迅速分解式大気圧プラズマ発生装置及びその組立方法
【課題】大気圧プラズマ発生装置の組立及び分解を、容易とする。
【解決手段】固定台座１１０と、高圧電源部品１２０と、プラズマ発生本体１３０とを備える迅速分解式大気圧プラズマ発生装置１００において、固定台座は、対向する第１の端部１１２及び第２の端部１１４を備え、高圧電源部品は、固定台座に設置されると共に、高圧外スリーブ１２２及び第１の継手１２４を備える。なお、第１の継手は第１の端部に位置する。プラズマ発生本体は、内スリーブ１３２及び第２の継手１３４を含み、これらいずれもプラズマ発生本体の外表面に突設されていると共に、第２の継手が内スリーブに設置されている。プラズマ発生本体が固定台座の第１の端部に取り付けられると、高圧外スリーブが内スリーブを覆って、第２の継手が第１の継手と接続する。
【解決手段】固定台座１１０と、高圧電源部品１２０と、プラズマ発生本体１３０とを備える迅速分解式大気圧プラズマ発生装置１００において、固定台座は、対向する第１の端部１１２及び第２の端部１１４を備え、高圧電源部品は、固定台座に設置されると共に、高圧外スリーブ１２２及び第１の継手１２４を備える。なお、第１の継手は第１の端部に位置する。プラズマ発生本体は、内スリーブ１３２及び第２の継手１３４を含み、これらいずれもプラズマ発生本体の外表面に突設されていると共に、第２の継手が内スリーブに設置されている。プラズマ発生本体が固定台座の第１の端部に取り付けられると、高圧外スリーブが内スリーブを覆って、第２の継手が第１の継手と接続する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大気圧プラズマ発生装置に関し、特に迅速分解式大気圧プラズマ発生装置及びその組立方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、大気圧プラズマは１気圧下又は１気圧近傍下で発生されるプラズマであるため、従来の真空プラズマ技術に比べて、大気圧プラズマシステムはコストにおいて絶対的な優位性がある。さらに、設備コストについては、非常に高額で大きく重い真空設備を用いる必要がない。その上、製造過程においては、加工部材は真空チャンバの制限を受けず、且つ連続的な工程を行うことができる。これらの技術的特徴は、いずれも効果的に製品の製造コストを下げることができる。必要に応じてシステムを小型で携帯可能な設備に構築しており、この特徴はその応用の側面をこのために拡大させるであろう。
【０００３】
大気圧プラズマの発生は、主に、常圧雰囲気下で２つの電極間に電場をかけて、電場間の気体が電子雪崩によって電離する際に、プラズマを発生させることができる。プラズマの形式の違いによっては、複数のプラズマ源の設計及び種類がある。例えば、コロナ放電(Corona discharge)、誘電体バリア放電(Dielectric barrier discharge)、プラズマジェット(Plasma jet)及びプラズマトーチ(Plasma torch)等であり、このうち、プラズマジェットはエネルギーの集中、高速処理等の優れた点があるため、製造過程においてさらに広く応用されている。
【０００４】
特許文献１及び特許文献２は、いずれも大気圧プラズマシステムに関する応用技術を模索している。例示して説明すると、例えば大面積処理用プラズマ技術である。しかし、大面積化の必要性の下に、大気圧プラズマを用いて加工部材の表面処理をしようとすると、高速化の必要性も満たす必要があり、通常は複数のプラズマ発生器によって必要性を満たす必要がある。確かに、生産コストを下げるために、現在のところ商業化の手段によく見られるのは、大面積化に向けた方法を目標とすることである。例えば、ＦＰＤパネル工場の生産ラインは既に第８．５世代ライン（２２００ｍｍ×２５００ｍｍ）の計画が進行中であり、他の合成樹脂商品の多くも連続的に大面積で生産することを計画の方向性としている。大気圧プラズマの表面処理又はクリーニング技術の応用は次第に多方面にわたっており、複数のプラズマヘッドのアレイは効果的な解決方法である。
【０００５】
商業化・生産ラインの実際の応用において、万が一そのうちの１つ又は複数のプラズマ発生器が故障した場合、修理することが必ず必要となるプロセスである。現在、設備の修復を行うには２つの方法がある。１つはプラズマ発生器を分解して損壊したアッセンブリを交換して取り付けることであり、もう１つの方法はプラズマ発生器（電源コード及びプラズマヘッドを含む）全体を一新することである。プラズマ発生器の修理は、専門の機械技術者が順調であっても数時間の作業時間を要して、検視及び補修をする。システム全体を分解して交換するのも同様に時間を要する。このため、いかにして最短時間で設備を回復させることができるかが、生産効率及び生産コストに実に関係する。商業化の実際の応用に適応し、且つ補修時間・工程で派生するコストを下げるために、迅速で効果的に故障設備を取り除いて一新することが共通の目標である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】米国特許第５０３２２０２号
【特許文献２】米国特許第５５４９７８０号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、内スリーブ、外スリーブ及び継手の設計によって、大気圧プラズマ発生装置の組立て及び分解をさらに容易にさせる、迅速分解式大気圧プラズマ発生装置及びその組立方法に関する。このように、迅速に故障設備を取り除いて修復するようにさせることは、製造業者の製造過程における応用の必要性に非常に適合する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、固定台座と、高圧電源部品と、プラズマ発生本体とを備える、迅速分解式大気圧プラズマ発生装置を提供する。固定台座は、対向する第１の端部及び第２の端部を備える。高圧電源部品は、固定台座に設置されると共に、高圧外スリーブ及び第１の継手を備え、なお、第１の継手が高圧外スリーブに設置されると共に、第１の継手が第１の端部に位置する。プラズマ発生本体は、内スリーブ及び第２の継手を備え、なお、内スリーブ及び第２の継手がいずれもプラズマ発生本体の外表面に突設されていると共に、第２の継手が内スリーブに設置されている。プラズマ発生本体が固定台座の第１の端部に取り付けられると、高圧外スリーブが内スリーブを覆って、第２の継手が第１の継手と接続し、それによって、プラズマ発生本体を高圧電源部品と電気的に接続させる。
