駆動装置、レンズ鏡筒及びカメラ
【課題】圧電素子を支持する部材が導電性を有する場合であっても、圧電素子に異なる電圧を容易に印加することができる駆動装置とそれを用いたレンズ鏡筒及びカメラを提供する。
【解決手段】圧電素子（６）と、圧電素子（６）により駆動される第１部材（３）と、第１部材（３）と当接して設けられ、第１部材（３）が駆動されることにより、第１部材（３）に対して相対移動する第２部材と、導電性を有し、圧電素子（６）を介して第１部材（３）を駆動可能に支持するベース部材（２）とを有し、第１部材（３）及び圧電素子（６）の組を複数組備え、少なくとも一の組の圧電素子とベース部材との間に絶縁膜（２ｇ）が設けられていることを特徴とする。
【解決手段】圧電素子（６）と、圧電素子（６）により駆動される第１部材（３）と、第１部材（３）と当接して設けられ、第１部材（３）が駆動されることにより、第１部材（３）に対して相対移動する第２部材と、導電性を有し、圧電素子（６）を介して第１部材（３）を駆動可能に支持するベース部材（２）とを有し、第１部材（３）及び圧電素子（６）の組を複数組備え、少なくとも一の組の圧電素子とベース部材との間に絶縁膜（２ｇ）が設けられていることを特徴とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動装置、レンズ鏡筒及びカメラに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、圧電素子を用いた駆動装置が知られている。このような駆動装置として、複数の圧電素子を駆動させ、被駆動体に接触させるチップ部材を楕円運動させることで、被駆動体を駆動させるものが開示されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１では、ＸＹＺ直交座標系を設定した場合に、チップ部材のＸＺ平面に平行な楕円運動により被駆動体をＸ軸方向に駆動する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−２３６１３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来の駆動装置は、圧電素子を支持するベース部材が導電性を有するＷＣ（タングステンカーバイド）等により設けられている。ベース部材が導電性を有する場合には、ベース部材が共通電極となり、ベース部材に接する複数の圧電素子の電極の電位が等しくなる。したがって、複数の圧電素子に異なる電圧を印加することが困難であるという課題がある。
【０００５】
そこで、本発明は、圧電素子を支持する部材が導電性を有する場合であっても、圧電素子に異なる電圧を容易に印加することができる駆動装置とそれを用いたレンズ鏡筒及びカメラを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、本発明は実施の形態に示す図１〜図１１に対応付けした以下の構成を採用している。なお、本発明を分かり易く説明するために、一実施形態を示す図面の符号に対応付けて説明するが、本発明は実施形態に限定されるものではない。
【０００７】
本発明の駆動装置（１）は、圧電素子（６）と、圧電素子（６）により駆動される第１部材（３）と、第１部材（３）と当接して設けられ、第１部材（３）が駆動されることにより、第１部材（３）に対して相対移動する第２部材（４）と、導電性を有し、圧電素子（６）を介して第１部材（３）を駆動可能に支持するベース部材（２）とを有し、第１部材（３）及び圧電素子（６）の組を複数組備え、少なくとも一の組の圧電素子とベース部材との間に絶縁膜（２ｇ）が設けられていることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明のレンズ鏡筒（１０３）及びカメラ（１０１）は、上記の駆動装置を備えている。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、少なくとも一の組の圧電素子とベース部材とが絶縁膜によって電気的に絶縁され、その組の圧電素子とその他の組の圧電素子とに異なる電圧を容易に印加することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施の形態における駆動装置の正面図である。
【図２】同、断面図である。
