【課題】不要な振動モードが生じることを抑制できるＭＥＭＳ振動子を提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳ振動子１００は、基板１０と、基板１０の上方に配置された第１電極２０と、第１電極２０との間に空隙を有した状態で配置され、第１電極２０との間の静電力によって基板１０の厚み方向に振動可能となる梁部３２、および梁部３２を支持する支持部３４を有する第２電極と、を含み、第２電極３０は、梁部３２を複数有する。 （もっと読む）

【課題】結線する必要のない、組み立て性の容易な小型の負荷制御機構を提供する。
【解決手段】負荷制御機構の圧電体は、第１の側面電極と第２の側面電極と互いに非導通状態となるように印刷され、表面には第１の側面電極と導通する第１の表面電極４０３ａと第２の側面電極と導通する第２の表面電極４０３ｂとが互いに非導通状態となるように印刷された電極板４０３と、第３の側面電極４０１ｂと第４の側面電極４０１ａとが印刷され、表面には第３の側面電極４０１ｂと導通する第３の表面電極４０１ｃが印刷された第１の板状圧電体４０１と、第５の側面電極４０２ｂと第６の側面電極４０２ａとが印刷され、表面には第６の側面電極４０２ａと導通する第４の表面電極４０２ｃが印刷された第２の板状圧電体４０２と、を有する。各部材の表面電極が互いに接触せず、かつ、側面電極の奇数番号同士及び偶数番号同士が電気的に接続される。 （もっと読む）

【課題】 検知相電極とフェーズコンパレータの間の降圧回路を必要とすることなく、駆動用の入力電圧に対する検知用の出力電圧を小さくすることができる圧電素子、それを用いた振動波モーターを提供する。
【解決手段】 圧電材料と、前記圧電材料を挟んで前記圧電材料の第一の面に設けられた共通電極と、前記圧電材料の第二の面に設けられた駆動相電極および検知相電極を有する圧電素子であって、前記駆動相電極と共通電極に挟まれた部分の前記圧電材料（１）の圧電定数の絶対値ｄ（１）と、前記検知相電極と共通電極に挟まれた部分の前記圧電材料（２）の圧電定数の絶対値ｄ（２）の関係が、ｄ（２）＜ｄ（１）を満たす圧電素子。上記の圧電素子を用いた振動波モーター。 （もっと読む）

【課題】振動子の振動を安定化させ、電極の擦れによる変形を抑制して導通劣化を回避することができ、高出力化を図ることが可能になる振動型駆動装置を提供する。
【解決手段】圧電素子への交番電圧の印加により振動子の移動体との接触部に生じる運動によって移動体を摩擦駆動する振動型駆動装置であって、
振動子が、第１の弾性体と第２の弾性体とにより構成されると共に、
圧電素子に備えられた第１の電極と、給電基板に備えられた第２の電極とが対向配置され、圧電素子と給電基板とが第１と第２の弾性体とによって挟持された構成を備え、
圧電素子と給電基板との間に、緩衝層が設けられている構成を有する。 （もっと読む）

【課題】構成の簡略化、及び出力トルクの高トルク化を実現した超音波モータを提供すること。
【解決手段】中心軸に垂直な断面が矩形状を呈し、該矩形状を構成する短辺と長辺との比率が所定の値に設定され、前記中心軸方向に伸縮する縦振動と、前記中心軸を捻れ軸とする捻れ振動と、が同時に励起されることで楕円振動が励起される振動子40を具備する超音波モータを、次のように構成する。すなわち、振動子40の長手方向における一方端面に設けられた摩擦接触子41-1と、振動子40の長手方向における他方端面に設けられた摩擦接触子41-2と、前記摩擦接触子41-1に対して押圧された状態で保持された第１ロータ機構部10-1と、前記摩擦接触子41-2に対して押圧された状態で保持された第２ロータ機構部10-2と、第１ロータ機構部10-1及び第２ロータ機構部10-2の運動によって駆動される出力軸60と、を具備させる。 （もっと読む）

