静電容量素子の製造方法
【課題】グリーンシートのパターンの生成を極力少なくし、一つのパターンのグリーンシートから複数の異なるグリーンシートを作製する静電容量素子の製造方法を提供する。
【解決手段】誘電体シート及び該誘電体シートに導電体塗布用の所定のパターン形状を有するマスクを用意して、誘電体シート上に基本パターングリーンシートを作製する。その後、基本パターングリーンシートを例えば１８０°回転したパターンと、この基本パターングリーンシートを裏返した裏返しグリーンシートを作製し、これらを任意に積層して加圧、高温焼成することにより静電容量素子を製造する。これにより、製造工程の品質管理を容易にすると共に、設備投資面のコスト削減などの生産性の向上を図ることができる。
【解決手段】誘電体シート及び該誘電体シートに導電体塗布用の所定のパターン形状を有するマスクを用意して、誘電体シート上に基本パターングリーンシートを作製する。その後、基本パターングリーンシートを例えば１８０°回転したパターンと、この基本パターングリーンシートを裏返した裏返しグリーンシートを作製し、これらを任意に積層して加圧、高温焼成することにより静電容量素子を製造する。これにより、製造工程の品質管理を容易にすると共に、設備投資面のコスト削減などの生産性の向上を図ることができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本開示は、静電容量素子の製造方法に関し、特に、内部電極パターン数を低減して生産性を向上させる静電容量素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子機器の小型化、高信頼性化に伴い、その電子機器に用いられる電子部品として、小型化された高性能の静電容量素子の開発が求められている。発明者等は、誘電体層の同一面に形成する内部電極の面積の増減スペースを大きくし、これにより静電容量デバイスの内部電極や容量値等の設計自由度を広げる製造技術を既に提案している（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１では、可変容量デバイスを提示しているが、この可変容量デバイスの製造方法は、誘電体材料からなるシート部材を用意し、このシート部材にＰｄ、Ｐｄ／Ａｇ、Ｎｉ等の金属微粉末をペースト化した導電ペーストを塗布する。
そして、その導電ペーストを内部電極の形状（例えば、矩形状）に対応する開口部が形成されたマスクを介して、誘電体材料からなるシート部材の一方の表面に塗布（シルク印刷等）して内部電極を形成する。
【０００４】
特許文献１に記載される製造方法では、５枚の電極付シート部材を、所定の順序で、内部電極とシート部材とが交互に配置されるように積層し、別途用意した内部電極が形成されていないシート部材を、内部電極が露出した側の表面上に積層している。そして、その後、その積層部材を圧着し、この圧着した部材を還元性雰囲気中で、高温焼成してシート部材と導電ペースト層（内部電極）とを一体化させて、可変容量デバイス本体を作製し、デバイス本体１０の側面の所定位置に外部端子を取り付けるようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−１１９４８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載の技術は、複数の可変容量コンデンサを直列接続して構成された可変容量デバイスの内部容量や容量値等の設計自由度をより広げることを主眼としたものであって、製造方法についての具体的な改良を提示するものではなかった。
【０００７】
従来の製法では、単体のシートに誘電体の粉に有機物からなるバインダーを混合して塗布した誘電体シート（このシートを、以下「白シート」と呼ぶ。）を作製する。
その後、この白シートに、内部電極パターンの形状（例えば、矩形状）に対応する開口部が形成されたマスクを介してペースト化したＮｉ等の卑金属の導電体粉を塗布することにより、コンデンサの電極となる導電体が塗布されたシート（以下、このシートを「グリーンシート（ＧＳ）」と呼ぶ。）を作製する。
【０００８】
ここで、単素子のコンデンサ複数個を積層方向に直列接続したコンデンサアレイや、単素子のコンデンサを積層方向に複数個直列接続したコンデンサブロックを複数個積層して並列接続したコンデンサアレイを作製する場合には、多くの内部電極パターンが必要になる。内部電極パターンが多くなると、その内部電極パターンの数だけグリーンシートを作製する必要があり、グリーンシートの製作精度の管理が難しかった。また、グリーンシートの種類が多くなることによって、これを積み重ねる工程が増え、そのための設備投資も増えるので、生産性が劣るという問題があった。
【０００９】
ただ、従来の製法においても、一つの電極パターンが形成されたグリーンシートを、例えば１８０°回転して異なるパターンのグリーンシートとして使うことは行われていた。つまり、１種類の電極パターンのグリーンシートを、２種の内部電極パターンを有するグリーンシートとして使うのである。しかし、従来の方法では、１８０°回転までが限度で、それ以上の電極パターンのグリーンシートを作成するには、別の電極パターンのグリーンシートを製造する工程が必要とされた。したがって、そのための製造工程の品質管理や設備の大型化などが必要とされ、そのためのコスト増を解消することはできなかった。
【００１０】
そこで、本開示の目的は、グリーンシートの内部電極パターンの数を極力少なくし、一つの内部電極パターンのグリーンシートから、実質的に複数種類の内部電極パターンを有するグリーンシートを作製することによって、より効率的な静電容量素子の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するための本開示の静電容量素子の製造方法は、導電体が塗布されない誘電体シートと、該誘電体シートに導電体塗布用の少なくとも１個の基本パターン形状を有するマスクを用意する工程と、誘電体シート上にマスクを介して導電体を塗布して基本パターングリーンシートを作製する工程と、この基本パターングリーンシートを回転した基本パターン回転グリーンシートを作製する工程と、を含む。
【００１２】
更に、基本パターングリーンシート及び基本パターン回転グリーンシートを積層する工程と、基本パターングリーンシート、または基本パターン回転グリーンシートのうち、少なくとも一つのグリーンシートを裏返して、基本パターングリーンシートまたは基本パターン回転グリーンシートとは異なる基本パターン裏返しグリーンシートを作製する工程を含む。
【００１３】
そして、基本パターングリーンシート及び基本パターン回転グリーンシートを積層した積層体に、導電体が塗布されていない誘電体シートを介して基本パターン裏返しグリーンシートを積層する工程と、基本パターングリーンシート、基本パターン回転グリーンシート、誘電体シート及び基本パターン裏返しグリーンシートの積層体を圧着及び焼成処理する工程と、を含む。
【００１４】
また、基本パターングリーンシート、基本パターン回転グリーンシート、誘電体シート、及び基本パターン裏返しグリーンシートの積層体の側面に、外部電極を印刷して焼成処理を行う工程を含み、更に必要に応じて、基本パターングリーンシート、基本パターン回転グリーンシート、誘電体シート及び基本パターン裏返しグリーンシートの積層体の上部及び下部に補強用の誘電体シートを積層する工程も含む。
【００１５】
また、本開示の他の形態では、誘電体シート及び該誘電体シートに導電体塗布用の所定のパターン形状を有するマスクを用意する工程と、誘電体シート上にマスクを介して導電体を塗布して基本パターングリーンシートを作製する工程と、基本パターングリーンシートを９０°回転して基本パターン９０°回転グリーンシートを作製する工程と、基本パターングリーンシートを１８０°回転して基本パターン１８０°回転グリーンシートを作製する工程と、基本パターングリーンシートを２７０°回転して基本パターン２７０°回転グリーンシートを作製する工程を含む。そして、基本パターングリーンシート、基本パターン９０°回転グリーンシート、基本パターン１８０°回転グリーンシート、及び基本パターン２７０°回転グリーンシートを積層する工程と、この積層される４個のグリーンシートの上部及び下部に導電体が塗布されていない補強用の誘電体シートを積層して圧着及び焼成処理を行う工程を含む。
【発明の効果】
【００１６】
本開示によれば、一つの内部電極パターンのグリーンシートの有用活用がなされるので、特に多数のコンデンサを直列接続する静電容量素子の製造方法において、その製作精度の管理を比較的簡単に行うことができる。また、静電容量素子の製造方法において、製造設備面でのコスト削減が可能となり、極めて高い生産性を上げることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】従来から存在する並列接続された一つの静電容量素子の外観図（Ａ）、断面図（Ｂ）及び等価回路（Ｃ）を示す図である。
【図２】図１の静電容量素子に用いられる基本パターンのグリーンシート（Ａ）と、これを１８０°回転したグリーンシート（Ｂ）の例を示す図である。
【図３】図１に示す静電容量素子の製造方法の概略を説明するための図である。
【図４】従来から存在する２つのパターンのグリーンシートを用いて作製したコンデンサを２個直列接続した静電容量素子の外観図（Ａ）、断面図（Ｂ）及び等価回路（Ｃ）を示す図である。
【図５】図４の静電容量素子に用いられる基本パターングリーンシート（Ａ）と、基本パターンを１８０°回転させたグリーンシート（Ｂ）と、第２パターンのグリーンシート（Ｃ）の例を示す図である。
【図６】図４に示す静電容量素子の製造方法の概略を説明するための図である。
【図７】従来から存在する２つのパターンのグリーンシートを用いて作製したコンデンサを３個直列接続した静電容量素子の外観図（Ａ）、断面図（Ｂ）及び等価回路（Ｃ）を示す図である。
【図８】図７の静電容量素子を製造する際に用いられる、図５に示した第２パターンのグリーンシート（Ｃ）を１８０°回転した４番目のグリーンシートの例を示す図である。
【図９】図７に示す静電容量素子の製造方法の概略を説明するための図である。
【図１０】本開示の第１の実施形態の例である、２個のコンデンサが直列接続された静電容量素子の外観図（Ａ）、断面図（Ｂ）及び等価回路（Ｃ）を示す図である。
【図１１】図１０の静電容量素子に用いられる基本パターングリーンシート（Ａ）と、基本パターンを１８０°回転させた１８０°回転グリーンシート（Ｂ）と、基本パターンを裏返して作製した裏返しグリーンシート（Ｃ）の例を示す図である。
【図１２】図１０に示す静電容量素子の製造方法の概略を説明するための図である。
【図１３】図１０に示す静電容量素子の製造方法の手順を示す工程図である。
【図１４】本開示の第１の実施形態の第１の変形例である、３個のコンデンサが直列接続された静電容量素子の外観図（Ａ）、断面図（Ｂ）及び等価回路（Ｃ）を示す図である。
【図１５】図１４に示す本開示の第１の実施形態の変形例に用いられる、図１１の基本パターンを１８０°回転させたグリーンシート（Ｂ）を更に裏返した４番目のグリーンシートの例を示す図である。
【図１６】図１４に示す静電容量素子の製造方法の概略を説明するための図である。
【図１７】図１４に示す静電容量素子の製造方法の手順を示す工程図である。
【図１８】本開示の第１の実施形態の第２の変形例である、７個のコンデンサが直列接続された静電容量素子の外観図（Ａ）、断面図（Ｂ）及び等価回路（Ｃ）を示す図である。
【図１９】図１８に示す本開示の第１の実施形態の第２の変形例に用いられる、基本パターングリーンシート（Ａ）と、基本パターンを１８０°回転させた１８０°回転グリーンシート（Ｂ）と、基本パターンを裏返して作製した基本パターン裏返しグリーンシート（Ｃ）と、基本パターンを１８０°回転させた後に裏返した１８０°回転＆裏返しグリーンシート（Ｄ）の例を示す図である。
【図２０】図１８に示す本開示の第１の実施形態の第２の変形例に用いられる、第２パターングリーンシート（Ｅ）と、第２パターンを１８０°回転させた第２パターン１８０°回転グリーンシート（Ｆ）と、第２パターンを裏返して作製した第２パターン裏返しグリーンシート（Ｇ）と、第２パターンを１８０°回転させた後に裏返して作製した第２パターン１８０°回転＆裏返しグリーンシート（Ｈ）の例を示す図である。
【図２１】図１８に示す静電容量素子の製造方法の概略を説明するための図である。
【図２２】図１８に示す静電容量素子の製造方法の手順を示す工程図である。
【図２３】本開示の第２の実施形態の例である、３つのコンデンサが直列接続された静電容量素子の外観図（Ａ）、断面図（Ｂ）及び等価回路（Ｃ）を示す図である。
【図２４】図２３に示す本開示の第２の実施形態例に用いられる、基本パターングリーンシート（Ａ）と、基本パターンを９０°回転させた基本パターン９０°回転グリーンシート（Ｂ）と、基本パターンを１８０°回転させた基本パターン１８０°回転グリーンシート（Ｃ）と、基本パターンを２７０°（−９０°）回転させた基本パターン２７０°回転グリーンシート（Ｄ）の例を示す図である。
【図２５】図２３に示す静電容量素子の製造方法の概略を説明するための図である。
【図２６】図２３に示す静電容量素子の製造方法の手順を示す工程図である。
【図２７】本開示の第２の実施形態の第１の変形例である、グリーンシート７枚を用いた２並列３直列のコンデンサ６個が接続された静電容量素子の外観図（Ａ）、断面図（Ｂ）、等価回路（Ｃ）及び内部回路（Ｄ）を示す図である。
【図２８】図２７に示す静電容量素子の製造方法の概略を説明するための図である。
【図２９】図２７に示す静電容量素子の製造方法の手順を示す工程図である。
【図３０】本開示の第２の実施形態の第２の変形例である、グリーンシート８枚を用いた２並列３直列のコンデンサ６個が接続された静電容量素子の外観図（Ａ）、断面図（Ｂ）、等価回路（Ｃ）及び内部回路（Ｄ）を示す図である。
【図３１】図３０に示す静電容量素子の製造方法の概略を説明するための図である。
【図３２】図３０に示す静電容量素子の製造方法の手順を示す工程図である。
【図３３】本開示の第２の実施形態の第３の変形例である、グリーンシート１０枚を用いた３並列３直列のコンデンサ９個が接続された静電容量素子の外観図（Ａ）、断面図（Ｂ）、等価回路（Ｃ）及び内部回路（Ｄ）を示す図である。
【図３４】図３３に示す静電容量素子の製造方法の概略を説明するための図である。
【図３５】図３３に示す静電容量素子の製造方法の手順を示す工程図である。
【図３６】本開示の第２の実施形態の第４の変形例である、グリーンシート１２枚を用いた３並列３直列のコンデンサ９個が接続された静電容量素子の外観図（Ａ）、断面図（Ｂ）、等価回路（Ｃ）及び内部回路（Ｄ）を示す図である。
【図３７】図３６に示す静電容量素子の製造方法の概略を説明するための図である。
【図３８】図３６に示す静電容量素子の製造方法の手順を示す工程図である。
【図３９】本開示の第３の実施形態の例である、グリーンシート８枚を用いて作製した、コンデンサ７個が直列接続された静電容量素子の外観図（Ａ）、断面（Ｂ）、及び等価回路（Ｃ）を示す図である。
【図４０】図３９に示す本開示の第３の実施形態例に用いられる、図２４に示す基本パターングリーンシート（Ａ）、基本パターンを９０°回転させた９０°回転グリーンシート（Ｂ）、基本パターンを１８０°回転させた１８０°回転グリーンシート（Ｃ）、基本パターンを２７０°（−９０°）回転させた２７０°回転グリーンシート（Ｄ）を裏返して作製したグリーンシート（Ｅ）〜（Ｈ）の例を示す図である。
【図４１】図３９に示す静電容量素子の製造方法の概略を説明するための図である。
【図４２】図３９に示す静電容量素子の製造方法の手順を示す工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を参照して、本開示の実施形態に係る容量素子の製造方法について説明する。本開示の実施形態は以下の順に説明する。なお、本開示は以下の例に限定されるものではない。
１．静電容量素子の製造方法の一般的な方法（図１〜９）
２．本開示の第１の実施形態例に係る静電容量素子の製造方法（図１０〜１３）
２−１ 第１の変形例（図１４〜１７）
２−２ 第２の変形例（図１８〜２２）
３．本開示の第２の実施形態例に係る静電容量素子の製造方法（図２３〜２６）
３−１ 第１の変形例（図２７〜２９）
３−２ 第２の変形例（図３０〜３２）
３−３ 第３の変形例（図３３〜３５）
３−４ 第４の変形例（図３６〜３８）
４．本開示の第３の実施形態例に係る静電容量素子の製造方法（図３９〜４２）
【００１９】
＜１．静電容量素子の製造方法の一般的な方法＞
まず、本開示の第１の実施形態例に係る静電容量素子の製造方法を説明する前に、本実施形態例の静電容量素子の製造方法の比較例として、従来から一般的に行われている静電容量素子の製造方法について、図１〜９を参照して説明する。
【００２０】
図１に、一般的に用いられる複数のコンデンサが並列接続された静電容量素子の外観を示す外観図（Ａ）と、点線Ｘ−Ｘ’で切断したときの断面図（Ｂ）と、この静電容量素子１０の等価回路（Ｃ）を示す。
静電容量素子１０は、静電容量素子本体１１と外部電極１２ａ、１２ｂから構成されている。そして、静電容量素子本体１１は、誘電体シート１４の上に電極を形成するペースト状の導電体１３が塗布されて形成される。この誘電体シート１４と、誘電体シート１４上に形成される所定の電極パターンの導電体１３とからなるグリーンシートが複数枚（図１（Ｂ）では８枚）積層されて、７個のコンデンサが並列接続された静電容量素子が作製される。図１では図示されていないが、通常は、積層されたグリーンシートの上部及び下部には、導電体１３が塗布されない状態の誘電体１４のみのシート（白シート）が補強用として設けられる。
【００２１】
図２は、図１に用いられる２つのグリーンシート（以下、単に「ＧＳ」と略記することもある）を示したものである。図２（Ａ）は、基本パターンのグリーンシートであり、誘電体１４上に導電体１３ａが塗布され、圧着されたシートである。導電体１３ａは、図１（Ａ）に示す外部電極１２ａに接続される。図２（Ｂ）は図２（Ａ）の基本パターンＧＳを１８０°回転させたグリーンシートであり、このグリーンシート上の導電体１３ｂが図１（Ａ）の外部電極１２ｂに接続される。
【００２２】
図３は、図１の静電容量素子を製造する方法の概略を説明するための図である。図３を見ると分かるように、図２（Ａ）に示す基本パターンＧＳ１５ａ４枚と、図２（Ｂ）に示す１８０°回転ＧＳ１５ｂ４枚が縦方向に交互に並べられている。そして、グリーンシートの上部と下部には、誘電体のみのシート（白シート）１７ａ、１７ｂがそれぞれ３枚積層されている。この白シートは、静電容量素子の補強のために用いられるので、必要とされる枚数は、静電容量素子に要求される厚さや平面の大きさを考慮しつつ適宜定められる。
なお、基本パターンＧＳと基本パターン１８０°回転ＧＳとを交互に積層する方法では、グリーンシートの種類数Ｎ（＝１，２，３・・・）と直列接続される単素子のコンデンサの数Ｋとの関係は、（１）式
Ｋ＝２Ｎ−１ ・・・・・ （１）
が成立する。図１では、Ｎ＝１、Ｋ＝１である。
【００２３】
図４に、基本パターンの他にもう一つ別のパターンを用いて作製したコンデンサを２個直列接続した静電容量素子の外観図（Ａ）、点線Ｘ−Ｘ’で切断したときの断面図（Ｂ）及びその等価回路（Ｃ）を示す。
図４（Ａ）と（Ｃ）に示すように、図４に示す静電容量素子２０は、２個のコンデンサが直列接続されるので、静電容量素子本体２１には、３つの外部電極２２ａ〜２２ｃが形成されている。静電容量素子本体２１は、図５で後述するように誘電体シート２４と、この誘電体シート上に塗布され圧着された導電体２３からなる３枚のグリーンシートを含む。
【００２４】
図５は、異なる外部電極２２ａ〜２２ｃに接続される異なる導電体２３ａ〜２３ｃを備える３枚のグリーンシートを示す。図５の（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、図４（Ａ）の静電容量素子本体２１は、基本パターンＧＳ２５ａと、基本パターンＧＳを１８０°回転して作製した基本パターン１８０°回転ＧＳ２５ｂと、基本パターンとは別に製造される第２パターンＧＳ２５ｃを有する。第２パターンＧＳ２５ｃは、基本パターンＧＳ２５ａと縦方向の中心線に対して線対称となっている。基本パターンＧＳ２５ａは導電体２３ａを有し、外部電極２２ａに接続される。基本パターン１８０°回転ＧＳ２５ｂは導電体２３ｂを有し、外部電極２２ｂに接続される。そして、第２パターンＧＳ２５ｃは導電体２３ｃを有し、外部電極２２ｃに接続される。
【００２５】
図６は、図４に示す静電容量素子本体２１を製造する場合の、３枚のグリーンシートを重ね合わせる方法の例を示した図である。図６に示すように、基本パターンＧＳ２５ａの上に基本パターン１８０°回転ＧＳ２５ｂを設け、更に基本パターン１８０°回転ＧＳ２５ｂの上に第２パターンＧＳ２５ｃを積層する。ここで、基本パターンＧＳ２５ａの導電体（電極）２３ａと基本パターン１８０°回転ＧＳ２５ｂの導電体２３ｂとの間の誘電体シート２４ｂ（図５参照）が第１のコンデンサ２６ａを形成し、基本パターン１８０°回転ＧＳ２５ｂの導電体２３ｂと第２パターンＧＳ２５ｃの導電体２３ｃとの間の誘電体シート２４ｃ（図５参照）が第２のコンデンサ２６ｂを形成している（図４（Ｃ）の等価回路参照）。なお、積層された３枚のグリーンシートの上部と下部には、白シート２７ａ、２７ｂが積層され、全体が圧着及び焼成処理されて静電容量素子２０が製造される。
【００２６】
ここで圧着処理は、積層体をビニール袋で密閉し、静水圧をかける方法が考えられる。通常、積層体は板状になっており、厚さ方向の他に幅方向、長さ方向とも圧力がかかるが、厚さ方向（板面の積層方向）の方が、幅方向と長さ方向より面積が大きいので、厚さ方向（積層方向）に加わる力によって積層体の圧着が行われる。
