超音波モータ
【課題】縦振動と屈曲振動による多重モードで駆動される超音波モータにおいてコンパクトな構成で駆動の効率的な検出および制御を可能にする超音波モータを提供する。
【解決手段】多重振動モードの振動に用いられる矩形の超音波モータであって、積層された圧電層と、積層された圧電層間に交互に内層された駆動電極およびグランド電極と、積層された圧電層のうち駆動検出に用いられるものの一方の主面側で、駆動電極4dが内層された面内に内層されたセンシング電極4eとを備え、第一次縦振動モードにおける伸縮方向の長さをLとし、第二次屈曲振動モードにおける剪断方向の長さをwとした場合、第一次縦振動モードの共振周波数と第二次屈曲振動モードの共振周波数とが実質的に一致するw/Lに基づいて形成されている。これにより、動作に寄与しない不活性層体積比率を少なくすることができる。
【解決手段】多重振動モードの振動に用いられる矩形の超音波モータであって、積層された圧電層と、積層された圧電層間に交互に内層された駆動電極およびグランド電極と、積層された圧電層のうち駆動検出に用いられるものの一方の主面側で、駆動電極4dが内層された面内に内層されたセンシング電極4eとを備え、第一次縦振動モードにおける伸縮方向の長さをLとし、第二次屈曲振動モードにおける剪断方向の長さをwとした場合、第一次縦振動モードの共振周波数と第二次屈曲振動モードの共振周波数とが実質的に一致するw/Lに基づいて形成されている。これにより、動作に寄与しない不活性層体積比率を少なくすることができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、矩形積層型の圧電振動子を多重振動モードで振動させる超音波モータに関する。
【背景技術】
【0002】
従来、積層型圧電素子が用いられた超音波モータやアクチュエータにセンサ用の電極を設け、そこから取り出した信号により積層型圧電素子の動作を制御しようとする技術が知られている(特許文献1、2、3)。
【0003】
特許文献1記載のアクチュエータは、アクチュエータ部とセンサ部とが絶縁材料層を介して一体に積層されてなり、センサ部には圧電材料層として厚さ方向に分極処理が済んでいる圧電セラミックスが用いられている。そして、アクチュエータ部が厚さ方向に変位すると変位量に応じてセンサ部の電界が変位し、この電界の変位量が電圧信号としてサンプルホールドされて制御部にフィードバックされることで、アクチュエータ部に発生した応力変動を非線形的に検出し、センシング感度を向上させている。
【0004】
特許文献2記載の積層圧電素子は、圧電セラミックスの片面側に電極を形成した圧電素子板を厚み方向に複数枚積層した積層圧電素子において、圧電セラミック層の一部をセンサー相として用い、最上層の圧電素子板にセンサー相の信号取り出し用の電極を設けている。そして、1波長幅のセンサー電極を導通穴と非接触に設け、一方最上層の圧電素子板にはスルーホールなどによりセンサー電極と導通する電極が形成されており、このようなセンサー相により振動波駆動装置の駆動制御を高精度に行おうとしている。
【0005】
特許文献3記載の振動波モータは、積層圧電素子において第1層に表面電極層が配置され、第2層に圧電層が配置されている。第3層から第N層までの層においては、異なる圧電層が交互に配置されており、圧電層の表面には、4分割された内部電極が形成されている。圧電層の表面には、4分割された内部電極が形成されており、各圧電層において、センサ相である内部電極およびそれと同位相に配置されている内部電極とのみが圧電層の外部に露出するように形成されており、これにより小型の振動波モータの進行波ムラの低減を図っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【特許文献1】特許3059038号公報
【特許文献2】特許3729781号公報
【特許文献3】特開2007−13039号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
上記のように、センサ用の電極を設けた圧電アクチュエータは存在するが、縦振動と屈曲振動による多重モードで駆動される超音波モータにおいては、電極によりセンシングを行う構成が開発されておらず、駆動の効率的な検出および制御が行われていない。
【0008】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、縦振動と屈曲振動による多重モードで駆動される超音波モータにおいてコンパクトな構成で駆動の効率的な検出および制御を可能にする超音波モータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0009】
(1)上記の目的を達成するため、本発明の超音波モータは、多重振動モードの振動に用いられる矩形の超音波モータであって、積層された圧電層と、前記積層された圧電層間に交互に内層された駆動電極およびグランド電極と、前記積層された圧電層のうち駆動検出に用いられるものの一方の主面側で、前記駆動電極が内層された面内に内層されたセンシング電極とを備え、第一次縦振動モードにおける伸縮方向の長さをLとし、第二次屈曲振動モードにおける剪断方向の長さをwとした場合、第一次縦振動モードの共振周波数と第二次屈曲振動モードの共振周波数とが実質的に一致するw/Lに基づいて形成されていることを特徴としている。
【0010】
このように、駆動電極とセンシング電極とを同一面内に設けることによって動作に寄与しない不活性層体積比率を少なくすることができる。そして、矩形積層型の圧電振動子をL1F2多重モードで振動させて31横効果振動を利用する超音波モータをコンパクトに構成できる。その結果、センシング層を駆動層と別層にする場合より圧電活性層の比率が大きくなるため効率のよい高性能の超音波モータを提供することが可能になる。
【0011】
(2)また、本発明の超音波モータは、前記センシング電極が、対称な位置に2つ設けられていることを特徴としている。これにより、構造に対称性を持たせて動作の偏りを無くしている。
【0012】