【課題】安定した状態で確実に起動し安定駆動状態を維持することができる圧電アクチュエーターを実現する。
【解決手段】圧電アクチュエーター１００は、圧電素子１１を含む振動体１と、振動体１に設けられローター２に当接する摺動部１５と、圧電素子１１に駆動信号を供給する駆動回路２６と、駆動信号と振動体１の振動に基づいて検出される検出信号との位相差を検出する位相差検出回路２７と、駆動信号の周波数及び電力を制御する周波数制御器２０とを備え、周波数制御器２０は、周波数を変化させて、位相差が所定の範囲内となった場合に電圧を上限電圧値に設定し、位相差が所定の範囲外にある場合には電圧を上限電圧値よりも小さい下限電圧値に設定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ローターの回転速度の変動を抑えて安定した回転を得ることができる圧電アクチュエーターを実現する。
【解決手段】圧電アクチュエーター１００は、圧電素子１１を含む振動体１と、円盤形状を有するローター２と、振動体１の一端から突出しローター２に当接する摺動部１５と、圧電素子１１に駆動信号を供給する駆動制御部５とを備え、駆動制御部５は、予め取得した駆動開始からの時間経過に伴うローター２の回転速度の目標値に対する差異の変化に基づいて、駆動信号の周波数を変化させて回転速度を制御する。 （もっと読む）

【課題】接触部の振動軌跡の形状や向きを任意に変更できる圧電アクチュエータを提供すること。
【解決手段】圧電アクチュエータ１は、縦振動および屈曲振動の二つの振動モードの組み合わせにより振動する圧電素子で構成された振動体１０を有し、この振動体１０には、縦振動を励振させる第１駆動信号印加用の第１駆動電極１１と、屈曲振動を励振させる第２、第３駆動信号印可用の第２、第３駆動電極１２，１３とが設けられ、第２駆動信号の位相を任意に調整する位相調整手段３３を備えている。 （もっと読む）

【課題】高湿度の環境にさらされても摩擦力の低下を抑制できる摩擦部材及び振動型駆動装置を提供する。
【解決手段】超音波モータの振動子とロータとの接触部に用いる摩擦部材は、摩擦面に凹凸を有し、摩擦面は、クロム窒化物相を含む。 （もっと読む）

【課題】振動波モータに用いる圧電素子の非電極部をより好ましい機械的な性質にすることができ、さらに安価な製造コストで提供することが可能となる圧電素子、圧電素子を有する圧電アクチュエータを提供する。
【解決手段】
圧電層と電極層とが重ねられて構成された電極部と、前記電極部に接して電極層を含まない圧電層から構成された非電極部と、を含む圧電素子であって、前記非電極部は、前記電極部の圧電層よりも密度が小さい領域を含む構成を有する。 （もっと読む）

【課題】高さ方向の長さが大きくならず、駆動回路の数を少なくすることが可能な圧電アクチュエータを提供する。
【解決手段】圧電アクチュエータ１０は、底面が基部２０に固定され、基部２０から立設した柱状の圧電体３１と、圧電体３１に駆動電圧を印加するための駆動電源部と、を備える。圧電体３１に電界を付与する一対の電極３２、３３を二組備える。二組の電極は、圧電体３１の中心軸ＣＬと平行な平面である仮想平面ＶＰＬ１にて圧電体３１を二分割することにより形成される一つの領域（仮想平面ＶＰＬ１よりもＸ軸負側の領域）と他の一つの領域（仮想平面ＶＰＬ１よりもＸ軸正側）とのそれぞれの領域に一組ずつ存在するように形成される。駆動電源部は、圧電体３１の「２次屈曲共振周波数と１次伸縮共振周波数との間の周波数」を有する駆動電圧Ｖinを、二組の「一対の電極」のうちの何れか一方の組の一対の電極に選択的に印加するように構成される。 （もっと読む）

【課題】多自由度の駆動が可能な超音波モータに利用される圧電素子であって、振動状態を検出可能で且つ簡易な構成の圧電素子及び該圧電素子を具備する超音波モータを提供すること。
【解決手段】所定の駆動信号を印加されることで励起される複数の振動モードによって被駆動体を駆動する超音波振動子に用いられる圧電素子10を次のように構成する。すなわち、前記複数の振動モードにおける振動のうち、前記被駆動体を複数軸方向に駆動する際の推進方向の振動成分を検出する振動検出電極を構成する内部電極3d-1,3d-2,4d-1,4d-2,3d-1’,3d-2’,4d-1’,4d-2’を含む振動検出電極層3,4を具備し、振動検出電極層3,4は、同一周波数で互いに直交する方向の屈曲振動モードにおける腹部近傍に設けられている。 （もっと読む）