【図３】図１に示す駆動装置の駆動駒及びベース部の拡大断面図である。
【図４】図１に示す駆動装置の支持駆動部を示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は平面図である。
【図５】図１に示す駆動装置の回路図である。
【図６】図１に示す駆動装置の電源部が供給する電圧のタイミングチャートである。
【図７】図１に示す駆動装置の駆動駒の動作を示す正面図である。
【図８】同、正面図である。
【図９】同、正面図である。
【図１０】図１に示す駆動装置の駆動駒の先端部の変位を示すグラフである。
【図１１】図１に示す駆動装置を備えたレンズ鏡筒及びカメラの概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。本実施形態の駆動装置１は、例えば駆動駒等の第１部材に対してロータ等の第２部材を相対的に変位させる相対駆動を行うことで、カメラのレンズ鏡筒等の光学機器や電子機器を駆動するためのものである。
【００１２】
図１は本実施形態の駆動装置１の正面図であり、図２はその断面図である。
図１及び図２に示すように、駆動装置１は、複数の保持部２ａが設けられたベース部（ベース部材）２と、保持部２ａに保持された駆動駒（第１部材）３と、駆動駒３に隣接して配置されたロータ（第２部材）４と、ベース部２に挿通された支持軸５と、を備えている。
【００１３】
ロータ４の外周面には、例えばカメラのレンズ鏡筒等を駆動するための歯車４ａが形成されている。ロータ４のベース部２側の被支持面４ｂは、複数の駆動駒３によって支持されている。ロータ４は、ベアリング４ｅを介して支持軸５によって軸支され、支持軸５を回転軸として回転自在に設けられている。すなわち、支持軸５はロータ４の回転軸Ｒ１に沿って設けられている。
【００１４】
ベース部２は導電性を有する弾性体であり、例えばステンレス鋼等の金属材料により中空円筒状に形成され、支持軸５が挿通されることで、支持軸５を囲むように設けられている。ベース部２の一方の端部は、例えば不図示のボルト等により取付部１０１ａに固定されている。ベース部２の取付部１０１ａに対向する面の中央部には凹部２ｂが形成されている。凹部２ｂには、支持軸５の基端に形成された拡径部５ａが嵌入されている。この状態でベース部２が取付部１０１ａに固定されることで、支持軸５がベース部２及び取付部１０１ａに固定されている。
【００１５】
ベース部２の他方の端部には凹状の保持部２ａが、ベース部２の周方向、すなわちロータ４の回転方向Ｒに複数設けられている。保持部２ａは駆動駒３を支持軸５に垂直でロータ４の回転方向Ｒに沿う方向（第１の方向）の両側から支持するとともに、駆動駒３を支持軸５に平行な方向（第２の方向）に駆動可能に保持している。
【００１６】
図２に示すように、ベース部２の側面２ｃは支持軸５と略平行に設けられている。側面２ｃの保持部２ａと取付部１０１ａ側の端部との間には、取付部１０１ａから保持部２ａへの振動の伝達を抑制する振動抑制部としての溝部２ｄが形成されている。すなわち、溝部２ｄは、支持軸５に略垂直でかつロータ４の回転方向Ｒに沿う方向（第１の方向）と交差するベース部２の側面２ｃに設けられている。溝部２ｄはベース部２の周方向に連続的に設けられ、保持部２ａと取付部１０１ａ側の端部との中間よりも取付部１０１ａ側の端部に近い位置に設けられている。
【００１７】
溝部２ｄの深さｄ１は例えばベース部２の半径ｒ１の４０％以上かつ８０％以下の範囲であることが望ましい。また、支持軸５に平行な方向（第２の方向）の溝部２ｄの幅ｗ１は、ベース部２の振動の振幅よりも大きく、後述する第１圧電素子６、第２圧電素子（第２の圧電素子）７、駆動駒３、及びベース部２からなる支持駆動部（構造部）１ａの共振振動の振幅よりも大きくなるように形成されている。また、溝部２ｄの幅ｗ１は、ベース部２の半径よりも短くすることが好ましい。
【００１８】
図２に示すように、ベース部２と支持軸５との間には、取付部１０１ａから保持部２ａへの振動を抑制するための間隙（振動抑制部）２ｅが設けられている。間隙２ｅは、支持軸５と平行な方向に、ベース部２の保持部２ａ側の端部から溝部２ｄの取付部１０１ａ側の縁と同様の位置まで設けられている。また、間隙２ｅの幅ｗ２は、溝部２ｄの幅ｗ１と同様に、ベース部２の振動の振幅よりも大きく、後述する支持駆動部１ａの共振振動の振幅よりも大きくなるように形成されている。