【０００９】
本発明は、大気圧プラズマ発生装置の組立方法を提供する。この方法は、高圧電源部品の第１の継手を高圧電源部品の高圧外スリーブに挿設させること、続いて、高圧電源部品を固定台座に設置すること、その後、プラズマ発生本体の内スリーブ及び第２の継手がプラズマ発生本体の外表面に突設されていると共に第２の継手が内スリーブに設置されているプラズマ発生本体を提供すること、続いて、プラズマ発生本体を固定台座に取り付け、且つ、内スリーブを高圧外スリーブに嵌め込むと共に、第２の継手と第１の継手とを接続させ、それによって、プラズマ発生本体を高圧電源部品と電気的に接続させること、を含む。
【００１０】
本発明の上記内容をさらに明確にわかりやすくするために、以下に好ましい実施形態を特に示し、図面と合わせて、詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の好ましい実施形態に照らした迅速分解式大気圧プラズマ発生装置の分解図である。
【図２】本発明の好ましい実施形態に照らした大気圧プラズマ発生装置の組立方法のフローチャートである。
【図３Ａ】図２の組立てフローチャートの素子の組立てを示す図である。
【図３Ｂ】図２の組立てフローチャートの素子の組立てを示す図である。
【図３Ｃ】図２の組立てフローチャートの素子の組立てを示す図である。
【図３Ｄ】図２の組立てフローチャートの素子の組立てを示す図である。
【図４】図３Ｄの高圧電源部品を取り出した後を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１を参照されたい。これは、本発明の好ましい実施形態に照らした迅速分解式大気圧プラズマ発生装置の分解図である。迅速分解式大気圧プラズマ発生装置１００は、固定台座１１０と、高圧電源部品１２０と、プラズマ発生本体１３０とを備える。固定台座１１０は、対向する第１の端部１１２及び第２の端部１１４を備えており、固定台座１１０内には第１の端部１１２から第２の端部１１４に延在する内部空間１１０Ａがさらに備えられている。高圧電源部品１２０は、固定台座１１０に設置するのに用い、高圧外スリーブ１２２及び第１の継手１２４を備え、なお、第１の継手１２４は、高圧外スリーブ１２２に設置するのに用い、第１の端部１１２に位置することになる。第１の継手１２４は、例えば雌継手であって、例えばその一端が挿入孔１２４Ａを備えており、他の素子と接続するのに用いる。
【００１３】
また、高圧電源部品１２０は、高圧電源コード１２６をさらに備え、外部の電源供給端子（図示せず）に接続するのに用いる。高圧電源コード１２６は、好ましくは、第２の端部１１４から固定台座１１０内に挿設され、第１の継手１２４の他端を接続する。高圧電源コード１２６と第１の継手１２４との間は、例えば結合部材１２８（例えばねじ、リベット）により結合する。
【００１４】
好ましくは、高圧外スリーブ１２２は、第１の区間のスリーブ１２２Ａ及び第２の区間のスリーブ１２２Ｂを備える。なお、第１の区間のスリーブ１２２Ａは高圧電源コード１２６を覆うのに用い、第１の継手１２４は第２の区間のスリーブ１２２Ｂに設置される。第１の区間のスリーブ１２２Ａ及び第２の区間のスリーブ１２２Ｂの内径の大きさは、高圧電源コード１２６及び第１の継手１２４の外径の大きさに基づいて決定される。例えば、図１に示されるように、高圧電源コード１２６及び第１の継手１２４の外径の大きさは、略同じである。好ましくは、第２の区間のスリーブ１２２Ｂの内径は、第１の区間のスリーブ１２２Ａの内径より大きくて、第１の継手１２４が高圧外スリーブ１２２に取り付けられると、第１の継手１２４と第２の区間のスリーブ１２２Ｂとの間には第１の隙間１２９（図３Ｂ参照）が生ずるようにする。また、高圧外スリーブ１２２は、高圧電源コード１２６と第１の継手１２４とに対応する接続箇所において、例えば第３の区間のスリーブ１２２Ｃを有しており、第３の区間のスリーブ１２２Ｃの内径の大きさも第１の継手１２４の接続箇所の大きさに基づいて設計され得る。
【００１５】
プラズマ発生本体１３０の一端は、内スリーブ１３２及び第２の継手１３４を備える。なお、内スリーブ１３２及び第２の継手１３４がいずれもプラズマ発生本体１３０の外表面１３０Ａに突設されると共に、第２の継手１３４が内スリーブ１３２に設置されて、内スリーブ１３２との間に第２の隙間１３６がある。この第２の隙間１３６の大きさは、好ましくは、略、第１の継手１２４の挿入孔１２４Ａの周囲の側壁の厚さである。第２の継手１３４は、第１の継手１２４と接続するのに用い、例えばそれがプラズマ発生本体１３０の電極継手である。電極継手は、気体を電離させてプラズマ気体を発生させるのに用いる。プラズマ発生本体１３０は、さらにプラズマ放出口１３８を含み、例えばこのプラズマ放出口１３８はプラズマ発生本体１３０の他端に位置して、処理（加工、クリーニング等）しようとする加工部材の表面にプラズマ気体を送るのに用いる。
【００１６】
プラズマ発生本体１３０が固定台座１１０の第１の端部１１２に取り付けられた場合、高圧外スリーブ１２２が内スリーブ１３２を覆って、第２の継手１３４が第１の継手１２４と接続し、それによって、プラズマ発生本体１３０を高圧電源部品１３０と電気的に接続させる。
【００１７】
好ましくは、例えば第２の継手１３４が雄継手であって、それは膨張部１３４Ａを備えており、膨張部１３４Ａの外径が第１の継手１２４の挿入孔１２４Ａの口径より大きく、第１の継手１２４と第２の継手１３４との間を密接させ得る。第１の継手１２４及び第２の継手１３４の材質は、金属であってもよく、例えば、よく見られる銅、又はステンレス若しくはタングステンのような耐高温金属若しくは合金である。また、上記の高圧外スリーブ１２２及び内スリーブ１３２の材質は、高圧外スリーブ１２２が高圧電源コード１２６、第１の継手１２４及び第２の継手１３４を固定台座１１０から遮断して、さらには素子間の電気的接触により生ずる不要な電気的干渉を避け得るように、絶縁性材料である。組立てにさらに弾性を備えさせるために、高圧外スリーブ１２２及び内スリーブ１３２の材質は、軟性材料であってもよい。高圧外スリーブ１２２及び内スリーブ１３２の設置は、素子の組立ての位置合わせに有益であり、この組立ては後にさらなる説明をする。以下の図面で本実施形態の迅速分解式大気圧プラズマ発生装置の組立方法を詳細に説明する。