なお、圧着後に積層体の焼成処理が行われるが、この焼成処理では、通常２段階で温度を上昇させている。すなわち、第１段階では、誘電体及び内部電極用のペーストの有機物を除去するために、比較的低温（有機物の熱分解温度である４００℃程度）での焼成処理が行われる。第２段階では、内部電極を形成する金属の溶融（または半溶融）と誘電体を構成する無機物の焼結のために、１３００℃程度の高温での焼成が行われる。この温度の切換は、必ずしもこの２段階（２つの温度）で行われるものではなく、温度変化のプロファイルは必要に応じて適宜工夫されるものである。
【００２７】
図７に、３個のコンデンサを直列接続した静電容量素子３０の外観図（Ａ）とＸ−Ｘ’断面図（Ｂ）、及びその等価回路（Ｃ）を示す。
静電容量素子３０は、図７（Ｃ）に示すように、３個のコンデンサ３６ａ〜３６ｃが直列接続されたものであり、静電容量素子本体３１と４つの外部電極３２ａ〜３２ｄを有する。静電容量素子本体３１は、誘電体シート３４と、この誘電体シート３４上に塗布され圧着される導電体３３からなる４枚のグリーンシートからなる。
【００２８】
この静電容量素子３０の製造に用いられる４枚のグリーンシートは、図５で説明した３種類のグリーンシート（Ａ）〜（Ｃ）の他に、図８に示す４番目のグリーンシートを含む。図８に示すグリーンシートは、図５（Ｃ）の第２パターンＧＳ２５ｃを１８０°回転した第２パターン１８０°回転ＧＳ３５ｄである。この４枚目のグリーンシート３５ｄは、誘電体３４ｄと導電体３３ｄから形成され、外部電極３２ｄに接続される。以下の説明では、図５（Ａ）〜（Ｃ）のグリーンシートと同じグリーンシートを第２パターン１８０°回転ＧＳ３５ｄの番号と整合性をとって、ＧＳ３５ａ、ＧＳ３５ｂ、ＧＳ３５ｃと記述する。
【００２９】
図９は、図７の静電容量素子本体３１を製造する方法の概略を説明するための図である。図９に示すように、導電体３３ａを有する基本パターンＧＳ３５ａの上に、導電体３３ｂを有する基本パターン１８０°回転ＧＳ３５ｂを重ねる。そして、その基本パターン１８０°回転ＧＳ３５ｂの上に導電体３３ｃを有する第２パターンＧＳ３５ｃを重ね、更にその上に図８に示す第２パターン１８０°回転ＧＳ３５ｄを積層する。ここで、基本パターンＧＳ３５ａの導電体３３ａと基本パターン１８０°回転ＧＳ３５ｂの導電体３３ｂとの間の誘電体シート３４ｂが第１のコンデンサ３６ａを形成し、基本パターン１８０°回転ＧＳ３５ｂの導電体３３ｂと第２パターンＧＳ３５ｃの導電体３３ｃとの間の誘電体シート３４ｃが第２のコンデンサ３６ｂを形成する。そして、第２パターンＧＳ３５ｃの導電体３３ｃと第２パターン１８０°回転ＧＳ３５ｄの導電体電極３３ｄとの間の誘電体シート３４ｄが第３のコンデンサ３６ｃを形成している（図７（Ｃ）の等価回路参照）。
【００３０】
最上部に配置された第２パターン１８０°回転ＧＳ３５ｄの上部には、補強用の白シート３７ａが複数枚積層され、同様に最下部に配置された基本パターンＧＳ３５ａの下部には補強用の白シート３７ｂが複数枚積層される。４枚のグリーンシートとその上下に配置された白シートは、圧着され、更に焼成処理されて静電容量素子３０が製造される。
この製造方法でも、上述した式（１）の“Ｋ＝２Ｎ−１”が適用され、ここではＮ＝２となるから、Ｋ＝３となって、直列接続される単素子のコンデンサは３個になる。
【００３１】
＜２．本開示の第１の実施形態例に係る静電容量素子の製造方法＞
図１０に、本開示の第１の実施形態例に係る静電容量素子の製造方法で製造した、２個のコンデンサが直列接続された静電容量素子４０の外観図（Ａ）と、点線Ｘ−Ｘ’で切断したときの断面図（Ｂ）、及びその等価回路（Ｃ）を示す。
静電容量素子４０は、３枚目のグリーンシートの作製方法が異なる以外は、図４に示した静電容量素子２０の構成と同じであるが、図４に示した従来の静電容量素子２０と区別するために、図１０では４０番代の番号を付けている。
【００３２】
図１０（Ｃ）に示すように、図４に示す静電容量素子４０は、２個のコンデンサ４６ａ、４６ｂが直列接続された静電容量素子であり、静電容量素子本体４１と３つの外部電極４２ａ〜４２ｃを有する。静電容量素子本体４１は、誘電体シート４４と、この誘電体シート４４上に塗布され、圧着される導電体４３からなる３枚のグリーンシートにより構成される。
【００３３】
ここで、基本パターングリーンシート、基本パターン１８０°回転グリーンシート及びこれらを裏返して作製した基本パターン裏返しグリーンシート３枚を順不同で積層した場合には、グリーンシートの種類数Ｎ（＝１，２，３・・・）と直列接続される単素子のコンデンサの数Ｋとすると、
Ｋ＝４Ｎ−１ ・・・・・ （２）
が成立する。この式（２）から、Ｎ＝１、Ｋ＝３となり、直列接続される単素子のコンデンサの数は、最大３個となる（図１４で後述）。なお、図１０では、直列接続するコンデンサを２個にしている。
【００３４】
図１０に示す静電容量素子４０も、図５の静電容量素子２０と同様に、３枚のグリーンシートを備える。すなわち、図１１の（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、静電容量素子本体４１は、基本パターンＧＳ４５ａと、基本パターンＧＳ４５ａを１８０°回転させた基本パターン１８０°回転ＧＳ４５ｂと、基本パターンを裏返して作製する基本パターン裏返しＧＳ４５ｃを有する。基本パターンＧＳ４５ａは導電体４３ａを有し、外部電極４２ａに接続される。基本パターン１８０°回転ＧＳ４５ｂは導電体４３ｂを有し、外部電極４２ｂに接続される。また、基本パターン裏返しＧＳ４５ｃは導電体４３ｃを有し、外部電極４２ｃに接続される。なお、基本パターンのグリーンシート（ＧＳ）あるいはそれを回転したパターンのグリーンシート（ＧＳ）と、それらを裏返して作製したグリーンシート（ＧＳ）とを区別するために、裏返して作製したグリーンシート（ＧＳ）については、図面全体を通して導電体の部分を点線で示している（例えば図１１（Ｃ）参照）。
【００３５】
図１２は、図１０に示す静電容量素子本体４１を製造する場合の、図１１で示した３枚のグリーンシートを重ね合わせる方法の例を示したものである。図１２に示すように、基本パターンＧＳ４５ａの上部に基本パターン１８０°回転ＧＳ４５ｂを配置し、更に基本パターン１８０°回転ＧＳ４５ｂの上部に、一枚の白シート４７ｃを挟んで基本パターン裏返しＧＳ４５ｃを配置する。ここで、基本パターンＧＳ４５ａの導電体４３ａと基本パターン１８０°回転ＧＳ４５ｂの導電体４３ｂとの間の誘電体シート４４ｂが、第１のコンデンサ４６ａを形成し、基本パターン１８０°回転ＧＳ４５ｂの導電体４３ｂと基本パターン裏返しＧＳ４５ｃの導電体４３ｃとの間に挿入された白シート４７ｃが第２のコンデンサ４６ｂを形成している（図１０（Ｃ）の等価回路参照）。
【００３６】
図１３は、図１２に示したグリーンシートの重ね合わせによる製造方法を、工程毎に段階を追って示した工程図である。最初に、静電容量素子本体４１の誘電体層を構成するため、所望の誘電体材料からなる誘電体シート４４を用意する。そして、この誘電体シート４４上に電極となる基本パターンの導電体を塗布するため、その形成領域に対応する領域が開口された基本パターンのマスク（不図示）を用意する（ステップＳ１１）。
【００３７】
上述した誘電体シート４４を作製する場合、通常、無機物の粒子からなる誘電体に糊である有機物バインダーを混ぜ合わせた誘電体ペーストを作製する。そして、この誘電体ペーストをＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルム上に所望の厚さに塗布することによって、ＰＥＴと一体化した誘電体シートが形成される。
また、誘電体シートに電極を形成する際には、金属の粒子からなる導電体に、有機物のバインダー（糊）を加えてよく混ぜて、導電体（電極）ペーストを作製する。そして、この導電体（電極）ペーストをＰＥＴと一体化した誘電体シートに、スクリーン印刷マスクを介して塗布することにより、導電体シートが形成される。
【００３８】
具体的に説明すると、誘電体シート４４の材料としては、例えば、プラスのイオンとマイナスのイオンの原子が変位することで電気的に分極するイオン結晶材料からなる強誘電体材料が用いられる。このイオン分極を生じる強誘電体材料は、一般に、所定の２つの元素をＡ及びＢとすると、化学式ＡＢＯ３（Ｏは酸素元素）で表される。このような強誘電体材料としては、例えば、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）、ニオブ酸カリウム（ＫＮｂＯ３）、チタン酸鉛（ＰｂＴｉＯ３）等が挙げられる。また、誘電体シート４４の材料として、チタン酸鉛（ＰｂＴｉＯ３）にジルコン酸鉛（ＰｂＺｒＯ３）を混ぜ合わせたＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）を用いてもよい。
【００３９】
また、誘電体シート４４の形成材料として電子分極が生じる強誘電体材料を用いることもできる。この強誘電体材料では、プラスの電荷に偏った部分と、マイナスの電荷に偏った部分とに分かれる電子分極が生じる。そのような材料としては、例えば、Ｆｅ２＋の電荷面と、Ｆｅ３＋の電荷面の形成により、分極を形成して強誘電体的特性を示す希土類鉄酸化物がある。ここで、希土類元素をＲＥとし、鉄族元素をＴＭとしたときに、分子式（ＲＥ）・（ＴＭ）２・Ｏ４（Ｏ：酸素元素）で表される材料が高誘電率を有することが知られている。希土類元素としては、例えば、Ｙ、Ｅｒ、Ｙｂ、Ｌｕ（特にＹと重希土類元素）が挙げられ、鉄族元素としては、例えば、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ（特にＦｅ）が挙げられる。また、希土類鉄酸化物である（ＲＥ）・（ＴＭ）２・Ｏ４としては、例えば、ＥｒＦｅ２Ｏ４、ＬｕＦｅ２Ｏ４、ＹＦｅ２Ｏ４などが用いられる。
【００４０】
次に、ステップＳ１１で用意された誘電体シートと電極形成用のマスクを用いて、誘電体シート上への導電膜の塗布と圧着が行われる（ステップＳ１２）。ここで、導電膜の塗布は、以下のように行われる。すなわち、Ｐｔ、Ｐｂ、Ｐｂ／Ａｇ、Ｎｉ、Ｎｉ合金等の金属粉末をペースト状にした導電ペーストを準備し、この導電ペーストを、ステップＳ１１で用意したマスクを介して誘電体シート４４上に印刷（例えばシルク印刷など）する。これにより、誘電体シート４４の一方の表面に、基本パターンの導電体電極４３ａが形成された基本パターンＧＳ４５ａが得られる。次に、得られた基本パターンＧＳ４５ａを１８０°回転して基本パターン１８０°回転ＧＳ４５ｂを得（ステップＳ１３）、続いて、基本パターンＧＳ４５ａを裏返して基本パターン裏返しＧＳ４５ｃを得る（ステップＳ１４）。
【００４１】
ステップＳ１２で作製した基本パターンＧＳ４５ａとステップＳ１３で作製した基本パターン１８０°回転ＧＳ４５ｂを重ね（ステップＳ１５）、その上に白シート４７ｃを重ねる（ステップＳ１６）。そして、この白シート４７ｃの上に、ステップＳ１４で作製した基本パターン裏返しＧＳ４５ｃを配置して積層体を作製する（ステップＳ１７）。次に、ステップＳ１７で作製した積層体の上部と下部に補強用の白シート４５ａ、４５ｂをそれぞれ必要に応じた枚数だけ重ねて積層し、これに圧着及び焼成処理を加えて一体化する（ステップＳ１８）。そして、最後に外部電極４２ａ〜４２ｃを付加して静電容量素子４０が完成する（ステップＳ１９）。なお、外部電極４２ａ〜４２ｃは、通常、ベースとなる金属微粒子に溶剤とバインダーからなる高分子材料を混合してペースト状にし、これを印刷（塗布）及び焼成することによって形成される。
【００４２】
［２−１ 第１の変形例］
次に、図１４〜図１７を参照して、本開示の第１の実施形態例に係る静電容量素子の製造方法の第１の変形例について説明する。
図１４は、３個のコンデンサ５６ａ〜５６ｃが直列接続された静電容量素子５０の外観図（Ａ）と、点線Ｘ−Ｘ’で切断したときの断面図（Ｂ）及びその等価回路（Ｃ）を示す。図１０の静電容量素子４０と異なる点は、直列接続するコンデンサの数を１個多くするために、静電容量素子４０のときに比べてグリーンシートが１枚余計に必要になることである。つまり、図１４（Ｂ）に示すように、導電体５３ａ〜５３ｄを含む４枚のグリーンシートが必要になる。
【００４３】
図１５は、図１１に示される基本パターン裏返しＧＳを１８０°回転して作製した４番目のグリーンシートを示している。この４番目のグリーンシートは、図１１の基本パターンＧＳ４５ａを１８０°回転し、更にこれを裏返しにした基本パターン１８０°回転＆裏返しＧＳ５５ｄである。図１４の静電容量素子５０でも図１１のグリーンシート４５ａ〜４５ｃが用いられるが、ここでは新たに用いるグリーンシート５５ｄに合わせて、グリーンシートの番号を５５ａ〜５５ｃとしている。
【００４４】
図１６は、静電容量素子５０における４枚のグリーンシートに白シートを積層した状態を示したものである。図１６から分かるように、基本パターンＧＳ５５ａの導電体５３ａと基本パターン１８０°回転ＧＳ５５ｂの導電体５３ｂの間に配置された誘電体シート５４ｂとで、図１４の等価回路（Ｃ）に示す第１のコンデンサ５６ａが形成される。また、基本パターン裏返しＧＳ５５ｃの導電体５３ｃと基本パターン１８０°回転＆裏返しＧＳ５５ｄの導電体５３ｄの間に配置される誘電体シート５４ｃにより、図１４の等価回路（Ｃ）に示す第３のコンデンサ５６ｃが形成される。
【００４５】
図１６では、１８０°回転ＧＳ５５ｂと基本パターン裏返しＧＳ５５ｃとの間に、導電体が圧着されてない誘電体のみからなる白シート５７ｃが挿入されている。この白シート５７ｃを挟む基本パターン１８０°回転ＧＳ５５ｂの導電体５３ｂと、基本パターン裏返しＧＳ５５ｃの導電体５３ｃと、白シート５７ｃにより、図１４の等価回路（Ｃ）に示される第２のコンデンサ５６ｂが形成される。なお、積層された４枚のグリーンシートの上部と下部には、補強用として白シート５７ａ、５７ｂが積層される。
【００４６】
次に、図１７のフローチャートを参照して、図１４に示す静電容量素子５０の製造工程を説明する。図１７のフローチャートのうち、図１３のフローチャートと同一の工程については、同一のステップ記号（ステップＳ１１〜Ｓ１６）を付している。これについては、既に図１３で説明しているので重複した説明は省略する。
【００４７】
図１７では、新たにステップＳ１９に示す基本パターン１８０°回転＆裏返しＧＳ５５ｄ（図１５参照）の作製工程が含まれる。そして、ステップＳ１６で用意された白シート５７ｃの上に基本パターン裏返しＧＳ５５ｃと基本パターン１８０°回転＆裏返しＧＳ５５ｄを順不同に重ねた積層体を作製する（ステップＳ２０）。
【００４８】
続いて、ステップＳ１５で作製した積層体の上部にステップＳ２０で作製した積層体を重ね（ステップＳ２１）、更にこのステップＳ２１で作製された積層体の上部及び下部に複数枚の補強用白シート５７ａ、５７ｂを配置して、圧着及び焼成処理を行う（ステップＳ２２）。最後に、ステップ２２で処理された積層体に、外部電極５２ａ〜５２ｄを印刷し、焼成処理を行うことで、静電容量素子５０が製造される（ステップＳ２３）。
【００４９】
［２−２ 第２の変形例］
次に、図１８〜２２を参照して、本開示の第１の実施形態例に係る静電容量素子の製造方法の第２の変形例について説明する。
図１８は、７個のコンデンサ６６ａ〜６６ｇが直列接続された静電容量素子６０の外観図（Ａ）と、点線Ｘ−Ｘ’で切断したときの断面図（Ｂ）及びその等価回路（Ｃ）を示す。
図１８の静電容量素子６０は、７個のコンデンサ６６ａ〜６６ｇが直列接続された静電容量素子であるから、各コンデンサ間の電極に接続するための端子も含めると、８個の外部電極６２ａ〜６２ｈと、８個の導電体６３ａ〜６３ｈが必要とされる。すなわち、２種類の基本パターンからなる８枚のグリーンシート６５ａ〜６５ｈが必要となる。以下、この２種類の基本パターンを第１パターン、第２パターンとして説明する。
【００５０】
図１９、図２０は、それぞれ第１のパターンを有するグリーンシート４枚と、第２のパターンを有するグリーンシート４枚を示す。
図１９（Ａ）は第１パターンの基礎となるグリーンシート（ＧＳ）６５ａを示す。この第１パターンＧＳ６５ａを１８０°回転すると図１９（Ｂ）に示す第１パターン１８０°回転ＧＳ６５ｂとなり、この第１パターンＧＳ６５ａを裏返すと図１９（Ｃ）に示す、第１パターン裏返しＧＳ６５ｃになる。図１９（Ｄ）は、図１９（Ｂ）の第１パターン１８０°回転ＧＳ６５ｂを更に裏返して作製した第１パターン１８０°回転＆裏返しＧＳ６５ｄである。
【００５１】
図２０は、第２のパターンを有する４枚のグリーンシート６５ｅ〜６５ｈを示している。図２０に示す第２のパターンのグリーンシートでは、コンデンサの電極を形成する導電体の部分は、第１のパターンとほぼ同じにし、外部電極と接続するための引き出し線部が図１９に示す第１のパターンのグリーンシートと異ならせている。
【００５２】
図２０（Ｅ）は、第２パターンの基礎となる第２パターンＧＳ６５ｅを示す。この第２パターンＧＳ６５ｅを１８０°回転すると図２０（Ｆ）に示す第２パターン１８０°回転ＧＳ６５ｆとなり、また第２パターンＧＳ６５ｅを裏返すと図２０（Ｇ）に示す第２パターン裏返しＧＳ６５ｇになる。更に、図２０（Ｈ）は、図２０（Ｆ）の第２パターン１８０°回転ＧＳ６５ｆを裏返して作製した第２パターン１８０°回転＆裏返しＧＳ６５ｈである。
【００５３】
図１９、図２０を図１８と対応付けてみると、図１９（Ａ）〜（Ｄ）に示す第１パターンに関連するグリーンシート６５ａ〜６５ｄは、図１８（Ａ）に示す外部電極６２ａ〜６２ｄに接続されるのに対し、第２パターンに関連するグリーンシート６５ｅ〜６５ｈは、図１８（Ａ）に示す外部電極６２ｅ〜６２ｈに接続される。外部電極６２ａ〜６２ｈは、それぞれ誘電体の介在により絶縁されているので、図１８（Ｃ）に示すように、７個のコンデンサのすべてに外部端子を付けた直列接続の静電容量素子６０を製造することができる。
【００５４】
図２１は、図１８に示した７個のコンデンサ６６ａ〜６６ｇを直列接続した静電容量素子６０を製造する際の、８枚のグリーンシートの重ね合わせ方法の概略を示したものである。
図２１に示すように、第１パターンＧＳ６５ａ、第１パターン１８０°回転ＧＳ６５ｂ、第２パターンＧＳ６５ｅ、第２パターン１８０°回転ＧＳ６５ｆの４枚のグリーンシートが順不同で積層される。この積層されたグリーンシートの上に白シート６７ｃが配置され、この白シート６７ｃ上に、第２パターン裏返しＧＳ６５ｇ、第２パターン１８０°回転＆裏返しＧＳ６５ｈ、第１パターン１８０°回転＆裏返しＧＳ６５ｄ、及び第１パターン裏返しＧＳ６５ｃの４枚のグリーンシートが順不同で積層される。このように２つのパターンを有する８枚のグリーンシートが積層された後は、その上部と下部に複数枚の白シート６７ａ、６７ｂが重ねて配置される。
【００５５】
図１８〜図２１に示す静電容量素子６０の製法に使われる基本パターングリーンシートの数（グリーンシートの種類数）Ｎは、“２”である。したがって、上述の式（２）式Ｋ＝４Ｎ−１が適用されて、直列接続される単素子のコンデンサの数Ｋは、“７”となる。
【００５６】
図２２は、図１８に示す静電容量素子６０の製造方法の手順を示す工程図である。図１３，図１７の工程図と重複する部分もあるが、ここでは、最初から簡単に全工程について説明しておく。
まず、静電容量素子本体６１の製造に用いられるグリーンシートを作製するため、所望の誘電体材料からなる誘電体シート６４と、この誘電体シート６４上に導電体電極を形成するための第１パターンと第２パターンの２種類のマスクを用意する（ステップＳ３０）。
【００５７】
次に、図１３で述べたように、金属粉末をペースト状にした導電ペーストを準備し、この導電ペーストを、ステップＳ３０で用意した第１パターンのマスクを介して誘電体シート６４上に塗布する。これにより、誘電体シート６４の一方の表面に、第１パターンの導電体電極６３ａが形成された第１パターンＧＳ６５ａ（図１９Ａ）が得られる（ステップＳ３１）。次に、得られた第１パターンＧＳ６５ａを１８０°回転して第１パターン１８０°回転ＧＳ６５ｂ（図１９Ｂ）を得（ステップＳ３２）、続いて、第１パターンＧＳ６５ａを裏返して第１パターン裏返しＧＳ６５ｃ（図１９Ｃ）を得る（ステップＳ３３）。また、第１パターン１８０°回転ＧＳ６５ｂを裏返すことにより、第１パターン１８０°回転＆裏返しＧＳ６５ｄ（図１９Ｄ）を得る（ステップＳ３４）。
【００５８】
続いて、所望の誘電体シート６４と、ステップＳ３０で用意した第２パターンを形成するためのマスクを用いて、この誘電体シート６４に、金属粉末をペースト状にした導電ペーストを、第２パターン用のマスクを介して塗布する。これにより、誘電体シート６４の一方の表面に、第２パターンの導電体電極６３ｅが形成された第２パターンＧＳ６５ｅ（図２０Ｅ）を得る（ステップＳ３５）。この第２パターンＧＳ６５ｅを、１８０°回転して第２パターン１８０°回転ＧＳ６５ｆ（図２０Ｆ）を得（ステップＳ３６）、以下第１パターンのときと同様に、第２パターン裏返しＧＳ６５ｇ（図２０Ｇ）、第２パターン１８０°回転＆裏返しＧＳ６５ｈ（図２０Ｈ）を得る（ステップＳ３７，Ｓ３８）。
【００５９】
次に、第１パターンＧＳ６５ａ（図１９Ａ）、第１パターン１８０°回転ＧＳ６５ｂ（図１９Ｂ）、第２パターンＧＳ６５ｅ（図２０Ｅ）、及び第２パターン１８０°回転ＧＳ６５ｆ（図２０Ｆ）を順不同に重ねた積層体を作製する（ステップＳ３９）。
また、導電体のパターンが印刷されていない誘電体のみの白シート６７ｃを用意し、その白シート６７ｃの上に、第１パターン裏返しＧＳ６５ｃ（図１９Ｃ）、第１パターン１８０°回転＆裏返しＧＳ６５ｄ（図１９Ｄ）、第２パターン裏返しＧＳ６５ｇ（図２０Ｇ）、及び第２パターン１８０°回転＆裏返しＧＳ６５ｈ（図２０Ｈ）を順不同に重ねた積層体を作製する（ステップＳ４０）。