【００１９】
ベース部２の表面には、絶縁膜２ｇが成膜されて絶縁処理が施されている。絶縁膜２ｇは、例えばアクリル系やエポキシ系などの絶縁材料をベース部２の表面に塗布することにより成膜される。絶縁膜２ｇは、溝部２ｄよりも駆動駒３側のベース部２の側面、保持部２ａ、及び間隙２ｅ側の面に亘って連続的に成膜されている。ベース部２の絶縁膜２ｇが形成された部分の絶縁抵抗値は沿面測定値でおよそ数ＭΩとなっている。
【００２０】
絶縁膜２ｇは、例えば鉛筆硬度２Ｈ以上の高い硬度を有し、ダンパー成分が殆どないものが用いられる。絶縁膜２ｇの耐電圧は、例えば約２００ＶＤＣ以上であることが望ましい。絶縁膜２ｇの膜厚は、上記の耐電圧が維持できる範囲で可能な限り薄く形成する。膜厚は、例えば約１０μｍ以上２０μｍ以下であることが望ましい。また、膜厚のばらつきは、平均膜厚±５０％以下とし、望ましくは平均膜厚±３０％以下にする。
本実施形態の絶縁膜２ｇは、例えばシリカ系組成を含む絶縁材料により形成され、硬度は３Ｈ以上、膜厚は約１５μｍ±３μ程度、耐電圧は約２７０ＶＤＣ以上となっている。
【００２１】
図３は、支持軸５に平行でロータ４の回転方向Ｒに沿う断面における駆動駒３及び保持部２ａのロータ４の拡大断面図である。
図３に示すように、絶縁膜２ｇは、保持部２ａは駆動駒３を支持する支持面２ｆ，２ｆを含む保持部２ａの全体に均一な膜厚で形成されている。第１圧電素子６は、導電性を有する接着剤により駆動駒３の側面３ｃ及び絶縁膜２ｇが形成された保持部２ａの支持面２ｆに固定されている。
【００２２】
絶縁膜２ｇと第１圧電素子６とを接着する接着剤は、絶縁膜２ｇと同系の材料を含むものを用いることが望ましい。例えば、絶縁膜２ｇとしてアクリル系の材料を含むものを用いた場合にはアクリル系の材料を含む接着剤が用いられる。また、絶縁膜２ｇとしてエポキシ系の材料を含むものを用いた場合にはエポキシ系の材料を含む接着剤が用いられる。
本実施形態では、全ての第１圧電素子６とベース部２との間に絶縁膜２ｇが設けられている。また、第１圧電素子６は、絶縁膜２ｇと接する面に電極６ａが設けられている。
【００２３】
図４（ａ）は図１に示す駆動装置１の支持駆動部１ａの斜視図であり、図４（ｂ）はその平面図である。
図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、駆動駒３は、断面が山形の六角柱形状を有する先端部３ａと略直方体形状を有する基部３ｂと、を有している。先端部３ａは例えばステンレス鋼等により形成され、基部３ｂは例えば軽金属合金等により形成され、双方とも導電性を有している。基部３ｂは保持部２ａによって支持軸５と平行な方向に駆動可能に支持され、先端部３ａは保持部２ａから突出してロータ４を支持するようになっている。先端部３ａは、ロータ４に接触する上面の面積が基部３ｂ側の底面の面積よりも小さくなる先細状の形状に設けられている。
【００２４】
図４（ｂ）に示すように、駆動駒３の幅ｗ３方向（第１の方向）には、駆動駒３の基部３ｂを幅ｗ３方向の両側から挟みこむ一対の第１圧電素子６，６が二対設けられている。駆動駒３の幅ｗ３方向は、支持軸５に垂直でロータ４の回転方向Ｒに沿う方向であって、ベース部２の平面視における中心線ＣＬと略垂直な方向である。第１圧電素子６は保持部２ａの深さｄ２方向に沿って延びる細長い長方形状の形状に形成され、基部３ｂと保持部２ａとの間に挟持されている。これにより、第１圧電素子６はベース部２に設けられた溝部２ｄ（図１、図２参照）とロータ４との間に配置されている。
【００２５】
第１圧電素子６は、例えば導電性の接着剤により駆動駒３の基部３ｂと絶縁膜２ｇが成膜された保持部２ａとに接着されている。また、ベース部２の中心を通る中心線ＣＬと略平行な駆動駒３の奥行ｐ１方向に配置された２つの第１圧電素子６，６は互いに略平行になっている。各々の第１圧電素子６の形状及び寸法は全て略等しくなっている。
【００２６】
図４（ａ）に示すように、駆動駒３の基部３ｂと先端部３ａとの間には、一対の第２圧電素子７，７が互いに略平行に設けられている。第２圧電素子７は、駆動駒３の幅ｗ３方向と略平行に延びる細長い長方形状に形成されている。第２圧電素子７は、先端部３ａの底面と基部３ｂの上面との間に挟持され、例えば導電性の接着剤により先端部３ａの底面と基部３ｂの上面とに接着されている。各々の第２圧電素子７の形状及び寸法は全て略等しくなっている。