(3)また、本発明の超音波モータは、前記センシング電極が、4分の1電極面積を有し、前記センシング電極が内装された面内にある駆動電極は、4分の3電極面積を有することを特徴としている。これにより、センシング層により駆動層の駆動を妨げられることなく、超音波モータを駆動させながら駆動状態の検出を行うことができる。
【0013】
(4)また、本発明の超音波モータは、前記内層された駆動電極、グランド電極およびセンシング電極が、外部電極によりそれぞれ入力、接地および検出の端子に接続されていることを特徴としている。このように、スルーホールを用いず外部接続にすることにより動作活性層体積比率を大きくしたことで動作に寄与しない不活性層体積比率を少なくすることができる。
【0014】
(5)また、本発明の超音波モータは、前記圧電層が、同一層内で2つの分極方向に分極されており、前記内層された駆動電極には、1相の駆動電圧が印加されることを特徴としている。このように、1相駆動した場合にもセンシング電極を用いて動作方向電圧に一定の電圧波形を得ることで動作を感知できる。したがって位相差を感知しなくても一定の電圧波形のみ感知できればよくセンサ回路を簡略化できる。
【発明の効果】
【0015】
本発明によれば、縦振動と屈曲振動による多重モードで駆動される超音波モータにおいてコンパクトな構成で駆動の効率的な検出および制御を可能にする。
【図面の簡単な説明】
【0016】
【図1】本発明に係る超音波モータの正面図である。
【図2】本発明に係る超音波モータの第一次縦振動の様子を示す図である。
【図3】本発明に係る超音波モータの第二次屈曲振動の様子を示す図である。
【図4】本発明に係る超音波モータが被駆動体を図中、右方向に駆動する様子を段階的に示す図である。
【図5】矩形型の圧電振動子を複数種類の振動モードで振動させたときの周波数スペクトラムを示す図である。
【図6】圧電振動子の作製時におけるシート積層の構成の一例を示す図である。
【図7】本発明に係る圧電振動子の斜視図である。
【図8A】駆動層上の電極パターンを示す平面図である。
【図8B】グランド電極のパターンを示す平面図である。
【図8C】センシング層上の電極パターンを示す平面図である。
【図8D】センシング層上の電極パターンを示す平面図である。
【図9】第1の実施形態に係る超音波モータの駆動層上の電極に対する配線を示す図である。
【図10】第1の実施形態に係る超音波モータのセンシング層上の電極に対する配線を示す図である。
【図11A】第1の実施形態において時間に対する入力電圧を示すグラフである。
【図11B】第1の実施形態において時間に対するセンシング電圧を示すグラフである。
【図11C】第1の実施形態において時間に対するセンシング電圧を示すグラフである。
【図12】第2の実施形態に係る超音波モータの概略構成を示す図である。
【図13A】第2の実施において時間に対する入力電圧を示すグラフである。
【図13B】第2の実施において形態時間に対するセンシング電圧を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【0017】
次に、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。説明の理解を容易にするため、各図面において同一の構成要素に対しては同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
【0018】
[第1の実施形態]
図1は、超音波モータ10の正面図である。図1に示すように、超音波モータ10は圧電振動子1とチップ1aを備えており、矩形積層型の圧電振動子1を多重振動モードで振動させることで駆動可能となっている。
【0019】
図2は、超音波モータ10の第一次縦振動の様子を示す図である。第一次縦振動は、図2の矢印AおよびBに示すように、圧電振動子1の長手方向に伸縮を繰り返すことにより生ずる。また、図3は、超音波モータ10の第二次屈曲振動の様子を示す図である。第二次屈曲振動は、図3の矢印Cに示すように、圧電振動子1の厚さ方向に、相互に向きが異なる剪断力により屈曲を繰り返すことにより生ずる。これらの第一次縦振動と第二次屈曲振動とを合成(縮退)することにより、圧電振動子1に設けられたチップが楕円運動をし、駆動力が生ずる。
【0020】
図4は、圧電振動子1が被駆動体2を図中、右方向に駆動する様子を段階的に示す図である。図4において、圧電振動子1は、チップ1aを備えている。圧電振動子1の第一次縦振動と第二次屈曲振動とを合成することで、圧電振動子1が伸縮と屈曲を繰り返し、1サイクルで被駆動体を距離lだけ移動させている。圧電振動子1は、このような原理で駆動力を発生させる。
【0021】
図5は、矩形型の圧電振動子1を複数種類の振動モードで振動させたときの周波数スペクトラムを示す図である。なお、図5ではL=20mmで固定し、wのみを変化させている。図5により、w/Lを変数として、w/Lと圧電振動子の第一次縦振動モード(L1)の共振周波数とを関係と、w/Lと第二次屈曲振動モード(F2)の共振周波数との関係を見ることができる。
【0022】
w/Lが小さい場合は、第二次屈曲振動モードの共振周波数よりも第一次縦振動モードの共振周波数の方が大きい。そして、w/Lが0.27となると、第一次縦振動モードの共振周波数と、第二次屈曲振動モードの共振周波数とが実質的に一致する。w/Lが0.27を超えると、第二次屈曲振動モードの共振周波数が第一次縦振動モードの共振周波数よりも大きくなる。なお、共振周波数が実質的に一致するとは、両振動モードが合成(縮退)され、楕円振動が発生することをいい、一致するw/Lには、ある程度数値の幅が存在する。
【0023】
さらにw/Lを大きくしていくと、第一次縦振動モードの共振周波数が、第二次屈曲振動モードの共振周波数よりも大きくなる。すなわち、同一のw/Lの値に対する第一次縦振動モードの共振周波数の値から第二次屈曲振動モードの共振周波数の値を減算したときの減算値が、w/Lの増加に対して負の数から正の数に変わる。つまり、この点においても、第一次縦振動モードの共振周波数と、第二次屈曲振動モードの共振周波数とが実質的に一致する。そのときのw/Lの値を0.55以上0.65以下とする寸法で、圧電振動子1を構成することが好ましい。また、w/Lの値は、特に0.63であることが好ましい。