【００６０】
そして、ステップＳ３９で作製した積層体の上に、ステップＳ４０で作製した積層体を重ね、更に、その積層体の上部及び下部に複数枚の白シート６７ａ、６７ｂを重ねて、圧着及び焼成処理を行う（ステップＳ４１）。最後に、ステップＳ４１で作製した積層体に外部電極６２ａ〜６２ｈを印刷して焼成することにより、図１８に示した７個のコンデンサ６６ａ〜６６ｇが直列接続された静電容量素子６０を得る（ステップＳ４２）。
【００６１】
＜３．本開示の第２の実施形態例に係る静電容量素子の製造方法＞
次に、図２３〜２６を参照して、本開示の第２の実施形態例の静電容量素子とその製造方法について説明する。
図２３は、３個のコンデンサ７６ａ〜７６ｃが直列接続された静電容量素子７０の外観図（Ａ）と、点線Ｘ−Ｘ’で切断した時の断面図（Ｂ）及びその等価回路（Ｃ）を示している。外観図（Ａ）から分かるように、この第２の実施形態例では、外部電極７２ａ〜７２ｄが直方体形状をした静電容量素子本体７１の４側面の略同位置に存在している。
【００６２】
これらの外部電極７２ａ〜７２ｄには、断面図（Ｂ）に示した導電体７３ａ〜７３ｄが接続され、その結果等価回路（Ｃ）に示すような、３個のコンデンサ７６ａ〜７６ｃと外部電極７２ａ〜７２ｄの接続関係が得られる。
【００６３】
図２４（Ａ）〜（Ｄ）は、基本パターン（Ａ）を有する４枚のグリーンシート７５ａ〜７５ｄを示している。図２４で、コンデンサの電極を形成する導電体７３ａ〜７３ｄの部分は、誘電体７４ａ〜７４ｄの面積に対して、比較的小面積になっているが、この導電体７３ａ〜７３ｄの面積の大きさは、静電容量素子７０が用いられる用途に応じて任意に決めることができるものである。例えば、静電容量素子７０を通信用のカードに搭載して用いる場合には、図２４（Ａ）〜（Ｄ）に示すように、誘電体７４ａ〜７４ｄの面積に比べて、導電体７３ａ〜７３ｄの面積を小さくすることがより効果的であるとされている。
【００６４】
図２４（Ａ）〜（Ｄ）を見ると分かるように、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）は、（Ａ）に示した基本パターンＧＳ７５ａを、それぞれ９０°回転、１８０°回転、２７０°回転したものである。この３枚のグリーンシート（ＧＳ）を、以下基本パターン９０°回転ＧＳ７５ｂ、基本パターン１８０°回転ＧＳ７５ｃ、基本パターン２７０°回転ＧＳ７５ｄとする。
ここで、基本パターンＧＳ７５ａ、基本パターン９０°回転ＧＳ７５ｂ、基本パターン１８０°回転ＧＳ７５ｃ及び基本パターン２７０°回転ＧＳ７５ｄを順不同で積層した場合には、グリーンシートの種類数Ｎ（＝１，２，３・・・）と直列接続される単素子のコンデンサの数Ｋとの関係は、
Ｋ＝４Ｎ−１ ・・・・・ （２）
が成立する。ここでは、Ｎ＝１で、直列接続される単素子のコンデンサの数Ｋ＝３となる。
【００６５】
図２５は、図２３に示した３個のコンデンサ７６ａ〜７６ｃを直列接続した静電容量素子７０を製造するために、上述した４枚のグリーンシート（ＧＳ）の重ね合わせる方法の概略を示したものである。すなわち、基本パターンＧＳ７５ａ、基本パターン９０°回転ＧＳ７５ｂ、基本パターン１８０°回転ＧＳ７５ｃ、及び基本パターン２７０°回転ＧＳ７５ｄを順不同に重ね、この上部と下部に複数枚の白シート７７ａ、７７ｂを積層する。
【００６６】
図２６は、図２３に示す静電容量素子７０の製造方法の手順を示す工程図である。ステップＳ５０の誘電体シートと導電膜塗布用のマスクを用意する工程、及びステップＳ５1の基本パターンＧＳ７５ａ（図２４Ａ）を作製するまでは、既に説明した方法と同じである。
次に、ステップＳ５１で作製した基本パターンＧＳ７５ａを９０°回転し、基本パターン９０°回転ＧＳ７５ｂ（図２４Ｂ）を作製する（ステップＳ５２）。続いて、基本パターンＧＳ７５ａを１８０°回転して基本パターン１８０°回転ＧＳ７５ｃ（図２４Ｃ）を作製し（ステップＳ５３）、更に２７０°回転して基本パターン２７０°回転ＧＳ７５ｄ（図２４Ｄ）を作製する（ステップＳ５４）。
【００６７】
そして、このようにして作製した４枚のグリーンシート（ＧＳ）を順不同で重ねた積層体を作り（ステップＳ５５）、この積層体の上部と下部に複数枚の白シート７７ａ、７７ｂを積層して圧着及び焼成処理を行う（ステップＳ５６）。最後にステップＳ５６で作製した積層体に外部電極７２ａ〜７２ｄを印刷して焼成処理をすることにより静電容量素子７０の製造が終了する（ステップＳ５７）。
【００６８】
［３−１ 第１の変形例］
図２７〜２９を参照して、本開示の第２の実施形態例の静電容量素子の第１の変形例とその製造方法について説明する。
図２７は、並列接続された２個のコンデンサ８６ａ、８６ｂ、８６ｃのそれぞれが３個直列に接続された静電容量素子８０の外観図（Ａ）と、点線Ｘ−Ｘ’で切断した時の断面図（Ｂ）及びその等価回路（Ｃ）と内部回路（Ｄ）を示したものである。この第１の変形例の外部電極８２ａ〜８２ｄは、図２３の外部電極７２ａ〜７２ｄと同じものである。
【００６９】
これらの外部電極８２ａ〜８２ｄには、断面図（Ｂ）に示した導電体８３ａ〜８３ｄが接続される。図２８に示すように、導電体８３ａ〜８３ｄと誘電体シート８４ａ〜８４ｄで作成されるグリーンシート（ＧＳ）として、１枚の基本パターンＧＳ８５ａと、２枚の基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂと、２枚の基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃと、２枚の基本パターン２７０°ＧＳ８５ｄの７枚のグリーンシートが用意される。
【００７０】
次に、図２８を参照して、上述した７枚のグリーンシートの配置関係の一例を説明する。まず、中心に基本パターンＧＳ８５ａを置く。その上部及び下部に、基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃ、基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂ、基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｃをこの順番に重ねて配置する。これにより、１枚の基本パターンＧＳ８５ａの上側と下側に、それぞれ３枚のグリーンシートが積層されることになる。更に、このように重ねた７枚のグリーンシートの上部と下部に複数枚の白シート８７ａ、８７ｂを積層する。
【００７１】
このように７枚のグリーンシートを積層することにより、１枚の基本パターンＧＳ７５ａと２枚の基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃにより、２個のコンデンサ８６ａが作製され、２枚の基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃと２枚の基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂにより２個のコンデンサ８６ｂが作製される。そして、２枚の基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂと２枚の基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｄから２個のコンデンサ８６ｃが作製される。そして、各グリーンシート８５ａ〜８５ｄの導電体８３ａ〜８３ｄを外部電極８２ａ〜８２ｄに接続することにより、内部回路（Ｄ）に示すように、６個のコンデンサ（８６ａ、８６ｂ、８６ｃがそれぞれ２個）が積層された静電容量素子８０が得られる。
【００７２】
図２９は、静電容量素子８０の具体的な製造工程を示す工程図である。ステップＳ５０〜ステップＳ５４までは、図２６に示した静電容量素子７０の製造工程と同じなので、説明は省略する。
ステップＳ５１〜Ｓ５４で生成した４つのグリーンシートが作製された後は、基本パターンＧＳ８５ａの上部に基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃ、基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂ、基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｄをこの順番に重ねて積層体を生成する（ステップＳ５８）。そして、ステップＳ５８で作製した積層体の下部に基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃ、基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂ、基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｄをこの順番で重ねて積層体とする（ステップＳ５９）。すなわち、図２８に示したように、基本パターンＧＳ８５ａを共通のグリーンシートとして、その上下に、基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃ、基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂ、基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｄが順番に配置された７枚のグリーンシートが積層された積層体が得られる。
【００７３】
続いて、ステップＳ５９で作製した７枚のグリーンシートの積層体の上部及び下部に複数の白シート８７ａと８７ｂを重ねて圧着及び焼成処理を行い（ステップＳ６０）、最後に外部電極８２ａ〜８２ｄを印刷及び焼成処理して、静電容量素子８０の製造工程が終了する（ステップＳ６１）。
【００７４】
［３−２ 第２の変形例］
次に、図３０〜３２を参照して、本開示の第２の実施形態例の静電容量素子の第２の変形例とその製造方法について説明する。
図３０に示す第２の変形例が図２７に示す第１の変形例と異なるところは、Ｘ−Ｘ’で切断した断面図（Ｂ）のみである。つまり、図２７に示す静電容量素子８０は、図２７（Ｂ）に示すように導電体が７個（８３ａが１個、８３ｂ〜８３ｄがそれぞれ２個）であるのに対し、図３０の静電容量素子８０Ａでは、導電体は８個（８３ａ〜８３ｄがそれぞれ２個ずつ）設けられている。
【００７５】
図３１は、上述した８個の導電体が塗布された８枚のグリーンシートの配置関係の例を示したものである。中心部分に基本パターンＧＳ８５ａが２枚重ねて配置される。この基本パターンＧＳ８５ａの導電体電極８３ａは、外部電極８２ａに接続される電極である。基本パターンＧＳ８５ａの上部及び下部に、基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃ、基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂ、基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｃの３枚のグリーンシートを重ねた４枚のグリーンシートからなる積層体を２個作製する。更に、このように重ねた２個の積層体の上部と下部に複数枚の白シート８７ａ、８７ｂを重ねて配置する。
【００７６】
このように８枚のグリーンシートを積層した場合でも、図２８の場合と同様に、２枚の基本パターンＧＳ８５ａと２枚の基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃにより、２個のコンデンサ８６ａが作製され、２枚の基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃと２枚の基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂにより２個のコンデンサ８６ｂが作製される。そして、２枚の基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂと２枚の基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｄから２個のコンデンサ８６ｃが作製される。これにより、図３０の内部回路（Ｄ）に示すように、６個のコンデンサ（８６ａ、８６ｂ、８６ｃがそれぞれ２個）が積層された静電容量素子８０Ａが得られる。
【００７７】
図３２は、静電容量素子８０Ａの具体的な製造工程を示す工程図である。ステップＳ５０〜ステップＳ５４までは、図２８に示した静電容量素子８０の製造工程と同じである。
まず、１枚の基本パターンＧＳ８５ａの上部に基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃ、基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂ、基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｃの３枚のグリーンシートを配置して積層体を形成する（ステップＳ６３）。一方、別の１枚の基本パターンＧＳ８５ａの下部に基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃ、基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂ、基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｄの３枚のグリーンシートを配置して積層体を形成する（ステップＳ６４）。
【００７８】
そして、ステップＳ６３、Ｓ６４で作製された積層体を重ね（ステップＳ６５）、更にその上部と下部に複数枚の白シート８７ａ、８７ｂを積層して、圧着及び焼成処理を行う（ステップＳ６６）。最後に、ステップＳ６６で作製した積層体に外部電極８２ａ〜８２ｄ（図３０（Ａ）参照）の印刷と焼成処理を行って静電容量素子８０Ａの製造が終了する（ステップＳ６７）。
【００７９】
［３−３ 第３の変形例］
次に、図３３〜３５を参照して、本開示の第２の実施形態例の静電容量素子の第３の変形例とその製造方法について説明する。
図３３に示す第３の変形例（静電容量素子８０Ｂ）が、図２７に示す第１の変形例や、図３０に第２の変形例と異なるところは、内部回路（Ｄ）に示すように３個並列にしたコンデンサ８６ａ、８６ｂ、８６ｃを３個直列に接続している点である。このため、第３の変形例では、図３３（Ｂ）に示すように、電極を形成する導電体を１０個（８３ａ、８３ｄをそれぞれ２個、８３ｂ、８３ｃをそれぞれ３個）設けている。
【００８０】
図３４は、図３３の静電容量素子８０Ｂを構成する１０枚のグリーンシート（ＧＳ）の重ね合わせ方法を示すものである。基本パターンＧＳ８５ａと基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｄが２枚、基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂと基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃが３枚の合計１０枚のグリーンシートが用いられる。そして、２枚の基本パターンＧＳ８５ａの上部に基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃ、基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂ、基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｃのグリーンシートをこの順番に重ねて配置した積層体２個を生成する。
【００８１】
この２個の同じ積層体の間に、基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃ、基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂを挟み込むと、上部に配置された積層体の基本パターンＧＳ８５ａと下部に配置された積層体の基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｄを共通に使うことにより、基本パターンＧＳ８５ａ、基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃ、基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂ、基本パターン°回転ＧＳ８５ｃの積層体がもう１個できる。このように積層された３個の積層体のそれぞれは、コンデンサ８６ａ〜８６ｃを直列接続したものとなっており、この３個の積層体を構成するグリーンシートが外部電極８２ａ〜８２ｄに接続されると、図３３の内部回路（Ｄ）に示されるようなコンデンサ８６ａ〜８６ｃが３個並列に接続されたものが３個直列に接続されたコンデンサ回路の構成が実現する。また、図３１と同様に、このように重ねた１０枚のグリーンシートの上部と下部には、複数枚の白シート８７ａ、８７ｂが積層される。
【００８２】
更に、具体的に説明すると、２枚の基本パターンＧＳ８５ａと３枚の基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃにより、３個のコンデンサ８６ａが作製され、３枚の基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃと３枚の基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂにより３個のコンデンサ８６ｂが作製される。そして、３枚の基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂと２枚の基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｄから３個のコンデンサ８６ｃが作製される。これにより、図３３の内部回路（Ｄ）に示すように、並列接続された３個のコンデンサが３個直列接続された９個のコンデンサ（８６ａ、８６ｂ、８６ｃがそれぞれ３個）が積層された静電容量素子８０Ｂが得られる。
【００８３】
図３５は、静電容量素子８０Ｂの具体的な製造工程を示す工程図である。ステップＳ５０〜ステップＳ５４までは、図３０に示した静電容量素子８０Ａの製造工程と同じである。
ステップＳ５４までの処理が終えた後に、基本パターンＧＳ８５ａの上部に基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃ、基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂ、及び基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｄを積層した積層体を２個作製する（ステップＳ６８）。そして、ステップＳ６８で作製した２個の積層体の間に、基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂと基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃの積層体を挿入する（ステップＳ６９）。
【００８４】
そして、ステップＳ６９で作製された積層体の上部と下部に複数枚の白シート８７ａ、８７ｂを積層して、圧着及び焼成処理を行い（ステップＳ７０）、最後に外部電極８２ａ〜８２ｄ（図３３（Ａ）参照）を印刷・焼成処理することにより、静電容量素子８０Ｂが製造される（ステップＳ７１）。
【００８５】
［３−４ 第４の変形例］
次に、図３６〜３８を参照して、本開示の第２の実施形態例の静電容量素子の第４の変形例とその製造方法について説明する。
図３６に示す第４の変形例である静電容量素子８０Ｃと、図３３に示す静電容量素子８０Ｂは、その外観図（Ａ）、内部回路（Ｄ）ともに同一であり、異なる点はＸ−Ｘ’断面図（Ｂ）に示される導電体電極８３ａ〜８３ｄの数のみである。すなわち、図３３（Ｂ）では、上述のように、導電体電極は１０個（８３ａ、８３ｄをそれぞれ２個、８３ｂ、８３ｃをそれぞれ３個）であるのに対し、図３６（Ｂ）では１２個の導電体電極（８３ａ〜８３ｄのそれぞれが３個ずつ）を備えている。
【００８６】
図３７は、図３６の静電容量素子８０Ｃを構成する１２枚のグリーンシート（ＧＳ）の重ね合わせ方法を示すものである。図３７に示すように、基本パターンＧＳ８５ａの上部に、基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃ、基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂ、基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｃの３枚のグリーンシートがこの順番に重ねて配置された積層体が２個作製される。また、別の１枚の基本パターンＧＳ８５ａの下部に、基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃ、基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂ、基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｄを積層した積層体が１個作製される。そして、これら３つの積層体を重ね、更にその上部と下部に複数の白シート８７ａ、８７ｂを重ねた構造とする。
【００８７】
