が作動すると、光導波路３２に光束Ｌを入射させる。すると、この光束Ｌは、光導波路３２のコア３２ａ内を先端側に向かって進んだ後、図６に示すように、ミラー面３５で反射されてスポットサイズ変換器４０の伝播部５０内に導入される。伝播部５０内に導入された光束Ｌは、ディスクＤ側に位置する他端側に向かって図示しないクラッドとの界面との間で反射を繰り返しながら、第１伝播部５３及び第２伝播部５４を順に伝播する。
【００７５】
この際、第１伝播部５３は一端側から他端側に向かうにしたがって絞り成形されているので、光束Ｌを徐々に集光しながら伝播させることができる。そのため光束Ｌは、徐々に絞り込まれて十分にスポットサイズが小さくなった状態で第２伝播部５４内を伝播した後、金属膜５５に入射する。これにより、金属膜５５を利用してこの伝播された光束Ｌから表面プラズモンを励起させて近接場光Ｓを発生させることができ、外部に発することができる。すると、ディスクＤはこの近接場光Ｓによって局所的に加熱されて一時的に保磁力が低下する。
【００７６】
一方、制御部５によってコイル４８に電流が供給されると、電磁石の原理により電流磁界が磁気回路４６内に磁界を発生させるので、主磁極４７と補助磁極４５との間にディスクＤに対して垂直方向の記録磁界を発生させることができる。
【００７７】
その結果、金属膜５５で発生された近接場光Ｓと、記録素子４１で発生された記録磁界とを協働させたハイブリッド磁気記録方式により情報の記録を行うことができる。しかも垂直記録方式で記録を行うので、熱揺らぎ現象等の影響を受け難く、安定した記録を行うことができる。よって、書き込みの信頼性を高めることができる。
【００７８】
次に、ディスクＤに記録された情報を再生する場合には、再生素子４２がディスクＤから漏れ出ている磁界を受けて、その大きさに応じて電気抵抗が変化する。よって、再生素子４２の電圧が変化する。これにより制御部５は、ディスクＤから漏れ出た磁界の変化を電圧の変化として検出することができる。そして制御部５は、この電圧の変化から信号の再生を行うことで、情報の再生を行うことができる。
上述したように、記録ヘッド２を利用してディスクＤに対して各種の情報を記録再生することができる。
【００７９】
特に、本実施形態の記録ヘッド２によれば、主磁極４７と、金属膜５５が形成されている第２伝播部５４とが、スライダ６０の流出端面６０ａに平行な同一面内に配置されているので、図８に示すように、ヘッドの走行方向（Ｙ方向）に直交する方向、即ち、ディスクＤのトラック方向（Ｘ方向）に沿って主磁極４７と第２伝播部５４とが並ぶように配置させることができる。従って、主磁極４７と金属膜５５とに関しても同様にディスクＤのトラック方向（Ｘ方向）に沿って並ぶように配置させることができる。
【００８０】
従って、図１０に示すように、記録磁界の磁場スポットＳＰ１と近接場光スポットＳＰ２とをトラック方向（Ｘ方向）に並ばせることができると共に、磁場スポットＳＰ１のスポット中心Ｇ１と近接場光Ｓのスポット中心Ｇ２とをヘッドの走行方向（Ｙ方向）に対して一致させることができる。
従って、トラック方向（Ｘ方向）に隣接する別の記録トラックの磁区に極力影響を与えずに、図１１に示すように、対象とする記録トラックの磁区に対して加熱のピーク（保磁力カーブＣ１のピーク）と磁場のピーク（磁場カーブＣ２のピーク）とをヘッドの走行方向（Ｙ方向）一致させた状態で、加熱及び磁場の印加を局所的に行える。
【００８１】
よって、書き込みの信頼性を向上することができ、高密度記録化を図ることができる。しかも、金属膜５５は、第２伝播部５４における主磁極４７側の側面５４ａ上に形成されているので、図１０に示すように、磁場スポットＳＰ１と近接場光スポットＳＰ２とをトラック方向（Ｘ方向）においても極力接近させることができる。この点においても、高密度記録化に繋げることができる。
【００８２】
更に、第２伝播部５４は、図７及び図８に示すように、第１伝播部５３との連結部分Ｐから端面に向かって同一形状で延在しているので、複雑に形状変化している側面５４ａ上に金属膜５５を形成する場合とは異なり、容易且つ強固に金属膜５５を形成することが可能であり、金属膜５５の膜剥がれ等が生じ難い。
従って、長期に亘って安定して近接場光Ｓを発生させることができ、書き込みの信頼性を向上することができる。
【００８３】
また、スライダ６０の流出端面６０ａに平行な同一平面内での作り込みが行えるので、上記記録ヘッド２を製造する場合には、特別な手法を用いることなく、通常のフォトリソグラフィ技術及びエッチング加工技術等の半導体技術を利用しながら従来通りの工程で製造を行うことができる。従って、容易に製造することができ、量産化が可能であるうえ、記録ヘッド２自体の薄型化を図ることができる。
【００８４】
そして、本実施形態の情報記録再生装置１は、上述した記録ヘッド２を備えているので、書き込みの信頼性が高く、高密度記録化に対応した高品質な装置にすることができる。
【００８５】
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【００８６】
例えば、上記実施形態では、スライダ６０を浮上させた空気浮上タイプの情報記録再生装置１を例に挙げて説明したが、この場合に限られず、ディスク面Ｄ１に対向配置されていればディスクＤとスライダ６０とが接触していても構わない。つまり、本発明の記録ヘッド２は、コンタクトスライダタイプのヘッドであっても構わない。この場合であっても、同様の作用効果を奏することができる。
【００８７】
また、上記実施形態では、アーム部１４の片面側のみにヘッドジンバルアセンブリ１２が設けられている構成について説明したが、各ディスクＤ間に差し入れられるアーム部１４の両面に、各ディスクＤに対向するようにそれぞれヘッドジンバルアセンブリ１２を設けるような構成も可能である。
この場合には、アーム部１４の両面側に設けられたヘッドジンバルアセンブリ１２の各記録ヘッド２により、各記録ヘッド２に対向するディスク面Ｄ１の情報の記録再生を行うことができる。つまり、１つのアーム部１４により２枚のディスクＤの情報を記録再生することができるため、情報記録再生装置１の記録容量の増加及び装置の小型化を図ることができる。
【００８８】
また、上記実施形態では、スポットサイズ変換器４０に光束Ｌを導入するレーザ光源２０をキャリッジ１１の基部１５に取り付けられたターミナル基板３０に配設させた構成としたが、この位置に限定されるものではない。例えば、スライダ６０の上面に配設し、記録ヘッド２に一体的に搭載させても構わない。こうすることで、光導波路３２をキャリッジ１１から引き回す必要がないうえ、浮上時におけるスライダ６０の動きが光導波路３２によって阻害され難いので、より好ましい。
【００８９】
また、上記実施形態において、図１２に示すように、第２伝播部５４における主磁極４７側の側面５４ａ上に形成される金属膜５５を、主磁極４７の厚みＴに捕らわれずに第２伝播部５４の厚みＴ１に相当する程度形成しても構わない。
但し、この場合には、ディスクＤに向けて先細り形状となるように金属膜５５を形成することが好ましい。こうすることで、ディスクＤに対向する金属膜５５の端面を極力小さくでき、近接場光Ｓをより局所的に強い光強度で発生させることが可能である。
しかも、図１２に示すように、外形に角部が現れないように滑らかに湾曲しながら先細るように金属膜５５を形成することが好ましい。こうすることで、励起された表面プラズモンを角部に阻害されることなくスムーズに端面まで伝播させることができ、より効率良く近接場光Ｓを発生させることができる。
【００９０】
また、上記実施形態において、図１３に示すように絶縁層４９に段差部４９ａを形成し、図１４に示すように、この段差部４９ａ内に第２伝播部５４が入り込むように該第２伝播部５４を主磁極４７と同一平面内に配置させ、且つ主磁極４７と第２伝播部５４と間に位置する段差部４９ａ内に金属膜５５を形成しても構わない。
【００９１】
この場合には、第２伝播部５４が入り込んでいる段差部４９ａを利用して金属膜５５を形成できるので、第２伝播部５４における主磁極４７側の側面５４ａ上に、規定した長さＭの金属膜５５を容易に形成することが可能である。従って、段差部４９ａのサイズを調整するだけで必要最小限の長さの金属膜５５を形成することができる。そのため、ディスク面Ｄ１にできるだけ近い位置まで伝播部５０を利用して効率良く光束Ｌを伝播させた後に、金属膜５５に入射させて近接場光Ｓを発生させることができる。よって、光束Ｌの伝播損失を極力抑制でき、近接場光Ｓの発生効率を高めることができ、より光強度の高い近接場光Ｓで書き込みを行える。