【0024】
w/Lが0.63のとき、圧電振動子1は、辺比w/Lが0.27付近である場合よりも、いわゆる肉厚となると共に、長手方向の長さが小さくなる。その結果、小型化を図ることができる。また、肉厚となることから、疲労や過入力による破損が生じ難くなり、耐久性を向上させることが可能となる。
【0025】
図6は、圧電振動子1の作製時におけるシート積層の構成の一例を示す図である。図中のシート番号は積層するシートの番号を、シート厚は各シートの厚さを、内層印刷の種類は内層印刷のパターンを示している。印刷パターンJ1、GND、S1、S2は、後述の電極パターンに対応している。図6に示す例では、圧電振動子の第3〜6シート、第11〜14シート、第25〜28シート、第33〜36シートが駆動層となるシートであり、第3シート、第11シート、第29シート、第37シートのシート上には駆動電極が印刷されている。駆動層とは、電圧が印加されることで変位を生じさせる圧電層である。
【0026】
また、第7シート、第15シート、第25シート、第33シートのシート上にはグランド電極が印刷されている。また、第15〜18シート、第21〜24シートはセンシング層となるシートであり、層上の同一面内にはセンシング電極および駆動電極が印刷されている。このようにシートを積層して形成された成形体を焼成することで圧電振動子1が得られる。センシング層とは、駆動を検出するための圧電層である。なお、上記の積層構造は一例であり、必ずしもこの順番である必要はないが、電極パターンの位置が中心対称となるように積層されていることが好ましい。
【0027】
図7は、圧電振動子1の斜視図である。圧電振動子1は、矩形積層型の圧電セラミックスから形成されており、各層の分極方向は、図7に示す座標軸のz軸方向の正負のいずれかに一致している。また、圧電振動子1が第一次縦振動モードで振動する際の伸縮方向は、x軸と平行であり、圧電振動子1のx軸方向の長さはLである。また、圧電振動子1が第二次屈曲振動モードで振動する際の剪断方向は、y軸と平行であり、圧電振動子1のy軸方向の長さはwである。
【0028】
圧電振動子1は、積層された圧電層の表面または層間に交互に設けられたグランド電極および駆動電極を有している。また、圧電振動子1は、駆動電極と同じ面内に設けられ、圧電振動子1の動作を信号として検出するセンシング電極を有している。つまりセンシング電極は、駆動層の一方の主面側で、駆動電極が内層された面内に内層されている。
【0029】
図8Aは、駆動層上の電極パターンJ1を示す平面図である。駆動電極4a、4bは、それぞれ概ね主面の4分の1の面積に等分されている。そして、それぞれ圧電振動子1の側面に露出する取り出し部分を有している。電極パターンにおいて対角の関係にある駆動電極4a、4bそれぞれには所定の交流電圧が印加され、駆動電極4bには駆動電極4aへの印加電圧とは位相がπ/2異なる電圧を印加する。
【0030】
図8Bは、グランド電極のパターンGNDを示す平面図である。グランド電極4cと駆動電極4a、4b、4d、4fとの間に電界が生じることで、その間の圧電層1bが変位する。また、グランド電極4cとセンシング電極4e、4gとの間の圧電層1bが変位することでセンシング電極4e、4gに電圧が発生し、圧電振動子1の駆動を検出することができる。
【0031】
図8C、図8Dは、それぞれセンシング層上の電極パターンS1、S2を示す平面図である。センシング層は、積層された圧電層のうち駆動検出に用いられるものである。センシング電極4e、4gは、主面全体を4分割したときの1つの矩形形状に形成され、4分の1電極面積を有している。また、駆動電極4d、4fは、主面全体を4分割したときの3つの矩形形状に形成され、4分の3電極面積を有している。これにより、センシング層により駆動層の駆動を妨げられることなく、超音波モータを駆動させながら駆動状態の検出を行うことができる。
【0032】
このように、駆動電極4d、4fは、センシング電極4e、4gと同一平面上に設けている。これにより、動作に寄与しない不活性層体積比率を少なくし、コンパクトに外部取り出し電極を構成できる。そして、矩形積層型の圧電振動子1をL1F2多重モードで振動させて31横効果振動を利用する超音波モータをコンパクトに構成できる。その結果、センシング層を駆動層とは別層にする場合より圧電活性層の比率が大きくなるため、超音波モータ10をセンシング層付きでかつ高性能なものとすることができる。
【0033】
駆動電極4a、4b、4d、4fは、外部電極により入力端子に接続されている。また、グランド電極4cは、外部電極により接地端子に接続されている。各センシング電極4e、4gも外部電極により、検出端子を介して後述の検出部6に接続されている。このように、スルーホールを用いず外部接続にすることにより動作活性層体積比率を大きくし、動作に寄与しない不活性層体積比率を少なくすることができる。
【0034】
駆動電極4d、4fには、駆動電極4bと同じ電圧が印加される。2つのセンシング電極4e、4gは、それぞれ圧電振動子1の厚み方向および長手方向に対称な位置に設けられている。このように対称な位置に設けられていることが好ましい。これにより、構造に対称性を持たせて動作の偏りを無くしている。なお、各駆動電極4a、4b、4d、4fについても、中心対称に設けられていることが好ましい。
【0035】
図9は、超音波モータ10の駆動層上の電極に対する配線を示す図である。図9では、圧電振動子1の駆動層上の電極面を模式的に切り出して示している。駆動層上には、矩形の圧電層1bの一方の主面を4分割するように、互いに対角に対向する一組の駆動電極4aと一組の駆動電極4bが設けられている。そして駆動層の他方の主面にはグランド電極4cが設けられ、接地されている。駆動電極4a、4bは、互いに絶縁された状態で個別に設けられた後、互いに対角に位置する各電極4a、4bがそれぞれ相互に電気的に接続されている。