これら３個の積層体の各々は、図３６の内部回路（Ｄ）に示す、３つのコンデンサ８６ａ〜８６ｃが直列接続されたものであり、これが外部電極８２ａ〜８２ｄに接続されることで、それぞれの積層体の対応するコンデンサが並列接続される。その結果、内部回路（Ｄ）に示されるように、３並列３直列のコンデンサを有する静電容量素子８０Ｃが作製されることになる。
【００８８】
図３７と図３４とが異なる点は、図３４では基本パターンＧＳ８５ａと基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｄが２枚であるのに対して、図３７ではいずれのグリーンシートも３枚用いている点であった。したがって、図３７においては、３枚の基本パターンＧＳ８５ａと３枚の基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃにより、３個のコンデンサ８６ａが作製され、３枚の基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃと３枚の基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂにより３個のコンデンサ８６ｂが作製される。そして、３枚の基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂと３枚の基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｄから３個のコンデンサ８６ｃが作製される。これにより、図３６の内部回路（Ｄ）に示すように、並列接続された３個のコンデンサが３個直列接続された９個のコンデンサ（８６ａ、８６ｂ、８６ｃがそれぞれ３個）が積層された静電容量素子８０Ｃが得られる。
【００８９】
図３８は、静電容量素子８０Ｃの具体的な製造工程を示す工程図である。ステップＳ５０〜ステップＳ５４までは、第１から第３の変形例（図２９、図３２、図３５参照）の静電容量素子８０，８０Ａ、８０Ｂの製造工程と同じである。
その後、ステップＳ５１で作製した基本パターンＧＳ８５ａを２枚用意し、その基本パターンＧＳ８５ａそれぞれの上部に基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃ、基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂ、及び基本パターン°回転ＧＳ８５ｄを重ねた積層体を２個作製する（ステップＳ７２）。更に、別の基本パターンＧＳ８５ａを１枚用意し、この基本パターンＧＳ８５ａの下部に基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃ、基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂ、及び基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｄを順番に重ねた積層体を１個作製する（ステップＳ７３）。
【００９０】
そして、ステップＳ７２で作製した２個の積層体の間に、ステップＳ７３で作製した１個の積層体を挿入し、グリーンシート１２枚を積層した積層体を作製する（ステップＳ７４）。そして、ステップＳ７４で作製された積層体の上部と下部に複数枚の白シート８７ａ、８７ｂを配置して、圧着及び焼成処理を行い（ステップＳ７５）、最後に外部電極８２ａ〜８２ｄ（図３６（Ａ）参照）を印刷して焼成処理することにより、静電容量素子８０Ｃが完成する（ステップＳ７６）。
【００９１】
＜４．本開示の第３の実施形態例に係る静電容量素子の製造方法＞
次に、図３９〜４２を参照して、本開示の第３の実施形態例に係る静電容量素子の製造方法について説明する。
図３９は、７個のコンデンサ９６ａ〜９６ｇが直列接続された静電容量素子９０の外観図（Ａ）、Ｘ−Ｘ’断面図（Ｂ）及びその等価回路（Ｃ）を示している。外観図（Ａ）から分かるように、この第３の実施形態例では、外部電極９２ａ〜９２ｈが直方体形状をした静電容量素子本体９１の４つの側面に２個ずつ並んで配置されている。
【００９２】
これらの外部電極９２ａ〜９２ｈには、断面図（Ｂ）に示した導電体９３ａ〜９３ｈが接続され、その結果、等価回路（Ｃ）に示すように、７個のコンデンサ９６ａ〜９６ｇが直列に接続されて静電容量素子９０が得られる。
【００９３】
この第３の実施形態例に用いられる、８個の導電体（電極）が塗布されたグリーンシート（図３９Ｂ参照）うち、４枚のグリーンシートは、既に、図２４（Ａ）〜（Ｄ）に示したグリーンシートと同じものである。図２４では、基本パターン（Ａ）を有する４枚のグリーンシート７５ａ〜７５ｄとして示したが、第３の実施形態例では、この同じグリーンシートをグリーンシート９５ａ〜９５ｄとして示すこととする。
【００９４】
第３の実施形態例の静電容量素子９０では、図２４（Ａ）〜（Ｄ）に示した４枚のグリーンシートに加えて、更に、図４０（Ｅ）〜（Ｈ）に示した４枚のグリーンシート９５ｅ〜９５ｈが用いられる。このグリーンシート９５ｅ〜９５ｈは、図２４（Ａ）〜（Ｄ）に示したグリーンシート７５ａ〜７５ｄ（これ以降は、「９５ａ〜９５ｄ」とする）を裏返したものである。
【００９５】
つまり、静電容量素子９０を製造するためには、基本パターンＧＳとこれを回転（９０°、１８０°、２７０°回転）した４枚のグリーンシートの他に、これら４枚のグリーンシートを裏返して作製した、更に４枚のグリーンシートが用いられる。この結果、グリーンシートの種類数Ｎ（＝１，２，３・・・）と直列接続される単素子のコンデンサの数Ｋとの関係は、
Ｋ＝８Ｎ―１ ・・・・・ （３）
が成立する。すなわち、Ｎ＝１に対して、Ｋ＝７となるので、図３９（Ｃ）の等価回路に示すように、１個の基本パターンのグリーンシートだけで、７個の単素子のコンデンサの直列接続構造が得られる。
図３９では、外部電極９２ａ〜９２ｈが８個なので、直列接続される単素子のコンデンサは７個が限度であるが、外部電極を１６にして、電極を形成するパターンＮを“２”とすれば、単素子のコンデンサ１５個を直列接続した静電容量素子が得られることは言うまでもない。
【００９６】
以下、図４０（Ｅ）〜（Ｈ）に示すグリーンシートを、基本パターン裏返しＧＳ９５ｅ、基本パターン９０°回転＆裏返しＧＳ９５ｆ、基本パターン１８０°回転＆裏返しＧＳ９５ｇ、及び基本パターン２７０°回転＆裏返しＧＳ９５ｈと呼ぶ。
【００９７】
図４１は、図３９に示した７個のコンデンサ９６ａ〜９６ｇを直列接続した静電容量素子９０を製造するために、上述８枚のグリーンシート（ＧＳ）を重ね合わせる方法の例を示したものである。すなわち、基本パターンＧＳ９５ａ、基本パターン９０°回転ＧＳ９５ｂ、基本パターン１８０°回転ＧＳ９５ｃ、及び基本パターン２７０°回転９５ｄを順不同に積層する。そして、この積層したグリーンシートの上に、１枚の白シート９７ｃを配置し、更にその上部に基本パターン裏返しＧＳ９５ｅ、基本パターン９０°回転＆裏返しＧＳ９５ｆ、基本パターン１８０°回転＆裏返しＧＳ９５ｇ、及び基本パターン２７０°回転＆裏返しＧＳ９５ｈを順不同に積層する。そして、このように積層した８枚のグリーンシートの上部と下部に補強用として複数枚の白シート９７ａ、９７ｂを積層し、全体を圧着及び焼成処理を行う。
【００９８】
図４２は、静電容量素子９０の具体的な製造工程を示す工程図である。ステップＳ５０〜ステップＳ５４までは、図２６の第２の実施形態例に係る静電容量素子７０の製造方法のところで説明した工程と同じである。
つまり、ステップＳ５１〜Ｓ５４では、基本パターンＧＳ９５ａを作製した後に、この基本パターンＧＳ９５ａを９０°回転した基本パターン９０°回転ＧＳ９５ｂ、１８０°回転した基本パターン１８０°回転ＧＳ９５ｃ及び２７０°回転した基本パターン２７０°回転ＧＳ９５ｄを作製する。
【００９９】
次に、基本パターンＧＳ９５ａを裏返したグリーンシートである基本パターン裏返しＧＳ９５ｅ、基本パターン１８０°回転ＧＳ９５ｃを裏返した基本パターン１８０°回転ＧＳ＆裏返しＧＳ９５ｆ、基本パターン２７０°回転ＧＳ９５ｄを裏返した基本パターン２７０°回転ＧＳ＆裏返しＧＳ９５ｈを作製する（ステップＳ８０〜Ｓ８３）。
【０１００】
その後、このように作製した８種類のグリーンシートの中から、まず基本パターンＧＳ９５ａを取り出し、その上に基本パターン１８０°回転ＧＳ９５ｃ、基本パターン９０°回転ＧＳ９５ｂ、及び基本パターン２７０°回転ＧＳ９５ｄを順不同に重ねた積層体を作製する（ステップＳ８４）。続いて、ステップＳ８４で作製した積層体の上に１枚の白シート９７ｃを重ねて配置する（ステップＳ８５）。
【０１０１】
次に、ステップＳ８５で配置した白シート９７ｃの上部に、基本パターン２７０°回転＆裏返しＧＳ９５ｈ、基本パターン９０°回転＆裏返しＧＳ９５ｆ、基本パターン１８０°回転＆裏返しＧＳ９５ｇ、及び基本パターン裏返しＧＳ９５ｅを順不同に重ねた積層体を作製する（ステップＳ８６）。そして、この様に積層した８枚のグリーンシートの上部と下部に複数枚の白シート９７ａ、９７ｂを配置して、圧着及び焼成処理を行う（ステップＳ８７）。最後に外部電極９２ａ〜９２ｈ（図３９（Ａ）参照）を印刷し、焼成処理することにより、静電容量素子９０が製造される（ステップＳ８８）。
【０１０２】
以上説明した本開示の実施形態例では、コンデンサの数、あるいはその接続形態の違いも考慮しつつ、多種類の静電容量素子の製造方法について説明した。しかし、本開示の静電容量素子の製造方法は、上述した静電容量素子の実施形態例に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載を逸脱しない範囲において、他の応用例、変形例も含むことは言うまでもない。また、本明細書に開示した静電容量素子の製造方法は、誘電体シートに導電体膜を塗布して作製したグリーンシートを積層することを主眼としており、そのような積層体の製造方法であれば、静電容量素子以外にも幅広い用途が考えられるものである。
【０１０３】
なお、本開示は以下のような構成も取ることができる。
（１）
導電体が塗布されない誘電体シートと、該誘電体シートに導電体塗布用の少なくとも１個の基本パターン形状を有するマスクを用意する工程と、
前記誘電体シート上に前記マスクを介して導電体を塗布して基本パターングリーンシートを作製する工程と、
前記基本パターングリーンシートを回転した基本パターン回転グリーンシートを作製する工程と、
前記基本パターングリーンシート及び前記基本パターン回転グリーンシートを積層する工程と、
前記基本パターングリーンシート、または前記基本パターン回転グリーンシートのうち、少なくとも一つのグリーンシートを裏返して、前記基本パターングリーンシートまたは前記回転グリーンシートとは異なる基本パターン裏返しグリーンシートを作製する工程と、
前記基本パターングリーンシート及び前記基本パターン回転グリーンシートを積層した積層体に、導電体が塗布されていない誘電体シートを介して前記基本パターン裏返しグリーンシートを積層する工程と、
前記基本パターングリーンシート、前記基本パターン回転グリーンシート、前記誘電体シート及び前記基本パターン裏返しグリーンシートの積層体を圧着及び焼成処理する工程と、
を含む静電容量素子の製造方法。
（２）
更に、前記基本パターングリーンシート、前記基本パターン回転グリーンシート、前記誘電体シート及び前記基本パターン裏返しグリーンシートの積層体の上部及び下部に、導電体が塗布されていない補強用の誘電体シートを積層する工程、を含む（１）に記載の静電容量素子の製造方法。
（３）
更に、前記基本パターングリーンシート、前記基本パターン回転グリーンシート、前記誘電体シート、及び前記基本パターン裏返しグリーンシートの積層体の側面に、外部電極を印刷して焼成処理を行う工程、を含む（１）または（２）に記載の静電容量素子の製造方法。
（４）
前記基本パターン回転グリーンシートは、前記基本パターングリーンシートを１８０°回転した基本パターン１８０°回転グリーンシートである、（１）〜（４）のいずれかに記載の静電容量素子の製造方法。
（５）
前記基本パターン裏返しグリーンシートは前記基本パターングリーンシートと前記基本パターン１８０°回転パターングリーンシートのいずれかあるいは両方を裏返して作製される基本パターン裏返しグリーンシート及び／または基本パターン１８０°回転＆裏返しグリーンシートである、（４）に記載の静電容量素子の製造方法。
（６）
前記基本パターングリーンシートを作製するための異なる基本パターンのマスクを２個用意し、２種の基本パターングリーンシート、前記基本パターングリーンシートを１８０°回転した２種の基本パターン１８０°回転グリーンシート、２種の前記基本パターングリーンシート及び２種の前記基本パターン１８０°回転グリーンシートのそれぞれを裏返して前記基本パターン裏返しグリーンシート及び／または基本パターン１８０°回転＆裏返しグリーンシートを作製する、（１）〜（４）のいずれかに記載の静電容量素子の製造方法。
（７）
前記基本パターン回転グリーンシートは、前記基本パターングリーンシートを９０°回転した基本パターン９０°回転グリーンシート、前記基本パターングリーンシートを１８０°回転した基本パターン１８０°回転グリーンシート、及び前記基本パターングリーンシートを２７０°回転した基本パターン２７０°回転グリーンシートの３種類であり、
前記裏返しグリーンシートは、前記基本パターングリーンシート及び３種類の前記基本パターン回転グリーンシートを裏返した基本パターン裏返しグリーンシート、前記基本パターン９０°回転グリーンシートを裏返した基本パターン９０°回転＆裏返しグリーンシート、前記基本パターン１８０°回転グリーンシートを裏返した基本パターン１８０°回転＆裏返しグリーンシート、及び前記基本パターン２７０°回転グリーンシートを裏返した基本パターン２７０°回転＆裏返しグリーンシートの４種類であり、
前記積層されるグリーンシートは、前記基本パターングリーンシート、前記基本パターン９０°回転グリーンシート、前記基本パターン１８０°回転グリーンシート、前記基本パターン２７０°回転グリーンシート、前記基本パターン裏返しグリーンシート、前記基本パターン９０°回転＆裏返しグリーンシート、前記基本パターン１８０°回転＆裏返しグリーンシート、及び前記基本パターン２７０°回転＆裏返しグリーンシートの８枚と導電体が塗布されていない誘電体シートからなる、（１）〜（３）のいずれかに記載の静電容量素子の製造方法。
（８）
誘電体シート及び該誘電体シートに導電体塗布用の所定のパターン形状を有するマスクを用意する工程と、
前記誘電体シート上に前記マスクを介して導電体を塗布して基本パターングリーンシートを作製する工程と、
前記基本パターングリーンシートを９０°回転して基本パターン９０°回転グリーンシートを作製する工程と、
前記基本パターングリーンシートを１８０°回転して基本パターン１８０°回転グリーンシートを作製する工程と、
前記基本パターングリーンシートを２７０°回転して基本パターン２７０°回転グリーンシートを作製する工程と、
前記基本パターングリーンシート、前記基本パターン９０°回転グリーンシート、前記基本パターン１８０°回転グリーンシート、及び前記基本パターン２７０°回転グリーンシートを積層する工程と、
前記積層される４個のグリーンシートの上部及び下部に導電体が塗布されていない誘電体シートである補強用白シートを積層して圧着及び焼成処理を行う工程と、
を含む静電容量素子の製造方法。
【符号の説明】
【０１０４】
１０、２０、３０、４０、５０、６０，７０，８０、８０Ａ〜８０Ｃ、９０・・・静電容量素子、１１、２１、３１、４１、５１、６１，７１，８１、９１・・・静電容量素子本体、１２、２２、３２、４２、５２、６２，７２，８２、９２・・・外部電極、１３、２３、３３、４３、５３、６３，７３，８３、９３・・・導電体（電極）、１４、２４、３４、４４、５４、６４，７４，８４、９４・・・誘電体シート、１５、２５、３５、４５、５５、６５，７５，８５、９５・・・グリーンシート（ＧＳ）、１６、２６、３６、４６、５６、６６，７６，８６、９６・・・コンデンサ、１７、２７、３７、４７、５７、６７，７７，８７、９７・・・白シート（誘電体シート）、
【技術分野】
【０００１】
本開示は、静電容量素子の製造方法に関し、特に、内部電極パターン数を低減して生産性を向上させる静電容量素子の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子機器の小型化、高信頼性化に伴い、その電子機器に用いられる電子部品として、小型化された高性能の静電容量素子の開発が求められている。発明者等は、誘電体層の同一面に形成する内部電極の面積の増減スペースを大きくし、これにより静電容量デバイスの内部電極や容量値等の設計自由度を広げる製造技術を既に提案している（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
特許文献１では、可変容量デバイスを提示しているが、この可変容量デバイスの製造方法は、誘電体材料からなるシート部材を用意し、このシート部材にＰｄ、Ｐｄ／Ａｇ、Ｎｉ等の金属微粉末をペースト化した導電ペーストを塗布する。
そして、その導電ペーストを内部電極の形状（例えば、矩形状）に対応する開口部が形成されたマスクを介して、誘電体材料からなるシート部材の一方の表面に塗布（シルク印刷等）して内部電極を形成する。
【０００４】
特許文献１に記載される製造方法では、５枚の電極付シート部材を、所定の順序で、内部電極とシート部材とが交互に配置されるように積層し、別途用意した内部電極が形成されていないシート部材を、内部電極が露出した側の表面上に積層している。そして、その後、その積層部材を圧着し、この圧着した部材を還元性雰囲気中で、高温焼成してシート部材と導電ペースト層（内部電極）とを一体化させて、可変容量デバイス本体を作製し、デバイス本体１０の側面の所定位置に外部端子を取り付けるようにしている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
【特許文献１】特開２０１１−１１９４８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に記載の技術は、複数の可変容量コンデンサを直列接続して構成された可変容量デバイスの内部容量や容量値等の設計自由度をより広げることを主眼としたものであって、製造方法についての具体的な改良を提示するものではなかった。
【０００７】
従来の製法では、単体のシートに誘電体の粉に有機物からなるバインダーを混合して塗布した誘電体シート（このシートを、以下「白シート」と呼ぶ。）を作製する。
その後、この白シートに、内部電極パターンの形状（例えば、矩形状）に対応する開口部が形成されたマスクを介してペースト化したＮｉ等の卑金属の導電体粉を塗布することにより、コンデンサの電極となる導電体が塗布されたシート（以下、このシートを「グリーンシート（ＧＳ）」と呼ぶ。）を作製する。
【０００８】
ここで、単素子のコンデンサ複数個を積層方向に直列接続したコンデンサアレイや、単素子のコンデンサを積層方向に複数個直列接続したコンデンサブロックを複数個積層して並列接続したコンデンサアレイを作製する場合には、多くの内部電極パターンが必要になる。内部電極パターンが多くなると、その内部電極パターンの数だけグリーンシートを作製する必要があり、グリーンシートの製作精度の管理が難しかった。また、グリーンシートの種類が多くなることによって、これを積み重ねる工程が増え、そのための設備投資も増えるので、生産性が劣るという問題があった。
【０００９】
ただ、従来の製法においても、一つの電極パターンが形成されたグリーンシートを、例えば１８０°回転して異なるパターンのグリーンシートとして使うことは行われていた。つまり、１種類の電極パターンのグリーンシートを、２種の内部電極パターンを有するグリーンシートとして使うのである。しかし、従来の方法では、１８０°回転までが限度で、それ以上の電極パターンのグリーンシートを作成するには、別の電極パターンのグリーンシートを製造する工程が必要とされた。したがって、そのための製造工程の品質管理や設備の大型化などが必要とされ、そのためのコスト増を解消することはできなかった。
【００１０】
そこで、本開示の目的は、グリーンシートの内部電極パターンの数を極力少なくし、一つの内部電極パターンのグリーンシートから、実質的に複数種類の内部電極パターンを有するグリーンシートを作製することによって、より効率的な静電容量素子の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するための本開示の静電容量素子の製造方法は、導電体が塗布されない誘電体シートと、該誘電体シートに導電体塗布用の少なくとも１個の基本パターン形状を有するマスクを用意する工程と、誘電体シート上にマスクを介して導電体を塗布して基本パターングリーンシートを作製する工程と、この基本パターングリーンシートを回転した基本パターン回転グリーンシートを作製する工程と、を含む。
【００１２】
更に、基本パターングリーンシート及び基本パターン回転グリーンシートを積層する工程と、基本パターングリーンシート、または基本パターン回転グリーンシートのうち、少なくとも一つのグリーンシートを裏返して、基本パターングリーンシートまたは基本パターン回転グリーンシートとは異なる基本パターン裏返しグリーンシートを作製する工程を含む。
【００１３】
そして、基本パターングリーンシート及び基本パターン回転グリーンシートを積層した積層体に、導電体が塗布されていない誘電体シートを介して基本パターン裏返しグリーンシートを積層する工程と、基本パターングリーンシート、基本パターン回転グリーンシート、誘電体シート及び基本パターン裏返しグリーンシートの積層体を圧着及び焼成処理する工程と、を含む。
【００１４】