【００１８】
図２を参照されたい。これは、本発明の好ましい実施形態に照らした大気圧プラズマ発生装置の組立方法のフローチャートである。この組立方法は、ステップＳ２１〜ステップＳ２４を含む。また、図３Ａ〜図３Ｄを参照されたい。これは、図２の組立てフローチャートに対応する素子の組立てを示す図である。
【００１９】
まず、ステップＳ２１に示されるように、高圧電源部品１２０の第１の継手１２４を高圧電源部品１２０の高圧外スリーブ１２２に挿設させる。なお、図３Ａに示されるように、第２の区間のスリーブ１２２Ｂの開口は比較的大きく、高圧電源コード１２６が第２の区間のスリーブ１２２Ｂの開口から高圧外スリーブ１２２に挿入され得る。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。高圧外スリーブ１２２の材質が比較的柔らかいため、組み立てる際に、直接に第１の継手１２４を第１の区間のスリーブ１２２Ａの開口から高圧外スリーブ１２２に挿入させ得る。
【００２０】
図３Ｂに示されるように、高圧電源部品１２０の素子の組立てが完了すると、高圧外スリーブ１２２の第１の区間のスリーブ１２２Ａが高圧電源コード１２６を覆う。第２の区間のスリーブ１２２Ｂは、第１の継手１２４と第２の区間のスリーブ１２２Ｂとの間に第１の隙間１２９を生じさせるように第１の継手１２４の外部を取り囲む。なお、第１の隙間１２９と第１の継手１２４の挿入孔１２４Ａとは、同じ側に位置する。また、第１の継手１２４と高圧電源コード１２６との接続箇所は、第３の区間のスリーブ１２２Ｃに内部とされる。
【００２１】
続いて、ステップＳ２２に示されるように、高圧電源部品１２０を固定台座１１０に設置する。図１に示されるように、高圧電源部品１２０は、例えば、固定台座１１０の第２の端部１１４から固定台座１１０に設けられると共に、内部空間１１０Ａに固定される。このステップの完了は図３Ｃに示される通りである。
【００２２】
その後、ステップＳ２３に示されるように、プラズマ発生本体１３０を提供し、なお、プラズマ発生本体１３０の内スリーブ１３２及び第２の継手１３４は、プラズマ発生本体１３０の外表面１３０Ａに突設されていると共に、第２の継手１３４が内スリーブ１３２に設置されている。なお、第２の継手１３４と内スリーブ１３２との間には、第２の隙間１３６がある。
【００２３】
続いて、ステップＳ２４に示されるように、プラズマ発生本体１３０を固定台座１１０に取り付け、且つ、内スリーブ１３２を高圧外スリーブ１２２に嵌め込むと共に、第２の継手１３４を第１の継手１２４と接続させ、それによって、プラズマ発生本体１３０を高圧電源部品１２０と電気的に接続させる。
【００２４】
このステップにおいて、組み立てる場合、図３Ｃに示されるように、先に、内スリーブ１３２を第１の隙間１２９に整合させて、第２の継手１３４を第１の継手１２４の挿入孔１２４Ａに整合させる。その後、内スリーブ１３２を第１の隙間１２９に、第２の継手１３４を挿入孔１２４Ａとに嵌め込む。このようにして、図３Ｄに示されるように、プラズマ発生本体１３０の組立てを容易に完了し得る。第２の継手１３４が備える膨張部１３４Ａは第２の継手１３４の外径を大きくしているため、継手の間が緊密に組み合うように結合して、第１の継手１２４と第２の継手１３４との間の結合をさらに堅固にさせる。
【００２５】
大気圧プラズマを応用して表面処理又はクリーニングを行う製造過程において、大面積化の必要性の下に、大気圧プラズマを用いて加工部材の表面処理を行うときは、通常、複数の大気圧プラズマ発生装置を取り付けて高速処理の必要性を満たす。なお、複数のプラズマヘッドのアレイから成るプラズマシステムは、より効果的な解決方法である。このため、本実施形態のプラズマ発生本体１３０はさらに、他の結合部材１３９を用いて固定台座１１０と共に他のベース（図示せず）にロックして、他のプラズマ発生本体と共に組み立てるようにし、さらには複数のプラズマヘッドのアレイに組み立ててもよい。このようにして、全体のプラズマ表面処理面積が拡大して、大面積且つ高速に処理する目的を達し得る。
【００２６】
本実施形態のプラズマ発生本体１３０と高圧電源部品１２０との結合は、第１の継手１２４、第２の継手１３４、内スリーブ１３２及び高圧外スリーブ１２２によるだけでよく、このため、組立方法が非常に容易であるのみならず、分解方法も相対的に簡単である。例示して説明すると、プラズマ発生本体１３０の電極継手（第２の継手１３４）を交換する必要がある場合、内スリーブ１３２を第２の継手１３４と共に高圧外スリーブ１２２及び第１の継手１２４の挿入孔１２４Ａから出すだけでよく、図３Ｃに示されるように、直ちに第２の継手１３４を容易に交換し得る。
【００２７】
また、図４を参照されたい。これは、図３Ｄの高圧電源部品を取り出した後を示す図である。高圧電源部品１２０の素子、例えば高圧電源コード１２６、高圧外スリーブ１２２又は第１の継手１２４を交換する必要がある場合にも、高圧電源部品１２０をプラズマ発生本体１３０から離す方向に向かって移動させるだけでよく、直ちに、高圧外スリーブ１２２及び第１の継手１２４と内スリーブ１３２及び第２の継手１３４とを引き離すと共に、固定台座１１０から出して、素子の交換をし得る。
【００２８】