【0036】
超音波モータ10の駆動回路は、2つの交流電圧源5a、5bによって構成される。交流電圧源5aは、駆動電極4aにV0sinωtの電圧を印加し、交流電圧源5bは、駆動電極4bにV0cosωtの電圧を印加する。このように、圧電振動子1の駆動電極4a、4bに対して位相がπ/2ずれた電圧V0sinωtおよびV0cosωtが印加されると、圧電振動子1には、図2および図3に示すように、長手方向に伸縮する第一次縦振動モードの振動と、剪断方向に屈曲する第二次屈曲振動モードの振動とが発生する。そして、第一次縦振動モードの共振周波数と、第二次屈曲振動モードの共振周波数とが等しいときに、両振動モードが合成(縮退)され、圧電振動子1のチップ(図9に図示せず)には楕円振動が発生する。
【0037】
なお、図9は、2相信号入力の構成を示しているが、対角に対向する一組の駆動電極4aに交流信号V0sinωtを印加し、他方の組の駆動電極4bを開放状態とすることで、一相で動作させることもできる。
【0038】
図10は、超音波モータ10のセンシング層上の電極に対する配線を示す図である。図10に示すように、駆動電極4dには、図9に示す駆動電極4aと同じ電圧が印加される。その結果、センシング層も駆動層と同様に変位し、効率の良い駆動が可能になる。一方、駆動によりセンシング電極4eに生じた電圧は、センシング電極4eに接続された検出部6により検出される。また、センシング電極4gに生じた電圧は、同様にしてセンシング電極4gに接続された検出部6により検出される。
【0039】
次に、超音波モータ10を2相で駆動させたときの動作を説明する。図11Aは、時間に対する入力電圧を示すグラフである。図11Aに示す電圧Vaは、交流電圧源5aにより駆動電極4aに印加される電圧であり、Va=V0sinωtと表せる。また、電圧Vbは、交流電圧源5bにより駆動電極4bに印加される電圧であり、Vb=V0cosωtと表せる。
【0040】
図11B、図11Cは、それぞれ時間に対するセンシング電圧を示すグラフである。図11Bに示す電圧VS1は、センシング電極4eに発生する検出電圧である。また、図11Bに示す電圧VS2は、センシング電極4gに発生する検出電圧である。図11B、図11Cに示す例では、検出電圧VS1は、駆動電圧Va、Vbを合成した波の位相を有するサイン波である。また、検出電圧VS2は、検出電圧VS1と位相をπ変えたサイン波である。これらは、超音波モータの駆動が正常であることを示している。たとえば、検出電圧VS1と検出電圧VS2の位相が上記の場合の逆であれば、誤動作していることが分かる。その場合には駆動電圧Va、Vbの各位相を逆にし、電圧の大きさを調整することで超音波モータ10の駆動を正常になるよう調整する。
【0041】
[第2の実施形態]
上記の実施形態では、各駆動電極4a、4bに位相の異なる電圧を印加するが、b同位相の電圧を印加してもよい。その場合には、あらかじめ各駆動電極4a、4bとグランド電極との間の圧電層をそれぞれ逆方向に分極処理しておく。このように、圧電層は、同一層内で2つの分極方向に分極されており、駆動電極には1相の駆動電圧が印加される。
【0042】
このように、1相駆動した場合に2つのセンシング電極を用いて動作方向電圧に一定の電圧波形を得ることで超音波モータ10の動作を感知できる。したがって位相差を感知しなくても一定の電圧波形のみ感知できればよく、センサ回路を簡略化できる。
【0043】
図12は、超音波モータ10の駆動層に対する配線を示す図である。センシング層に対する配線については上記の実施形態と同様である。図13A、図13Bは、時間に対する入力電圧を示すグラフである。図13Bに示す電圧VS1、VS2は、センシング電極4e、4gに発生する検出電圧である。図13Bに示す例では、検出電圧VS1は、駆動電圧Va、Vbを合成した波の位相を有するサイン波である。これは、超音波モータの駆動が正常であることを示している。たとえば、検出電圧VS1と検出電圧VS2の位相が上記の場合の逆であれば、誤動作していることが分かる。その場合には駆動電圧Va、Vbの位相を逆にし、電圧の大きさを調整することで超音波モータ10の駆動を正常になるよう調整する。
【符号の説明】
【0044】
1 圧電振動子
1a チップ
1b 圧電層
2 被駆動体
4a、4b、4d、4f 駆動電極
4c グランド電極
4e、4g センシング電極
5a、5b 交流電圧源
6 検出部
10 超音波モータ
Va、Vb 駆動電圧
VS1、VS2 検出電圧
【技術分野】
【0001】
本発明は、矩形積層型の圧電振動子を多重振動モードで振動させる超音波モータに関する。
【背景技術】
【0002】
従来、積層型圧電素子が用いられた超音波モータやアクチュエータにセンサ用の電極を設け、そこから取り出した信号により積層型圧電素子の動作を制御しようとする技術が知られている(特許文献1、2、3)。
【0003】
特許文献1記載のアクチュエータは、アクチュエータ部とセンサ部とが絶縁材料層を介して一体に積層されてなり、センサ部には圧電材料層として厚さ方向に分極処理が済んでいる圧電セラミックスが用いられている。そして、アクチュエータ部が厚さ方向に変位すると変位量に応じてセンサ部の電界が変位し、この電界の変位量が電圧信号としてサンプルホールドされて制御部にフィードバックされることで、アクチュエータ部に発生した応力変動を非線形的に検出し、センシング感度を向上させている。
【0004】
特許文献2記載の積層圧電素子は、圧電セラミックスの片面側に電極を形成した圧電素子板を厚み方向に複数枚積層した積層圧電素子において、圧電セラミック層の一部をセンサー相として用い、最上層の圧電素子板にセンサー相の信号取り出し用の電極を設けている。そして、1波長幅のセンサー電極を導通穴と非接触に設け、一方最上層の圧電素子板にはスルーホールなどによりセンサー電極と導通する電極が形成されており、このようなセンサー相により振動波駆動装置の駆動制御を高精度に行おうとしている。
【0005】
