説明

顕微鏡装置

【課題】、暗視野用光源を対物レンズから離して配置することにより、対物レンズに影響を与えずに照明光と結像光とを効率よく分離する顕微鏡装置を提供する。
【解決手段】標本31からの観察光を結像するための結像光学系10の光路上に、対物レンズ21を配置可能なレボルバ102を有し、暗視野観察時には対物レンズ21の周囲に形成された暗視野光路20bを介し、明視野観察時には対物レンズ21を介して標本31に照明光を照射するように構成された顕微鏡装置100は、暗視野用光源202と、入射端201aが暗視野用光源202に向かって配置され、射出端201bが暗視野光路20bに照明光を導くように結像光学系10の光軸を囲むように輪帯状に配置された複数の光ファイバ201からなる輪帯光束生成部材200と、を有し、暗視野用光源202は、レボルバ102の回転中心付近に配置されていることを特徴とする。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、顕微鏡装置に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、特に工業顕微鏡分野では、明視野照明と暗視野照明とを切り換え可能にした照明装置を用いる場合がある。このような照明装置を用いて暗視野照明を行う場合、対物レンズの開口数より大きい角度で標本を照明し、その散乱光のみを結像光学系に導くために、輪帯状の照明を生成する必要がある(例えば、特許文献1参照)。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【特許文献1】特開平4−136807号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、輪帯照明光束を生成するために対物レンズの瞳付近に光源を輪帯状に配置することは、光源の小型化に伴って有効な手段ではあるが、光源としてLEDを用いたとしても、この光源の点灯中は発熱するため、対物レンズのレンズ部材あるいは分離環等の金物部材が温度変化により膨張・収縮することによって形状が変化し、レンズ中心厚や曲率半径、空気間隔等が変わってしまい、性能が発揮できなくなるという課題があった。
【0005】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、暗視野観察用の光源を対物レンズから離して配置することにより、この光源が対物レンズに影響を与えずに照明光と結像光とを効率よく分離する顕微鏡装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
前記課題を解決するために、本発明に係る顕微鏡装置は、標本からの観察光を結像するための結像光学系の光路上に、対物レンズを配置可能なレボルバを有し、暗視野観察時には、対物レンズの周囲に形成された光路を介して標本に照明光を照射し、明視野観察時には、対物レンズを介して標本に照明光を照射するように構成された顕微鏡装置であって、暗視野観察のための照明光を放射する暗視野用光源と、入射端が暗視野用光源に向かって配置され、射出端が暗視野光路に照明光を導くように結像光学系の光軸を囲むように輪帯状に配置された複数の光ファイバからなる輪帯光束生成部材と、を有し、暗視野用光源は、レボルバの回転中心付近に配置されていることを特徴とする。
【0007】
このような顕微鏡装置において、輪帯光束生成部材の射出端は、対物レンズの射出瞳の近傍に配置されていることが好ましい。
【0008】
また、このような顕微鏡装置は、明視野観察のための照明光を放射する明視野用光源と、この明視野用光源からの照明光を標本に照射する明視野用照明光学系と、を有し、明視野用照明光学系は、当該明視野用照明光学系の光軸と結像光学系の光軸とが交差する点に挿脱自在に配置され、明視野用光源からの照明光を結像光学系の光軸に沿って対物レンズに導くハーフミラーを有することが好ましい。
【発明の効果】
【0009】
本発明に係る顕微鏡装置を以上のように構成すると、暗視野観察用の光源を対物レンズから離して配置することにより、この光源が対物レンズに影響を与えずに、照明光と結像光とを効率よく分離することができ、また、結像光の周辺減光の発生を抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【0010】
【図1】顕微鏡装置の構成を示す説明図である。
【図2】輪帯光束生成部材の構成を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【0011】
以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。まず、図1及び図2を用いて、本実施形態に係る顕微鏡装置の構成について説明する。本実施形態に係る顕微鏡装置100は、明視野照明と暗視野照明とを切り替えて標本31の観察が可能に構成されている。この顕微鏡装置100は、標本31が載置されるステージ30が取り付けられたベース部101a、及び、このベース部101aの上部に設けられ対物レンズユニット20を有するレボルバ102を保持するアーム部101bからなる基部101と、アーム部101bの上部に取り付けられた照明部103と、この照明部103の上部に取り付けられた接眼鏡筒104と、から構成される。