【００９２】
なお、この場合において、金属膜５５を形成する場合の方法としては、例えば段差部４９ａに対して犠牲層を斜め成膜した後、金等を全体に成膜し、その後犠牲層をリフトオフすることで、図１３に示すように、段差部４９ａの側面を利用して金属膜５５を容易に形成することが可能である。
【００９３】
また、上記実施形態において、図１５に示すように、スライダ６０の流出端面６０ａに直交する断面が三角形状となるように伝播部５０を形成しても構わない。
この場合には、光束Ｌをより効率良く集光させながら伝播させ易く、光伝播効率を高めることができる。また、図１６に示すように、第２伝播部５４の主磁極４７側の側面５４ａが主磁極４７に対して斜面となるので、より金属膜５５を形成し易くなる。更に、第１伝播部５３と第２伝播部５４との連結部分Ｐ（図１５参照）における結合効率を高め易くなる。
【符号の説明】
【００９４】
Ｌ…光束
Ｄ…ディスク（磁気記録媒体）
Ｄ１…ディスク面（磁気記録媒体の表面）
１…情報記録再生装置
２…記録ヘッド
３…サスペンション
２０…レーザ光源（光源）
１０…ピボット軸
１１…キャリッジ
１４…アーム部
４０…スポットサイズ変換器（光伝播素子）
４１…記録素子
４５…補助磁極
４７…主磁極
４９…絶縁層
４９ａ…絶縁層の段差部
５０…伝播部
５３…第１伝播部
５４…第２伝播部（伝播部の他端側部分）
５５…金属膜
６０…スライダ
６０ａ…スライダの流出端面
【技術分野】
【０００１】
本発明は、近接場光を利用して磁気記録媒体に各種の情報を記録する記録ヘッド、及びこれを備えた情報記録再生装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、コンピュータ機器におけるハードディスク等の磁気記録媒体（以下、ディスクという）は、より大量且つ高密度情報の記録再生を行いたい等のニーズを受けて、さらなる高密度化が求められている。そのため、隣り合う磁区同士の影響や、熱揺らぎを最小限に抑えるために、保磁力の強いものがディスクとして採用され始めている。そのため、ディスクに情報を記録することが困難になっていた。
【０００３】
そこで、上述した不具合を解消するために、光を集光したスポット光、若しくは、光を集光した近接場光を利用して磁区を局所的に加熱して一時的に保磁力を低下させ、その間にディスクへの書き込みを行うハイブリッド磁気記録方式の情報記録再生装置が提供されている。
特に、近接場光を利用する場合には、従来の光学系において限界とされていた光の波長以下となる領域における光学情報を扱うことが可能となる。よって、従来の光情報記録再生装置等を超える記録ビットの高密度化を図ることができる。
【０００４】
ハイブリッド磁気記録方式による記録ヘッドとしては、各種のものが提供されているが、その１つとして近接場光を利用して加熱を行うヘッドが知られている（特許文献１参照）。
この特許文献１に記載の記録ヘッドは、主に補助磁極と、主磁極と、照射されたレーザ光から近接場光を発生させる近接場光発生素子（散乱体）と、照射されたレーザ光を近接場光発生素子に集束させるレンズと、レーザ光を照射するレーザ光源と、を備えており、スライダの流出端面側からこの順に配設されている。
【０００５】
このうち近接場光発生素子は、スライダを基準として見ると、ヘッドの走行方向（スライダの厚み方向）に沿って主磁極に並ぶように、該主磁極上に載置された状態で取り付けられている。これにより、主磁極と補助磁極との間に発生する記録磁界の近くに近接場光を発生させている。
【０００６】
しかしながら、ヘッドの走行方向に沿って主磁極と近接場光発生素子とが並ぶように配置されているので、図１７に示すように、磁場スポットＳＰ１と近接場光スポットＳＰ２とがヘッドの走行方向（矢印方向）にずれてしまい、両スポットＳＰ１、ＳＰ２のスポット中心Ｇ１、Ｇ２を一致させることは困難であった。
【０００７】
図１８に示すように、上記磁場スポットＳＰ１は記録磁界の磁場カーブＣ１が現れる範囲であり、磁場カーブＣ１のピーク位置（磁場が最も強くなる位置）がスポット中心Ｇ１となる。そして、この磁場スポットＳＰ１は、主磁極が近接場光発生素子よりもスライダの流出端側に配置されているので、近接場光スポットＳＰ２よりもスライダのリーディングエッジ寄りに現れる。
【０００８】
一方、上記近接場光スポットＳＰ２は、発生した近接場光による加熱によってディスクの保磁力を低下させる保磁力カーブＣ２が現れる範囲であり、保磁力カーブＣ２のピーク位置（近接場光による熱によって保磁力が最も低下する位置）がスポット中心Ｇ２となる。そして、この近接場光スポットＳＰ２は、近接場光発生素子が主磁極よりもスライダの流出端側に配置されているので、磁場スポットＳＰ１よりもスライダのトレイリングエッジ寄りに現れる。
【０００９】
理想的には、上記磁場スポットＳＰ１と近接場光スポットＳＰ２とが互いに重なり、両スポットＳＰ１、ＳＰ２のスポット中心Ｇ１、Ｇ２同士が一致していることが好ましい。こうすることで、保磁力が最も低下する位置に、最も強い磁場を印加できるので、確実且つ局所的な書き込みが可能になり、高密度記録化に繋げることができる。
しかしながら、実際には磁場と近接場光とを同時に発生させるような素子が存在しないので、主磁極と近接場光発生素子とを並ばせる構成となってしまい、両スポットＳＰ１、ＳＰ２のスポット中心Ｇ１、Ｇ２を一致させることは難しい。
【００１０】
従って、上記のように磁場スポットＳＰ１と近接場光スポットＳＰ２とがヘッドの走行方向にずれてしまうが、この場合には、ディスクの保磁力が最も低下した位置と磁場が最も強くなる位置とがヘッドの走行方向にずれてしまい、書き込み不良等が生じる恐れがあった。
そのため、この場合において確実な書き込みを行うためには、磁場スポットＳＰ１及び近接場光スポットＳＰ２の強度をそれぞれ大きくしてスポットサイズを広げる必要があるが、そうすると、書き込みの対象としている記録トラックの隣に位置する別の記録トラックやデータビット等を加熱してしまい、既に記録されているデータを誤消去したり、消費電力の増加を招いたりする等の問題を引き起こしてしまい易かった。
【００１１】
また、スライダを基準として見たときに、近接場光発生素子上に主磁極が載置された状態で取り付けられ、やはりヘッドの走行方向に沿って主磁極と近接場光発生素子とが並ぶように配置されたヘッドも知られている（特許文献２参照）。
しかしながら、この場合であっても図１９及び図２０に示すように、上記の場合とは逆に、保磁力カーブＣ２がリーディングエッジ寄りに現れ、磁場カーブＣ１がトレイリングエッジ寄りに現れるだけで、依然として磁場スポットＳＰ１と近接場光スポットＳＰ２とがヘッドの走行方向（矢印方向）にずれてしまうものであった。そのため、上記と同様の問題が残されている。
【００１２】
そこで、上記特許文献１に記載の構成において、図１８に示す保磁力カーブＣ２を磁場カーブＣ１側にできるだけシフトさせて、両スポットＳＰ１、ＳＰ２のスポット中心Ｇ１、Ｇ２をヘッドの走行方向に沿って近づける工夫を施したヘッドが知られている（特許文献３参照）。
この特許文献３に記載のヘッドの主磁極には、磁気記録媒体に対向する対向面におけるトレイリングエッジ側に窪み部が形成されている。そして、この窪み部内に近接場光発生素子が配置されている。このように構成することで、磁場スポットＳＰ１と近接場光スポットＳＰ２とを、ヘッドの走行方向にできるだけ重ねるようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１３】
【特許文献１】特許第４１００１３３号公報
【特許文献２】特開２００７−２０７３４９号公報
【特許文献３】特開２００５−４９０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
ところが、主磁極の対向面に窪み部を形成しているので、該窪み部を形成するための縁部によって主磁極の形状が変化してしまい、主磁極の対向面において２箇所の先鋭化部分がトレイリングエッジ側に現れてしまう。そのため、この２箇所の先鋭化部分に記録磁界が局所的にそれぞれ強く発生し易く、結果的に磁気記録媒体のトラック方向に磁場が広がってしまい易かった。そのため、書き込みの対象としている記録トラックの隣に位置する別の記録トラックやデータビット等に磁場を印加してしまい、やはりデータの誤消去を招き易かった。