特許文献3記載の振動波モータは、積層圧電素子において第1層に表面電極層が配置され、第2層に圧電層が配置されている。第3層から第N層までの層においては、異なる圧電層が交互に配置されており、圧電層の表面には、4分割された内部電極が形成されている。圧電層の表面には、4分割された内部電極が形成されており、各圧電層において、センサ相である内部電極およびそれと同位相に配置されている内部電極とのみが圧電層の外部に露出するように形成されており、これにより小型の振動波モータの進行波ムラの低減を図っている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【特許文献1】特許3059038号公報
【特許文献2】特許3729781号公報
【特許文献3】特開2007−13039号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
上記のように、センサ用の電極を設けた圧電アクチュエータは存在するが、縦振動と屈曲振動による多重モードで駆動される超音波モータにおいては、電極によりセンシングを行う構成が開発されておらず、駆動の効率的な検出および制御が行われていない。
【0008】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、縦振動と屈曲振動による多重モードで駆動される超音波モータにおいてコンパクトな構成で駆動の効率的な検出および制御を可能にする超音波モータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0009】
(1)上記の目的を達成するため、本発明の超音波モータは、多重振動モードの振動に用いられる矩形の超音波モータであって、積層された圧電層と、前記積層された圧電層間に交互に内層された駆動電極およびグランド電極と、前記積層された圧電層のうち駆動検出に用いられるものの一方の主面側で、前記駆動電極が内層された面内に内層されたセンシング電極とを備え、第一次縦振動モードにおける伸縮方向の長さをLとし、第二次屈曲振動モードにおける剪断方向の長さをwとした場合、第一次縦振動モードの共振周波数と第二次屈曲振動モードの共振周波数とが実質的に一致するw/Lに基づいて形成されていることを特徴としている。
【0010】
このように、駆動電極とセンシング電極とを同一面内に設けることによって動作に寄与しない不活性層体積比率を少なくすることができる。そして、矩形積層型の圧電振動子をL1F2多重モードで振動させて31横効果振動を利用する超音波モータをコンパクトに構成できる。その結果、センシング層を駆動層と別層にする場合より圧電活性層の比率が大きくなるため効率のよい高性能の超音波モータを提供することが可能になる。
【0011】
(2)また、本発明の超音波モータは、前記センシング電極が、対称な位置に2つ設けられていることを特徴としている。これにより、構造に対称性を持たせて動作の偏りを無くしている。
【0012】
(3)また、本発明の超音波モータは、前記センシング電極が、4分の1電極面積を有し、前記センシング電極が内装された面内にある駆動電極は、4分の3電極面積を有することを特徴としている。これにより、センシング層により駆動層の駆動を妨げられることなく、超音波モータを駆動させながら駆動状態の検出を行うことができる。
【0013】
(4)また、本発明の超音波モータは、前記内層された駆動電極、グランド電極およびセンシング電極が、外部電極によりそれぞれ入力、接地および検出の端子に接続されていることを特徴としている。このように、スルーホールを用いず外部接続にすることにより動作活性層体積比率を大きくしたことで動作に寄与しない不活性層体積比率を少なくすることができる。
【0014】
(5)また、本発明の超音波モータは、前記圧電層が、同一層内で2つの分極方向に分極されており、前記内層された駆動電極には、1相の駆動電圧が印加されることを特徴としている。このように、1相駆動した場合にもセンシング電極を用いて動作方向電圧に一定の電圧波形を得ることで動作を感知できる。したがって位相差を感知しなくても一定の電圧波形のみ感知できればよくセンサ回路を簡略化できる。
【発明の効果】
【0015】
本発明によれば、縦振動と屈曲振動による多重モードで駆動される超音波モータにおいてコンパクトな構成で駆動の効率的な検出および制御を可能にする。
【図面の簡単な説明】
【0016】
【図1】本発明に係る超音波モータの正面図である。
【図2】本発明に係る超音波モータの第一次縦振動の様子を示す図である。
【図3】本発明に係る超音波モータの第二次屈曲振動の様子を示す図である。
【図4】本発明に係る超音波モータが被駆動体を図中、右方向に駆動する様子を段階的に示す図である。
【図5】矩形型の圧電振動子を複数種類の振動モードで振動させたときの周波数スペクトラムを示す図である。
【図6】圧電振動子の作製時におけるシート積層の構成の一例を示す図である。
【図7】本発明に係る圧電振動子の斜視図である。
【図8A】駆動層上の電極パターンを示す平面図である。
【図8B】グランド電極のパターンを示す平面図である。
【図8C】センシング層上の電極パターンを示す平面図である。
【図8D】センシング層上の電極パターンを示す平面図である。
【図9】第1の実施形態に係る超音波モータの駆動層上の電極に対する配線を示す図である。
【図10】第1の実施形態に係る超音波モータのセンシング層上の電極に対する配線を示す図である。
【図11A】第1の実施形態において時間に対する入力電圧を示すグラフである。
【図11B】第1の実施形態において時間に対するセンシング電圧を示すグラフである。
【図11C】第1の実施形態において時間に対するセンシング電圧を示すグラフである。
【図12】第2の実施形態に係る超音波モータの概略構成を示す図である。
【図13A】第2の実施において時間に対する入力電圧を示すグラフである。
【図13B】第2の実施において形態時間に対するセンシング電圧を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【0017】