【0012】
この顕微鏡装置100の光学系は、ステージ30上に載置された標本31の像を対物レンズユニット20の対物レンズ21を介して結像する結像光学系10と、明視野用光源51からの照明光を対物レンズ21を介して標本31に照射して明視野観察をするための明視野用照明光学系50と、暗視野用光源202からの照明光を後述する暗視野光路20bを介して標本31に照射して暗視野観察をするための暗視野用照明光学系である輪帯光束生成部材200と、を有している。
【0013】
結像光学系10は、標本31側から順に、この標本31から出た光(観察光)を略平行光に変換する対物レンズ21と、この略平行の観察光を集光して標本31の一次像43を結像する結像レンズ41と、この結像光学系10の光路を折り曲げるプリズム42と、標本31の一次像43を観察するための接眼レンズ44と、から構成される。なお、上述のように、対物レンズ21は、レボルバ102に取り付けられた対物レンズユニット20に保持され、結像レンズ41、プリズム42及び接眼レンズ44は接眼鏡筒104に保持されている。このレボルバ102は、回転することにより複数の対物レンズユニット20のいずれかを、結像光学系10の光路上に配置するように構成されている。
【0014】
一方、明視野用照明光学系50は、結像光学系10の側方に配置され、明視野用光源51側から順に、明視野用光源51からの照明光を集光してこの明視野用光源51の像を結像するコレクタレンズ52と、コレクタレンズ52で結像された明視野用光源51の像をリレーして明視野用光源51の像56を結像するリレーレンズ群53,54,55と、光明視野用源51の像56(すなわち、明視野用光源51と共役な位置)と略一致するように配置された開口絞り57と、視野絞り58と、視野絞り58の像を標本31上に投影するフィールドレンズ群59と、明視野用光源51からの照明光を結像光学系10上に重ね合わせて対物レンズ21に導くハーフミラー60と、から構成される。なお、ハーフミラー60は、結像光学系10(対物レンズ21)の光軸と明視野用照明光学系50の光軸とが交差する点に配置されており、上述する結像光学系10と共用される。このハーフミラー60は、結像光学系10及び明視野照明光学系50の光路上に挿脱可能に構成されている。また、この明視野用照明光学系50は、照明部103により保持されている。
【0015】
対物レンズユニット20の内部には、筒状の遮光部材22が光軸に沿って延びるように設けられており、この対物レンズユニット20の内部を、遮光部材22の内側に形成された結像光路20aと、遮光部材22の外側に形成された暗視野光路20bとに分離している。そして、上述の対物レンズ21は結像光路20aに配置されている。また、この対物レンズユニット20の暗視野光路20bには、後述する輪帯光束生成部材200により導かれ、射出部200bから出射した暗視野用光源202からの照明光を集光する輪帯状の集光レンズ23と、この集光レンズ23により集光された照明光を反射して対物レンズ21の先端部の周囲から標本31に照射する輪帯状のミラー24が設けられている。
【0016】
次に、輪帯光束生成部材200の構成について説明する。この輪帯光束生成部材200は、複数の光ファイバ201が束ねられて構成されており、一方の端部(入射端201a)がレボルバ102内に設けられた暗視野用光源202に対向するように配置されている。また、他方の端部(射出端201b)が、レボルバ102内の対物レンズユニット20上方で、結像光学系10の光軸を囲むように射出部200bに保持されて輪帯状に配置されている。このとき、光ファイバ201の射出端201bを、対物レンズ21の射出瞳の近傍に配置することにより、この射出端201bを対物レンズ21の射出瞳の外側に配置することができるので、暗視野の照明光と明視野および暗視野の結像光を確実に分離することができる。この射出端201bは、その端面が結像光学系10の光軸と略平行方向であってあって、集光レンズ23側に向くように配置されている。
【0017】
なお、上述の暗視野用光源202、及び、この暗視野用光源202に電力を供給する電源(例えば、バッテリー)203は、レボルバ102の回転中心付近であって、このレボルバ102を回転させるためのモータ類が収められたユニット部102aに格納されている。そのため、輪帯光束生成部200も、このレボルバ102内に配置されている。
【0018】
以上のような構成の顕微鏡装置100において、明視野観察をするときは、結像光学系10及び明視野照明光学系50の光路上にハーフミラー60を取り付ける。このような状態で明視野用光源51から放射された照明光は、コレクタレンズ52で集光され、さらに、リレーレンズ群53,54,55で明視野用光源51の像がリレーされてこの光源像56が形成される。そして、開口絞り57及び視野絞り58を通過してフィールドレンズ群59に入射する。さらに、このフィールレンズ群59を透過した光はハーフミラー60に入射し、一部の照明光がこのハーフミラー60で反射され、対物レンズユニット20の結像光路20a内の対物レンズ21を介して標本31に照射される。また、標本31で反射した光(観察光)は、対物レンズ21により集光され、この観察光の一部がハーフミラー60を透過し、結像レンズ41で標本31の一次像43が形成され、接眼レンズ44を介して観察に供される。上述のように、輪帯光束生成部材200の射出部200bで囲まれた内径は、結像光学系10の有効径以上となっているため、この輪帯光束生成部材200が、結像光束(観察光)を遮ることはない。