また、基本パターングリーンシート、基本パターン回転グリーンシート、誘電体シート、及び基本パターン裏返しグリーンシートの積層体の側面に、外部電極を印刷して焼成処理を行う工程を含み、更に必要に応じて、基本パターングリーンシート、基本パターン回転グリーンシート、誘電体シート及び基本パターン裏返しグリーンシートの積層体の上部及び下部に補強用の誘電体シートを積層する工程も含む。
【００１５】
また、本開示の他の形態では、誘電体シート及び該誘電体シートに導電体塗布用の所定のパターン形状を有するマスクを用意する工程と、誘電体シート上にマスクを介して導電体を塗布して基本パターングリーンシートを作製する工程と、基本パターングリーンシートを９０°回転して基本パターン９０°回転グリーンシートを作製する工程と、基本パターングリーンシートを１８０°回転して基本パターン１８０°回転グリーンシートを作製する工程と、基本パターングリーンシートを２７０°回転して基本パターン２７０°回転グリーンシートを作製する工程を含む。そして、基本パターングリーンシート、基本パターン９０°回転グリーンシート、基本パターン１８０°回転グリーンシート、及び基本パターン２７０°回転グリーンシートを積層する工程と、この積層される４個のグリーンシートの上部及び下部に導電体が塗布されていない補強用の誘電体シートを積層して圧着及び焼成処理を行う工程を含む。
【発明の効果】
【００１６】
本開示によれば、一つの内部電極パターンのグリーンシートの有用活用がなされるので、特に多数のコンデンサを直列接続する静電容量素子の製造方法において、その製作精度の管理を比較的簡単に行うことができる。また、静電容量素子の製造方法において、製造設備面でのコスト削減が可能となり、極めて高い生産性を上げることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】従来から存在する並列接続された一つの静電容量素子の外観図（Ａ）、断面図（Ｂ）及び等価回路（Ｃ）を示す図である。
【図２】図１の静電容量素子に用いられる基本パターンのグリーンシート（Ａ）と、これを１８０°回転したグリーンシート（Ｂ）の例を示す図である。
【図３】図１に示す静電容量素子の製造方法の概略を説明するための図である。
【図４】従来から存在する２つのパターンのグリーンシートを用いて作製したコンデンサを２個直列接続した静電容量素子の外観図（Ａ）、断面図（Ｂ）及び等価回路（Ｃ）を示す図である。
【図５】図４の静電容量素子に用いられる基本パターングリーンシート（Ａ）と、基本パターンを１８０°回転させたグリーンシート（Ｂ）と、第２パターンのグリーンシート（Ｃ）の例を示す図である。
【図６】図４に示す静電容量素子の製造方法の概略を説明するための図である。
【図７】従来から存在する２つのパターンのグリーンシートを用いて作製したコンデンサを３個直列接続した静電容量素子の外観図（Ａ）、断面図（Ｂ）及び等価回路（Ｃ）を示す図である。
【図８】図７の静電容量素子を製造する際に用いられる、図５に示した第２パターンのグリーンシート（Ｃ）を１８０°回転した４番目のグリーンシートの例を示す図である。
【図９】図７に示す静電容量素子の製造方法の概略を説明するための図である。
【図１０】本開示の第１の実施形態の例である、２個のコンデンサが直列接続された静電容量素子の外観図（Ａ）、断面図（Ｂ）及び等価回路（Ｃ）を示す図である。
【図１１】図１０の静電容量素子に用いられる基本パターングリーンシート（Ａ）と、基本パターンを１８０°回転させた１８０°回転グリーンシート（Ｂ）と、基本パターンを裏返して作製した裏返しグリーンシート（Ｃ）の例を示す図である。
【図１２】図１０に示す静電容量素子の製造方法の概略を説明するための図である。
【図１３】図１０に示す静電容量素子の製造方法の手順を示す工程図である。
【図１４】本開示の第１の実施形態の第１の変形例である、３個のコンデンサが直列接続された静電容量素子の外観図（Ａ）、断面図（Ｂ）及び等価回路（Ｃ）を示す図である。
【図１５】図１４に示す本開示の第１の実施形態の変形例に用いられる、図１１の基本パターンを１８０°回転させたグリーンシート（Ｂ）を更に裏返した４番目のグリーンシートの例を示す図である。
【図１６】図１４に示す静電容量素子の製造方法の概略を説明するための図である。
【図１７】図１４に示す静電容量素子の製造方法の手順を示す工程図である。
【図１８】本開示の第１の実施形態の第２の変形例である、７個のコンデンサが直列接続された静電容量素子の外観図（Ａ）、断面図（Ｂ）及び等価回路（Ｃ）を示す図である。
【図１９】図１８に示す本開示の第１の実施形態の第２の変形例に用いられる、基本パターングリーンシート（Ａ）と、基本パターンを１８０°回転させた１８０°回転グリーンシート（Ｂ）と、基本パターンを裏返して作製した基本パターン裏返しグリーンシート（Ｃ）と、基本パターンを１８０°回転させた後に裏返した１８０°回転＆裏返しグリーンシート（Ｄ）の例を示す図である。
【図２０】図１８に示す本開示の第１の実施形態の第２の変形例に用いられる、第２パターングリーンシート（Ｅ）と、第２パターンを１８０°回転させた第２パターン１８０°回転グリーンシート（Ｆ）と、第２パターンを裏返して作製した第２パターン裏返しグリーンシート（Ｇ）と、第２パターンを１８０°回転させた後に裏返して作製した第２パターン１８０°回転＆裏返しグリーンシート（Ｈ）の例を示す図である。
【図２１】図１８に示す静電容量素子の製造方法の概略を説明するための図である。
【図２２】図１８に示す静電容量素子の製造方法の手順を示す工程図である。
【図２３】本開示の第２の実施形態の例である、３つのコンデンサが直列接続された静電容量素子の外観図（Ａ）、断面図（Ｂ）及び等価回路（Ｃ）を示す図である。
【図２４】図２３に示す本開示の第２の実施形態例に用いられる、基本パターングリーンシート（Ａ）と、基本パターンを９０°回転させた基本パターン９０°回転グリーンシート（Ｂ）と、基本パターンを１８０°回転させた基本パターン１８０°回転グリーンシート（Ｃ）と、基本パターンを２７０°（−９０°）回転させた基本パターン２７０°回転グリーンシート（Ｄ）の例を示す図である。
【図２５】図２３に示す静電容量素子の製造方法の概略を説明するための図である。
【図２６】図２３に示す静電容量素子の製造方法の手順を示す工程図である。
【図２７】本開示の第２の実施形態の第１の変形例である、グリーンシート７枚を用いた２並列３直列のコンデンサ６個が接続された静電容量素子の外観図（Ａ）、断面図（Ｂ）、等価回路（Ｃ）及び内部回路（Ｄ）を示す図である。
【図２８】図２７に示す静電容量素子の製造方法の概略を説明するための図である。
【図２９】図２７に示す静電容量素子の製造方法の手順を示す工程図である。
【図３０】本開示の第２の実施形態の第２の変形例である、グリーンシート８枚を用いた２並列３直列のコンデンサ６個が接続された静電容量素子の外観図（Ａ）、断面図（Ｂ）、等価回路（Ｃ）及び内部回路（Ｄ）を示す図である。
【図３１】図３０に示す静電容量素子の製造方法の概略を説明するための図である。
【図３２】図３０に示す静電容量素子の製造方法の手順を示す工程図である。
【図３３】本開示の第２の実施形態の第３の変形例である、グリーンシート１０枚を用いた３並列３直列のコンデンサ９個が接続された静電容量素子の外観図（Ａ）、断面図（Ｂ）、等価回路（Ｃ）及び内部回路（Ｄ）を示す図である。
【図３４】図３３に示す静電容量素子の製造方法の概略を説明するための図である。
【図３５】図３３に示す静電容量素子の製造方法の手順を示す工程図である。
【図３６】本開示の第２の実施形態の第４の変形例である、グリーンシート１２枚を用いた３並列３直列のコンデンサ９個が接続された静電容量素子の外観図（Ａ）、断面図（Ｂ）、等価回路（Ｃ）及び内部回路（Ｄ）を示す図である。
【図３７】図３６に示す静電容量素子の製造方法の概略を説明するための図である。
【図３８】図３６に示す静電容量素子の製造方法の手順を示す工程図である。
【図３９】本開示の第３の実施形態の例である、グリーンシート８枚を用いて作製した、コンデンサ７個が直列接続された静電容量素子の外観図（Ａ）、断面（Ｂ）、及び等価回路（Ｃ）を示す図である。
【図４０】図３９に示す本開示の第３の実施形態例に用いられる、図２４に示す基本パターングリーンシート（Ａ）、基本パターンを９０°回転させた９０°回転グリーンシート（Ｂ）、基本パターンを１８０°回転させた１８０°回転グリーンシート（Ｃ）、基本パターンを２７０°（−９０°）回転させた２７０°回転グリーンシート（Ｄ）を裏返して作製したグリーンシート（Ｅ）〜（Ｈ）の例を示す図である。
【図４１】図３９に示す静電容量素子の製造方法の概略を説明するための図である。
【図４２】図３９に示す静電容量素子の製造方法の手順を示す工程図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
以下、図面を参照して、本開示の実施形態に係る容量素子の製造方法について説明する。本開示の実施形態は以下の順に説明する。なお、本開示は以下の例に限定されるものではない。
１．静電容量素子の製造方法の一般的な方法（図１〜９）
２．本開示の第１の実施形態例に係る静電容量素子の製造方法（図１０〜１３）
２−１ 第１の変形例（図１４〜１７）
２−２ 第２の変形例（図１８〜２２）
３．本開示の第２の実施形態例に係る静電容量素子の製造方法（図２３〜２６）
３−１ 第１の変形例（図２７〜２９）
３−２ 第２の変形例（図３０〜３２）
３−３ 第３の変形例（図３３〜３５）
３−４ 第４の変形例（図３６〜３８）
４．本開示の第３の実施形態例に係る静電容量素子の製造方法（図３９〜４２）
【００１９】
＜１．静電容量素子の製造方法の一般的な方法＞
まず、本開示の第１の実施形態例に係る静電容量素子の製造方法を説明する前に、本実施形態例の静電容量素子の製造方法の比較例として、従来から一般的に行われている静電容量素子の製造方法について、図１〜９を参照して説明する。
【００２０】
図１に、一般的に用いられる複数のコンデンサが並列接続された静電容量素子の外観を示す外観図（Ａ）と、点線Ｘ−Ｘ’で切断したときの断面図（Ｂ）と、この静電容量素子１０の等価回路（Ｃ）を示す。
静電容量素子１０は、静電容量素子本体１１と外部電極１２ａ、１２ｂから構成されている。そして、静電容量素子本体１１は、誘電体シート１４の上に電極を形成するペースト状の導電体１３が塗布されて形成される。この誘電体シート１４と、誘電体シート１４上に形成される所定の電極パターンの導電体１３とからなるグリーンシートが複数枚（図１（Ｂ）では８枚）積層されて、７個のコンデンサが並列接続された静電容量素子が作製される。図１では図示されていないが、通常は、積層されたグリーンシートの上部及び下部には、導電体１３が塗布されない状態の誘電体１４のみのシート（白シート）が補強用として設けられる。
【００２１】
図２は、図１に用いられる２つのグリーンシート（以下、単に「ＧＳ」と略記することもある）を示したものである。図２（Ａ）は、基本パターンのグリーンシートであり、誘電体１４上に導電体１３ａが塗布され、圧着されたシートである。導電体１３ａは、図１（Ａ）に示す外部電極１２ａに接続される。図２（Ｂ）は図２（Ａ）の基本パターンＧＳを１８０°回転させたグリーンシートであり、このグリーンシート上の導電体１３ｂが図１（Ａ）の外部電極１２ｂに接続される。
【００２２】
図３は、図１の静電容量素子を製造する方法の概略を説明するための図である。図３を見ると分かるように、図２（Ａ）に示す基本パターンＧＳ１５ａ４枚と、図２（Ｂ）に示す１８０°回転ＧＳ１５ｂ４枚が縦方向に交互に並べられている。そして、グリーンシートの上部と下部には、誘電体のみのシート（白シート）１７ａ、１７ｂがそれぞれ３枚積層されている。この白シートは、静電容量素子の補強のために用いられるので、必要とされる枚数は、静電容量素子に要求される厚さや平面の大きさを考慮しつつ適宜定められる。
なお、基本パターンＧＳと基本パターン１８０°回転ＧＳとを交互に積層する方法では、グリーンシートの種類数Ｎ（＝１，２，３・・・）と直列接続される単素子のコンデンサの数Ｋとの関係は、（１）式
Ｋ＝２Ｎ−１ ・・・・・ （１）
が成立する。図１では、Ｎ＝１、Ｋ＝１である。
【００２３】
図４に、基本パターンの他にもう一つ別のパターンを用いて作製したコンデンサを２個直列接続した静電容量素子の外観図（Ａ）、点線Ｘ−Ｘ’で切断したときの断面図（Ｂ）及びその等価回路（Ｃ）を示す。
図４（Ａ）と（Ｃ）に示すように、図４に示す静電容量素子２０は、２個のコンデンサが直列接続されるので、静電容量素子本体２１には、３つの外部電極２２ａ〜２２ｃが形成されている。静電容量素子本体２１は、図５で後述するように誘電体シート２４と、この誘電体シート上に塗布され圧着された導電体２３からなる３枚のグリーンシートを含む。
【００２４】
図５は、異なる外部電極２２ａ〜２２ｃに接続される異なる導電体２３ａ〜２３ｃを備える３枚のグリーンシートを示す。図５の（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、図４（Ａ）の静電容量素子本体２１は、基本パターンＧＳ２５ａと、基本パターンＧＳを１８０°回転して作製した基本パターン１８０°回転ＧＳ２５ｂと、基本パターンとは別に製造される第２パターンＧＳ２５ｃを有する。第２パターンＧＳ２５ｃは、基本パターンＧＳ２５ａと縦方向の中心線に対して線対称となっている。基本パターンＧＳ２５ａは導電体２３ａを有し、外部電極２２ａに接続される。基本パターン１８０°回転ＧＳ２５ｂは導電体２３ｂを有し、外部電極２２ｂに接続される。そして、第２パターンＧＳ２５ｃは導電体２３ｃを有し、外部電極２２ｃに接続される。
【００２５】
図６は、図４に示す静電容量素子本体２１を製造する場合の、３枚のグリーンシートを重ね合わせる方法の例を示した図である。図６に示すように、基本パターンＧＳ２５ａの上に基本パターン１８０°回転ＧＳ２５ｂを設け、更に基本パターン１８０°回転ＧＳ２５ｂの上に第２パターンＧＳ２５ｃを積層する。ここで、基本パターンＧＳ２５ａの導電体（電極）２３ａと基本パターン１８０°回転ＧＳ２５ｂの導電体２３ｂとの間の誘電体シート２４ｂ（図５参照）が第１のコンデンサ２６ａを形成し、基本パターン１８０°回転ＧＳ２５ｂの導電体２３ｂと第２パターンＧＳ２５ｃの導電体２３ｃとの間の誘電体シート２４ｃ（図５参照）が第２のコンデンサ２６ｂを形成している（図４（Ｃ）の等価回路参照）。なお、積層された３枚のグリーンシートの上部と下部には、白シート２７ａ、２７ｂが積層され、全体が圧着及び焼成処理されて静電容量素子２０が製造される。
【００２６】
ここで圧着処理は、積層体をビニール袋で密閉し、静水圧をかける方法が考えられる。通常、積層体は板状になっており、厚さ方向の他に幅方向、長さ方向とも圧力がかかるが、厚さ方向（板面の積層方向）の方が、幅方向と長さ方向より面積が大きいので、厚さ方向（積層方向）に加わる力によって積層体の圧着が行われる。
なお、圧着後に積層体の焼成処理が行われるが、この焼成処理では、通常２段階で温度を上昇させている。すなわち、第１段階では、誘電体及び内部電極用のペーストの有機物を除去するために、比較的低温（有機物の熱分解温度である４００℃程度）での焼成処理が行われる。第２段階では、内部電極を形成する金属の溶融（または半溶融）と誘電体を構成する無機物の焼結のために、１３００℃程度の高温での焼成が行われる。この温度の切換は、必ずしもこの２段階（２つの温度）で行われるものではなく、温度変化のプロファイルは必要に応じて適宜工夫されるものである。
【００２７】
図７に、３個のコンデンサを直列接続した静電容量素子３０の外観図（Ａ）とＸ−Ｘ’断面図（Ｂ）、及びその等価回路（Ｃ）を示す。
静電容量素子３０は、図７（Ｃ）に示すように、３個のコンデンサ３６ａ〜３６ｃが直列接続されたものであり、静電容量素子本体３１と４つの外部電極３２ａ〜３２ｄを有する。静電容量素子本体３１は、誘電体シート３４と、この誘電体シート３４上に塗布され圧着される導電体３３からなる４枚のグリーンシートからなる。
【００２８】
この静電容量素子３０の製造に用いられる４枚のグリーンシートは、図５で説明した３種類のグリーンシート（Ａ）〜（Ｃ）の他に、図８に示す４番目のグリーンシートを含む。図８に示すグリーンシートは、図５（Ｃ）の第２パターンＧＳ２５ｃを１８０°回転した第２パターン１８０°回転ＧＳ３５ｄである。この４枚目のグリーンシート３５ｄは、誘電体３４ｄと導電体３３ｄから形成され、外部電極３２ｄに接続される。以下の説明では、図５（Ａ）〜（Ｃ）のグリーンシートと同じグリーンシートを第２パターン１８０°回転ＧＳ３５ｄの番号と整合性をとって、ＧＳ３５ａ、ＧＳ３５ｂ、ＧＳ３５ｃと記述する。
【００２９】
図９は、図７の静電容量素子本体３１を製造する方法の概略を説明するための図である。図９に示すように、導電体３３ａを有する基本パターンＧＳ３５ａの上に、導電体３３ｂを有する基本パターン１８０°回転ＧＳ３５ｂを重ねる。そして、その基本パターン１８０°回転ＧＳ３５ｂの上に導電体３３ｃを有する第２パターンＧＳ３５ｃを重ね、更にその上に図８に示す第２パターン１８０°回転ＧＳ３５ｄを積層する。ここで、基本パターンＧＳ３５ａの導電体３３ａと基本パターン１８０°回転ＧＳ３５ｂの導電体３３ｂとの間の誘電体シート３４ｂが第１のコンデンサ３６ａを形成し、基本パターン１８０°回転ＧＳ３５ｂの導電体３３ｂと第２パターンＧＳ３５ｃの導電体３３ｃとの間の誘電体シート３４ｃが第２のコンデンサ３６ｂを形成する。そして、第２パターンＧＳ３５ｃの導電体３３ｃと第２パターン１８０°回転ＧＳ３５ｄの導電体電極３３ｄとの間の誘電体シート３４ｄが第３のコンデンサ３６ｃを形成している（図７（Ｃ）の等価回路参照）。
【００３０】
最上部に配置された第２パターン１８０°回転ＧＳ３５ｄの上部には、補強用の白シート３７ａが複数枚積層され、同様に最下部に配置された基本パターンＧＳ３５ａの下部には補強用の白シート３７ｂが複数枚積層される。４枚のグリーンシートとその上下に配置された白シートは、圧着され、更に焼成処理されて静電容量素子３０が製造される。
この製造方法でも、上述した式（１）の“Ｋ＝２Ｎ−１”が適用され、ここではＮ＝２となるから、Ｋ＝３となって、直列接続される単素子のコンデンサは３個になる。
【００３１】
＜２．本開示の第１の実施形態例に係る静電容量素子の製造方法＞
図１０に、本開示の第１の実施形態例に係る静電容量素子の製造方法で製造した、２個のコンデンサが直列接続された静電容量素子４０の外観図（Ａ）と、点線Ｘ−Ｘ’で切断したときの断面図（Ｂ）、及びその等価回路（Ｃ）を示す。
静電容量素子４０は、３枚目のグリーンシートの作製方法が異なる以外は、図４に示した静電容量素子２０の構成と同じであるが、図４に示した従来の静電容量素子２０と区別するために、図１０では４０番代の番号を付けている。
【００３２】
図１０（Ｃ）に示すように、図４に示す静電容量素子４０は、２個のコンデンサ４６ａ、４６ｂが直列接続された静電容量素子であり、静電容量素子本体４１と３つの外部電極４２ａ〜４２ｃを有する。静電容量素子本体４１は、誘電体シート４４と、この誘電体シート４４上に塗布され、圧着される導電体４３からなる３枚のグリーンシートにより構成される。
【００３３】
ここで、基本パターングリーンシート、基本パターン１８０°回転グリーンシート及びこれらを裏返して作製した基本パターン裏返しグリーンシート３枚を順不同で積層した場合には、グリーンシートの種類数Ｎ（＝１，２，３・・・）と直列接続される単素子のコンデンサの数Ｋとすると、
Ｋ＝４Ｎ−１ ・・・・・ （２）
が成立する。この式（２）から、Ｎ＝１、Ｋ＝３となり、直列接続される単素子のコンデンサの数は、最大３個となる（図１４で後述）。なお、図１０では、直列接続するコンデンサを２個にしている。
【００３４】
図１０に示す静電容量素子４０も、図５の静電容量素子２０と同様に、３枚のグリーンシートを備える。すなわち、図１１の（Ａ）〜（Ｃ）に示すように、静電容量素子本体４１は、基本パターンＧＳ４５ａと、基本パターンＧＳ４５ａを１８０°回転させた基本パターン１８０°回転ＧＳ４５ｂと、基本パターンを裏返して作製する基本パターン裏返しＧＳ４５ｃを有する。基本パターンＧＳ４５ａは導電体４３ａを有し、外部電極４２ａに接続される。基本パターン１８０°回転ＧＳ４５ｂは導電体４３ｂを有し、外部電極４２ｂに接続される。また、基本パターン裏返しＧＳ４５ｃは導電体４３ｃを有し、外部電極４２ｃに接続される。なお、基本パターンのグリーンシート（ＧＳ）あるいはそれを回転したパターンのグリーンシート（ＧＳ）と、それらを裏返して作製したグリーンシート（ＧＳ）とを区別するために、裏返して作製したグリーンシート（ＧＳ）については、図面全体を通して導電体の部分を点線で示している（例えば図１１（Ｃ）参照）。
【００３５】
図１２は、図１０に示す静電容量素子本体４１を製造する場合の、図１１で示した３枚のグリーンシートを重ね合わせる方法の例を示したものである。図１２に示すように、基本パターンＧＳ４５ａの上部に基本パターン１８０°回転ＧＳ４５ｂを配置し、更に基本パターン１８０°回転ＧＳ４５ｂの上部に、一枚の白シート４７ｃを挟んで基本パターン裏返しＧＳ４５ｃを配置する。ここで、基本パターンＧＳ４５ａの導電体４３ａと基本パターン１８０°回転ＧＳ４５ｂの導電体４３ｂとの間の誘電体シート４４ｂが、第１のコンデンサ４６ａを形成し、基本パターン１８０°回転ＧＳ４５ｂの導電体４３ｂと基本パターン裏返しＧＳ４５ｃの導電体４３ｃとの間に挿入された白シート４７ｃが第２のコンデンサ４６ｂを形成している（図１０（Ｃ）の等価回路参照）。
【００３６】