次に、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。説明の理解を容易にするため、各図面において同一の構成要素に対しては同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
【0018】
[第1の実施形態]
図1は、超音波モータ10の正面図である。図1に示すように、超音波モータ10は圧電振動子1とチップ1aを備えており、矩形積層型の圧電振動子1を多重振動モードで振動させることで駆動可能となっている。
【0019】
図2は、超音波モータ10の第一次縦振動の様子を示す図である。第一次縦振動は、図2の矢印AおよびBに示すように、圧電振動子1の長手方向に伸縮を繰り返すことにより生ずる。また、図3は、超音波モータ10の第二次屈曲振動の様子を示す図である。第二次屈曲振動は、図3の矢印Cに示すように、圧電振動子1の厚さ方向に、相互に向きが異なる剪断力により屈曲を繰り返すことにより生ずる。これらの第一次縦振動と第二次屈曲振動とを合成(縮退)することにより、圧電振動子1に設けられたチップが楕円運動をし、駆動力が生ずる。
【0020】
図4は、圧電振動子1が被駆動体2を図中、右方向に駆動する様子を段階的に示す図である。図4において、圧電振動子1は、チップ1aを備えている。圧電振動子1の第一次縦振動と第二次屈曲振動とを合成することで、圧電振動子1が伸縮と屈曲を繰り返し、1サイクルで被駆動体を距離lだけ移動させている。圧電振動子1は、このような原理で駆動力を発生させる。
【0021】
図5は、矩形型の圧電振動子1を複数種類の振動モードで振動させたときの周波数スペクトラムを示す図である。なお、図5ではL=20mmで固定し、wのみを変化させている。図5により、w/Lを変数として、w/Lと圧電振動子の第一次縦振動モード(L1)の共振周波数とを関係と、w/Lと第二次屈曲振動モード(F2)の共振周波数との関係を見ることができる。
【0022】
w/Lが小さい場合は、第二次屈曲振動モードの共振周波数よりも第一次縦振動モードの共振周波数の方が大きい。そして、w/Lが0.27となると、第一次縦振動モードの共振周波数と、第二次屈曲振動モードの共振周波数とが実質的に一致する。w/Lが0.27を超えると、第二次屈曲振動モードの共振周波数が第一次縦振動モードの共振周波数よりも大きくなる。なお、共振周波数が実質的に一致するとは、両振動モードが合成(縮退)され、楕円振動が発生することをいい、一致するw/Lには、ある程度数値の幅が存在する。
【0023】
さらにw/Lを大きくしていくと、第一次縦振動モードの共振周波数が、第二次屈曲振動モードの共振周波数よりも大きくなる。すなわち、同一のw/Lの値に対する第一次縦振動モードの共振周波数の値から第二次屈曲振動モードの共振周波数の値を減算したときの減算値が、w/Lの増加に対して負の数から正の数に変わる。つまり、この点においても、第一次縦振動モードの共振周波数と、第二次屈曲振動モードの共振周波数とが実質的に一致する。そのときのw/Lの値を0.55以上0.65以下とする寸法で、圧電振動子1を構成することが好ましい。また、w/Lの値は、特に0.63であることが好ましい。
【0024】
w/Lが0.63のとき、圧電振動子1は、辺比w/Lが0.27付近である場合よりも、いわゆる肉厚となると共に、長手方向の長さが小さくなる。その結果、小型化を図ることができる。また、肉厚となることから、疲労や過入力による破損が生じ難くなり、耐久性を向上させることが可能となる。
【0025】
図6は、圧電振動子1の作製時におけるシート積層の構成の一例を示す図である。図中のシート番号は積層するシートの番号を、シート厚は各シートの厚さを、内層印刷の種類は内層印刷のパターンを示している。印刷パターンJ1、GND、S1、S2は、後述の電極パターンに対応している。図6に示す例では、圧電振動子の第3〜6シート、第11〜14シート、第25〜28シート、第33〜36シートが駆動層となるシートであり、第3シート、第11シート、第29シート、第37シートのシート上には駆動電極が印刷されている。駆動層とは、電圧が印加されることで変位を生じさせる圧電層である。
【0026】
また、第7シート、第15シート、第25シート、第33シートのシート上にはグランド電極が印刷されている。また、第15〜18シート、第21〜24シートはセンシング層となるシートであり、層上の同一面内にはセンシング電極および駆動電極が印刷されている。このようにシートを積層して形成された成形体を焼成することで圧電振動子1が得られる。センシング層とは、駆動を検出するための圧電層である。なお、上記の積層構造は一例であり、必ずしもこの順番である必要はないが、電極パターンの位置が中心対称となるように積層されていることが好ましい。
【0027】
図7は、圧電振動子1の斜視図である。圧電振動子1は、矩形積層型の圧電セラミックスから形成されており、各層の分極方向は、図7に示す座標軸のz軸方向の正負のいずれかに一致している。また、圧電振動子1が第一次縦振動モードで振動する際の伸縮方向は、x軸と平行であり、圧電振動子1のx軸方向の長さはLである。また、圧電振動子1が第二次屈曲振動モードで振動する際の剪断方向は、y軸と平行であり、圧電振動子1のy軸方向の長さはwである。
【0028】
圧電振動子1は、積層された圧電層の表面または層間に交互に設けられたグランド電極および駆動電極を有している。また、圧電振動子1は、駆動電極と同じ面内に設けられ、圧電振動子1の動作を信号として検出するセンシング電極を有している。つまりセンシング電極は、駆動層の一方の主面側で、駆動電極が内層された面内に内層されている。
【0029】
図8Aは、駆動層上の電極パターンJ1を示す平面図である。駆動電極4a、4bは、それぞれ概ね主面の4分の1の面積に等分されている。そして、それぞれ圧電振動子1の側面に露出する取り出し部分を有している。電極パターンにおいて対角の関係にある駆動電極4a、4bそれぞれには所定の交流電圧が印加され、駆動電極4bには駆動電極4aへの印加電圧とは位相がπ/2異なる電圧を印加する。