【００１５】
また、通常ヘッドを作製する場合には、スライダの流出端面上に、該スライダの厚み方向に沿って、フォトリソグラフィ技術を利用して記録素子や近接場光発生素子を順に積層していきながら作製する方法が一般的になされている。そのため、スライダの流出端面に平行な面内であれば、様々な形状にパターニングすることは容易である。
ところが、スライダの対向面は、スライダの流出端面に対して直交する面であるので、この面内で窪み部を形成するには切削加工等の追加工を行う必要があるうえ、技術的に難しいものであった。従って、製造が困難で且つ手間がかかるものであった。
【００１６】
本発明は、このような事情に考慮してなされたもので、その目的は、書き込みの信頼性が向上して高密度記録化を図ることができると共に、手間をかけることなく容易に製造することができる記録ヘッド、及びこれを備えた情報記録再生装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明は、前記課題を解決するために以下の手段を提供する。
（１）本発明に係る記録ヘッドは、一定方向に回転する磁気記録媒体の表面に、該磁気記録媒体の回転方向下流側に流出端面が向いた状態で対向配置されるスライダと、前記スライダの前記流出端面側に配設され、一端側から入射された光束を前記磁気記録媒体の表面に対向する他端側に向けて集光しながら伝播させる伝播部を有する光伝播素子と、前記スライダの前記流出端面側に配設されると共に、主磁極及び補助磁極を有し、両磁極の間に記録磁界を発生させる記録素子と、を備え、前記主磁極と、前記伝播部のうちの少なくとも他端側部分とは、前記スライダの流出端面に平行な同一面内に配置され、前記伝播部の前記他端側部分における前記主磁極側の側面上には、伝播されてきた前記光束から表面プラズモンの励起により近接場光を発生させる金属膜が形成されていることを特徴とする。
【００１８】
本発明に係る記録ヘッドによれば、光伝播素子の伝播部を利用して、入射された光束を集光させながら他端側まで確実に伝播させることができると共に、金属膜を利用してこの伝播された光束から表面プラズモンを励起させて近接場光を発生させることができる。そのため、金属膜で発生された近接場光と、記録素子で発生された記録磁界とを協働させて、磁気記録媒体に各種の情報の書き込みを行える。
特に、主磁極と、伝播部のうちの少なくとも金属膜が形成される他端側部分とが、スライダの流出端面に平行な同一平面内に配置されているので、ヘッドの走行方向に直交する方向、即ち磁気記録媒体のトラック方向に沿って主磁極と伝播部の他端側部分とが並ぶように配置させることができる。従って、主磁極と金属膜とに関しても同様に上記トラック方向に沿って並ぶように配置させることができる。
【００１９】
従って、記録磁界の磁場スポットと近接場光の近接場光スポットとをトラック方向に並ばせることができると共に、磁場スポットのスポット中心と近接場光のスポット中心とをヘッドの走行方向に対して一致させることが可能である。
通常、磁気記録媒体は、トラック方向に隣り合っている磁区同士の中心間距離の方がヘッドの走行方向に隣り合っている磁区同士の中心間距離よりも大きい。従って、ヘッドの走行方向に両スポットのスポット中心を一致させることで、トラック方向に隣接する別の記録トラックの磁区に極力影響を与えずに、対象とする記録トラックの磁区に対して加熱のピークと磁場のピークとを一致させた状態で加熱及び磁場の印加を行える。
【００２０】
よって、書き込みの信頼性を向上することができ、高密度記録化を図ることができる。しかも、金属膜は、伝播部の他端側部分における主磁極側の側面上に形成されているので、磁場スポットと近接場光スポットとをトラック方向においても極力接近させることができる。この点においても、高密度記録化に繋げることができる。
【００２１】
また、スライダの流出端面に平行な同一平面内での作り込みが行えるので、特別な手法を用いることなく、通常のフォトリソグラフ技術等の半導体製造技術を利用しながら製造を行うことが可能である。従って、容易に製造することができ、量産化が可能であるうえ、ヘッド自在の薄型化を図ることができる。
【００２２】
（２）また、上記本発明に係る記録ヘッドにおいて、前記記録素子が、前記主磁極を支持する絶縁層を有し、該絶縁層には、前記伝播部の前記他端側部分を入り込ませて該他端側部分を前記主磁極と前記同一面内に配置させる段差部が形成され、前記金属膜が、前記主磁極と前記伝播部の他端側部分との間に位置する前記段差部内に形成されていても良い。
【００２３】
この場合には、伝播部の他端側部分が入り込んでいる段差部を利用して金属膜を形成できるので、伝播部の他端側部分における主磁極側の側面上に、規定した長さの金属膜を容易に形成することが可能である。
従って、段差部のサイズを調整することで、必要最小限の長さの金属膜を形成することができる。そのため、磁気記録媒体の表面にできるだけ近いまで伝搬部を利用して効率良く光束を伝播させた後、金属膜に入射させて近接場光を発生させることができる。従って、光束の伝播損失を極力抑制でき、近接場光の発生効率を高めることができ、より光強度の強い近接場光で書き込みを行える。
【００２４】
（３）また、上記本発明に係る記録ヘッドにおいて、前記伝播部が、前記一端側から前記磁気記録媒体の表面に向けて、伝播される前記光束の光軸に直交する断面積が漸次減少するように絞り成形された第１伝播部と、該第１伝播部に連結されると共に、該連結部分から前記他端側まで前記断面積が一定となるように同一形状で延在した第２伝播部と、を有し、前記金属膜が、前記第２伝播部の側面上に形成されていても良い。
【００２５】
この場合には、伝播部の他端側部分が同一形状で延在した第２伝播部とされており、この第２伝播部の主磁極側の側面上に金属膜が形成されているので、複雑に形状変化している側面上に金属膜を形成する場合とは異なり、容易且つ強固に金属膜を形成することが可能であり、金属膜の膜剥がれ等が生じ難い。従って、長期に亘って安定して近接場光を発生させることができ、書き込みの信頼性を向上することができる。
【００２６】
（４）また、上記本発明に係る記録ヘッドにおいて、前記伝播部が、前記光軸に直交する断面が三角形状となるように形成されていても良い。
【００２７】
この場合には、光束をより効率良く集光させながら伝播させ易く、光伝播効率を高めることができる。
【００２８】
（５）また、本発明に係る情報記録再生装置は、上記本発明に係る記録ヘッドと、前記磁気記録媒体の表面に平行な方向に移動可能とされ、該磁気記録媒体の表面に平行で且つ互いに直交する２軸回りに回動自在な状態で前記記録ヘッドを支持するサスペンションと、前記伝播部に前記光束を入射させる光源と、前記磁気記録媒体の外側に配置されたピボット軸と、該ピボット軸の回りを回転可能に形成されると共に、前記サスペンションを支持するアーム部を有するキャリッジと、を備えていることを特徴とする。
【００２９】
本発明に係る情報記録再生装置によれば、上記記録ヘッドを備えているので、書き込みの信頼性が高く、高密度記録化に対応した高品質な装置にすることができる。
【発明の効果】
【００３０】
本発明に係る記録ヘッドによれば、手間をかけることなく容易に製造することが可能であるうえ、ヘッドの走行方向に磁場スポットのスポット中心と近接場光スポットのスポット中心とを一致させることができるので、書き込みの信頼性が向上して高密度記録化を図ることができる。
また、本発明に係る情報記録再生装置によれば、書き込みの信頼性が高く、高密度記録化に対応した高品質な装置にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明に係る情報記録再生装置の実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示すヘッドジンバルアセンブリの斜視図である。
【図３】図２に示すジンバルの平面図である。
【図４】図３に示すＡ−Ａ線に沿った断面図である。
【図５】図４に示す記録ヘッド周辺を拡大した断面図である。
【図６】図５に示す記録ヘッドの流出端面側をさらに拡大した断面図である。
【図７】図６に示すＢ−Ｂ線に沿った断面図である。
【図８】主磁極周辺をディスク側から見た斜視図である。
【図９】図１に示すターミナル基板の平面図である。
【図１０】ディスクへの書き込みを行う際の磁場スポットと近接場光スポットとの関係を示した図である。