【００２７】
第１圧電素子６及び第２圧電素子７は例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）により形成され、その振動モードは厚み滑り振動である。すなわち、第１圧電素子６は、駆動駒３を、支持軸５と略平行な保持部２ａの深さｄ２方向に、ベース部２に対して相対的に駆動させる。第２圧電素子７は駆動駒３の先端部３ａを駆動駒３の幅ｗ３方向（第３の方向）に、基部３ｂ及びベース部２に対して相対的に駆動させる。すなわち、本実施形態では、第１圧電素子６が駆動駒３を挟み込む方向（第１の方向）と、第２圧電素子７が駆動駒３の先端部３ａを駆動させる方向（第３の方向）とが略等しくなっている。
【００２８】
これら複数の第１圧電素子６、第２圧電素子７、駆動駒３、及びベース部２により、ロータ４を支持し、かつロータ４を駆動駒３及びベース部２と相対的に駆動させる支持駆動部１ａが構成されている。
【００２９】
図４（ａ）に示すように、保持部２ａはベース部２の端部に設けられ、ベース部２に王冠状の凹凸を形成している。図４（ｂ）に示すように、保持部２ａはベース部２の周方向の略６０°毎に均等に形成されている。保持部２ａは平面視でベース部２の中心を通る中心線ＣＬと略平行に設けられた一対の支持面２ｆ，２ｆを備えている。支持面２ｆは、駆動駒３の基部３ｂを、ベース部２の中心線ＣＬと略垂直な保持部２ａの幅ｗ４方向（第１の方向）の両側から一対の第１圧電素子６，６を介して挟み込むように保持している。
【００３０】
本実施形態の駆動駒３は、先端部３ａと基部３ｂとの間に一対の第２圧電素子７，７を備え、基部３ｂの側面に第１圧電素子６，６を二対備えている。駆動装置１は、この駆動駒３及び二対の第１圧電素子６を３つ備えた駆動駒３の組を、第１組及び第２組の二組備えている。第１組の駆動駒３１と第２組の駆動駒３２とは同一の円周上に配置されている。また、各々の組の駆動駒３１，３２はロータ４の回転方向Ｒにそれぞれ均等に配置され、異なる組の駆動駒３１，３２が回転方向Ｒに交互に（順番に）配置されている。
【００３１】
図５（ａ）は第１圧電素子６の模式的な配線図であり、図５（ｂ）は第２圧電素子７の模式的な配線図である。
図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、本実施形態の駆動装置１は、第１圧電素子６の電極６ａ及び第２圧電素子７の電極（図示略）の各々に電圧を供給する電源部１０を備えている。電源部１０は、図４に示す第１組及び第２組のそれぞれの駆動駒３１，３２の先端部３１ａ，３２ａが、順次、図１及び図２に示すロータ４との接触、ロータ４の回転方向Ｒへの送り、ロータ４からの離間、ロータ４の回転方向Ｒと逆方向の戻り、を繰り返すように第１圧電素子６及び第２圧電素子７に電圧を供給する。
【００３２】
図５（ａ）に示すように、第１組の駆動駒３１の各々が備える第１圧電素子６１の第１電極６１ａは、第１配線１１を介して電源部１０の第１端子Ｔ１に接続されている。第２組の駆動駒３２の各々が備える第１圧電素子６２の第１電極６２ａは、第２配線１２を介して電源部１０の第２端子Ｔ２に接続されている。
図５（ｂ）に示すように、第１組の駆動駒３１の各々が備える第２圧電素子７１の電極は、駆動駒３１の先端部３１ａに接続された第３配線１３を介して電源部１０の第３端子Ｔ３に接続されている。第２組の駆動駒３２の各々が備える第２圧電素子７２の電極は、駆動駒３２の先端部３２ａに接続された第４配線１４を介して電源部１０の第４端子Ｔ４に接続されている。
【００３３】
また、図５(ａ)及び図５（ｂ）において図示は省略するが、駆動駒３１，３２の基部３１ｂ，３２ｂは接地されている。
以上の構成により、第１圧電素子６の電極６ａと駆動駒３の基部３ｂとの間には第１圧電素子６を駆動させる所定の駆動電圧が印加される。また、駆動駒３の先端部３ａと基部３ｂとの間には、第２圧電素子７を駆動させる所定の駆動電圧が印加される。
【００３４】
図６は、電源部１０が各端子Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４に発生させる電圧のタイミングチャートの一例である。