【0030】
図8Bは、グランド電極のパターンGNDを示す平面図である。グランド電極4cと駆動電極4a、4b、4d、4fとの間に電界が生じることで、その間の圧電層1bが変位する。また、グランド電極4cとセンシング電極4e、4gとの間の圧電層1bが変位することでセンシング電極4e、4gに電圧が発生し、圧電振動子1の駆動を検出することができる。
【0031】
図8C、図8Dは、それぞれセンシング層上の電極パターンS1、S2を示す平面図である。センシング層は、積層された圧電層のうち駆動検出に用いられるものである。センシング電極4e、4gは、主面全体を4分割したときの1つの矩形形状に形成され、4分の1電極面積を有している。また、駆動電極4d、4fは、主面全体を4分割したときの3つの矩形形状に形成され、4分の3電極面積を有している。これにより、センシング層により駆動層の駆動を妨げられることなく、超音波モータを駆動させながら駆動状態の検出を行うことができる。
【0032】
このように、駆動電極4d、4fは、センシング電極4e、4gと同一平面上に設けている。これにより、動作に寄与しない不活性層体積比率を少なくし、コンパクトに外部取り出し電極を構成できる。そして、矩形積層型の圧電振動子1をL1F2多重モードで振動させて31横効果振動を利用する超音波モータをコンパクトに構成できる。その結果、センシング層を駆動層とは別層にする場合より圧電活性層の比率が大きくなるため、超音波モータ10をセンシング層付きでかつ高性能なものとすることができる。
【0033】
駆動電極4a、4b、4d、4fは、外部電極により入力端子に接続されている。また、グランド電極4cは、外部電極により接地端子に接続されている。各センシング電極4e、4gも外部電極により、検出端子を介して後述の検出部6に接続されている。このように、スルーホールを用いず外部接続にすることにより動作活性層体積比率を大きくし、動作に寄与しない不活性層体積比率を少なくすることができる。
【0034】
駆動電極4d、4fには、駆動電極4bと同じ電圧が印加される。2つのセンシング電極4e、4gは、それぞれ圧電振動子1の厚み方向および長手方向に対称な位置に設けられている。このように対称な位置に設けられていることが好ましい。これにより、構造に対称性を持たせて動作の偏りを無くしている。なお、各駆動電極4a、4b、4d、4fについても、中心対称に設けられていることが好ましい。
【0035】
図9は、超音波モータ10の駆動層上の電極に対する配線を示す図である。図9では、圧電振動子1の駆動層上の電極面を模式的に切り出して示している。駆動層上には、矩形の圧電層1bの一方の主面を4分割するように、互いに対角に対向する一組の駆動電極4aと一組の駆動電極4bが設けられている。そして駆動層の他方の主面にはグランド電極4cが設けられ、接地されている。駆動電極4a、4bは、互いに絶縁された状態で個別に設けられた後、互いに対角に位置する各電極4a、4bがそれぞれ相互に電気的に接続されている。
【0036】
超音波モータ10の駆動回路は、2つの交流電圧源5a、5bによって構成される。交流電圧源5aは、駆動電極4aにV0sinωtの電圧を印加し、交流電圧源5bは、駆動電極4bにV0cosωtの電圧を印加する。このように、圧電振動子1の駆動電極4a、4bに対して位相がπ/2ずれた電圧V0sinωtおよびV0cosωtが印加されると、圧電振動子1には、図2および図3に示すように、長手方向に伸縮する第一次縦振動モードの振動と、剪断方向に屈曲する第二次屈曲振動モードの振動とが発生する。そして、第一次縦振動モードの共振周波数と、第二次屈曲振動モードの共振周波数とが等しいときに、両振動モードが合成(縮退)され、圧電振動子1のチップ(図9に図示せず)には楕円振動が発生する。
【0037】
なお、図9は、2相信号入力の構成を示しているが、対角に対向する一組の駆動電極4aに交流信号V0sinωtを印加し、他方の組の駆動電極4bを開放状態とすることで、一相で動作させることもできる。
【0038】
図10は、超音波モータ10のセンシング層上の電極に対する配線を示す図である。図10に示すように、駆動電極4dには、図9に示す駆動電極4aと同じ電圧が印加される。その結果、センシング層も駆動層と同様に変位し、効率の良い駆動が可能になる。一方、駆動によりセンシング電極4eに生じた電圧は、センシング電極4eに接続された検出部6により検出される。また、センシング電極4gに生じた電圧は、同様にしてセンシング電極4gに接続された検出部6により検出される。
【0039】
次に、超音波モータ10を2相で駆動させたときの動作を説明する。図11Aは、時間に対する入力電圧を示すグラフである。図11Aに示す電圧Vaは、交流電圧源5aにより駆動電極4aに印加される電圧であり、Va=V0sinωtと表せる。また、電圧Vbは、交流電圧源5bにより駆動電極4bに印加される電圧であり、Vb=V0cosωtと表せる。
【0040】
図11B、図11Cは、それぞれ時間に対するセンシング電圧を示すグラフである。図11Bに示す電圧VS1は、センシング電極4eに発生する検出電圧である。また、図11Bに示す電圧VS2は、センシング電極4gに発生する検出電圧である。図11B、図11Cに示す例では、検出電圧VS1は、駆動電圧Va、Vbを合成した波の位相を有するサイン波である。また、検出電圧VS2は、検出電圧VS1と位相をπ変えたサイン波である。これらは、超音波モータの駆動が正常であることを示している。たとえば、検出電圧VS1と検出電圧VS2の位相が上記の場合の逆であれば、誤動作していることが分かる。その場合には駆動電圧Va、Vbの各位相を逆にし、電圧の大きさを調整することで超音波モータ10の駆動を正常になるよう調整する。
【0041】
[第2の実施形態]
上記の実施形態では、各駆動電極4a、4bに位相の異なる電圧を印加するが、b同位相の電圧を印加してもよい。その場合には、あらかじめ各駆動電極4a、4bとグランド電極との間の圧電層をそれぞれ逆方向に分極処理しておく。このように、圧電層は、同一層内で2つの分極方向に分極されており、駆動電極には1相の駆動電圧が印加される。