【図１１】ディスクへの書き込みを行う際の磁場カーブと保磁力カーブとの関係を示した図である。
【図１２】記録ヘッドの変形例を示す図であって、図８に相当する斜視図である。
【図１３】記録ヘッドの別の変形例を示す図であって、スポットサイズ変換器を取り外した状態においての図８に相当する斜視図である。
【図１４】図１３において、スポットサイズ変換器を取り付けた状態の斜視図である。
【図１５】スポットサイズ変換器の変形例を示す斜視図である。
【図１６】図１５に示すスポットサイズ変換器を有する記録ヘッドの変形例を示す図であって、図８に相当する斜視図である。
【図１７】従来のヘッドにおいて、ディスクへの書き込みを行う際の磁場スポットと近接場光スポットとの関係を示した図である。
【図１８】従来のヘッドにおいて、ディスクへの書き込みを行う際の磁場カーブと保磁力カーブとの関係を示した図である。
【図１９】従来の別のヘッドにおいて、ディスクへの書き込みを行う際の磁場スポットと近接場光スポットとの関係を示した図である。
【図２０】従来の別のヘッドにおいて、ディスクへの書き込みを行う際の磁場カーブと保磁力カーブとの関係を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００３２】
以下、本発明に係る情報記録再生装置の実施形態を、図１から図１６を参照して説明する。なお、本実施形態の情報記録再生装置１は、垂直記録層を有するディスク（磁気記録媒体）Ｄに対して、垂直記録方式で書き込みを行う装置である。
【００３３】
（情報記録再生装置）
本実施形態の情報記録再生装置１は、図１に示すように、キャリッジ１１と、キャリッジ１１の基端側から光電気複合配線３３を介して光束Ｌ（図６参照）を供給するレーザ光源２０と、キャリッジ１１の先端側に支持されたヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）１２と、ヘッドジンバルアセンブリ１２をディスク面Ｄ１（ディスクＤの表面）に平行なＸＹ方向に向けてスキャン移動させるアクチュエータ６と、ディスクＤを所定の方向に向けて回転させるスピンドルモータ７と、情報に応じて変調した電流をヘッドジンバルアセンブリ１２の記録ヘッド２に対して供給する制御部５と、これら各構成品を内部に収容するハウジング９と、を備えている。
【００３４】
ハウジング９は、アルミニウム等の金属材料からなる上部開口部を有する箱型形状のものであり、上面視四角形状の底部９ａと、底部９ａの周縁において底部９ａに対して鉛直方向に立設する周壁（不図示）とで構成されている。そして、周壁に囲まれた内側には、上述した各構成品を収容する凹部が形成される。
なお、図１においては、説明を分かりやすくするため、ハウジング９の周囲を取り囲む周壁を省略している。
【００３５】
ハウジング９には、該ハウジング９の上部開口部を塞ぐように図示しない蓋が着脱可能に固定されるようになっている。底部９ａの略中心には、上記スピンドルモータ７が取り付けられており、該スピンドルモータ７に中心孔を嵌め込むことでディスクＤが着脱自在に固定されている。
【００３６】
ディスクＤの外側で、底部９ａの一つの隅角部には、上述したアクチュエータ６が取り付けられている。このアクチュエータ６には、ピボット軸１０を中心に水平面（ＸＹ方向）内で回動可能なキャリッジ１１が取り付けられている。
このキャリッジ１１は、基端部から先端部に向けて（ディスクＤ方向に向けて）延設されたアーム部１４と、基端部を介してアーム部１４を片持ち状に支持する基部１５とが、削り出し加工等により一体形成されたものである。
基部１５は、略直方体形状に形成されたものであり、ピボット軸１０回りに回動可能に支持されている。つまり、基部１５はピボット軸１０を介してアクチュエータ６に連結されており、このピボット軸１０がキャリッジ１１の回転中心となっている。
【００３７】
アーム部１４は、基部１５におけるアクチュエータ６が取り付けられた側面１５ａと反対側の側面（隅角部の反対側の側面）１５ｂにおいて、基部１５の上面の面方向（ＸＹ方向）と平行に延出する平板状のものであり、基部１５の高さ方向（Ｚ方向）に沿って３枚延出している。
具体的には、アーム部１４は、基端部から先端部に向かうにしたがって先細るテーパ形状に形成されており、各アーム部１４間に、ディスクＤが挟み込まれるように配置されている。つまり、アーム部１４とディスクＤとが、交互に配置可能に構成されており、アクチュエータ６の駆動によってアーム部１４がディスク面Ｄ１に平行な方向（ＸＹ方向）に移動可能になっている。
なお、キャリッジ１１及びヘッドジンバルアセンブリ１２は、ディスクＤの回転停止時にアクチュエータ６の駆動によって、ディスクＤ上から退避するようになっている。
【００３８】
ヘッドジンバルアセンブリ１２は、後述する記録ヘッド２にレーザ光源２０からの光束Ｌを導いて近接場光Ｓ（図７参照）を発生させ、該近接場光Ｓを利用してディスクＤに各種情報を記録再生させるものである。
図２から図５に示すように、本実施形態のヘッドジンバルアセンブリ１２は、上記記録ヘッド２をディスクＤから浮上させる機能を有しており、該記録ヘッド２と、金属性材料により薄い板状に形成され、ディスク面Ｄ１に平行なＸＹ方向に移動可能なサスペンション３と、記録ヘッド２をディスク面Ｄ１に平行で且つ互いに直交する２軸（Ｘ軸、Ｙ軸）回りに回動自在な状態、即ち２軸を中心として捻れることができるようにサスペンション３の下面に固定させるジンバル手段１６と、を備えている。
【００３９】
記録ヘッド２は、ディスクＤとサスペンション３との間に配置された状態で、サスペンション３の下面に後述するジンバル１７を挟んで支持されている。
図５及び図６に示すように、この記録ヘッド２は、ディスク面Ｄ１から所定距離だけ浮上した状態でディスクＤに対向配置され、ディスク面Ｄ１に対向する浮上面２ａを有するスライダ６０と、スライダ６０の流出端面（先端面）６０ａ側に配設された、スポットサイズ変換器（光伝播素子）４０、記録素子４１、再生素子４２と、を備えている。
【００４０】
なお、上記スライダ６０は、該スライダ６０からディスクＤを見たときに、ディスクＤの回転方向下流側に流出端面６０ａが位置するように、ディスクＤに対向配置されている。また、この流出端面６０ａに対して向かい合う面は、ディスクＤの回転方向上流側に位置する流入端面として機能する。よって、ディスクＤの回転時、回転するディスクＤによって発生した空気は、流入端面側から浮上面２ａに沿って流れた後、流出端面６０ａ側から抜けるようになっている。
なお、記録ヘッド２は、スライダ６０の流出端面６０ａ側が最もディスク面Ｄ１に近接した状態でディスクＤ上を浮上する。従って、スライダ６０の流出端面６０ａ側に上記各構成品が配置されていることで、これらを可能な限りディスク面Ｄ１に近づけることができ、ディスクＤの保磁力を効率良く低下させてディスクＤへの書き込みが容易とされている。
【００４１】
ところで、本実施形態においては、スライダ６０の流出端面６０ａ側から順に、記録素子４１、スポットサイズ変換器４０、再生素子４２が並ぶように配設されている。しかも、記録素子４１の後述する主磁極４７と、スポットサイズ変換器４０の後述する伝播部５０の第２伝播部５４とは、スライダ６０の流出端面６０ａに平行な同一面内に配置されている。この点は、後に詳細に説明する。
【００４２】
スライダ６０は、石英ガラス等の光透過性材料や、ＡｌＴｉＣ（アルチック）等のセラミック等によって直方体状に形成されている。また、スライダ６０は、浮上面２ａをディスクＤ側に向けた状態で、ジンバル１７（図３参照）を介してサスペンション３（図３参照）の先端にぶら下がるように支持されている。
【００４３】
再生素子４２は、ディスクＤから漏れ出ている磁界の大きさに応じて電気抵抗が変換する磁気抵抗効果膜である。この再生素子４２には、後述する電気配線３１を介して制御部５（図１参照）からバイアス電流が供給されている。これにより制御部５は、ディスクＤから漏れ出た磁界の変化を電圧の変化として検出することでき、この電圧の変化から信号の再生を行うことが可能とされている。
【００４４】
記録素子４１は、スライダ６０の流出端面６０ａ側に位置する補助磁極４５と、磁気回路４６を介して補助磁極４５に接続され、ディスクＤに対して垂直な記録磁界を補助磁極４５との間で発生させる主磁極４７と、磁気回路４６を中心として該磁気回路４６の周囲を渦巻状に巻回されたコイル４８と、を備えている。