図６に示すように、電源部１０は第１端子Ｔ１にPhase１〜Phase２の間は−１．０Ｖの電圧を発生させ、Phase３〜Phase７の５Phaseは１．０Ｖの電圧を発生させ、Phase８〜Phase１０の３Phaseは−１．０Ｖの電圧を発生させる。以降のPhaseでは、１．０Ｖの電圧を５Phase発生させ、−１．０Ｖの電圧を３Phase発生させることを繰り返す。すなわち、電源部１０は、第１端子に８Phaseを一周期とする電圧を発生させる。
【００３５】
電源部１０は、第２端子Ｔ２に、第１端子Ｔ１に発生させる電圧と１８０°の位相差を有し、第１端子Ｔ１に発生させる電圧と同様の８Phaseを一周期とする電圧を発生させる。すなわち、第１端子に発生する電圧と、第２端子に発生する電圧とは、半周期分の４Phaseの位相差を有している。
【００３６】
電源部１０は、Phase１において第３端子Ｔ３に発生させる電圧を０Ｖに維持し、Phase２において−３．０Ｖの電圧を発生させ、Phase３〜Phase８までの各Phaseにいおいて電圧を１．０Ｖずつ増加させる。以降のPhaseでは、このPhase１〜Phase８の電圧の発生パターンを繰り返す。すなわち、電源部１０は、第３端子Ｔ３に８Phaseを一周期とする電圧を発生させる。
【００３７】
電源部１０は、第４端子Ｔ４に、第３端子Ｔ３に発生させる電圧と１８０°の位相差を有し、第３端子Ｔ３に発生させる電圧と同様の８Phaseを一周期とする電圧を発生させる。すなわち、第３端子に発生する電圧と、第４端子に発生する電圧とは、半周期分の４Phaseの位相差を有している。
【００３８】
本実施形態では、電源部１０が第１圧電素子６及び第２圧電素子７に供給する電圧の周波数は、第１圧電素子６、第２圧電素子７、駆動駒３、及びベース部２からなる支持駆動部（構造部）１ａの共振振動の振動数と略等しくなっている。
【００３９】
次に、本実施形態の駆動装置１の作用について、図７〜図１０を用いて説明する。
図７〜図９は、第１組と第２組の駆動駒３１，３２の動作とロータ４の動作を示す拡大正面図である。
図１０は、第１組及び第２組の駆動駒３１，３２の先端部３１ａ，３２ａの各軸方向の変位と時間ｔの関係を示すグラフである。図１０（ａ）及び図１０（ｂ）において、Ｙ軸方向におけるロータ４との接触位置ｙ１を破線で表している。
【００４０】
図７（ａ）〜図９（ａ）では、ロータ４の回転方向Ｒ（図４（ｂ）参照）に沿う第１組の駆動駒３１の幅ｗ３１方向（第１の方向）をＸ１方向、支持軸５（図２参照）に平行な方向（第２の方向）をＹ方向とする直交座標系を用いて説明する。図７（ｂ）〜図９（ｂ）では、ロータ４の回転方向Ｒに沿う第２組の駆動駒３２の幅ｗ３２方向（第１の方向）をＸ２方向、支持軸５に平行な方向（第２の方向）をＹ方向とする直交座標系を用いて説明する。
【００４１】
（Phase０）
電源部１０は、図６に示すように、Phase０において、各端子Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４に電圧を発生させず（０Ｖ）、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示す第１圧電素子６及び第２圧電素子７に０Ｖの電圧を供給している（電圧を供給していない）状態である。
図７（ａ）及び図７（ｂ）に示すように、Phase０において、第１組の駆動駒３１と第２組の駆動駒３２はそれぞれ先端部３１ａ，３２ａの上面がロータ４に接した状態で静止している。ロータ４は駆動駒３１，３２の先端部３１ａ，３２ａに支持された状態で静止している。
【００４２】
（Phase１）
電源部１０は、図６に示すように、Phase１において、第１端子Ｔ１に−１．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ａ）に示す第１組の駆動駒３１の第１圧電素子６１の電極部６１ａに第１配線１１を介して電圧を供給する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase１において、第３端子Ｔ３の電圧を０Ｖに維持し、図５（ｂ）に示す第１組の駆動駒３１の第２圧電素子７１に第３配線１３を介して０Ｖの電圧を供給する。
【００４３】