【課題】移動体が正常に動作可能な移動ストロークを広げる。
【解決手段】駆動装置１は、振動することによって駆動力を出力するアクチュエータ本体４と、アクチュエータ本体４が当接しており、アクチュエータ本体４に対して所定の移動方向に相対的に移動可能な移動体１１と、移動体１１を挟んでアクチュエータ本体４と対向する位置に配置され、４アクチュエータ本体と共に移動体１１を挟持するローラ６とを備えている。移動体１１のうち、ローラ６と当接する部分は、ローラ６よりも弾性係数が小さい。 （もっと読む）

【課題】本発明は、その組立性を改善し、低コスト化を図ることができる圧電アクチュエータおよびこれを用いた撮像装置を提供する。
【解決手段】本発明の圧電アクチュエータＤ１は、所定の立体形状の圧電部材１と、圧電部材１を４個の領域ＡＡ〜ＡＤに分け、各領域ＡＡ〜ＡＤのそれぞれに各電圧を印加する４組で一対の電極２Ａ１；２Ａ２、２Ｂ１；２Ｂ２、２Ｃ１；２Ｃ２、２Ｄ１；２Ｄ２とを備え、４個の領域ＡＡ〜ＡＤにおける所定の境界部を駆動力の出力領域ＯＤｘ、ＯＤｙとするものである。 （もっと読む）

【課題】スムーズインパクト駆動機構で小型省スペースな２軸駆動装置を提供する。
【解決手段】本発明の２軸駆動装置は、電圧の印加によって伸縮する圧電素子１ａ，１ｂと、圧電素子の伸縮によって変位する駆動軸２ａ，２ｂと、駆動軸に対して摩擦係合されて当該駆動軸の軸方向に移動する移動体４ａ，４ｂとを備え、各組の駆動軸の軸方向が互いに異なるとともに、各組の圧電素子同士が共通の電極３を介して互いに接合されて一体化されてなる。圧電素子はそれぞれ、その伸縮方向（Ｘ，Ｙ）に対して斜めに形成された表面が前記電極に接合される。圧電素子は、直方体の４頂点と内部とを通る平面で前記電極を介して互いに接合された態様で直方体状に一体化される。 （もっと読む）

【課題】特性の安定した長寿命の超音波モータ実現のためには、駆動源となる圧電体の設計と取り付け方法が重要となる。圧電体特性を最大限に発揮するためには均一なひずみ特性を持たせる必要がある。一方超音波モータの応用を拡大するためにはコストの低減が必要でありコストの中に圧電体作製のためのコストの割合が大きい。圧電体の低コスト化が超音波モータの展開には不可欠である。
【解決手段】 圧電体の分極では電極構造を圧電体上に設けた電極で行う代わりに、分極専用のジグで圧電体に電界を印加して分極を行う。外部のジグで電極構造が決まるため機械精度が高くなるため異常放電などの要因が除去できる。
モータ動作においても一方の電極を取り除くことが可能となった。
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【課題】圧電アクチュエータとこれを有するレンズ移送装置を提供する。
【解決手段】本発明は一つ以上のレンズが配置されるレンズ孔を備え、外部面に被摩擦部材を有するレンズバレルと、上記レンズバレルを光軸方向に上下移動可能に案内する案内部を備えるベースと、上記被摩擦部材と接する少なくとも一つの摩擦部材を一側面に備える圧電体を上記ベースの一側の平面部に配置して電源印加時に駆動力を提供する圧電アクチュエータと、上記被摩擦部材と摩擦部材との接触状態を維持するよう上記圧電アクチュエータを上記レンズバレル側に弾力支持する弾性力を提供する予圧部材と、を含む。
本発明によると、構造を単純化して超小型化を図り、低い入力電力でも大きい変位が得られるため移送の分解能に優れ、駆動にかかる動力の損失を最少化し、レンズの移送を案内する案内メカニズムの構造が単純で、レンズの移送を正確かつ安定に行うことが出来る。 （もっと読む）

【課題】圧電素子で励振される二つの定在波の大きさのばらつきを抑え、性能が安定した超音波モータを提供する。
【解決手段】一方の面に設けられ周方向に等分された複数の分割電極と、分割電極の内周側に設けられた内周電極と、分割電極の外周側に設けられた外周電極と、分割電極のうち一つおきの分割電極を内周電極と圧電素子の径方向で短絡する様にこの分割電極と内周電極の上に設けられた複数の内周短絡電極と、分割電極のうち内周電極と短絡されていない分割電極を外周電極と圧電素子の径方向で短絡する様にこの分割電極と外周電極の上に設けられた複数の外周短絡電極と、を有する圧電素子を備えた超音波モータとする。 （もっと読む）