【００４５】
両磁極４５、４７及び磁気回路４６は、磁束密度が高い高飽和磁束密度（Ｂｓ）材料（例えば、ＣｏＮｉＦｅ合金、ＣｏＦｅ合金等）により形成されている。また、コイル４８は、ショートしないように、隣り合うコイル線間、磁気回路４６との間、両磁極４５、４７との間に隙間が空くように配置されており、この状態で絶縁層４９によってモールドされている。つまり、両磁極４５、４７、磁気回路４６及びコイル４８は、絶縁層４９によって支持された状態となっている。また、コイル４８は情報に応じて変調された電流が制御部５から供給されるようになっている。
【００４６】
ところで、上記コイル４８は、図６から図８に示すように、ディスクＤのトラック方向（Ｘ方向）に平行なスライダ６０の横幅方向においてスライダ６０の一方の側面側に寄った位置に形成されている。これに対して主磁極４７及び補助磁極４５は、コイル４８よりもスライダ６０の横幅方向中心線Ｃに近い位置にそれぞれ形成されると共に、絶縁層４９を間にしてヘッドの走行方向（Ｙ方向）に間隔を開けて向かい合うように形成されている。この際、主磁極４７及び補助磁極４５は、ディスクＤに対向する端面がスライダ６０の浮上面２ａと面一となるように設計されている。
なお、図７においては、補助磁極４５の図示を省略している。
【００４７】
スポットサイズ変換器４０は、一端側から入射された光束Ｌをディスク面Ｄ１に対向する他端側に向けて集光しながら伝播させる伝播部５０と、該伝播部５０を内部に閉じ込める図示しないクラッドと、で構成される略板状の素子であって、上記したように記録素子４１よりもトレイリングエッジ側に位置するように記録素子４１に隣接して固定されている。
【００４８】
伝播部５０は、スライダ６０の流出端面６０ａに沿って延在しており、一端側がスライダ６０の上方に向き、他端側がディスクＤに向いた状態で、上記横幅方向中心線Ｃ上に配置されている。また、この伝播部５０は、第１伝播部５３及び第２伝播部５４で一体的に構成されている。
【００４９】
第１伝播部５３は、一端側からディスクＤに向かうにつれて、その長手方向（Ｚ方向）に直交（伝播される光束Ｌの光軸に直交する）断面積、即ちスライダ６０の流出端面６０ａに直交する面内における断面積が漸次減少するように絞り成形された部分であり、これにより光束Ｌを集光しながら伝播することが可能とされている。
第２伝播部５４は、第１伝播部５３に連結されると共に、この連結部分Ｐ（図７参照）から他端側まで上記断面積が一定となるように同一形状で延在している部分であり、伝播部５０全体の他端側部分として機能する。
【００５０】
なお、第１伝播部５３及び第２伝播部５４は、断面四角形状となるように形成されている。また、第２伝播部５４の端面は、スライダ６０の浮上面２ａに対して面一となるように設計されている。
また、上記第１伝播部５３及び第２伝播部５４は、共にクラッドの屈折率よりも高い屈折率の材料からなり、クラッドとの屈折率の違いから光束Ｌを全反射条件で導くコアとされている。
図示しないクラッドは、コアである第１伝播部５３及び第２伝播部５４に密着して第１伝播部５３を内部に閉じ込めている。この際、クラッドは、第２伝播部５４の端面を覆うように形成されていても構わないし、露出させるように形成されていても構わない。
【００５１】
なお、クラッド及びコアとして使用される材料の組み合わせの一例を記載すると、例えば、石英（ＳｉＯ２）でコアを形成し、フッ素をドープした石英でクラッドを形成する組み合わせが考えられる。この場合には、光束Ｌの波長が４００ｎｍのときに、コアの屈折率が１．４７となり、クラッドの屈折率が１．４７未満となるので好ましい組み合わせである。また、ゲルマニウムをドープした石英でコアを形成し、石英（ＳｉＯ２）でクラッドを形成する組み合わせも考えられる。この場合には、光束Ｌの波長が４００ｎｍのときに、コアの屈折率が１．４７より大きくなり、クラッドの屈折率が１．４７となるのでやはり好ましい組み合わせである。
【００５２】
特に、コアとクラッドとの屈折率差が大きいほど、コア内に光束Ｌを閉じ込める力が大きくなるので、コアに酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５：波長が５５０ｎｍのときに屈折率が２．１６）を用い、クラッドに石英等を用いて、両者の屈折率差を大きくすることがより好ましい。また、赤外領域の光束Ｌを利用する場合には、赤外光に対して透明な材料であるシリコン（Ｓｉ：屈折率が約４）でコアを形成することも有効である。
【００５３】
ところで、上述した伝播部５０のうち少なくとも第２伝播部５４に関しては、図８に示すように、記録素子４１の絶縁層４９に主磁極４７の厚みＴだけ部分的に埋没されている。これにより、主磁極４７と第２伝播部５４とは、スライダ６０の流出端面６０ａに平行な同一平面内で微小間隔を開けて並ぶように配置されている。
そして、第２伝播部５４における主磁極４７側の側面５４ａ上には、第１伝播部５３及び第２伝播部５４によって伝播されてきた光束Ｌから表面プラズモンの励起により近接場光Ｓを発生させる金属膜（例えば金膜）５５が上記微小隙間を埋めるように形成されている。
【００５４】
なお、上記金属膜５５は、クラッドを介することなく第２伝播部５４の上記側面５４ａ上に形成されている。そのため、金属膜５５には第２伝播部５４によって伝播されてきた光束Ｌが損失なく入射され、表面プラズモンの励起によって該金属膜５５の端面側に近接場光Ｓが局所的に発生する。
【００５５】
また、図２から図５に示すように、スライダ６０の下面は、上述したようにディスク面Ｄ１に対向する浮上面２ａとなっている。この浮上面２ａは、回転するディスクＤによって生じた空気流の粘性から、浮上するための圧力を発生させる面であり、ＡＢＳ（ＡｉｒＢｅａｒｉｎｇ Ｓｕｒｆａｃｅ）と呼ばれている。
具体的には、スライダ６０をディスク面Ｄ１から離そうとする正圧とスライダ６０をディスク面Ｄ１に引き付けようとする負圧とを調整して、スライダ６０を最適な状態で浮上させるように設計されている。
スライダ６０は、この浮上面２ａによってディスク面Ｄ１から浮上する力を受けていると共に、サスペンション３によってディスクＤ側に押さえ付けられる力を受けている。そしてスライダ６０は、この両者の力のバランスによって、ディスク面Ｄ１から浮上している。
【００５６】
図２及び図３に示すように、サスペンション３は、上面視略四角状に形成されたベースプレート２２と、ベースプレート２２の先端側にヒンジ板２３を介して連結された平面視略三角状のロードビーム２４と、で構成されている。
【００５７】
ベースプレート２２は、ステンレス等の厚みの薄い金属材料によって構成されており、基端側には厚さ方向に貫通する開口２２ａが形成されている。そして、この開口２２ａを介してベースプレート２２がアーム部１４の先端に固定されている。
ベースプレート２２の下面には、ステンレス等の金属材料により構成されたシート状の上記ヒンジ板２３が配置されている。このヒンジ板２３は、ベースプレート２２の下面の全面に亘って形成された平板状の板材であり、その先端部分はベースプレート２２の先端からベースプレート２２の長手方向に沿って延出する延出部２３ａとして形成されている。この延出部２３ａは、ヒンジ板２３の幅方向両端部から２本延出しており、その先端部分にロードビーム２４が連結されている。
【００５８】
ロードビーム２４は、ベースプレート２２と同様にステンレス等の厚みの薄い金属材料によって形成されており、その基端がベースプレート２２の先端との間に間隙を有した状態でヒンジ板２３に連結されている。
これにより、サスペンション３は、ベースプレート２２とロードビーム２４との間を中心に屈曲して、ディスク面Ｄ１に垂直なＺ方向に向けて撓み易くなっている。
【００５９】
また、サスペンション３上には、フレクシャ２５が設けられている。
このフレクシャ２５は、ステンレス等の金属材料により形成されたシート状のものであり、シート状に形成されることで厚さ方向に撓み変形可能に構成されている。また、このフレクシャ２５は、ロードビーム２４の先端側に固定され、外形が上面視略五角形状に形成されたジンバル１７と、ジンバル１７より幅狭に形成され、ジンバル１７の基端からサスペンション３上に沿って延在する支持体１８とで構成されている。
【００６０】