本発明の上記実施形態で明らかにされる迅速分解式大気圧プラズマ発生装置及びその組立方法は、高圧外スリーブと内スリーブと第１の継手と第２の継手との組合せを利用して、大気圧プラズマ発生装置の組立て及び分解を非常に簡単にしており、補修時間・工程で発生するコストを下げることができるだけでなく、迅速で効果的且つ即時に故障設備を取り除いて一新し得る。生産ラインで実際に応用する場合において、そのうちの１つ又は複数のプラズマ発生装置が故障したときは、以前のようにプラズマ発生装置全体を分解して損壊したアッセンブリを交換する必要がなく、プラズマ発生装置全体を一新する必要もなく、本実施形態の大気圧プラズマ発生装置は、その継手及びスリーブを引き離すだけで、直ちに、アッセンブリの交換を行い得る。このため、本発明の上記実施形態で明らかにされる迅速分解式大気圧プラズマ発生装置及びその組立方法は、最短時間で設備を復元して、生産効率及び生産コストを引き下げ、確実に商業化の実際の応用に適応し得るようにする。
【００２９】
以上述べたところを総合すると、本発明は、好ましい実施形態を上記のように既に明らかにしたが、これをもって本発明を限定するものではない。本発明の当業者は、本発明の精神及び範囲から逸脱せずに、種々の修正及び変更をしてもよいものとする。このため、本発明の保護範囲は、特許請求の範囲で定義されたものを基準と見なすものとする。
【符号の説明】
【００３０】
１００ 迅速分解式大気圧プラズマ発生装置
１１０ 固定台座
１１０Ａ 内部空間
１１２ 第１の端部
１１４ 第２の端部
１２０ 高圧電源部品
１２２ 高圧外スリーブ
１２２Ａ 第１の区間のスリーブ
１２２Ｂ 第２の区間のスリーブ
１２２Ｃ 第３の区間のスリーブ
１２４ 第１の継手
１２４Ａ 挿入孔
１２６ 高圧電源コード
１２８、１３９ 結合部材
１２９ 第１の隙間
１３０ プラズマ発生本体
１３０Ａ 外表面
１３２ 内スリーブ
１３４ 第２の継手
１３４Ａ 膨張部
１３６ 第２の隙間
１３８ プラズマ放出口
【技術分野】
【０００１】
本発明は、大気圧プラズマ発生装置に関し、特に迅速分解式大気圧プラズマ発生装置及びその組立方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、大気圧プラズマは１気圧下又は１気圧近傍下で発生されるプラズマであるため、従来の真空プラズマ技術に比べて、大気圧プラズマシステムはコストにおいて絶対的な優位性がある。さらに、設備コストについては、非常に高額で大きく重い真空設備を用いる必要がない。その上、製造過程においては、加工部材は真空チャンバの制限を受けず、且つ連続的な工程を行うことができる。これらの技術的特徴は、いずれも効果的に製品の製造コストを下げることができる。必要に応じてシステムを小型で携帯可能な設備に構築しており、この特徴はその応用の側面をこのために拡大させるであろう。
【０００３】
大気圧プラズマの発生は、主に、常圧雰囲気下で２つの電極間に電場をかけて、電場間の気体が電子雪崩によって電離する際に、プラズマを発生させることができる。プラズマの形式の違いによっては、複数のプラズマ源の設計及び種類がある。例えば、コロナ放電(Corona discharge)、誘電体バリア放電(Dielectric barrier discharge)、プラズマジェット(Plasma jet)及びプラズマトーチ(Plasma torch)等であり、このうち、プラズマジェットはエネルギーの集中、高速処理等の優れた点があるため、製造過程においてさらに広く応用されている。
【０００４】
特許文献１及び特許文献２は、いずれも大気圧プラズマシステムに関する応用技術を模索している。例示して説明すると、例えば大面積処理用プラズマ技術である。しかし、大面積化の必要性の下に、大気圧プラズマを用いて加工部材の表面処理をしようとすると、高速化の必要性も満たす必要があり、通常は複数のプラズマ発生器によって必要性を満たす必要がある。確かに、生産コストを下げるために、現在のところ商業化の手段によく見られるのは、大面積化に向けた方法を目標とすることである。例えば、ＦＰＤパネル工場の生産ラインは既に第８．５世代ライン（２２００ｍｍ×２５００ｍｍ）の計画が進行中であり、他の合成樹脂商品の多くも連続的に大面積で生産することを計画の方向性としている。大気圧プラズマの表面処理又はクリーニング技術の応用は次第に多方面にわたっており、複数のプラズマヘッドのアレイは効果的な解決方法である。
【０００５】
商業化・生産ラインの実際の応用において、万が一そのうちの１つ又は複数のプラズマ発生器が故障した場合、修理することが必ず必要となるプロセスである。現在、設備の修復を行うには２つの方法がある。１つはプラズマ発生器を分解して損壊したアッセンブリを交換して取り付けることであり、もう１つの方法はプラズマ発生器（電源コード及びプラズマヘッドを含む）全体を一新することである。プラズマ発生器の修理は、専門の機械技術者が順調であっても数時間の作業時間を要して、検視及び補修をする。システム全体を分解して交換するのも同様に時間を要する。このため、いかにして最短時間で設備を回復させることができるかが、生産効率及び生産コストに実に関係する。商業化の実際の応用に適応し、且つ補修時間・工程で派生するコストを下げるために、迅速で効果的に故障設備を取り除いて一新することが共通の目標である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】米国特許第５０３２２０２号
【特許文献２】米国特許第５５４９７８０号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、内スリーブ、外スリーブ及び継手の設計によって、大気圧プラズマ発生装置の組立て及び分解をさらに容易にさせる、迅速分解式大気圧プラズマ発生装置及びその組立方法に関する。このように、迅速に故障設備を取り除いて修復するようにさせることは、製造業者の製造過程における応用の必要性に非常に適合する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、固定台座と、高圧電源部品と、プラズマ発生本体とを備える、迅速分解式大気圧プラズマ発生装置を提供する。固定台座は、対向する第１の端部及び第２の端部を備える。高圧電源部品は、固定台座に設置されると共に、高圧外スリーブ及び第１の継手を備え、なお、第１の継手が高圧外スリーブに設置されると共に、第１の継手が第１の端部に位置する。プラズマ発生本体は、内スリーブ及び第２の継手を備え、なお、内スリーブ及び第２の継手がいずれもプラズマ発生本体の外表面に突設されていると共に、第２の継手が内スリーブに設置されている。プラズマ発生本体が固定台座の第１の端部に取り付けられると、高圧外スリーブが内スリーブを覆って、第２の継手が第１の継手と接続し、それによって、プラズマ発生本体を高圧電源部品と電気的に接続させる。