【0019】
一方、暗視野観察をするときは、結像光学系10及び明視野照明光学系50の光路上からハーフミラー60を取り外す。このような状態で暗視野光源202から放射された照明光は、輪帯光束生成部材200の光ファイバ201の入射端201aからこの光ファイバ201内に入射する。そして、この光ファイバ201の各々により導かれた光は、射出部200bで保持されている射出端201bから出射し、集光レンズ23で集光され、ミラー24で反射されて、対物レンズ21の先端部の周囲から標本31に照射される。この標本31で反射した光(観察光)は、上述の明視野観察の場合と同様に進む。このとき、結像光学系10の光路上から上述のハーフミラー60が取り外されているため、標本31で反射した光のほとんどが観察光として利用することができる。
【0020】
以上のような構成によれば、輪帯光束生成部材200を用いることにより、暗視野用光源202を対物レンズユニット20から離れた位置にあるユニット部102aに配置することができるため、この暗視野用光源202から発する熱等により対物レンズ21等が影響を受けることがない。また、対物レンズ21の射出瞳に近いところに輪帯光束生成部材200の射出端201bを配置することができるため、この射出瞳の外側に射出端201bを配置することにより、明視野及び結像光束と暗視野照明光束とを確実に効率よく分離することができる。そのため、結像光学系10における対物レンズユニット20とハーフミラー60との間の空間Tは、明視野の照明光と明視野および暗視野の観察光のみが通る空間となり、最適な照明が可能となる。また、この空間Tには暗視野照明のための部材(例えば、結像光路を通る光束と暗視野光路を通る光束とを分離する光束分離部材)が配置されないため、周辺光量を妨げることなく光束を通すことができるので、周辺まで明るい像を得ることができる。
【0021】
また、まれに標本31の微細構造が大きな角度で回折した場合に、回折光が対物レンズユニット20の暗視野光路20b内に紛れ込んでしまい、空間Tから結像光束内にはいって、結像光のコントラストを下げることがあったが、以上のような構成によれば、暗視野光路20bを照明と逆に進む光は、輪帯光束生成部材200の射出端201bから光ファイバ201に入って暗視野用照明光学系に射出されるため、結像光のコントラストに影響を与えることがない。
【符号の説明】
【0022】
20 対物レンズユニット 20a 結像光路 20b 暗視野光路
21 対物レンズ 31 標本 50 明視野用照明光学系
51 明視野用光源 100 顕微鏡装置 200 輪帯光束生成部材
201 光ファイバ 201a 入射端 201b 射出端
202 暗視野用光源

【特許請求の範囲】
【請求項1】
標本からの観察光を結像するための結像光学系の光路上に、対物レンズを配置可能なレボルバを有し、暗視野観察時には、前記対物レンズの周囲に形成された暗視野光路を介して前記標本に照明光を照射し、明視野観察時には、前記対物レンズを介して前記標本に照明光を照射するように構成された顕微鏡装置であって、
前記暗視野観察のための照明光を放射する暗視野用光源と、
入射端が前記暗視野用光源に向かって配置され、射出端が前記暗視野光路に前記照明光を導くように前記結像光学系の光軸を囲むように輪帯状に配置された複数の光ファイバからなる輪帯光束生成部材と、を有し、
前記暗視野用光源は、前記レボルバの回転中心付近に配置されていることを特徴とする顕微鏡装置。
【請求項2】
前記輪帯光束生成部材の前記射出端は、前記対物レンズの射出瞳の近傍に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡装置。
【請求項3】
前記明視野観察のための照明光を放射する明視野用光源と、
前記明視野用光源からの前記照明光を前記標本に照射する明視野用照明光学系と、を有し、
前記明視野用照明光学系は、当該明視野用照明光学系の光軸と前記結像光学系の光軸とが交差する点に挿脱自在に配置され、前記明視野用光源からの前記照明光を前記結像光学系の光軸に沿って前記対物レンズに導くハーフミラーを有することを特徴とする請求項1または2に記載の顕微鏡装置。

【図1】
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【図2】
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【公開番号】特開2012−220609(P2012−220609A)
【公開日】平成24年11月12日(2012.11.12)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2011−84349(P2011−84349)
【出願日】平成23年4月6日(2011.4.6)
【出願人】(000004112)株式会社ニコン (12,601)
【Fターム(参考)】