ジンバル１７は、中間付近から先端にかけてディスク面Ｄ１に向けて厚さ方向に僅かながら反るように形成されている。そして、この反りが加わった先端側がロードビーム２４に接触しないように、基端側から略中間付近にかけてロードビーム２４に固定されている。また、この浮いた状態のジンバル１７の先端側には、周囲がコ形状に刳り貫かれた切欠部２６が形成されており、この切欠部２６に囲まれた部分には連結部１７ａによって片持ち状に支持されたパッド部１７ｂが形成されている。
つまり、このパッド部１７ｂは、連結部１７ａによってジンバル１７の先端側から基端側に向けて張出し形成されており、その周囲に切欠部２６を備えている。
【００６１】
これにより、パッド部１７ｂはジンバル１７の厚さ方向に撓みやすくなっており、このパッド部１７ｂのみがサスペンション３の下面と平行になるように角度調整されている。そして、このパッド部１７ｂ上に上述した記録ヘッド２が載置固定されている。つまり、記録ヘッド２は、パッド部１７ｂを介してロードビーム２４にぶら下がった状態となっている。
【００６２】
また、図３及び図４に示すように、ロードビーム２４の先端には、パッド部１７ｂ及び記録ヘッド２の略中心に向かって突出する突起部１９が形成されている。この突起部１９の先端は、丸みを帯びた状態となっている。そして突起部１９は、記録ヘッド２がディスクＤから受ける風圧によりロードビーム２４側に浮上したときに、パッド部１７ｂの表面（上面）に点接触するようになっている。
つまり、突起部１９は、ジンバル１７のパッド部１７ｂを介して、記録ヘッド２を支持すると共に、ディスク面Ｄ１に向けて（Ｚ方向に向けて）記録ヘッド２に荷重を付与するようになっている。そして、突起部１９とパッド部１７ｂとの接触点（支持点）が、突起部１９による記録ヘッド２の荷重点になっている。
なお、これら突起部１９とパッド部１７ｂを有するジンバル１７とが、ジンバル手段１６を構成している。
【００６３】
図２に示す支持体１８は、ジンバル１７に一体形成されたシート状のものであり、サスペンション３上をアーム部１４に向かって延設されている。つまり、支持体１８は、サスペンション３が変形した際にサスペンション３の変形に追従するように構成されている。また、この支持体１８は、アーム部１４上から側面に回りこんで、キャリッジ１１の基部１５に至るまで引き回されている。
【００６４】
図１及び図９に示すように、キャリッジ１１の基部１５における側面１５ｃには、ターミナル基板３０が配置されている。このターミナル基板３０は、ハウジング９に設けられた制御部５と記録ヘッド２とを電気的に接続する際の中継点となるものであり、その表面には、各種制御回路（不図示）が形成されている。
制御部５とターミナル基板３０とは、可撓性を有するフラットケーブル４により電気的に接続されている一方、ターミナル基板３０と記録ヘッド２とは、電気配線３１により接続されている。この電気配線３１は、各キャリッジ１１に設けられた記録ヘッド２に対応して３組設けられており、フラットケーブル４を介して制御部５から出力された信号が、電気配線３１を介して記録ヘッド２に出力されるようになっている。
【００６５】
ターミナル基板３０上には、記録ヘッド２のスポットサイズ変換器４０に向けて光束Ｌを供給する上記レーザ光源２０が配置されている。レーザ光源２０は、フラットケーブル４を介して制御部５から出力された信号を受信し、この信号に基づいて光束Ｌを出射するものであり、各アーム部１４に設けられた記録ヘッド２に対応して基部１５の高さ方向（Ｚ方向）に沿って３個配列されている。各レーザ光源２０の出射側には、出射された光束Ｌを記録ヘッド２まで導く光導波路３２が接続されている。
【００６６】
図２及び図３に示すように、光導波路３２と電気配線３１とは、レーザ光源２０と記録ヘッド２との間において、その基端側から先端に至るまで一体的に形成された光電気複合配線３３として構成されている。
この光電気複合配線３３は、ターミナル基板３０の表面からアーム部１４の側面を通って、アーム部１４上に引き回されている。具体的には、光電気複合配線３３は、アーム部１４及びサスペンション３上において、フレクシャ２５の支持体１８上に配置されており、該支持体１８を間に挟んだ状態でサスペンション３の先端まで引き回されている。
【００６７】
そして、光電気複合配線３３は、サスペンション３の先端、即ちジンバル１７の中間位置において電気配線３１と光導波路３２とに分岐している。
具体的には、光導波路３２は、光電気複合配線３３の先端側における分岐地点からジンバル１７の長手方向に沿って延在しており、ジンバル１７の切欠部２６を跨いで記録ヘッド２の流入端側に直接接続されている。光導波路３２は、光電気複合配線３３の分岐地点においてジンバル１７の下面から離間されており、分岐地点から記録ヘッド２の流入端側に向かうにつれ、パッド部１７ｂとジンバル１７との間を架け渡すように僅かながら浮いた状態で延在している。
つまり、ジンバル１７の下面において、光導波路３２は略直線的（曲率半径が略無限大）に延在した状態で、記録ヘッド２の幅方向（Ｘ方向）中央部から記録ヘッド２の流入端側に引き回されている。
【００６８】
一方、上記分岐地点において、電気配線３１はジンバル１７の外周部分に向けて屈曲されており、ジンバル１７の外周部分、つまり切欠部２６の外側から引き回されている。そして、切欠部２６の外側から引き回された電気配線３１は、連結部１７ａ上を通って記録ヘッド２の流出端面６０ａ側に接続されている。即ち、電気配線３１は、スライダ６０の流出端面６０ａ側に設けられた再生素子４２と記録素子４１とのそれぞれに対して、記録ヘッド２の外部から直接接続されている。
【００６９】
なお、光導波路３２の構成材料は、上記したスポットサイズ変換器４０のコア及びクラッドと同様の材料を用いることも可能であるが、本実施形態では以下に示すような樹脂材料が好適に用いられている。
例えばＰＭＭＡ（メタクリル酸メチル樹脂）により、厚さが３〜１０μｍでコア３２ａを形成し、フッ素含有重合体により、厚さが数十μｍでクラッド３２ｂを形成する組み合わせが考えられる。また、コア３２ａ及びクラッド３２ｂをともにエポキシ樹脂（例えば、コア屈折率１．５２２〜１．５２３、クラッド屈折率１．５１８〜１．５１９）で構成したり、フッ素化ポリイミドで構成したりすることも可能である。この場合、コア３２ａとクラッド３２ｂとを構成する樹脂材料の配合等を調整して、両者の屈折率差を大きくすることが好ましい。例えば、フッ素化ポリイミドの場合、フッ素含有量を調整したり、放射光等のエネルギー照射によって、屈折率を制御したりすることができる。このように、光導波路３２の構成材料に樹脂材料を用いることで、光電気複合配線３３を半導体プロセスにより製造することが可能である。
【００７０】
ところで、図６に示すように、光導波路３２の先端面は斜めにカットされたミラー面３５とされており、レーザ光源２０によって導入された光束Ｌを、該光束Ｌの向きが略９０度変わるように反射させている。これにより、ミラー面３５で反射された光束Ｌが、記録ヘッド２のスポットサイズ変換器４０を構成する伝播部５０内に導入されるようになっている。なお、ミラー面３５は、少なくともコア３２ａを含む領域にアルミ等からなる反射板を蒸着法等により形成するような構成としても構わない。
【００７１】
（情報記録再生方法）
次に、このように構成された情報記録再生装置１により、ディスクＤに各種の情報を記録再生する手順について説明する。
【００７２】
まず、スピンドルモータ７を駆動させてディスクＤを所定方向に回転させる。次いで、アクチュエータ６を作動させて、ピボット軸１０を回転中心としてキャリッジ１１を回動させ、キャリッジ１１を介してヘッドジンバルアセンブリ１２をＸＹ方向にスキャンさせる。これにより、図１に示すように、ディスクＤ上の所望する位置に記録ヘッド２を位置させることができる。
【００７３】
この際、記録ヘッド２は、サスペンション３によって支持されていると共に所定の力でディスクＤ側に押さえ付けられている。また、これと同時に記録ヘッド２は、浮上面２ａを利用して、回転するディスクＤによって生じる風圧の影響を受けて浮上する力を受けている。この両者の力のバランスによって、記録ヘッド２はディスクＤ上から離間した位置に浮上している。
しかも記録ヘッド２は、風圧を受けてサスペンション３側に押されるので、記録ヘッド２を固定するジンバル１７のパッド部１７ｂとサスペンション３に形成された突起部１９とが、点接触した状態となる。そして、この浮上する力は、突起部１９を介してサスペンション３に伝わり、該サスペンション３をディスク面Ｄ１に垂直なＺ方向に向けて撓ませるように作用する。これにより、上記したように記録ヘッド２は浮上する。