【０００９】
本発明は、大気圧プラズマ発生装置の組立方法を提供する。この方法は、高圧電源部品の第１の継手を高圧電源部品の高圧外スリーブに挿設させること、続いて、高圧電源部品を固定台座に設置すること、その後、プラズマ発生本体の内スリーブ及び第２の継手がプラズマ発生本体の外表面に突設されていると共に第２の継手が内スリーブに設置されているプラズマ発生本体を提供すること、続いて、プラズマ発生本体を固定台座に取り付け、且つ、内スリーブを高圧外スリーブに嵌め込むと共に、第２の継手と第１の継手とを接続させ、それによって、プラズマ発生本体を高圧電源部品と電気的に接続させること、を含む。
【００１０】
本発明の上記内容をさらに明確にわかりやすくするために、以下に好ましい実施形態を特に示し、図面と合わせて、詳細に説明する。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明の好ましい実施形態に照らした迅速分解式大気圧プラズマ発生装置の分解図である。
【図２】本発明の好ましい実施形態に照らした大気圧プラズマ発生装置の組立方法のフローチャートである。
【図３Ａ】図２の組立てフローチャートの素子の組立てを示す図である。
【図３Ｂ】図２の組立てフローチャートの素子の組立てを示す図である。
【図３Ｃ】図２の組立てフローチャートの素子の組立てを示す図である。
【図３Ｄ】図２の組立てフローチャートの素子の組立てを示す図である。
【図４】図３Ｄの高圧電源部品を取り出した後を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１２】
図１を参照されたい。これは、本発明の好ましい実施形態に照らした迅速分解式大気圧プラズマ発生装置の分解図である。迅速分解式大気圧プラズマ発生装置１００は、固定台座１１０と、高圧電源部品１２０と、プラズマ発生本体１３０とを備える。固定台座１１０は、対向する第１の端部１１２及び第２の端部１１４を備えており、固定台座１１０内には第１の端部１１２から第２の端部１１４に延在する内部空間１１０Ａがさらに備えられている。高圧電源部品１２０は、固定台座１１０に設置するのに用い、高圧外スリーブ１２２及び第１の継手１２４を備え、なお、第１の継手１２４は、高圧外スリーブ１２２に設置するのに用い、第１の端部１１２に位置することになる。第１の継手１２４は、例えば雌継手であって、例えばその一端が挿入孔１２４Ａを備えており、他の素子と接続するのに用いる。
【００１３】
また、高圧電源部品１２０は、高圧電源コード１２６をさらに備え、外部の電源供給端子（図示せず）に接続するのに用いる。高圧電源コード１２６は、好ましくは、第２の端部１１４から固定台座１１０内に挿設され、第１の継手１２４の他端を接続する。高圧電源コード１２６と第１の継手１２４との間は、例えば結合部材１２８（例えばねじ、リベット）により結合する。
【００１４】
好ましくは、高圧外スリーブ１２２は、第１の区間のスリーブ１２２Ａ及び第２の区間のスリーブ１２２Ｂを備える。なお、第１の区間のスリーブ１２２Ａは高圧電源コード１２６を覆うのに用い、第１の継手１２４は第２の区間のスリーブ１２２Ｂに設置される。第１の区間のスリーブ１２２Ａ及び第２の区間のスリーブ１２２Ｂの内径の大きさは、高圧電源コード１２６及び第１の継手１２４の外径の大きさに基づいて決定される。例えば、図１に示されるように、高圧電源コード１２６及び第１の継手１２４の外径の大きさは、略同じである。好ましくは、第２の区間のスリーブ１２２Ｂの内径は、第１の区間のスリーブ１２２Ａの内径より大きくて、第１の継手１２４が高圧外スリーブ１２２に取り付けられると、第１の継手１２４と第２の区間のスリーブ１２２Ｂとの間には第１の隙間１２９（図３Ｂ参照）が生ずるようにする。また、高圧外スリーブ１２２は、高圧電源コード１２６と第１の継手１２４とに対応する接続箇所において、例えば第３の区間のスリーブ１２２Ｃを有しており、第３の区間のスリーブ１２２Ｃの内径の大きさも第１の継手１２４の接続箇所の大きさに基づいて設計され得る。
【００１５】
プラズマ発生本体１３０の一端は、内スリーブ１３２及び第２の継手１３４を備える。なお、内スリーブ１３２及び第２の継手１３４がいずれもプラズマ発生本体１３０の外表面１３０Ａに突設されると共に、第２の継手１３４が内スリーブ１３２に設置されて、内スリーブ１３２との間に第２の隙間１３６がある。この第２の隙間１３６の大きさは、好ましくは、略、第１の継手１２４の挿入孔１２４Ａの周囲の側壁の厚さである。第２の継手１３４は、第１の継手１２４と接続するのに用い、例えばそれがプラズマ発生本体１３０の電極継手である。電極継手は、気体を電離させてプラズマ気体を発生させるのに用いる。プラズマ発生本体１３０は、さらにプラズマ放出口１３８を含み、例えばこのプラズマ放出口１３８はプラズマ発生本体１３０の他端に位置して、処理（加工、クリーニング等）しようとする加工部材の表面にプラズマ気体を送るのに用いる。
【００１６】
プラズマ発生本体１３０が固定台座１１０の第１の端部１１２に取り付けられた場合、高圧外スリーブ１２２が内スリーブ１３２を覆って、第２の継手１３４が第１の継手１２４と接続し、それによって、プラズマ発生本体１３０を高圧電源部品１３０と電気的に接続させる。
【００１７】
好ましくは、例えば第２の継手１３４が雄継手であって、それは膨張部１３４Ａを備えており、膨張部１３４Ａの外径が第１の継手１２４の挿入孔１２４Ａの口径より大きく、第１の継手１２４と第２の継手１３４との間を密接させ得る。第１の継手１２４及び第２の継手１３４の材質は、金属であってもよく、例えば、よく見られる銅、又はステンレス若しくはタングステンのような耐高温金属若しくは合金である。また、上記の高圧外スリーブ１２２及び内スリーブ１３２の材質は、高圧外スリーブ１２２が高圧電源コード１２６、第１の継手１２４及び第２の継手１３４を固定台座１１０から遮断して、さらには素子間の電気的接触により生ずる不要な電気的干渉を避け得るように、絶縁性材料である。組立てにさらに弾性を備えさせるために、高圧外スリーブ１２２及び内スリーブ１３２の材質は、軟性材料であってもよい。高圧外スリーブ１２２及び内スリーブ１３２の設置は、素子の組立ての位置合わせに有益であり、この組立ては後にさらなる説明をする。以下の図面で本実施形態の迅速分解式大気圧プラズマ発生装置の組立方法を詳細に説明する。