図１３は、図１２に示したグリーンシートの重ね合わせによる製造方法を、工程毎に段階を追って示した工程図である。最初に、静電容量素子本体４１の誘電体層を構成するため、所望の誘電体材料からなる誘電体シート４４を用意する。そして、この誘電体シート４４上に電極となる基本パターンの導電体を塗布するため、その形成領域に対応する領域が開口された基本パターンのマスク（不図示）を用意する（ステップＳ１１）。
【００３７】
上述した誘電体シート４４を作製する場合、通常、無機物の粒子からなる誘電体に糊である有機物バインダーを混ぜ合わせた誘電体ペーストを作製する。そして、この誘電体ペーストをＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルム上に所望の厚さに塗布することによって、ＰＥＴと一体化した誘電体シートが形成される。
また、誘電体シートに電極を形成する際には、金属の粒子からなる導電体に、有機物のバインダー（糊）を加えてよく混ぜて、導電体（電極）ペーストを作製する。そして、この導電体（電極）ペーストをＰＥＴと一体化した誘電体シートに、スクリーン印刷マスクを介して塗布することにより、導電体シートが形成される。
【００３８】
具体的に説明すると、誘電体シート４４の材料としては、例えば、プラスのイオンとマイナスのイオンの原子が変位することで電気的に分極するイオン結晶材料からなる強誘電体材料が用いられる。このイオン分極を生じる強誘電体材料は、一般に、所定の２つの元素をＡ及びＢとすると、化学式ＡＢＯ３（Ｏは酸素元素）で表される。このような強誘電体材料としては、例えば、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ３）、ニオブ酸カリウム（ＫＮｂＯ３）、チタン酸鉛（ＰｂＴｉＯ３）等が挙げられる。また、誘電体シート４４の材料として、チタン酸鉛（ＰｂＴｉＯ３）にジルコン酸鉛（ＰｂＺｒＯ３）を混ぜ合わせたＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）を用いてもよい。
【００３９】
また、誘電体シート４４の形成材料として電子分極が生じる強誘電体材料を用いることもできる。この強誘電体材料では、プラスの電荷に偏った部分と、マイナスの電荷に偏った部分とに分かれる電子分極が生じる。そのような材料としては、例えば、Ｆｅ２＋の電荷面と、Ｆｅ３＋の電荷面の形成により、分極を形成して強誘電体的特性を示す希土類鉄酸化物がある。ここで、希土類元素をＲＥとし、鉄族元素をＴＭとしたときに、分子式（ＲＥ）・（ＴＭ）２・Ｏ４（Ｏ：酸素元素）で表される材料が高誘電率を有することが知られている。希土類元素としては、例えば、Ｙ、Ｅｒ、Ｙｂ、Ｌｕ（特にＹと重希土類元素）が挙げられ、鉄族元素としては、例えば、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ（特にＦｅ）が挙げられる。また、希土類鉄酸化物である（ＲＥ）・（ＴＭ）２・Ｏ４としては、例えば、ＥｒＦｅ２Ｏ４、ＬｕＦｅ２Ｏ４、ＹＦｅ２Ｏ４などが用いられる。
【００４０】
次に、ステップＳ１１で用意された誘電体シートと電極形成用のマスクを用いて、誘電体シート上への導電膜の塗布と圧着が行われる（ステップＳ１２）。ここで、導電膜の塗布は、以下のように行われる。すなわち、Ｐｔ、Ｐｂ、Ｐｂ／Ａｇ、Ｎｉ、Ｎｉ合金等の金属粉末をペースト状にした導電ペーストを準備し、この導電ペーストを、ステップＳ１１で用意したマスクを介して誘電体シート４４上に印刷（例えばシルク印刷など）する。これにより、誘電体シート４４の一方の表面に、基本パターンの導電体電極４３ａが形成された基本パターンＧＳ４５ａが得られる。次に、得られた基本パターンＧＳ４５ａを１８０°回転して基本パターン１８０°回転ＧＳ４５ｂを得（ステップＳ１３）、続いて、基本パターンＧＳ４５ａを裏返して基本パターン裏返しＧＳ４５ｃを得る（ステップＳ１４）。
【００４１】
ステップＳ１２で作製した基本パターンＧＳ４５ａとステップＳ１３で作製した基本パターン１８０°回転ＧＳ４５ｂを重ね（ステップＳ１５）、その上に白シート４７ｃを重ねる（ステップＳ１６）。そして、この白シート４７ｃの上に、ステップＳ１４で作製した基本パターン裏返しＧＳ４５ｃを配置して積層体を作製する（ステップＳ１７）。次に、ステップＳ１７で作製した積層体の上部と下部に補強用の白シート４５ａ、４５ｂをそれぞれ必要に応じた枚数だけ重ねて積層し、これに圧着及び焼成処理を加えて一体化する（ステップＳ１８）。そして、最後に外部電極４２ａ〜４２ｃを付加して静電容量素子４０が完成する（ステップＳ１９）。なお、外部電極４２ａ〜４２ｃは、通常、ベースとなる金属微粒子に溶剤とバインダーからなる高分子材料を混合してペースト状にし、これを印刷（塗布）及び焼成することによって形成される。
【００４２】
［２−１ 第１の変形例］
次に、図１４〜図１７を参照して、本開示の第１の実施形態例に係る静電容量素子の製造方法の第１の変形例について説明する。
図１４は、３個のコンデンサ５６ａ〜５６ｃが直列接続された静電容量素子５０の外観図（Ａ）と、点線Ｘ−Ｘ’で切断したときの断面図（Ｂ）及びその等価回路（Ｃ）を示す。図１０の静電容量素子４０と異なる点は、直列接続するコンデンサの数を１個多くするために、静電容量素子４０のときに比べてグリーンシートが１枚余計に必要になることである。つまり、図１４（Ｂ）に示すように、導電体５３ａ〜５３ｄを含む４枚のグリーンシートが必要になる。
【００４３】
図１５は、図１１に示される基本パターン裏返しＧＳを１８０°回転して作製した４番目のグリーンシートを示している。この４番目のグリーンシートは、図１１の基本パターンＧＳ４５ａを１８０°回転し、更にこれを裏返しにした基本パターン１８０°回転＆裏返しＧＳ５５ｄである。図１４の静電容量素子５０でも図１１のグリーンシート４５ａ〜４５ｃが用いられるが、ここでは新たに用いるグリーンシート５５ｄに合わせて、グリーンシートの番号を５５ａ〜５５ｃとしている。
【００４４】
図１６は、静電容量素子５０における４枚のグリーンシートに白シートを積層した状態を示したものである。図１６から分かるように、基本パターンＧＳ５５ａの導電体５３ａと基本パターン１８０°回転ＧＳ５５ｂの導電体５３ｂの間に配置された誘電体シート５４ｂとで、図１４の等価回路（Ｃ）に示す第１のコンデンサ５６ａが形成される。また、基本パターン裏返しＧＳ５５ｃの導電体５３ｃと基本パターン１８０°回転＆裏返しＧＳ５５ｄの導電体５３ｄの間に配置される誘電体シート５４ｃにより、図１４の等価回路（Ｃ）に示す第３のコンデンサ５６ｃが形成される。
【００４５】
図１６では、１８０°回転ＧＳ５５ｂと基本パターン裏返しＧＳ５５ｃとの間に、導電体が圧着されてない誘電体のみからなる白シート５７ｃが挿入されている。この白シート５７ｃを挟む基本パターン１８０°回転ＧＳ５５ｂの導電体５３ｂと、基本パターン裏返しＧＳ５５ｃの導電体５３ｃと、白シート５７ｃにより、図１４の等価回路（Ｃ）に示される第２のコンデンサ５６ｂが形成される。なお、積層された４枚のグリーンシートの上部と下部には、補強用として白シート５７ａ、５７ｂが積層される。
【００４６】
次に、図１７のフローチャートを参照して、図１４に示す静電容量素子５０の製造工程を説明する。図１７のフローチャートのうち、図１３のフローチャートと同一の工程については、同一のステップ記号（ステップＳ１１〜Ｓ１６）を付している。これについては、既に図１３で説明しているので重複した説明は省略する。
【００４７】
図１７では、新たにステップＳ１９に示す基本パターン１８０°回転＆裏返しＧＳ５５ｄ（図１５参照）の作製工程が含まれる。そして、ステップＳ１６で用意された白シート５７ｃの上に基本パターン裏返しＧＳ５５ｃと基本パターン１８０°回転＆裏返しＧＳ５５ｄを順不同に重ねた積層体を作製する（ステップＳ２０）。
【００４８】
続いて、ステップＳ１５で作製した積層体の上部にステップＳ２０で作製した積層体を重ね（ステップＳ２１）、更にこのステップＳ２１で作製された積層体の上部及び下部に複数枚の補強用白シート５７ａ、５７ｂを配置して、圧着及び焼成処理を行う（ステップＳ２２）。最後に、ステップ２２で処理された積層体に、外部電極５２ａ〜５２ｄを印刷し、焼成処理を行うことで、静電容量素子５０が製造される（ステップＳ２３）。
【００４９】
［２−２ 第２の変形例］
次に、図１８〜２２を参照して、本開示の第１の実施形態例に係る静電容量素子の製造方法の第２の変形例について説明する。
図１８は、７個のコンデンサ６６ａ〜６６ｇが直列接続された静電容量素子６０の外観図（Ａ）と、点線Ｘ−Ｘ’で切断したときの断面図（Ｂ）及びその等価回路（Ｃ）を示す。
図１８の静電容量素子６０は、７個のコンデンサ６６ａ〜６６ｇが直列接続された静電容量素子であるから、各コンデンサ間の電極に接続するための端子も含めると、８個の外部電極６２ａ〜６２ｈと、８個の導電体６３ａ〜６３ｈが必要とされる。すなわち、２種類の基本パターンからなる８枚のグリーンシート６５ａ〜６５ｈが必要となる。以下、この２種類の基本パターンを第１パターン、第２パターンとして説明する。
【００５０】
図１９、図２０は、それぞれ第１のパターンを有するグリーンシート４枚と、第２のパターンを有するグリーンシート４枚を示す。
図１９（Ａ）は第１パターンの基礎となるグリーンシート（ＧＳ）６５ａを示す。この第１パターンＧＳ６５ａを１８０°回転すると図１９（Ｂ）に示す第１パターン１８０°回転ＧＳ６５ｂとなり、この第１パターンＧＳ６５ａを裏返すと図１９（Ｃ）に示す、第１パターン裏返しＧＳ６５ｃになる。図１９（Ｄ）は、図１９（Ｂ）の第１パターン１８０°回転ＧＳ６５ｂを更に裏返して作製した第１パターン１８０°回転＆裏返しＧＳ６５ｄである。
【００５１】
図２０は、第２のパターンを有する４枚のグリーンシート６５ｅ〜６５ｈを示している。図２０に示す第２のパターンのグリーンシートでは、コンデンサの電極を形成する導電体の部分は、第１のパターンとほぼ同じにし、外部電極と接続するための引き出し線部が図１９に示す第１のパターンのグリーンシートと異ならせている。
【００５２】
図２０（Ｅ）は、第２パターンの基礎となる第２パターンＧＳ６５ｅを示す。この第２パターンＧＳ６５ｅを１８０°回転すると図２０（Ｆ）に示す第２パターン１８０°回転ＧＳ６５ｆとなり、また第２パターンＧＳ６５ｅを裏返すと図２０（Ｇ）に示す第２パターン裏返しＧＳ６５ｇになる。更に、図２０（Ｈ）は、図２０（Ｆ）の第２パターン１８０°回転ＧＳ６５ｆを裏返して作製した第２パターン１８０°回転＆裏返しＧＳ６５ｈである。
【００５３】
図１９、図２０を図１８と対応付けてみると、図１９（Ａ）〜（Ｄ）に示す第１パターンに関連するグリーンシート６５ａ〜６５ｄは、図１８（Ａ）に示す外部電極６２ａ〜６２ｄに接続されるのに対し、第２パターンに関連するグリーンシート６５ｅ〜６５ｈは、図１８（Ａ）に示す外部電極６２ｅ〜６２ｈに接続される。外部電極６２ａ〜６２ｈは、それぞれ誘電体の介在により絶縁されているので、図１８（Ｃ）に示すように、７個のコンデンサのすべてに外部端子を付けた直列接続の静電容量素子６０を製造することができる。
【００５４】
図２１は、図１８に示した７個のコンデンサ６６ａ〜６６ｇを直列接続した静電容量素子６０を製造する際の、８枚のグリーンシートの重ね合わせ方法の概略を示したものである。
図２１に示すように、第１パターンＧＳ６５ａ、第１パターン１８０°回転ＧＳ６５ｂ、第２パターンＧＳ６５ｅ、第２パターン１８０°回転ＧＳ６５ｆの４枚のグリーンシートが順不同で積層される。この積層されたグリーンシートの上に白シート６７ｃが配置され、この白シート６７ｃ上に、第２パターン裏返しＧＳ６５ｇ、第２パターン１８０°回転＆裏返しＧＳ６５ｈ、第１パターン１８０°回転＆裏返しＧＳ６５ｄ、及び第１パターン裏返しＧＳ６５ｃの４枚のグリーンシートが順不同で積層される。このように２つのパターンを有する８枚のグリーンシートが積層された後は、その上部と下部に複数枚の白シート６７ａ、６７ｂが重ねて配置される。
【００５５】
図１８〜図２１に示す静電容量素子６０の製法に使われる基本パターングリーンシートの数（グリーンシートの種類数）Ｎは、“２”である。したがって、上述の式（２）式Ｋ＝４Ｎ−１が適用されて、直列接続される単素子のコンデンサの数Ｋは、“７”となる。
【００５６】
図２２は、図１８に示す静電容量素子６０の製造方法の手順を示す工程図である。図１３，図１７の工程図と重複する部分もあるが、ここでは、最初から簡単に全工程について説明しておく。
まず、静電容量素子本体６１の製造に用いられるグリーンシートを作製するため、所望の誘電体材料からなる誘電体シート６４と、この誘電体シート６４上に導電体電極を形成するための第１パターンと第２パターンの２種類のマスクを用意する（ステップＳ３０）。
【００５７】
次に、図１３で述べたように、金属粉末をペースト状にした導電ペーストを準備し、この導電ペーストを、ステップＳ３０で用意した第１パターンのマスクを介して誘電体シート６４上に塗布する。これにより、誘電体シート６４の一方の表面に、第１パターンの導電体電極６３ａが形成された第１パターンＧＳ６５ａ（図１９Ａ）が得られる（ステップＳ３１）。次に、得られた第１パターンＧＳ６５ａを１８０°回転して第１パターン１８０°回転ＧＳ６５ｂ（図１９Ｂ）を得（ステップＳ３２）、続いて、第１パターンＧＳ６５ａを裏返して第１パターン裏返しＧＳ６５ｃ（図１９Ｃ）を得る（ステップＳ３３）。また、第１パターン１８０°回転ＧＳ６５ｂを裏返すことにより、第１パターン１８０°回転＆裏返しＧＳ６５ｄ（図１９Ｄ）を得る（ステップＳ３４）。
【００５８】
続いて、所望の誘電体シート６４と、ステップＳ３０で用意した第２パターンを形成するためのマスクを用いて、この誘電体シート６４に、金属粉末をペースト状にした導電ペーストを、第２パターン用のマスクを介して塗布する。これにより、誘電体シート６４の一方の表面に、第２パターンの導電体電極６３ｅが形成された第２パターンＧＳ６５ｅ（図２０Ｅ）を得る（ステップＳ３５）。この第２パターンＧＳ６５ｅを、１８０°回転して第２パターン１８０°回転ＧＳ６５ｆ（図２０Ｆ）を得（ステップＳ３６）、以下第１パターンのときと同様に、第２パターン裏返しＧＳ６５ｇ（図２０Ｇ）、第２パターン１８０°回転＆裏返しＧＳ６５ｈ（図２０Ｈ）を得る（ステップＳ３７，Ｓ３８）。
【００５９】
次に、第１パターンＧＳ６５ａ（図１９Ａ）、第１パターン１８０°回転ＧＳ６５ｂ（図１９Ｂ）、第２パターンＧＳ６５ｅ（図２０Ｅ）、及び第２パターン１８０°回転ＧＳ６５ｆ（図２０Ｆ）を順不同に重ねた積層体を作製する（ステップＳ３９）。
また、導電体のパターンが印刷されていない誘電体のみの白シート６７ｃを用意し、その白シート６７ｃの上に、第１パターン裏返しＧＳ６５ｃ（図１９Ｃ）、第１パターン１８０°回転＆裏返しＧＳ６５ｄ（図１９Ｄ）、第２パターン裏返しＧＳ６５ｇ（図２０Ｇ）、及び第２パターン１８０°回転＆裏返しＧＳ６５ｈ（図２０Ｈ）を順不同に重ねた積層体を作製する（ステップＳ４０）。
【００６０】
そして、ステップＳ３９で作製した積層体の上に、ステップＳ４０で作製した積層体を重ね、更に、その積層体の上部及び下部に複数枚の白シート６７ａ、６７ｂを重ねて、圧着及び焼成処理を行う（ステップＳ４１）。最後に、ステップＳ４１で作製した積層体に外部電極６２ａ〜６２ｈを印刷して焼成することにより、図１８に示した７個のコンデンサ６６ａ〜６６ｇが直列接続された静電容量素子６０を得る（ステップＳ４２）。
【００６１】
＜３．本開示の第２の実施形態例に係る静電容量素子の製造方法＞
次に、図２３〜２６を参照して、本開示の第２の実施形態例の静電容量素子とその製造方法について説明する。
図２３は、３個のコンデンサ７６ａ〜７６ｃが直列接続された静電容量素子７０の外観図（Ａ）と、点線Ｘ−Ｘ’で切断した時の断面図（Ｂ）及びその等価回路（Ｃ）を示している。外観図（Ａ）から分かるように、この第２の実施形態例では、外部電極７２ａ〜７２ｄが直方体形状をした静電容量素子本体７１の４側面の略同位置に存在している。
【００６２】
これらの外部電極７２ａ〜７２ｄには、断面図（Ｂ）に示した導電体７３ａ〜７３ｄが接続され、その結果等価回路（Ｃ）に示すような、３個のコンデンサ７６ａ〜７６ｃと外部電極７２ａ〜７２ｄの接続関係が得られる。
【００６３】
図２４（Ａ）〜（Ｄ）は、基本パターン（Ａ）を有する４枚のグリーンシート７５ａ〜７５ｄを示している。図２４で、コンデンサの電極を形成する導電体７３ａ〜７３ｄの部分は、誘電体７４ａ〜７４ｄの面積に対して、比較的小面積になっているが、この導電体７３ａ〜７３ｄの面積の大きさは、静電容量素子７０が用いられる用途に応じて任意に決めることができるものである。例えば、静電容量素子７０を通信用のカードに搭載して用いる場合には、図２４（Ａ）〜（Ｄ）に示すように、誘電体７４ａ〜７４ｄの面積に比べて、導電体７３ａ〜７３ｄの面積を小さくすることがより効果的であるとされている。
【００６４】
図２４（Ａ）〜（Ｄ）を見ると分かるように、（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）は、（Ａ）に示した基本パターンＧＳ７５ａを、それぞれ９０°回転、１８０°回転、２７０°回転したものである。この３枚のグリーンシート（ＧＳ）を、以下基本パターン９０°回転ＧＳ７５ｂ、基本パターン１８０°回転ＧＳ７５ｃ、基本パターン２７０°回転ＧＳ７５ｄとする。
ここで、基本パターンＧＳ７５ａ、基本パターン９０°回転ＧＳ７５ｂ、基本パターン１８０°回転ＧＳ７５ｃ及び基本パターン２７０°回転ＧＳ７５ｄを順不同で積層した場合には、グリーンシートの種類数Ｎ（＝１，２，３・・・）と直列接続される単素子のコンデンサの数Ｋとの関係は、
Ｋ＝４Ｎ−１ ・・・・・ （２）
が成立する。ここでは、Ｎ＝１で、直列接続される単素子のコンデンサの数Ｋ＝３となる。
【００６５】
図２５は、図２３に示した３個のコンデンサ７６ａ〜７６ｃを直列接続した静電容量素子７０を製造するために、上述した４枚のグリーンシート（ＧＳ）の重ね合わせる方法の概略を示したものである。すなわち、基本パターンＧＳ７５ａ、基本パターン９０°回転ＧＳ７５ｂ、基本パターン１８０°回転ＧＳ７５ｃ、及び基本パターン２７０°回転ＧＳ７５ｄを順不同に重ね、この上部と下部に複数枚の白シート７７ａ、７７ｂを積層する。
【００６６】
図２６は、図２３に示す静電容量素子７０の製造方法の手順を示す工程図である。ステップＳ５０の誘電体シートと導電膜塗布用のマスクを用意する工程、及びステップＳ５1の基本パターンＧＳ７５ａ（図２４Ａ）を作製するまでは、既に説明した方法と同じである。
次に、ステップＳ５１で作製した基本パターンＧＳ７５ａを９０°回転し、基本パターン９０°回転ＧＳ７５ｂ（図２４Ｂ）を作製する（ステップＳ５２）。続いて、基本パターンＧＳ７５ａを１８０°回転して基本パターン１８０°回転ＧＳ７５ｃ（図２４Ｃ）を作製し（ステップＳ５３）、更に２７０°回転して基本パターン２７０°回転ＧＳ７５ｄ（図２４Ｄ）を作製する（ステップＳ５４）。
【００６７】
そして、このようにして作製した４枚のグリーンシート（ＧＳ）を順不同で重ねた積層体を作り（ステップＳ５５）、この積層体の上部と下部に複数枚の白シート７７ａ、７７ｂを積層して圧着及び焼成処理を行う（ステップＳ５６）。最後にステップＳ５６で作製した積層体に外部電極７２ａ〜７２ｄを印刷して焼成処理をすることにより静電容量素子７０の製造が終了する（ステップＳ５７）。
【００６８】
［３−１ 第１の変形例］
図２７〜２９を参照して、本開示の第２の実施形態例の静電容量素子の第１の変形例とその製造方法について説明する。
図２７は、並列接続された２個のコンデンサ８６ａ、８６ｂ、８６ｃのそれぞれが３個直列に接続された静電容量素子８０の外観図（Ａ）と、点線Ｘ−Ｘ’で切断した時の断面図（Ｂ）及びその等価回路（Ｃ）と内部回路（Ｄ）を示したものである。この第１の変形例の外部電極８２ａ〜８２ｄは、図２３の外部電極７２ａ〜７２ｄと同じものである。
【００６９】
これらの外部電極８２ａ〜８２ｄには、断面図（Ｂ）に示した導電体８３ａ〜８３ｄが接続される。図２８に示すように、導電体８３ａ〜８３ｄと誘電体シート８４ａ〜８４ｄで作成されるグリーンシート（ＧＳ）として、１枚の基本パターンＧＳ８５ａと、２枚の基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂと、２枚の基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃと、２枚の基本パターン２７０°ＧＳ８５ｄの７枚のグリーンシートが用意される。
【００７０】
次に、図２８を参照して、上述した７枚のグリーンシートの配置関係の一例を説明する。まず、中心に基本パターンＧＳ８５ａを置く。その上部及び下部に、基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃ、基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂ、基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｃをこの順番に重ねて配置する。これにより、１枚の基本パターンＧＳ８５ａの上側と下側に、それぞれ３枚のグリーンシートが積層されることになる。更に、このように重ねた７枚のグリーンシートの上部と下部に複数枚の白シート８７ａ、８７ｂを積層する。
【００７１】