すると、図７（ａ）に示すように、Phase１において、第１組の駆動駒３１を駆動する第１圧電素子６１が厚み滑り変形し、駆動駒３１の基部３１ｂを保持部２ａの支持面２ｆに対してＹ方向のベース部２側（Ｙ軸負方向側）へ移動させる（図１０（ａ）、Phase１参照）。また、図７（ａ）に示すように、Phase１において、第２圧電素子７１は変形せず、先端部３１ａはＸ１方向へは移動しない（図１０（ｃ）、Phase１参照）。これにより、駆動駒３１の先端部３１ａがＹ軸負方向側へ移動し、ロータ４から離間する。
【００４４】
電源部１０は、図６に示すように、Phase１において、第２端子Ｔ２に１．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ａ）に示す第２組の駆動駒３２の第１圧電素子６２の電極部６２ａに第２配線１２を介して電圧を供給する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase１において、第４端子Ｔ４の電圧を０Ｖに維持し、図５（ｂ）に示す第２組の駆動駒３２の第２圧電素子７２には第４配線を介して０Ｖの電圧を供給する。
【００４５】
すると、図７（ｂ）に示すように、Phase１において、第２組の駆動駒３２を駆動する第１圧電素子６２が厚み滑り変形し、駆動駒３２の基部３２ｂを保持部２ａの支持面２ｆに対してＹ方向のロータ４側（Ｙ軸正方向側）へ移動させる（図１０（ｂ）、Phase１参照）。また、図５（ｂ）に示すように、Phase１において、第２圧電素子７２は変形せず、先端部３２ａはＸ２方向へは移動しない（図１０（ｄ）、Phase１参照）。これにより、駆動駒３２がＹ軸正方向側へ移動して、先端部３２ａがロータ４をＹ軸正方向側へ押し上げる。
【００４６】
すなわち、Phase１においては、図７（ａ）に示すように、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａはＹ軸負方向側へ移動してロータ４から離間する。同時に、図７（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａはロータ４に当接してロータ４を支持しつつ、ロータ４をＹ軸正方向側へ押し上げる。
【００４７】
（Phase２）
電源部１０は、図６に示すように、Phase２において、第１端子Ｔ１の電圧を−１．０Ｖに維持し、図５（ａ）に示す第１組の駆動駒３１の第１圧電素子６１の電極部６１ａに第１配線１１を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase２において、第３端子Ｔ３に−３．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ｂ）に示す第１組の駆動駒３１の第２圧電素子７１に第３配線１３を介して電圧を供給する。
【００４８】
すると、図７（ａ）に示すように、Phase２において、第１組の駆動駒３１をＹ方向に駆動する第１圧電素子６１の変形が維持されて先端部３１ａがロータ４から離間した状態が維持される（図１０（ａ）、Phase２参照）。この状態で、図７（ａ）に示すように、Phase２において、第２圧電素子７１が厚み滑り変形し、先端部３１ａが基部３１ｂ及びベース部２に対してＸ１軸負方向側へ移動する（図１０（ｃ）参照）。このときの先端部３１ａの移動量は第２圧電素子７１に供給される電圧の絶対値に比例する。
【００４９】
電源部１０は、図６に示すように、Phase２において、第２端子Ｔ２の電圧を１．０Ｖに維持し、図５（ａ）に示す第２組の駆動駒３２の第１圧電素子６２の電極部６２ａに第２配線１２を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase２において、第４端子Ｔ４に１．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ｂ）に示す第２組の駆動駒３２の第２圧電素子７２に第４配線１４を介して電圧を供給する。
【００５０】
すると、図７（ｂ）に示すように、Phase２において、第２組の駆動駒３２をＹ方向に駆動する第１圧電素子６２の変形が維持されて先端部３２ａがロータ４に接触した状態が維持される（図１０（ｂ）、Phase２参照）。この状態で、図７（ｂ）に示すように、Phase２において、第２圧電素子７２が厚み滑り変形し、先端部３２ａが基部３２ｂ及びベース部２に対してＸ２軸正方向側へ移動する（図１０（ｄ）、Phase２参照）。このときの先端部３２ａの移動量は電圧の絶対値に比例するため、第１組の先端部３１ａのＸ１軸負方向側への移動量と比較して小さくなる。
