【課題】処理対象基板とランプとの間に空気が流入することが抑制され、従って、処理対象基板に対して高い効率で光を照射することができる光照射装置を提供する。
【解決手段】基板搬送路に沿って搬送される処理対象基板の一面に向けて光を照射するエキシマランプが内蔵されたランプハウスと、前記処理対象基板と前記エキシマランプとの間に不活性ガスを供給するガス供給手段とを備えてなり、前記基板搬送路における前記ランプハウスの上流側に当該ランプハウスに隣接して圧力緩衝空間が形成された光照射装置であって、基板搬送路における圧力緩衝空間の上流側には、処理対象基板における光が照射される一面に沿って流れる空気を排出する空気排出手段が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】洗浄対象物の表面形状の違いに拘らず、単一の部材で且つ簡単なセッティング操作で洗浄媒体の飛散を防止でき、洗浄装置に対する洗浄対象物の保持操作の容易化を実現できるとともに、洗浄対象物の表面形状の違い毎に用意することの無駄を無くすことができる洗浄媒体飛散防止部材を提供する。
【解決手段】洗浄対象物４は洗浄対象物保持体１２の保持ピン３２に支持されて洗浄槽６の開口部６ａに対向して保持されている。洗浄対象物保持体１２の上方から、低反発性ウレタンスポンジを芯材とする洗浄媒体飛散防止部材２２Ａが挿入され、押圧手段２４により押圧される。洗浄媒体飛散防止部材２２Ａは洗浄対象物４の表面形状に沿って変形し、これにより、洗浄槽６で空気流により飛翔する洗浄媒体５が飛散してその数量が少なくなることが防止される。 （もっと読む）

【課題】プラズマ発生領域の体積を大きくしたプラズマ発生装置の提供。
【解決手段】大気圧プラズマ発生装置１００であって、長手方向に伸び、プラズマを発生する柱状のプラズマ化領域Ｐを内包する絶縁体から成る筐体１０と、プラズマ化領域Ｐにプラズマ発生ガスを前記長手方向に対して垂直な方向から長手方向に一様に供給するガス導入部１２と、プラズマ化領域Ｐにおいて、前記長手方向に離間して配置された１対の電極２ａ，２ｂと、プラズマ化領域Ｐに接続され、そのプラズマ化領域Ｐで生成された前記プラズマを排出し、プラズマ化領域Ｐの長手方向に沿って配列され、前記プラズマ発生ガスの流れる方向に長く伸びた多数の孔から成る排出部２４とを有する。 （もっと読む）

【課題】大掛かりな装置を必要とせず、被処理物のそれぞれについて水蒸気プラズマ処理の完了を個別検知することが可能なインキ組成物及びそれを用いたインジケーターを提供する。
【解決手段】１）アントラキノン系色素、アゾ系色素及びメチン系色素の少なくとも１種並びに２）バインダー樹脂、カチオン系界面活性剤及び増量剤の少なくとも１種を含有する水蒸気プラズマ処理検知用インキ組成物。 （もっと読む）

【課題】 プラズマ放電部を複数並べて任意の大きさの試料に対応できるように放電面積を拡大する場合であっても、単位あたりの電力コストを増加することなく、均一なプラズマ生成が可能なプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】 高周波信号回路１３及び高周波電力回路１１を有する高周波電源と筐体２１と放電電極２とを備えたプラズマ処理装置において、筐体２１内に設置された放電電極２と高周波電力回路１１とでプラズマモジュールを構成し、複数個並列接続されたプラズマモジュールに高周波信号回路１３からの周波数信号を入力する。 （もっと読む）

【課題】本来の洗浄対象物の汚れの除去をできることは勿論のこと、洗浄媒体自体の削れ片が洗浄後に残留することを防止でき、洗浄面の品質向上を図ることができるとともに、ひいては洗浄分野の拡大に寄与できる乾式クリーニング装置を提供する。
【解決手段】筐体４の開口部１８が洗浄対象物２０で塞がれると、図示しない吸引手段により外部空気がインレット２４から吸引され、筐体４の内部に旋回空気流３０が発生する。ミスト生成手段５２で生成されたミストＭがインレット２４から吸引され、旋回空気流３０に混ざって気液混合流となる。ミストＭの粒子が樹脂製の洗浄媒体と洗浄対象物２０との間に介在して、洗浄媒体の摩擦による粉状の削れ（残渣）の発生が抑制される。 （もっと読む）

【課題】薄くされたチップを積層して半導体装置を製造する際に、処理対象の上面に存在する異物によって積層させるチップが割れてしまうことを防ぐ異物検査装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、異物検査装置２０は、下地検査部２２１および下地検査部２２１を支持する支持部２２２を有する検知ヘッド２２と、下地データ格納部２３３、検査制御部２３２および異物存在判定部２３４を有する制御部２３と、を備える。下地データ格納部２３３は、配線基板８０または配線基板８０の最上層のチップの配置位置を示す下地配置領域を含む下地データを格納する。検査制御部２３２は、検知ヘッド２２を検査対象上の所定の位置に接触させながら所定の力で押圧するように制御する。異物存在判定部２３４は、下地検査部２２１から取得した検査データから、下地データを参照して下地配置領域のうち周囲よりも圧力が高まっている領域を異物存在領域として抽出する。 （もっと読む）

【課題】液化炭酸ガスの無駄を抑えて、安定してドライアイススノーを生成して噴射させることができるドライアイススノー装置およびドライアイススノーの噴射方法を提供する。
【解決手段】真空断熱容器である炭酸ガス貯蔵容器を有し、冷却ユニットに設けられた圧力測定ユニットで測定された炭酸ガスの圧力に基づいて炭酸ガスを冷却する制御を行なう制御ユニットを備えたドライアイススノー噴射装置と、炭酸ガスの冷却前の圧力に基づいて炭酸ガスを冷却する工程を含むドライアイススノーの噴射方法である。 （もっと読む）

【課題】位相欠陥と表面異物とを識別できるＥＵＶマスク検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るＥＵＶマスク検査装置は、ＥＵＶ光を出射するＥＵＶ光源１００ａと、ＥＵＶ光を伝播する第１多層膜楕円面鏡１０３ａ、第２多層膜楕円面鏡１０３ｂ、落とし込みＥＵＶミラー１０５を含む光学系と、ＥＵＶ光の光軸と同軸に導入され、光学系で伝播される紫外光を出射するＡｒＦエキシマレーザ１００ｄとを備える。紫外光は、ＥＵＶ光の光軸上に挿入された振り込みミラー１１３により反射され、ＥＵＶ光と同軸に導入される。 （もっと読む）

【課題】小型かつ高効率のプラズマを発生できる大気圧プラズマ発生装置を提供する。
【解決手段】大気圧プラズマ発生装置１は、管軸方向に放電ガスが流れ高周波電源２１からの高周波電力が供給されることによりプラズマを発生する放電管２６と、放電管２６に高周波電力を伝達するアンテナ２５と、高周波電源２１とアンテナ２５との間に配置された整合回路とを備え、当該整合回路は、高周波電源２１の一端とアンテナ２５の一端との間に接続されたインダクタ２３、高周波電源２１の他方の一端とアンテナ２５の他方の一端との間に接続された可変コンデンサ２４を備え、アンテナ２５は、上記整合回路と連続した配線であって放電管２６の近傍に配置され実際に電流の流れる第１のアンテナ部２５１と、放電管２６と接触する部分を有する第２のアンテナ部２５２とで構成される。 （もっと読む）