【００１８】
図２を参照されたい。これは、本発明の好ましい実施形態に照らした大気圧プラズマ発生装置の組立方法のフローチャートである。この組立方法は、ステップＳ２１〜ステップＳ２４を含む。また、図３Ａ〜図３Ｄを参照されたい。これは、図２の組立てフローチャートに対応する素子の組立てを示す図である。
【００１９】
まず、ステップＳ２１に示されるように、高圧電源部品１２０の第１の継手１２４を高圧電源部品１２０の高圧外スリーブ１２２に挿設させる。なお、図３Ａに示されるように、第２の区間のスリーブ１２２Ｂの開口は比較的大きく、高圧電源コード１２６が第２の区間のスリーブ１２２Ｂの開口から高圧外スリーブ１２２に挿入され得る。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。高圧外スリーブ１２２の材質が比較的柔らかいため、組み立てる際に、直接に第１の継手１２４を第１の区間のスリーブ１２２Ａの開口から高圧外スリーブ１２２に挿入させ得る。
【００２０】
図３Ｂに示されるように、高圧電源部品１２０の素子の組立てが完了すると、高圧外スリーブ１２２の第１の区間のスリーブ１２２Ａが高圧電源コード１２６を覆う。第２の区間のスリーブ１２２Ｂは、第１の継手１２４と第２の区間のスリーブ１２２Ｂとの間に第１の隙間１２９を生じさせるように第１の継手１２４の外部を取り囲む。なお、第１の隙間１２９と第１の継手１２４の挿入孔１２４Ａとは、同じ側に位置する。また、第１の継手１２４と高圧電源コード１２６との接続箇所は、第３の区間のスリーブ１２２Ｃに内部とされる。
【００２１】
続いて、ステップＳ２２に示されるように、高圧電源部品１２０を固定台座１１０に設置する。図１に示されるように、高圧電源部品１２０は、例えば、固定台座１１０の第２の端部１１４から固定台座１１０に設けられると共に、内部空間１１０Ａに固定される。このステップの完了は図３Ｃに示される通りである。
【００２２】
その後、ステップＳ２３に示されるように、プラズマ発生本体１３０を提供し、なお、プラズマ発生本体１３０の内スリーブ１３２及び第２の継手１３４は、プラズマ発生本体１３０の外表面１３０Ａに突設されていると共に、第２の継手１３４が内スリーブ１３２に設置されている。なお、第２の継手１３４と内スリーブ１３２との間には、第２の隙間１３６がある。
【００２３】
続いて、ステップＳ２４に示されるように、プラズマ発生本体１３０を固定台座１１０に取り付け、且つ、内スリーブ１３２を高圧外スリーブ１２２に嵌め込むと共に、第２の継手１３４を第１の継手１２４と接続させ、それによって、プラズマ発生本体１３０を高圧電源部品１２０と電気的に接続させる。
【００２４】
このステップにおいて、組み立てる場合、図３Ｃに示されるように、先に、内スリーブ１３２を第１の隙間１２９に整合させて、第２の継手１３４を第１の継手１２４の挿入孔１２４Ａに整合させる。その後、内スリーブ１３２を第１の隙間１２９に、第２の継手１３４を挿入孔１２４Ａとに嵌め込む。このようにして、図３Ｄに示されるように、プラズマ発生本体１３０の組立てを容易に完了し得る。第２の継手１３４が備える膨張部１３４Ａは第２の継手１３４の外径を大きくしているため、継手の間が緊密に組み合うように結合して、第１の継手１２４と第２の継手１３４との間の結合をさらに堅固にさせる。
【００２５】
大気圧プラズマを応用して表面処理又はクリーニングを行う製造過程において、大面積化の必要性の下に、大気圧プラズマを用いて加工部材の表面処理を行うときは、通常、複数の大気圧プラズマ発生装置を取り付けて高速処理の必要性を満たす。なお、複数のプラズマヘッドのアレイから成るプラズマシステムは、より効果的な解決方法である。このため、本実施形態のプラズマ発生本体１３０はさらに、他の結合部材１３９を用いて固定台座１１０と共に他のベース（図示せず）にロックして、他のプラズマ発生本体と共に組み立てるようにし、さらには複数のプラズマヘッドのアレイに組み立ててもよい。このようにして、全体のプラズマ表面処理面積が拡大して、大面積且つ高速に処理する目的を達し得る。
【００２６】
本実施形態のプラズマ発生本体１３０と高圧電源部品１２０との結合は、第１の継手１２４、第２の継手１３４、内スリーブ１３２及び高圧外スリーブ１２２によるだけでよく、このため、組立方法が非常に容易であるのみならず、分解方法も相対的に簡単である。例示して説明すると、プラズマ発生本体１３０の電極継手（第２の継手１３４）を交換する必要がある場合、内スリーブ１３２を第２の継手１３４と共に高圧外スリーブ１２２及び第１の継手１２４の挿入孔１２４Ａから出すだけでよく、図３Ｃに示されるように、直ちに第２の継手１３４を容易に交換し得る。
【００２７】
また、図４を参照されたい。これは、図３Ｄの高圧電源部品を取り出した後を示す図である。高圧電源部品１２０の素子、例えば高圧電源コード１２６、高圧外スリーブ１２２又は第１の継手１２４を交換する必要がある場合にも、高圧電源部品１２０をプラズマ発生本体１３０から離す方向に向かって移動させるだけでよく、直ちに、高圧外スリーブ１２２及び第１の継手１２４と内スリーブ１３２及び第２の継手１３４とを引き離すと共に、固定台座１１０から出して、素子の交換をし得る。
【００２８】