【００５１】
すなわち、Phase２においては、図７（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａのＸ２軸正方向側への移動により、先端部３２ａの上面からロータ４の下面（非接触面４ｂ）に摩擦力が作用する。ここで、第２組の駆動駒３２は図４に示すようにロータ４の回転方向Ｒに沿ってベース部２の周方向に配置され、先端部３２ａはロータ４の回転方向Ｒに沿う駆動駒３２の幅ｗ３２方向（Ｘ２方向）に変位する。そのため、ロータ４は駆動駒３２の先端部３２ａによって回転方向Ｒに駆動され、図１及び図２に示す支持軸５を中心とする回転を開始する。
【００５２】
（Phase３）
電源部１０は、図６に示すように、Phase３において、第１端子Ｔ１に正負が逆転した１．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ａ）に示す第１組の駆動駒３１の第１圧電素子６１の電極部６１ａに第１配線１１を介して電圧を供給する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase３において、第３端子Ｔ３に−２．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ｂ）に示す第１組の駆動駒３１の第２圧電素子７１に第３配線１３を介して電圧を供給する。
【００５３】
すると、図７（ａ）に示すように、Phase３において、第１組の駆動駒３１を駆動する第１圧電素子６１が逆方向に厚み滑り変形し、駆動駒３１の基部３１ｂをＹ軸正方向側へ移動させる（図１０（ａ）、Phase３参照）。同時に、図７（ａ）に示すように、Phase３において、第２圧電素子７１のＸ１軸負方向側への変形量が減少し、先端部３１ａが基部３１ｂ及びベース部２に対してＸ１軸正方向側へ移動する（図１０（ｃ）、Phase３参照）。このときの移動量はPhase３で新たに供給された−２．０ＶとPhase２で供給されていた−３．０Ｖとの電圧の差に比例する。
【００５４】
電源部１０は、図６に示すように、Phase３において、第２端子Ｔ２の電圧を維持し、図５（ａ）に示す第２組の駆動駒３２の第１圧電素子６２の電極部６２ａに第２配線１２を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase３において、第４端子Ｔ４に２．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ｂ）に示す第２組の駆動駒３２の第２圧電素子７２に第４配線１４を介して電圧を供給する。
【００５５】
すると、図７（ｂ）に示すように、Phase３において、第２組の駆動駒３２を駆動する第１圧電素子６２の変形が維持されて先端部３２ａがロータ４に接触した状態が維持される（図１０（ｂ）、Phase３参照）。この状態で、図７（ｂ）に示すように、Phase３において、第２圧電素子７２が厚み滑り変形し、先端部３２ａが基部３２ｂ及びベース部２に対してＸ２軸正方向側へ移動する（図１０（ｄ）、Phase３参照）。このときの移動量はPhase３で新たに供給された２．０ＶとPhase２で供給されていた１．０Ｖとの電圧の差の絶対値に比例する。
【００５６】
すなわち、Phase３においては、図７（ａ）に示すように、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａは、ロータ４の回転方向Ｒに沿うＸ１軸正方向側へ移動しながらＹ軸正方向側へ移動してロータ４に接近して当接する。同時に、図７（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａはロータ４に当接してロータ４を支持しつつ、ロータ４を回転方向Ｒへ駆動する。
【００５７】
（Phase４）
電源部１０は、図６に示すように、Phase４において、第１端子Ｔ１の電圧を１．０Ｖに維持し、図５（ａ）に示す第１組の駆動駒３１の第１圧電素子６１の電極部６１ａに第１配線１１を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase４において、第３端子Ｔ３に−１．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ｂ）に示す第１組の駆動駒３１の第２圧電素子７１に第３配線１３を介して電圧を供給する。