このように７枚のグリーンシートを積層することにより、１枚の基本パターンＧＳ７５ａと２枚の基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃにより、２個のコンデンサ８６ａが作製され、２枚の基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃと２枚の基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂにより２個のコンデンサ８６ｂが作製される。そして、２枚の基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂと２枚の基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｄから２個のコンデンサ８６ｃが作製される。そして、各グリーンシート８５ａ〜８５ｄの導電体８３ａ〜８３ｄを外部電極８２ａ〜８２ｄに接続することにより、内部回路（Ｄ）に示すように、６個のコンデンサ（８６ａ、８６ｂ、８６ｃがそれぞれ２個）が積層された静電容量素子８０が得られる。
【００７２】
図２９は、静電容量素子８０の具体的な製造工程を示す工程図である。ステップＳ５０〜ステップＳ５４までは、図２６に示した静電容量素子７０の製造工程と同じなので、説明は省略する。
ステップＳ５１〜Ｓ５４で生成した４つのグリーンシートが作製された後は、基本パターンＧＳ８５ａの上部に基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃ、基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂ、基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｄをこの順番に重ねて積層体を生成する（ステップＳ５８）。そして、ステップＳ５８で作製した積層体の下部に基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃ、基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂ、基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｄをこの順番で重ねて積層体とする（ステップＳ５９）。すなわち、図２８に示したように、基本パターンＧＳ８５ａを共通のグリーンシートとして、その上下に、基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃ、基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂ、基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｄが順番に配置された７枚のグリーンシートが積層された積層体が得られる。
【００７３】
続いて、ステップＳ５９で作製した７枚のグリーンシートの積層体の上部及び下部に複数の白シート８７ａと８７ｂを重ねて圧着及び焼成処理を行い（ステップＳ６０）、最後に外部電極８２ａ〜８２ｄを印刷及び焼成処理して、静電容量素子８０の製造工程が終了する（ステップＳ６１）。
【００７４】
［３−２ 第２の変形例］
次に、図３０〜３２を参照して、本開示の第２の実施形態例の静電容量素子の第２の変形例とその製造方法について説明する。
図３０に示す第２の変形例が図２７に示す第１の変形例と異なるところは、Ｘ−Ｘ’で切断した断面図（Ｂ）のみである。つまり、図２７に示す静電容量素子８０は、図２７（Ｂ）に示すように導電体が７個（８３ａが１個、８３ｂ〜８３ｄがそれぞれ２個）であるのに対し、図３０の静電容量素子８０Ａでは、導電体は８個（８３ａ〜８３ｄがそれぞれ２個ずつ）設けられている。
【００７５】
図３１は、上述した８個の導電体が塗布された８枚のグリーンシートの配置関係の例を示したものである。中心部分に基本パターンＧＳ８５ａが２枚重ねて配置される。この基本パターンＧＳ８５ａの導電体電極８３ａは、外部電極８２ａに接続される電極である。基本パターンＧＳ８５ａの上部及び下部に、基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃ、基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂ、基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｃの３枚のグリーンシートを重ねた４枚のグリーンシートからなる積層体を２個作製する。更に、このように重ねた２個の積層体の上部と下部に複数枚の白シート８７ａ、８７ｂを重ねて配置する。
【００７６】
このように８枚のグリーンシートを積層した場合でも、図２８の場合と同様に、２枚の基本パターンＧＳ８５ａと２枚の基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃにより、２個のコンデンサ８６ａが作製され、２枚の基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃと２枚の基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂにより２個のコンデンサ８６ｂが作製される。そして、２枚の基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂと２枚の基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｄから２個のコンデンサ８６ｃが作製される。これにより、図３０の内部回路（Ｄ）に示すように、６個のコンデンサ（８６ａ、８６ｂ、８６ｃがそれぞれ２個）が積層された静電容量素子８０Ａが得られる。
【００７７】
図３２は、静電容量素子８０Ａの具体的な製造工程を示す工程図である。ステップＳ５０〜ステップＳ５４までは、図２８に示した静電容量素子８０の製造工程と同じである。
まず、１枚の基本パターンＧＳ８５ａの上部に基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃ、基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂ、基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｃの３枚のグリーンシートを配置して積層体を形成する（ステップＳ６３）。一方、別の１枚の基本パターンＧＳ８５ａの下部に基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃ、基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂ、基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｄの３枚のグリーンシートを配置して積層体を形成する（ステップＳ６４）。
【００７８】
そして、ステップＳ６３、Ｓ６４で作製された積層体を重ね（ステップＳ６５）、更にその上部と下部に複数枚の白シート８７ａ、８７ｂを積層して、圧着及び焼成処理を行う（ステップＳ６６）。最後に、ステップＳ６６で作製した積層体に外部電極８２ａ〜８２ｄ（図３０（Ａ）参照）の印刷と焼成処理を行って静電容量素子８０Ａの製造が終了する（ステップＳ６７）。
【００７９】
［３−３ 第３の変形例］
次に、図３３〜３５を参照して、本開示の第２の実施形態例の静電容量素子の第３の変形例とその製造方法について説明する。
図３３に示す第３の変形例（静電容量素子８０Ｂ）が、図２７に示す第１の変形例や、図３０に第２の変形例と異なるところは、内部回路（Ｄ）に示すように３個並列にしたコンデンサ８６ａ、８６ｂ、８６ｃを３個直列に接続している点である。このため、第３の変形例では、図３３（Ｂ）に示すように、電極を形成する導電体を１０個（８３ａ、８３ｄをそれぞれ２個、８３ｂ、８３ｃをそれぞれ３個）設けている。
【００８０】
図３４は、図３３の静電容量素子８０Ｂを構成する１０枚のグリーンシート（ＧＳ）の重ね合わせ方法を示すものである。基本パターンＧＳ８５ａと基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｄが２枚、基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂと基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃが３枚の合計１０枚のグリーンシートが用いられる。そして、２枚の基本パターンＧＳ８５ａの上部に基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃ、基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂ、基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｃのグリーンシートをこの順番に重ねて配置した積層体２個を生成する。
【００８１】
この２個の同じ積層体の間に、基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃ、基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂを挟み込むと、上部に配置された積層体の基本パターンＧＳ８５ａと下部に配置された積層体の基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｄを共通に使うことにより、基本パターンＧＳ８５ａ、基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃ、基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂ、基本パターン°回転ＧＳ８５ｃの積層体がもう１個できる。このように積層された３個の積層体のそれぞれは、コンデンサ８６ａ〜８６ｃを直列接続したものとなっており、この３個の積層体を構成するグリーンシートが外部電極８２ａ〜８２ｄに接続されると、図３３の内部回路（Ｄ）に示されるようなコンデンサ８６ａ〜８６ｃが３個並列に接続されたものが３個直列に接続されたコンデンサ回路の構成が実現する。また、図３１と同様に、このように重ねた１０枚のグリーンシートの上部と下部には、複数枚の白シート８７ａ、８７ｂが積層される。
【００８２】
更に、具体的に説明すると、２枚の基本パターンＧＳ８５ａと３枚の基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃにより、３個のコンデンサ８６ａが作製され、３枚の基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃと３枚の基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂにより３個のコンデンサ８６ｂが作製される。そして、３枚の基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂと２枚の基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｄから３個のコンデンサ８６ｃが作製される。これにより、図３３の内部回路（Ｄ）に示すように、並列接続された３個のコンデンサが３個直列接続された９個のコンデンサ（８６ａ、８６ｂ、８６ｃがそれぞれ３個）が積層された静電容量素子８０Ｂが得られる。
【００８３】
図３５は、静電容量素子８０Ｂの具体的な製造工程を示す工程図である。ステップＳ５０〜ステップＳ５４までは、図３０に示した静電容量素子８０Ａの製造工程と同じである。
ステップＳ５４までの処理が終えた後に、基本パターンＧＳ８５ａの上部に基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃ、基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂ、及び基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｄを積層した積層体を２個作製する（ステップＳ６８）。そして、ステップＳ６８で作製した２個の積層体の間に、基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂと基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃの積層体を挿入する（ステップＳ６９）。
【００８４】
そして、ステップＳ６９で作製された積層体の上部と下部に複数枚の白シート８７ａ、８７ｂを積層して、圧着及び焼成処理を行い（ステップＳ７０）、最後に外部電極８２ａ〜８２ｄ（図３３（Ａ）参照）を印刷・焼成処理することにより、静電容量素子８０Ｂが製造される（ステップＳ７１）。
【００８５】
［３−４ 第４の変形例］
次に、図３６〜３８を参照して、本開示の第２の実施形態例の静電容量素子の第４の変形例とその製造方法について説明する。
図３６に示す第４の変形例である静電容量素子８０Ｃと、図３３に示す静電容量素子８０Ｂは、その外観図（Ａ）、内部回路（Ｄ）ともに同一であり、異なる点はＸ−Ｘ’断面図（Ｂ）に示される導電体電極８３ａ〜８３ｄの数のみである。すなわち、図３３（Ｂ）では、上述のように、導電体電極は１０個（８３ａ、８３ｄをそれぞれ２個、８３ｂ、８３ｃをそれぞれ３個）であるのに対し、図３６（Ｂ）では１２個の導電体電極（８３ａ〜８３ｄのそれぞれが３個ずつ）を備えている。
【００８６】
図３７は、図３６の静電容量素子８０Ｃを構成する１２枚のグリーンシート（ＧＳ）の重ね合わせ方法を示すものである。図３７に示すように、基本パターンＧＳ８５ａの上部に、基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃ、基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂ、基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｃの３枚のグリーンシートがこの順番に重ねて配置された積層体が２個作製される。また、別の１枚の基本パターンＧＳ８５ａの下部に、基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃ、基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂ、基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｄを積層した積層体が１個作製される。そして、これら３つの積層体を重ね、更にその上部と下部に複数の白シート８７ａ、８７ｂを重ねた構造とする。
【００８７】
これら３個の積層体の各々は、図３６の内部回路（Ｄ）に示す、３つのコンデンサ８６ａ〜８６ｃが直列接続されたものであり、これが外部電極８２ａ〜８２ｄに接続されることで、それぞれの積層体の対応するコンデンサが並列接続される。その結果、内部回路（Ｄ）に示されるように、３並列３直列のコンデンサを有する静電容量素子８０Ｃが作製されることになる。
【００８８】
図３７と図３４とが異なる点は、図３４では基本パターンＧＳ８５ａと基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｄが２枚であるのに対して、図３７ではいずれのグリーンシートも３枚用いている点であった。したがって、図３７においては、３枚の基本パターンＧＳ８５ａと３枚の基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃにより、３個のコンデンサ８６ａが作製され、３枚の基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃと３枚の基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂにより３個のコンデンサ８６ｂが作製される。そして、３枚の基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂと３枚の基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｄから３個のコンデンサ８６ｃが作製される。これにより、図３６の内部回路（Ｄ）に示すように、並列接続された３個のコンデンサが３個直列接続された９個のコンデンサ（８６ａ、８６ｂ、８６ｃがそれぞれ３個）が積層された静電容量素子８０Ｃが得られる。
【００８９】
図３８は、静電容量素子８０Ｃの具体的な製造工程を示す工程図である。ステップＳ５０〜ステップＳ５４までは、第１から第３の変形例（図２９、図３２、図３５参照）の静電容量素子８０，８０Ａ、８０Ｂの製造工程と同じである。
その後、ステップＳ５１で作製した基本パターンＧＳ８５ａを２枚用意し、その基本パターンＧＳ８５ａそれぞれの上部に基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃ、基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂ、及び基本パターン°回転ＧＳ８５ｄを重ねた積層体を２個作製する（ステップＳ７２）。更に、別の基本パターンＧＳ８５ａを１枚用意し、この基本パターンＧＳ８５ａの下部に基本パターン１８０°回転ＧＳ８５ｃ、基本パターン９０°回転ＧＳ８５ｂ、及び基本パターン２７０°回転ＧＳ８５ｄを順番に重ねた積層体を１個作製する（ステップＳ７３）。
【００９０】
そして、ステップＳ７２で作製した２個の積層体の間に、ステップＳ７３で作製した１個の積層体を挿入し、グリーンシート１２枚を積層した積層体を作製する（ステップＳ７４）。そして、ステップＳ７４で作製された積層体の上部と下部に複数枚の白シート８７ａ、８７ｂを配置して、圧着及び焼成処理を行い（ステップＳ７５）、最後に外部電極８２ａ〜８２ｄ（図３６（Ａ）参照）を印刷して焼成処理することにより、静電容量素子８０Ｃが完成する（ステップＳ７６）。
【００９１】
＜４．本開示の第３の実施形態例に係る静電容量素子の製造方法＞
次に、図３９〜４２を参照して、本開示の第３の実施形態例に係る静電容量素子の製造方法について説明する。
図３９は、７個のコンデンサ９６ａ〜９６ｇが直列接続された静電容量素子９０の外観図（Ａ）、Ｘ−Ｘ’断面図（Ｂ）及びその等価回路（Ｃ）を示している。外観図（Ａ）から分かるように、この第３の実施形態例では、外部電極９２ａ〜９２ｈが直方体形状をした静電容量素子本体９１の４つの側面に２個ずつ並んで配置されている。
【００９２】
これらの外部電極９２ａ〜９２ｈには、断面図（Ｂ）に示した導電体９３ａ〜９３ｈが接続され、その結果、等価回路（Ｃ）に示すように、７個のコンデンサ９６ａ〜９６ｇが直列に接続されて静電容量素子９０が得られる。
【００９３】
この第３の実施形態例に用いられる、８個の導電体（電極）が塗布されたグリーンシート（図３９Ｂ参照）うち、４枚のグリーンシートは、既に、図２４（Ａ）〜（Ｄ）に示したグリーンシートと同じものである。図２４では、基本パターン（Ａ）を有する４枚のグリーンシート７５ａ〜７５ｄとして示したが、第３の実施形態例では、この同じグリーンシートをグリーンシート９５ａ〜９５ｄとして示すこととする。
【００９４】
第３の実施形態例の静電容量素子９０では、図２４（Ａ）〜（Ｄ）に示した４枚のグリーンシートに加えて、更に、図４０（Ｅ）〜（Ｈ）に示した４枚のグリーンシート９５ｅ〜９５ｈが用いられる。このグリーンシート９５ｅ〜９５ｈは、図２４（Ａ）〜（Ｄ）に示したグリーンシート７５ａ〜７５ｄ（これ以降は、「９５ａ〜９５ｄ」とする）を裏返したものである。
【００９５】
つまり、静電容量素子９０を製造するためには、基本パターンＧＳとこれを回転（９０°、１８０°、２７０°回転）した４枚のグリーンシートの他に、これら４枚のグリーンシートを裏返して作製した、更に４枚のグリーンシートが用いられる。この結果、グリーンシートの種類数Ｎ（＝１，２，３・・・）と直列接続される単素子のコンデンサの数Ｋとの関係は、
Ｋ＝８Ｎ―１ ・・・・・ （３）
が成立する。すなわち、Ｎ＝１に対して、Ｋ＝７となるので、図３９（Ｃ）の等価回路に示すように、１個の基本パターンのグリーンシートだけで、７個の単素子のコンデンサの直列接続構造が得られる。
図３９では、外部電極９２ａ〜９２ｈが８個なので、直列接続される単素子のコンデンサは７個が限度であるが、外部電極を１６にして、電極を形成するパターンＮを“２”とすれば、単素子のコンデンサ１５個を直列接続した静電容量素子が得られることは言うまでもない。
【００９６】
以下、図４０（Ｅ）〜（Ｈ）に示すグリーンシートを、基本パターン裏返しＧＳ９５ｅ、基本パターン９０°回転＆裏返しＧＳ９５ｆ、基本パターン１８０°回転＆裏返しＧＳ９５ｇ、及び基本パターン２７０°回転＆裏返しＧＳ９５ｈと呼ぶ。
【００９７】
図４１は、図３９に示した７個のコンデンサ９６ａ〜９６ｇを直列接続した静電容量素子９０を製造するために、上述８枚のグリーンシート（ＧＳ）を重ね合わせる方法の例を示したものである。すなわち、基本パターンＧＳ９５ａ、基本パターン９０°回転ＧＳ９５ｂ、基本パターン１８０°回転ＧＳ９５ｃ、及び基本パターン２７０°回転９５ｄを順不同に積層する。そして、この積層したグリーンシートの上に、１枚の白シート９７ｃを配置し、更にその上部に基本パターン裏返しＧＳ９５ｅ、基本パターン９０°回転＆裏返しＧＳ９５ｆ、基本パターン１８０°回転＆裏返しＧＳ９５ｇ、及び基本パターン２７０°回転＆裏返しＧＳ９５ｈを順不同に積層する。そして、このように積層した８枚のグリーンシートの上部と下部に補強用として複数枚の白シート９７ａ、９７ｂを積層し、全体を圧着及び焼成処理を行う。
【００９８】
図４２は、静電容量素子９０の具体的な製造工程を示す工程図である。ステップＳ５０〜ステップＳ５４までは、図２６の第２の実施形態例に係る静電容量素子７０の製造方法のところで説明した工程と同じである。