本発明の上記実施形態で明らかにされる迅速分解式大気圧プラズマ発生装置及びその組立方法は、高圧外スリーブと内スリーブと第１の継手と第２の継手との組合せを利用して、大気圧プラズマ発生装置の組立て及び分解を非常に簡単にしており、補修時間・工程で発生するコストを下げることができるだけでなく、迅速で効果的且つ即時に故障設備を取り除いて一新し得る。生産ラインで実際に応用する場合において、そのうちの１つ又は複数のプラズマ発生装置が故障したときは、以前のようにプラズマ発生装置全体を分解して損壊したアッセンブリを交換する必要がなく、プラズマ発生装置全体を一新する必要もなく、本実施形態の大気圧プラズマ発生装置は、その継手及びスリーブを引き離すだけで、直ちに、アッセンブリの交換を行い得る。このため、本発明の上記実施形態で明らかにされる迅速分解式大気圧プラズマ発生装置及びその組立方法は、最短時間で設備を復元して、生産効率及び生産コストを引き下げ、確実に商業化の実際の応用に適応し得るようにする。
【００２９】
以上述べたところを総合すると、本発明は、好ましい実施形態を上記のように既に明らかにしたが、これをもって本発明を限定するものではない。本発明の当業者は、本発明の精神及び範囲から逸脱せずに、種々の修正及び変更をしてもよいものとする。このため、本発明の保護範囲は、特許請求の範囲で定義されたものを基準と見なすものとする。
【符号の説明】
【００３０】
１００ 迅速分解式大気圧プラズマ発生装置
１１０ 固定台座
１１０Ａ 内部空間
１１２ 第１の端部
１１４ 第２の端部
１２０ 高圧電源部品
１２２ 高圧外スリーブ
１２２Ａ 第１の区間のスリーブ
１２２Ｂ 第２の区間のスリーブ
１２２Ｃ 第３の区間のスリーブ
１２４ 第１の継手
１２４Ａ 挿入孔
１２６ 高圧電源コード
１２８、１３９ 結合部材
１２９ 第１の隙間
１３０ プラズマ発生本体
１３０Ａ 外表面
１３２ 内スリーブ
１３４ 第２の継手
１３４Ａ 膨張部
１３６ 第２の隙間
１３８ プラズマ放出口
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向する第１の端部及び第２の端部を備える固定台座と、
前記固定台座に設置されると共に、高圧外スリーブ及び第１の継手を備える高圧電源部品であって、該第１の継手が該高圧外スリーブに設置されると共に前記第１の端部に位置する、高圧電源部品と、
内スリーブ及び第２の継手を備えるプラズマ発生本体であって、該内スリーブ及び該第２の継手が該プラズマ発生本体の外表面に突設されていると共に、該第２の継手が該内スリーブに設置されている、プラズマ発生本体と
を備える迅速分解式大気圧プラズマ発生装置であって、
前記プラズマ発生本体は、前記固定台座の前記第１の端部に取り付けられて、前記高圧外スリーブが前記内スリーブを覆い、前記第２の継手が前記第１の継手と接続し、それによって、前記プラズマ発生本体を前記高圧電源部品と電気的に接続させる、ことを特徴とする迅速分解式大気圧プラズマ発生装置。
【請求項２】
前記第１の継手と前記高圧外スリーブとの間には第１の隙間があり、前記内スリーブが前記第１の隙間に挿設される、ことを特徴とする請求項１に記載の迅速分解式大気圧プラズマ発生装置。
【請求項３】
前記第１の継手は、挿入孔を備えており、前記第２の継手が該挿入孔に嵌め込まれる、ことを特徴とする請求項２に記載の迅速分解式大気圧プラズマ発生装置。
【請求項４】
前記第２の継手と前記内スリーブとの間には第２の隙間があり、該第２の隙間の大きさが実質的に、前記第１の継手の前記挿入孔の周囲の側壁の厚さである、ことを特徴とする請求項３に記載の迅速分解式大気圧プラズマ発生装置。
【請求項５】
前記第２の継手は、膨張部を備えており、該膨張部の外径が前記挿入孔の口径より大きい、ことを特徴とする請求項３に記載の迅速分解式大気圧プラズマ発生装置。
【請求項６】
前記高圧電源部品は、高圧電源コードをさらに備え、前記第２の端部から前記固定台座に挿設され、且つ前記第１の継手が前記高圧電源コードを接続する、ことを特徴とする請求項１に記載の迅速分解式大気圧プラズマ発生装置。
【請求項７】
前記高圧外スリーブが前記高圧電源コードを覆う、ことを特徴とする請求項６に記載の迅速分解式大気圧プラズマ発生装置。
【請求項８】
前記高圧外スリーブは、第１の区間のスリーブ及び第２の区間のスリーブを備えており、該第１の区間のスリーブが前記高圧電源コードを覆い、前記第１の継手が前記第２の区間のスリーブに設置される、ことを特徴とする請求項７に記載の迅速分解式大気圧プラズマ発生装置。
【請求項９】
前記第２の区間の前記スリーブの内径が前記第１の区間のスリーブの内径と異なる、ことを特徴とする請求項８に記載の迅速分解式大気圧プラズマ発生装置。
【請求項１０】
前記第２の継手が前記プラズマ発生本体の電極継手である、ことを特徴とする請求項１に記載の迅速分解式大気圧プラズマ発生装置。
【請求項１１】
前記高圧外スリーブ及び前記内スリーブの材質が絶縁性材料である、ことを特徴とする請求項１に記載の迅速分解式大気圧プラズマ発生装置。
【請求項１２】
前記高圧外スリーブ及び前記内スリーブの材質が軟性材料である、ことを特徴とする請求項１に記載の迅速分解式大気圧プラズマ発生装置。
【請求項１３】
前記第１の継手及び前記第２の継手の材質が金属である、ことを特徴とする請求項１に記載の迅速分解式大気圧プラズマ発生装置。
【請求項１４】
前記高圧電源部品の第１の継手を該高圧電源部品の高圧外スリーブに挿設させること、
前記高圧電源部品を固定台座に設置するステップと、
プラズマ発生本体の内スリーブ及び第２の継手が該プラズマ発生本体の外表面に突設されていると共に、該第２の継手が該内スリーブに設置されている該プラズマ発生本体を提供するステップと、及び、
前記プラズマ発生本体を前記固定台座に取り付け、且つ、前記内スリーブを前記高圧外スリーブに嵌め込むと共に、前記第２の継手と前記第１の継手とを接続させて、前記プラズマ発生本体を前記高圧電源部品と電気的に接続させるステップと、
を含む、ことを特徴とする迅速分解式大気圧プラズマ発生装置の組立方法。
【請求項１５】
前記内スリーブを前記高圧外スリーブに嵌め込むと共に、前記第２の継手と前記第１の継手とを接続させるステップは、
前記内スリーブが前記第１の継手と前記高圧外スリーブとの間の隙間に挿設され、同時に前記第２の継手を前記第１の継手の挿入孔に嵌め込むこと
を含む、ことを特徴とする請求項１４に記載の迅速分解式大気圧プラズマ発生装置の組立方法。
【請求項１】
対向する第１の端部及び第２の端部を備える固定台座と、