【0042】
このように、1相駆動した場合に2つのセンシング電極を用いて動作方向電圧に一定の電圧波形を得ることで超音波モータ10の動作を感知できる。したがって位相差を感知しなくても一定の電圧波形のみ感知できればよく、センサ回路を簡略化できる。
【0043】
図12は、超音波モータ10の駆動層に対する配線を示す図である。センシング層に対する配線については上記の実施形態と同様である。図13A、図13Bは、時間に対する入力電圧を示すグラフである。図13Bに示す電圧VS1、VS2は、センシング電極4e、4gに発生する検出電圧である。図13Bに示す例では、検出電圧VS1は、駆動電圧Va、Vbを合成した波の位相を有するサイン波である。これは、超音波モータの駆動が正常であることを示している。たとえば、検出電圧VS1と検出電圧VS2の位相が上記の場合の逆であれば、誤動作していることが分かる。その場合には駆動電圧Va、Vbの位相を逆にし、電圧の大きさを調整することで超音波モータ10の駆動を正常になるよう調整する。
【符号の説明】
【0044】
1 圧電振動子
1a チップ
1b 圧電層
2 被駆動体
4a、4b、4d、4f 駆動電極
4c グランド電極
4e、4g センシング電極
5a、5b 交流電圧源
6 検出部
10 超音波モータ
Va、Vb 駆動電圧
VS1、VS2 検出電圧
【特許請求の範囲】
【請求項1】
多重振動モードの振動に用いられる矩形の超音波モータであって、
積層された圧電層と、
前記積層された圧電層間に交互に内層された駆動電極およびグランド電極と、
前記積層された圧電層のうち駆動検出に用いられるものの一方の主面側で、前記駆動電極が内層された面内に内層されたセンシング電極とを備え、
第一次縦振動モードにおける伸縮方向の長さをLとし、第二次屈曲振動モードにおける剪断方向の長さをwとした場合、第一次縦振動モードの共振周波数と第二次屈曲振動モードの共振周波数とが実質的に一致するw/Lに基づいて形成されていることを特徴とする超音波モータ。
【請求項2】
前記センシング電極は、対称な位置に2つ設けられていることを特徴とする請求項1記載の超音波モータ。
【請求項3】
前記センシング電極は、4分の1電極面積を有し、
前記センシング電極が内装された面内にある駆動電極は、4分の3電極面積を有することを特徴とする請求項1または請求項2記載の超音波モータ。
【請求項4】
前記内層された駆動電極、グランド電極およびセンシング電極は、外部電極によりそれぞれ入力、接地および検出の端子に接続されていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の超音波モータ。
【請求項5】
前記圧電層は、同一層内で2つの分極方向に分極されており、
前記内層された駆動電極には、1相の駆動電圧が印加されることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の超音波モータ。
【請求項1】
多重振動モードの振動に用いられる矩形の超音波モータであって、
積層された圧電層と、
前記積層された圧電層間に交互に内層された駆動電極およびグランド電極と、
前記積層された圧電層のうち駆動検出に用いられるものの一方の主面側で、前記駆動電極が内層された面内に内層されたセンシング電極とを備え、
第一次縦振動モードにおける伸縮方向の長さをLとし、第二次屈曲振動モードにおける剪断方向の長さをwとした場合、第一次縦振動モードの共振周波数と第二次屈曲振動モードの共振周波数とが実質的に一致するw/Lに基づいて形成されていることを特徴とする超音波モータ。
【請求項2】
前記センシング電極は、対称な位置に2つ設けられていることを特徴とする請求項1記載の超音波モータ。
【請求項3】
前記センシング電極は、4分の1電極面積を有し、
前記センシング電極が内装された面内にある駆動電極は、4分の3電極面積を有することを特徴とする請求項1または請求項2記載の超音波モータ。
【請求項4】
前記内層された駆動電極、グランド電極およびセンシング電極は、外部電極によりそれぞれ入力、接地および検出の端子に接続されていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の超音波モータ。
【請求項5】
前記圧電層は、同一層内で2つの分極方向に分極されており、
前記内層された駆動電極には、1相の駆動電圧が印加されることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の超音波モータ。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8A】
【図8B】
【図8C】
【図8D】
【図9】
【図10】
【図11A】
【図11B】
【図11C】
【図12】
【図13A】
【図13B】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8A】
【図8B】
【図8C】
【図8D】
【図9】
【図10】
【図11A】
【図11B】
【図11C】
【図12】
【図13A】
【図13B】
【公開番号】特開2011−72129(P2011−72129A)
【公開日】平成23年4月7日(2011.4.7)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2009−221357(P2009−221357)
【出願日】平成21年9月25日(2009.9.25)
【出願人】(000000240)太平洋セメント株式会社 (1,449)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成23年4月7日(2011.4.7)
【国際特許分類】
【出願日】平成21年9月25日(2009.9.25)
【出願人】(000000240)太平洋セメント株式会社 (1,449)
【Fターム(参考)】
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