つまり、ステップＳ５１〜Ｓ５４では、基本パターンＧＳ９５ａを作製した後に、この基本パターンＧＳ９５ａを９０°回転した基本パターン９０°回転ＧＳ９５ｂ、１８０°回転した基本パターン１８０°回転ＧＳ９５ｃ及び２７０°回転した基本パターン２７０°回転ＧＳ９５ｄを作製する。
【００９９】
次に、基本パターンＧＳ９５ａを裏返したグリーンシートである基本パターン裏返しＧＳ９５ｅ、基本パターン１８０°回転ＧＳ９５ｃを裏返した基本パターン１８０°回転ＧＳ＆裏返しＧＳ９５ｆ、基本パターン２７０°回転ＧＳ９５ｄを裏返した基本パターン２７０°回転ＧＳ＆裏返しＧＳ９５ｈを作製する（ステップＳ８０〜Ｓ８３）。
【０１００】
その後、このように作製した８種類のグリーンシートの中から、まず基本パターンＧＳ９５ａを取り出し、その上に基本パターン１８０°回転ＧＳ９５ｃ、基本パターン９０°回転ＧＳ９５ｂ、及び基本パターン２７０°回転ＧＳ９５ｄを順不同に重ねた積層体を作製する（ステップＳ８４）。続いて、ステップＳ８４で作製した積層体の上に１枚の白シート９７ｃを重ねて配置する（ステップＳ８５）。
【０１０１】
次に、ステップＳ８５で配置した白シート９７ｃの上部に、基本パターン２７０°回転＆裏返しＧＳ９５ｈ、基本パターン９０°回転＆裏返しＧＳ９５ｆ、基本パターン１８０°回転＆裏返しＧＳ９５ｇ、及び基本パターン裏返しＧＳ９５ｅを順不同に重ねた積層体を作製する（ステップＳ８６）。そして、この様に積層した８枚のグリーンシートの上部と下部に複数枚の白シート９７ａ、９７ｂを配置して、圧着及び焼成処理を行う（ステップＳ８７）。最後に外部電極９２ａ〜９２ｈ（図３９（Ａ）参照）を印刷し、焼成処理することにより、静電容量素子９０が製造される（ステップＳ８８）。
【０１０２】
以上説明した本開示の実施形態例では、コンデンサの数、あるいはその接続形態の違いも考慮しつつ、多種類の静電容量素子の製造方法について説明した。しかし、本開示の静電容量素子の製造方法は、上述した静電容量素子の実施形態例に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載を逸脱しない範囲において、他の応用例、変形例も含むことは言うまでもない。また、本明細書に開示した静電容量素子の製造方法は、誘電体シートに導電体膜を塗布して作製したグリーンシートを積層することを主眼としており、そのような積層体の製造方法であれば、静電容量素子以外にも幅広い用途が考えられるものである。
【０１０３】
なお、本開示は以下のような構成も取ることができる。
（１）
導電体が塗布されない誘電体シートと、該誘電体シートに導電体塗布用の少なくとも１個の基本パターン形状を有するマスクを用意する工程と、
前記誘電体シート上に前記マスクを介して導電体を塗布して基本パターングリーンシートを作製する工程と、
前記基本パターングリーンシートを回転した基本パターン回転グリーンシートを作製する工程と、
前記基本パターングリーンシート及び前記基本パターン回転グリーンシートを積層する工程と、
前記基本パターングリーンシート、または前記基本パターン回転グリーンシートのうち、少なくとも一つのグリーンシートを裏返して、前記基本パターングリーンシートまたは前記回転グリーンシートとは異なる基本パターン裏返しグリーンシートを作製する工程と、
前記基本パターングリーンシート及び前記基本パターン回転グリーンシートを積層した積層体に、導電体が塗布されていない誘電体シートを介して前記基本パターン裏返しグリーンシートを積層する工程と、
前記基本パターングリーンシート、前記基本パターン回転グリーンシート、前記誘電体シート及び前記基本パターン裏返しグリーンシートの積層体を圧着及び焼成処理する工程と、
を含む静電容量素子の製造方法。
（２）
更に、前記基本パターングリーンシート、前記基本パターン回転グリーンシート、前記誘電体シート及び前記基本パターン裏返しグリーンシートの積層体の上部及び下部に、導電体が塗布されていない補強用の誘電体シートを積層する工程、を含む（１）に記載の静電容量素子の製造方法。
（３）
更に、前記基本パターングリーンシート、前記基本パターン回転グリーンシート、前記誘電体シート、及び前記基本パターン裏返しグリーンシートの積層体の側面に、外部電極を印刷して焼成処理を行う工程、を含む（１）または（２）に記載の静電容量素子の製造方法。
（４）
前記基本パターン回転グリーンシートは、前記基本パターングリーンシートを１８０°回転した基本パターン１８０°回転グリーンシートである、（１）〜（４）のいずれかに記載の静電容量素子の製造方法。
（５）
前記基本パターン裏返しグリーンシートは前記基本パターングリーンシートと前記基本パターン１８０°回転パターングリーンシートのいずれかあるいは両方を裏返して作製される基本パターン裏返しグリーンシート及び／または基本パターン１８０°回転＆裏返しグリーンシートである、（４）に記載の静電容量素子の製造方法。
（６）
前記基本パターングリーンシートを作製するための異なる基本パターンのマスクを２個用意し、２種の基本パターングリーンシート、前記基本パターングリーンシートを１８０°回転した２種の基本パターン１８０°回転グリーンシート、２種の前記基本パターングリーンシート及び２種の前記基本パターン１８０°回転グリーンシートのそれぞれを裏返して前記基本パターン裏返しグリーンシート及び／または基本パターン１８０°回転＆裏返しグリーンシートを作製する、（１）〜（４）のいずれかに記載の静電容量素子の製造方法。
（７）
前記基本パターン回転グリーンシートは、前記基本パターングリーンシートを９０°回転した基本パターン９０°回転グリーンシート、前記基本パターングリーンシートを１８０°回転した基本パターン１８０°回転グリーンシート、及び前記基本パターングリーンシートを２７０°回転した基本パターン２７０°回転グリーンシートの３種類であり、
前記裏返しグリーンシートは、前記基本パターングリーンシート及び３種類の前記基本パターン回転グリーンシートを裏返した基本パターン裏返しグリーンシート、前記基本パターン９０°回転グリーンシートを裏返した基本パターン９０°回転＆裏返しグリーンシート、前記基本パターン１８０°回転グリーンシートを裏返した基本パターン１８０°回転＆裏返しグリーンシート、及び前記基本パターン２７０°回転グリーンシートを裏返した基本パターン２７０°回転＆裏返しグリーンシートの４種類であり、
前記積層されるグリーンシートは、前記基本パターングリーンシート、前記基本パターン９０°回転グリーンシート、前記基本パターン１８０°回転グリーンシート、前記基本パターン２７０°回転グリーンシート、前記基本パターン裏返しグリーンシート、前記基本パターン９０°回転＆裏返しグリーンシート、前記基本パターン１８０°回転＆裏返しグリーンシート、及び前記基本パターン２７０°回転＆裏返しグリーンシートの８枚と導電体が塗布されていない誘電体シートからなる、（１）〜（３）のいずれかに記載の静電容量素子の製造方法。
（８）
誘電体シート及び該誘電体シートに導電体塗布用の所定のパターン形状を有するマスクを用意する工程と、
前記誘電体シート上に前記マスクを介して導電体を塗布して基本パターングリーンシートを作製する工程と、
前記基本パターングリーンシートを９０°回転して基本パターン９０°回転グリーンシートを作製する工程と、
前記基本パターングリーンシートを１８０°回転して基本パターン１８０°回転グリーンシートを作製する工程と、
前記基本パターングリーンシートを２７０°回転して基本パターン２７０°回転グリーンシートを作製する工程と、
前記基本パターングリーンシート、前記基本パターン９０°回転グリーンシート、前記基本パターン１８０°回転グリーンシート、及び前記基本パターン２７０°回転グリーンシートを積層する工程と、
前記積層される４個のグリーンシートの上部及び下部に導電体が塗布されていない誘電体シートである補強用白シートを積層して圧着及び焼成処理を行う工程と、
を含む静電容量素子の製造方法。
【符号の説明】
【０１０４】
１０、２０、３０、４０、５０、６０，７０，８０、８０Ａ〜８０Ｃ、９０・・・静電容量素子、１１、２１、３１、４１、５１、６１，７１，８１、９１・・・静電容量素子本体、１２、２２、３２、４２、５２、６２，７２，８２、９２・・・外部電極、１３、２３、３３、４３、５３、６３，７３，８３、９３・・・導電体（電極）、１４、２４、３４、４４、５４、６４，７４，８４、９４・・・誘電体シート、１５、２５、３５、４５、５５、６５，７５，８５、９５・・・グリーンシート（ＧＳ）、１６、２６、３６、４６、５６、６６，７６，８６、９６・・・コンデンサ、１７、２７、３７、４７、５７、６７，７７，８７、９７・・・白シート（誘電体シート）、
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電体が塗布されない誘電体シートと、該誘電体シートに導電体塗布用の少なくとも１個の基本パターン形状を有するマスクを用意する工程と、
前記誘電体シート上に前記マスクを介して導電体を塗布して基本パターングリーンシートを作製する工程と、
前記基本パターングリーンシートを回転した基本パターン回転グリーンシートを作製する工程と、
前記基本パターングリーンシート及び前記基本パターン回転グリーンシートを積層する工程と、
前記基本パターングリーンシート、または前記基本パターン回転グリーンシートのうち、少なくとも一つのグリーンシートを裏返して、前記基本パターングリーンシートまたは前記回転グリーンシートとは異なる基本パターン裏返しグリーンシートを作製する工程と、
前記基本パターングリーンシート及び前記基本パターン回転グリーンシートを積層した積層体に、導電体が塗布されていない誘電体シートを介して前記基本パターン裏返しグリーンシートを積層する工程と、
前記基本パターングリーンシート、前記基本パターン回転グリーンシート、前記誘電体シート及び前記基本パターン裏返しグリーンシートの積層体を圧着及び焼成処理する工程と、
を含む静電容量素子の製造方法。
【請求項２】
更に、前記基本パターングリーンシート、前記基本パターン回転グリーンシート、前記誘電体シート及び前記基本パターン裏返しグリーンシートの積層体の上部及び下部に、導電体が塗布されていない補強用の誘電体シートを積層する工程、
を含む請求項１に記載の静電容量素子の製造方法。
【請求項３】
更に、前記基本パターングリーンシート、前記基本パターン回転グリーンシート、前記誘電体シート、及び前記基本パターン裏返しグリーンシートの積層体の側面に、外部電極を印刷して焼成処理を行う工程、
を含む請求項１に記載の静電容量素子の製造方法。
【請求項４】
前記基本パターン回転グリーンシートは、前記基本パターングリーンシートを１８０°回転した基本パターン１８０°回転グリーンシートである、請求項１に記載の静電容量素子の製造方法。
【請求項５】
前記基本パターン裏返しグリーンシートは前記基本パターングリーンシートと前記基本パターン１８０°回転パターングリーンシートのいずれかあるいは両方を裏返して作製される基本パターン裏返しグリーンシート及び／または基本パターン１８０°回転＆裏返しグリーンシートである、請求項１に記載の静電容量素子の製造方法。
【請求項６】
前記基本パターングリーンシートを作製するための異なる基本パターンのマスクを２個用意し、２種の基本パターングリーンシート、前記基本パターングリーンシートを１８０°回転した２種の基本パターン１８０°回転グリーンシート、２種の前記基本パターングリーンシート及び２種の前記基本パターン１８０°回転グリーンシートのそれぞれを裏返して前記基本パターン裏返しグリーンシート及び／または基本パターン１８０°回転＆裏返しグリーンシートを作製する、請求項１に記載の静電容量素子の製造方法。
【請求項７】
前記基本パターン回転グリーンシートは、前記基本パターングリーンシートを９０°回転した基本パターン９０°回転グリーンシート、前記基本パターングリーンシートを１８０°回転した基本パターン１８０°回転グリーンシート、及び前記基本パターングリーンシートを２７０°回転した基本パターン２７０°回転グリーンシートの３種類であり、
前記裏返しグリーンシートは、前記基本パターングリーンシート及び３種類の前記基本パターン回転グリーンシートを裏返した基本パターン裏返しグリーンシート、前記基本パターン９０°回転グリーンシートを裏返した基本パターン９０°回転＆裏返しグリーンシート、前記基本パターン１８０°回転グリーンシートを裏返した基本パターン１８０°回転＆裏返しグリーンシート、及び前記基本パターン２７０°回転グリーンシートを裏返した基本パターン２７０°回転＆裏返しグリーンシートの４種類であり、
前記積層されるグリーンシートは、前記基本パターングリーンシート、前記基本パターン９０°回転グリーンシート、前記基本パターン１８０°回転グリーンシート、前記基本パターン２７０°回転グリーンシート、前記基本パターン裏返しグリーンシート、前記基本パターン９０°回転＆裏返しグリーンシート、前記基本パターン１８０°回転＆裏返しグリーンシート、及び前記基本パターン２７０°回転＆裏返しグリーンシートの８枚と導電体が塗布されていない誘電体シートからなる、
請求項１に記載の静電容量素子の製造方法。
【請求項８】
誘電体シート及び該誘電体シートに導電体塗布用の所定のパターン形状を有するマスクを用意する工程と、
前記誘電体シート上に前記マスクを介して導電体を塗布して基本パターングリーンシートを作製する工程と、
前記基本パターングリーンシートを９０°回転して基本パターン９０°回転グリーンシートを作製する工程と、
前記基本パターングリーンシートを１８０°回転して基本パターン１８０°回転グリーンシートを作製する工程と、
前記基本パターングリーンシートを２７０°回転して基本パターン２７０°回転グリーンシートを作製する工程と、
前記基本パターングリーンシート、前記基本パターン９０°回転グリーンシート、前記基本パターン１８０°回転グリーンシート、及び前記基本パターン２７０°回転グリーンシートを積層する工程と、
前記積層される４個のグリーンシートの上部及び下部に導電体が塗布されていない誘電体シートである補強用白シートを積層して圧着及び焼成処理を行う工程と、
を含む静電容量素子の製造方法。
【請求項１】
導電体が塗布されない誘電体シートと、該誘電体シートに導電体塗布用の少なくとも１個の基本パターン形状を有するマスクを用意する工程と、
前記誘電体シート上に前記マスクを介して導電体を塗布して基本パターングリーンシートを作製する工程と、
前記基本パターングリーンシートを回転した基本パターン回転グリーンシートを作製する工程と、
前記基本パターングリーンシート及び前記基本パターン回転グリーンシートを積層する工程と、
前記基本パターングリーンシート、または前記基本パターン回転グリーンシートのうち、少なくとも一つのグリーンシートを裏返して、前記基本パターングリーンシートまたは前記回転グリーンシートとは異なる基本パターン裏返しグリーンシートを作製する工程と、
前記基本パターングリーンシート及び前記基本パターン回転グリーンシートを積層した積層体に、導電体が塗布されていない誘電体シートを介して前記基本パターン裏返しグリーンシートを積層する工程と、
前記基本パターングリーンシート、前記基本パターン回転グリーンシート、前記誘電体シート及び前記基本パターン裏返しグリーンシートの積層体を圧着及び焼成処理する工程と、
を含む静電容量素子の製造方法。
【請求項２】
更に、前記基本パターングリーンシート、前記基本パターン回転グリーンシート、前記誘電体シート及び前記基本パターン裏返しグリーンシートの積層体の上部及び下部に、導電体が塗布されていない補強用の誘電体シートを積層する工程、
を含む請求項１に記載の静電容量素子の製造方法。
【請求項３】
更に、前記基本パターングリーンシート、前記基本パターン回転グリーンシート、前記誘電体シート、及び前記基本パターン裏返しグリーンシートの積層体の側面に、外部電極を印刷して焼成処理を行う工程、
を含む請求項１に記載の静電容量素子の製造方法。
【請求項４】
前記基本パターン回転グリーンシートは、前記基本パターングリーンシートを１８０°回転した基本パターン１８０°回転グリーンシートである、請求項１に記載の静電容量素子の製造方法。
【請求項５】
前記基本パターン裏返しグリーンシートは前記基本パターングリーンシートと前記基本パターン１８０°回転パターングリーンシートのいずれかあるいは両方を裏返して作製される基本パターン裏返しグリーンシート及び／または基本パターン１８０°回転＆裏返しグリーンシートである、請求項１に記載の静電容量素子の製造方法。
【請求項６】
前記基本パターングリーンシートを作製するための異なる基本パターンのマスクを２個用意し、２種の基本パターングリーンシート、前記基本パターングリーンシートを１８０°回転した２種の基本パターン１８０°回転グリーンシート、２種の前記基本パターングリーンシート及び２種の前記基本パターン１８０°回転グリーンシートのそれぞれを裏返して前記基本パターン裏返しグリーンシート及び／または基本パターン１８０°回転＆裏返しグリーンシートを作製する、請求項１に記載の静電容量素子の製造方法。
【請求項７】
前記基本パターン回転グリーンシートは、前記基本パターングリーンシートを９０°回転した基本パターン９０°回転グリーンシート、前記基本パターングリーンシートを１８０°回転した基本パターン１８０°回転グリーンシート、及び前記基本パターングリーンシートを２７０°回転した基本パターン２７０°回転グリーンシートの３種類であり、
前記裏返しグリーンシートは、前記基本パターングリーンシート及び３種類の前記基本パターン回転グリーンシートを裏返した基本パターン裏返しグリーンシート、前記基本パターン９０°回転グリーンシートを裏返した基本パターン９０°回転＆裏返しグリーンシート、前記基本パターン１８０°回転グリーンシートを裏返した基本パターン１８０°回転＆裏返しグリーンシート、及び前記基本パターン２７０°回転グリーンシートを裏返した基本パターン２７０°回転＆裏返しグリーンシートの４種類であり、
前記積層されるグリーンシートは、前記基本パターングリーンシート、前記基本パターン９０°回転グリーンシート、前記基本パターン１８０°回転グリーンシート、前記基本パターン２７０°回転グリーンシート、前記基本パターン裏返しグリーンシート、前記基本パターン９０°回転＆裏返しグリーンシート、前記基本パターン１８０°回転＆裏返しグリーンシート、及び前記基本パターン２７０°回転＆裏返しグリーンシートの８枚と導電体が塗布されていない誘電体シートからなる、
請求項１に記載の静電容量素子の製造方法。
【請求項８】
誘電体シート及び該誘電体シートに導電体塗布用の所定のパターン形状を有するマスクを用意する工程と、
前記誘電体シート上に前記マスクを介して導電体を塗布して基本パターングリーンシートを作製する工程と、
前記基本パターングリーンシートを９０°回転して基本パターン９０°回転グリーンシートを作製する工程と、
前記基本パターングリーンシートを１８０°回転して基本パターン１８０°回転グリーンシートを作製する工程と、
前記基本パターングリーンシートを２７０°回転して基本パターン２７０°回転グリーンシートを作製する工程と、
前記基本パターングリーンシート、前記基本パターン９０°回転グリーンシート、前記基本パターン１８０°回転グリーンシート、及び前記基本パターン２７０°回転グリーンシートを積層する工程と、
前記積層される４個のグリーンシートの上部及び下部に導電体が塗布されていない誘電体シートである補強用白シートを積層して圧着及び焼成処理を行う工程と、
を含む静電容量素子の製造方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２７】
【図２８】
【図２９】
【図３０】
【図３１】
【図３２】
【図３３】
【図３４】
【図３５】
【図３６】
【図３７】
【図３８】
【図３９】
【図４０】
【図４１】
【図４２】
【図２】
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【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
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【図９】
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【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２７】
【図２８】
【図２９】
【図３０】
【図３１】
【図３２】
【図３３】
【図３４】
【図３５】
【図３６】
【図３７】
【図３８】
【図３９】
【図４０】
【図４１】
【図４２】
【公開番号】特開２０１３−８９８７０（Ｐ２０１３−８９８７０Ａ）
【公開日】平成２５年５月１３日（２０１３．５．１３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−２３０９１９（Ｐ２０１１−２３０９１９）
【出願日】平成２３年１０月２０日（２０１１．１０．２０）
【出願人】（０００００２１８５）ソニー株式会社 (34,172)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年５月１３日（２０１３．５．１３）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年１０月２０日（２０１１．１０．２０）
【出願人】（０００００２１８５）ソニー株式会社 (34,172)
【Ｆターム（参考）】
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