前記固定台座に設置されると共に、高圧外スリーブ及び第１の継手を備える高圧電源部品であって、該第１の継手が該高圧外スリーブに設置されると共に前記第１の端部に位置する、高圧電源部品と、
内スリーブ及び第２の継手を備えるプラズマ発生本体であって、該内スリーブ及び該第２の継手が該プラズマ発生本体の外表面に突設されていると共に、該第２の継手が該内スリーブに設置されている、プラズマ発生本体と
を備える迅速分解式大気圧プラズマ発生装置であって、
前記プラズマ発生本体は、前記固定台座の前記第１の端部に取り付けられて、前記高圧外スリーブが前記内スリーブを覆い、前記第２の継手が前記第１の継手と接続し、それによって、前記プラズマ発生本体を前記高圧電源部品と電気的に接続させる、ことを特徴とする迅速分解式大気圧プラズマ発生装置。
【請求項２】
前記第１の継手と前記高圧外スリーブとの間には第１の隙間があり、前記内スリーブが前記第１の隙間に挿設される、ことを特徴とする請求項１に記載の迅速分解式大気圧プラズマ発生装置。
【請求項３】
前記第１の継手は、挿入孔を備えており、前記第２の継手が該挿入孔に嵌め込まれる、ことを特徴とする請求項２に記載の迅速分解式大気圧プラズマ発生装置。
【請求項４】
前記第２の継手と前記内スリーブとの間には第２の隙間があり、該第２の隙間の大きさが実質的に、前記第１の継手の前記挿入孔の周囲の側壁の厚さである、ことを特徴とする請求項３に記載の迅速分解式大気圧プラズマ発生装置。
【請求項５】
前記第２の継手は、膨張部を備えており、該膨張部の外径が前記挿入孔の口径より大きい、ことを特徴とする請求項３に記載の迅速分解式大気圧プラズマ発生装置。
【請求項６】
前記高圧電源部品は、高圧電源コードをさらに備え、前記第２の端部から前記固定台座に挿設され、且つ前記第１の継手が前記高圧電源コードを接続する、ことを特徴とする請求項１に記載の迅速分解式大気圧プラズマ発生装置。
【請求項７】
前記高圧外スリーブが前記高圧電源コードを覆う、ことを特徴とする請求項６に記載の迅速分解式大気圧プラズマ発生装置。
【請求項８】
前記高圧外スリーブは、第１の区間のスリーブ及び第２の区間のスリーブを備えており、該第１の区間のスリーブが前記高圧電源コードを覆い、前記第１の継手が前記第２の区間のスリーブに設置される、ことを特徴とする請求項７に記載の迅速分解式大気圧プラズマ発生装置。
【請求項９】
前記第２の区間の前記スリーブの内径が前記第１の区間のスリーブの内径と異なる、ことを特徴とする請求項８に記載の迅速分解式大気圧プラズマ発生装置。
【請求項１０】
前記第２の継手が前記プラズマ発生本体の電極継手である、ことを特徴とする請求項１に記載の迅速分解式大気圧プラズマ発生装置。
【請求項１１】
前記高圧外スリーブ及び前記内スリーブの材質が絶縁性材料である、ことを特徴とする請求項１に記載の迅速分解式大気圧プラズマ発生装置。
【請求項１２】
前記高圧外スリーブ及び前記内スリーブの材質が軟性材料である、ことを特徴とする請求項１に記載の迅速分解式大気圧プラズマ発生装置。
【請求項１３】
前記第１の継手及び前記第２の継手の材質が金属である、ことを特徴とする請求項１に記載の迅速分解式大気圧プラズマ発生装置。
【請求項１４】
前記高圧電源部品の第１の継手を該高圧電源部品の高圧外スリーブに挿設させること、
前記高圧電源部品を固定台座に設置するステップと、
プラズマ発生本体の内スリーブ及び第２の継手が該プラズマ発生本体の外表面に突設されていると共に、該第２の継手が該内スリーブに設置されている該プラズマ発生本体を提供するステップと、及び、
前記プラズマ発生本体を前記固定台座に取り付け、且つ、前記内スリーブを前記高圧外スリーブに嵌め込むと共に、前記第２の継手と前記第１の継手とを接続させて、前記プラズマ発生本体を前記高圧電源部品と電気的に接続させるステップと、
を含む、ことを特徴とする迅速分解式大気圧プラズマ発生装置の組立方法。
【請求項１５】
前記内スリーブを前記高圧外スリーブに嵌め込むと共に、前記第２の継手と前記第１の継手とを接続させるステップは、
前記内スリーブが前記第１の継手と前記高圧外スリーブとの間の隙間に挿設され、同時に前記第２の継手を前記第１の継手の挿入孔に嵌め込むこと
を含む、ことを特徴とする請求項１４に記載の迅速分解式大気圧プラズマ発生装置の組立方法。
【図１】
【図２】
【図３Ａ】
【図３Ｂ】
【図３Ｃ】
【図３Ｄ】
【図４】
【図２】
【図３Ａ】
【図３Ｂ】
【図３Ｃ】
【図３Ｄ】
【図４】
【公開番号】特開２０１０−１５３３４７（Ｐ２０１０−１５３３４７Ａ）
【公開日】平成２２年７月８日（２０１０．７．８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−５４０９９（Ｐ２００９−５４０９９）
【出願日】平成２１年３月６日（２００９．３．６）
【出願人】（３９００２３５８２）財団法人工業技術研究院 (524)
【氏名又は名称原語表記】ＩＮＤＵＳＴＲＩＡＬ ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ ＲＥＳＥＡＲＣＨ ＩＮＳＴＩＴＵＴＥ
【住所又は居所原語表記】１９５ Ｃｈｕｎｇ Ｈｓｉｎｇ Ｒｄ．，Ｓｅｃ．４，Ｃｈｕｔｕｎｇ，Ｈｓｉｎ−Ｃｈｕ，Ｔａｉｗａｎ Ｒ．Ｏ．Ｃ
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年７月８日（２０１０．７．８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年３月６日（２００９．３．６）
【出願人】（３９００２３５８２）財団法人工業技術研究院 (524)
【氏名又は名称原語表記】ＩＮＤＵＳＴＲＩＡＬ ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ ＲＥＳＥＡＲＣＨ ＩＮＳＴＩＴＵＴＥ
【住所又は居所原語表記】１９５ Ｃｈｕｎｇ Ｈｓｉｎｇ Ｒｄ．，Ｓｅｃ．４，Ｃｈｕｔｕｎｇ，Ｈｓｉｎ−Ｃｈｕ，Ｔａｉｗａｎ Ｒ．Ｏ．Ｃ
【Ｆターム（参考）】
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