【００７４】
ここで、情報の記録を行う場合、制御部５はレーザ光源２０を作動させると共に、情報に応じて変調した電流をコイル４８に供給して記録素子４１を作動させる。
レーザ光源２０が作動すると、光導波路３２に光束Ｌを入射させる。すると、この光束Ｌは、光導波路３２のコア３２ａ内を先端側に向かって進んだ後、図６に示すように、ミラー面３５で反射されてスポットサイズ変換器４０の伝播部５０内に導入される。伝播部５０内に導入された光束Ｌは、ディスクＤ側に位置する他端側に向かって図示しないクラッドとの界面との間で反射を繰り返しながら、第１伝播部５３及び第２伝播部５４を順に伝播する。
【００７５】
この際、第１伝播部５３は一端側から他端側に向かうにしたがって絞り成形されているので、光束Ｌを徐々に集光しながら伝播させることができる。そのため光束Ｌは、徐々に絞り込まれて十分にスポットサイズが小さくなった状態で第２伝播部５４内を伝播した後、金属膜５５に入射する。これにより、金属膜５５を利用してこの伝播された光束Ｌから表面プラズモンを励起させて近接場光Ｓを発生させることができ、外部に発することができる。すると、ディスクＤはこの近接場光Ｓによって局所的に加熱されて一時的に保磁力が低下する。
【００７６】
一方、制御部５によってコイル４８に電流が供給されると、電磁石の原理により電流磁界が磁気回路４６内に磁界を発生させるので、主磁極４７と補助磁極４５との間にディスクＤに対して垂直方向の記録磁界を発生させることができる。
【００７７】
その結果、金属膜５５で発生された近接場光Ｓと、記録素子４１で発生された記録磁界とを協働させたハイブリッド磁気記録方式により情報の記録を行うことができる。しかも垂直記録方式で記録を行うので、熱揺らぎ現象等の影響を受け難く、安定した記録を行うことができる。よって、書き込みの信頼性を高めることができる。
【００７８】
次に、ディスクＤに記録された情報を再生する場合には、再生素子４２がディスクＤから漏れ出ている磁界を受けて、その大きさに応じて電気抵抗が変化する。よって、再生素子４２の電圧が変化する。これにより制御部５は、ディスクＤから漏れ出た磁界の変化を電圧の変化として検出することができる。そして制御部５は、この電圧の変化から信号の再生を行うことで、情報の再生を行うことができる。
上述したように、記録ヘッド２を利用してディスクＤに対して各種の情報を記録再生することができる。
【００７９】
特に、本実施形態の記録ヘッド２によれば、主磁極４７と、金属膜５５が形成されている第２伝播部５４とが、スライダ６０の流出端面６０ａに平行な同一面内に配置されているので、図８に示すように、ヘッドの走行方向（Ｙ方向）に直交する方向、即ち、ディスクＤのトラック方向（Ｘ方向）に沿って主磁極４７と第２伝播部５４とが並ぶように配置させることができる。従って、主磁極４７と金属膜５５とに関しても同様にディスクＤのトラック方向（Ｘ方向）に沿って並ぶように配置させることができる。
【００８０】
従って、図１０に示すように、記録磁界の磁場スポットＳＰ１と近接場光スポットＳＰ２とをトラック方向（Ｘ方向）に並ばせることができると共に、磁場スポットＳＰ１のスポット中心Ｇ１と近接場光Ｓのスポット中心Ｇ２とをヘッドの走行方向（Ｙ方向）に対して一致させることができる。
従って、トラック方向（Ｘ方向）に隣接する別の記録トラックの磁区に極力影響を与えずに、図１１に示すように、対象とする記録トラックの磁区に対して加熱のピーク（保磁力カーブＣ１のピーク）と磁場のピーク（磁場カーブＣ２のピーク）とをヘッドの走行方向（Ｙ方向）一致させた状態で、加熱及び磁場の印加を局所的に行える。
【００８１】
よって、書き込みの信頼性を向上することができ、高密度記録化を図ることができる。しかも、金属膜５５は、第２伝播部５４における主磁極４７側の側面５４ａ上に形成されているので、図１０に示すように、磁場スポットＳＰ１と近接場光スポットＳＰ２とをトラック方向（Ｘ方向）においても極力接近させることができる。この点においても、高密度記録化に繋げることができる。
【００８２】
更に、第２伝播部５４は、図７及び図８に示すように、第１伝播部５３との連結部分Ｐから端面に向かって同一形状で延在しているので、複雑に形状変化している側面５４ａ上に金属膜５５を形成する場合とは異なり、容易且つ強固に金属膜５５を形成することが可能であり、金属膜５５の膜剥がれ等が生じ難い。
従って、長期に亘って安定して近接場光Ｓを発生させることができ、書き込みの信頼性を向上することができる。
【００８３】
また、スライダ６０の流出端面６０ａに平行な同一平面内での作り込みが行えるので、上記記録ヘッド２を製造する場合には、特別な手法を用いることなく、通常のフォトリソグラフィ技術及びエッチング加工技術等の半導体技術を利用しながら従来通りの工程で製造を行うことができる。従って、容易に製造することができ、量産化が可能であるうえ、記録ヘッド２自体の薄型化を図ることができる。
【００８４】
そして、本実施形態の情報記録再生装置１は、上述した記録ヘッド２を備えているので、書き込みの信頼性が高く、高密度記録化に対応した高品質な装置にすることができる。
【００８５】
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【００８６】
例えば、上記実施形態では、スライダ６０を浮上させた空気浮上タイプの情報記録再生装置１を例に挙げて説明したが、この場合に限られず、ディスク面Ｄ１に対向配置されていればディスクＤとスライダ６０とが接触していても構わない。つまり、本発明の記録ヘッド２は、コンタクトスライダタイプのヘッドであっても構わない。この場合であっても、同様の作用効果を奏することができる。
【００８７】
また、上記実施形態では、アーム部１４の片面側のみにヘッドジンバルアセンブリ１２が設けられている構成について説明したが、各ディスクＤ間に差し入れられるアーム部１４の両面に、各ディスクＤに対向するようにそれぞれヘッドジンバルアセンブリ１２を設けるような構成も可能である。
この場合には、アーム部１４の両面側に設けられたヘッドジンバルアセンブリ１２の各記録ヘッド２により、各記録ヘッド２に対向するディスク面Ｄ１の情報の記録再生を行うことができる。つまり、１つのアーム部１４により２枚のディスクＤの情報を記録再生することができるため、情報記録再生装置１の記録容量の増加及び装置の小型化を図ることができる。
【００８８】
また、上記実施形態では、スポットサイズ変換器４０に光束Ｌを導入するレーザ光源２０をキャリッジ１１の基部１５に取り付けられたターミナル基板３０に配設させた構成としたが、この位置に限定されるものではない。例えば、スライダ６０の上面に配設し、記録ヘッド２に一体的に搭載させても構わない。こうすることで、光導波路３２をキャリッジ１１から引き回す必要がないうえ、浮上時におけるスライダ６０の動きが光導波路３２によって阻害され難いので、より好ましい。
【００８９】
また、上記実施形態において、図１２に示すように、第２伝播部５４における主磁極４７側の側面５４ａ上に形成される金属膜５５を、主磁極４７の厚みＴに捕らわれずに第２伝播部５４の厚みＴ１に相当する程度形成しても構わない。
但し、この場合には、ディスクＤに向けて先細り形状となるように金属膜５５を形成することが好ましい。こうすることで、ディスクＤに対向する金属膜５５の端面を極力小さくでき、近接場光Ｓをより局所的に強い光強度で発生させることが可能である。
しかも、図１２に示すように、外形に角部が現れないように滑らかに湾曲しながら先細るように金属膜５５を形成することが好ましい。こうすることで、励起された表面プラズモンを角部に阻害されることなくスムーズに端面まで伝播させることができ、より効率良く近接場光Ｓを発生させることができる。
【００９０】
また、上記実施形態において、図１３に示すように絶縁層４９に段差部４９ａを形成し、図１４に示すように、この段差部４９ａ内に第２伝播部５４が入り込むように該第２伝播部５４を主磁極４７と同一平面内に配置させ、且つ主磁極４７と第２伝播部５４と間に位置する段差部４９ａ内に金属膜５５を形成しても構わない。
【００９１】
この場合には、第２伝播部５４が入り込んでいる段差部４９ａを利用して金属膜５５を形成できるので、第２伝播部５４における主磁極４７側の側面５４ａ上に、規定した長さＭの金属膜５５を容易に形成することが可能である。従って、段差部４９ａのサイズを調整するだけで必要最小限の長さの金属膜５５を形成することができる。そのため、ディスク面Ｄ１にできるだけ近い位置まで伝播部５０を利用して効率良く光束Ｌを伝播させた後に、金属膜５５に入射させて近接場光Ｓを発生させることができる。よって、光束Ｌの伝播損失を極力抑制でき、近接場光Ｓの発生効率を高めることができ、より光強度の高い近接場光Ｓで書き込みを行える。
【００９２】
なお、この場合において、金属膜５５を形成する場合の方法としては、例えば段差部４９ａに対して犠牲層を斜め成膜した後、金等を全体に成膜し、その後犠牲層をリフトオフすることで、図１３に示すように、段差部４９ａの側面を利用して金属膜５５を容易に形成することが可能である。
【００９３】
また、上記実施形態において、図１５に示すように、スライダ６０の流出端面６０ａに直交する断面が三角形状となるように伝播部５０を形成しても構わない。
この場合には、光束Ｌをより効率良く集光させながら伝播させ易く、光伝播効率を高めることができる。また、図１６に示すように、第２伝播部５４の主磁極４７側の側面５４ａが主磁極４７に対して斜面となるので、より金属膜５５を形成し易くなる。更に、第１伝播部５３と第２伝播部５４との連結部分Ｐ（図１５参照）における結合効率を高め易くなる。
【符号の説明】
【００９４】
Ｌ…光束
Ｄ…ディスク（磁気記録媒体）
Ｄ１…ディスク面（磁気記録媒体の表面）
１…情報記録再生装置
２…記録ヘッド
３…サスペンション
２０…レーザ光源（光源）
１０…ピボット軸
１１…キャリッジ
１４…アーム部
４０…スポットサイズ変換器（光伝播素子）
４１…記録素子
４５…補助磁極
４７…主磁極
４９…絶縁層
４９ａ…絶縁層の段差部
５０…伝播部
５３…第１伝播部
５４…第２伝播部（伝播部の他端側部分）
５５…金属膜
６０…スライダ
６０ａ…スライダの流出端面
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一定方向に回転する磁気記録媒体の表面に、該磁気記録媒体の回転方向下流側に流出端面が向いた状態で対向配置されるスライダと、
前記スライダの前記流出端面側に配設され、一端側から入射された光束を前記磁気記録媒体の表面に対向する他端側に向けて集光しながら伝播させる伝播部を有する光伝播素子と、
前記スライダの前記流出端面側に配設されると共に、主磁極及び補助磁極を有し、両磁極の間に記録磁界を発生させる記録素子と、を備え、
前記主磁極と、前記伝播部のうちの少なくとも他端側部分とは、前記スライダの流出端面に平行な同一面内に配置され、
前記伝播部の前記他端側部分における前記主磁極側の側面上には、伝播されてきた前記光束から表面プラズモンの励起により近接場光を発生させる金属膜が形成されていることを特徴とする記録ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の記録ヘッドにおいて、
前記記録素子は、前記主磁極を支持する絶縁層を有し、
該絶縁層には、前記伝播部の前記他端側部分を入り込ませて該他端側部分を前記主磁極と前記同一面内に配置させる段差部が形成され、
前記金属膜は、前記主磁極と前記伝播部の他端側部分との間に位置する前記段差部内に形成されていることを特徴とする記録ヘッド。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の記録ヘッドにおいて、
前記伝播部は、
前記一端側から前記磁気記録媒体の表面に向けて、伝播される前記光束の光軸に直交する断面積が漸次減少するように絞り成形された第１伝播部と、
該第１伝播部に連結されると共に、該連結部分から前記他端側まで前記断面積が一定となるように同一形状で延在した第２伝播部と、を有し、
前記金属膜は、前記第２伝播部の側面上に形成されていることを特徴とする記録ヘッド。
【請求項４】
請求項３に記載の記録ヘッドにおいて、
前記伝播部は、前記光軸に直交する断面が三角形状となるように形成されていることを特徴とする記録ヘッド。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項に記載の記録ヘッドと、
前記磁気記録媒体の表面に平行な方向に移動可能とされ、該磁気記録媒体の表面に平行で且つ互いに直交する２軸回りに回動自在な状態で前記記録ヘッドを支持するサスペンションと、
前記伝播部に前記光束を入射させる光源と、
前記磁気記録媒体の外側に配置されたピボット軸と、
該ピボット軸の回りを回転可能に形成されると共に、前記サスペンションを支持するアーム部を有するキャリッジと、を備えていることを特徴とする情報記録再生装置。
【請求項１】
一定方向に回転する磁気記録媒体の表面に、該磁気記録媒体の回転方向下流側に流出端面が向いた状態で対向配置されるスライダと、
前記スライダの前記流出端面側に配設され、一端側から入射された光束を前記磁気記録媒体の表面に対向する他端側に向けて集光しながら伝播させる伝播部を有する光伝播素子と、
前記スライダの前記流出端面側に配設されると共に、主磁極及び補助磁極を有し、両磁極の間に記録磁界を発生させる記録素子と、を備え、
前記主磁極と、前記伝播部のうちの少なくとも他端側部分とは、前記スライダの流出端面に平行な同一面内に配置され、
前記伝播部の前記他端側部分における前記主磁極側の側面上には、伝播されてきた前記光束から表面プラズモンの励起により近接場光を発生させる金属膜が形成されていることを特徴とする記録ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の記録ヘッドにおいて、
前記記録素子は、前記主磁極を支持する絶縁層を有し、
該絶縁層には、前記伝播部の前記他端側部分を入り込ませて該他端側部分を前記主磁極と前記同一面内に配置させる段差部が形成され、
前記金属膜は、前記主磁極と前記伝播部の他端側部分との間に位置する前記段差部内に形成されていることを特徴とする記録ヘッド。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の記録ヘッドにおいて、
前記伝播部は、
前記一端側から前記磁気記録媒体の表面に向けて、伝播される前記光束の光軸に直交する断面積が漸次減少するように絞り成形された第１伝播部と、
該第１伝播部に連結されると共に、該連結部分から前記他端側まで前記断面積が一定となるように同一形状で延在した第２伝播部と、を有し、
前記金属膜は、前記第２伝播部の側面上に形成されていることを特徴とする記録ヘッド。
【請求項４】
請求項３に記載の記録ヘッドにおいて、
前記伝播部は、前記光軸に直交する断面が三角形状となるように形成されていることを特徴とする記録ヘッド。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項に記載の記録ヘッドと、
前記磁気記録媒体の表面に平行な方向に移動可能とされ、該磁気記録媒体の表面に平行で且つ互いに直交する２軸回りに回動自在な状態で前記記録ヘッドを支持するサスペンションと、
前記伝播部に前記光束を入射させる光源と、
前記磁気記録媒体の外側に配置されたピボット軸と、
該ピボット軸の回りを回転可能に形成されると共に、前記サスペンションを支持するアーム部を有するキャリッジと、を備えていることを特徴とする情報記録再生装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【公開番号】特開２０１２−６４２６１（Ｐ２０１２−６４２６１Ａ）
【公開日】平成２４年３月２９日（２０１２．３．２９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２０５８８９（Ｐ２０１０−２０５８８９）
【出願日】平成２２年９月１４日（２０１０．９．１４）
【出願人】（０００００２３２５）セイコーインスツル株式会社 (3,629)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年３月２９日（２０１２．３．２９）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年９月１４日（２０１０．９．１４）
【出願人】（０００００２３２５）セイコーインスツル株式会社 (3,629)
【Ｆターム（参考）】
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