【００５８】
すると、図８（ａ）に示すように、Phase４において、第１組の駆動駒３１をＹ軸正方向側に駆動する第１圧電素子６１の変形が維持されて先端部３１ａがロータ４に当接した状態が維持される（図１０（ａ）、Phase４参照）。同時に、図８（ａ）に示すように、Phase４において、第２圧電素子７１のＸ１軸負方向側への変形量が減少し、先端部３１ａが基部３１ｂ及びベース部２に対してＸ１軸正方向側へ移動する（図１０（ｃ）、Phase４参照）。このときの移動量はPhase４で新たに供給された−１．０ＶとPhase３で供給されていた−２．０Ｖとの電圧の差の絶対値に比例する。
【００５９】
電源部１０は、図６に示すように、Phase４において、第２端子Ｔ２に正負が逆転した−１．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ａ）に示す第２組の駆動駒３２の第１圧電素子６２の電極部６２ａに第２配線１２を介して電圧を供給する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase４において、第４端子Ｔ４に３．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ｂ）に示す第２組の駆動駒３２の第２圧電素子７２に第４配線１４を介して電圧を供給する。
【００６０】
すると、図８（ｂ）に示すように、Phase４において、第２組の駆動駒３２を駆動する第１圧電素子６２が逆方向に厚み滑り変形し、駆動駒３２の基部３２ｂをＹ軸負方向側へ移動させる（図１０（ｂ）、Phase４参照）。同時に、図８（ｂ）に示すように、Phase４において、第２圧電素子７２のＸ２軸正方向側への変形量が増加し、先端部３２ａが基部３２ｂ及びベース部２に対してＸ２軸正方向側へ移動する（図１０（ｄ）、Phase４参照）。このときの移動量はPhase４で新たに供給された３．０ＶとPhase２で供給されていた２．０Ｖとの電圧の差の絶対値に比例する。
【００６１】
すなわち、Phase４においては、図８（ａ）に示すように、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａはロータ４に当接した状態でロータ４の回転方向Ｒに沿うＸ１軸正方向側に移動し、ロータ４を支持して回転方向Ｒへ駆動させる。同時に、図８（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａはロータ４の回転方向Ｒへ沿うＸ２軸正方向側へ移動しながら、Ｙ軸負方向側へ移動してロータ４から離間する。これにより、第１組及び第２組の駆動駒３１，３２の先端部３１ａ，３２ａによってロータ４を回転方向Ｒに駆動させつつ、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａから第１組の駆動駒３１の先端部３１ａへロータ４が受け渡される。
【００６２】
このとき、Phase４において、双方の駆動駒３１，３２が、極めて短時間、ロータ４から離間する場合がある。このような場合であっても、ロータ４はその慣性によりＹ方向の変位を殆どすることなく、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａによって支持されていた位置に留まる。そのため、ロータ４はＹ方向の略一定の位置が維持され、回転方向Ｒに駆動された状態で、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａによりＹ方向に支持され、回転方向Ｒへ駆動される。これにより、ロータ４はＹ方向の略一定の位置で支持軸５を中心として回転を継続する。
【００６３】
（Phase５）
電源部１０は、図６に示すように、Phase５において、第１端子Ｔ１の電圧を１．０Ｖに維持し、図５（ａ）に示す第１組の駆動駒３１の第１圧電素子６１の電極部６１ａに第１配線１１を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase５において、第３端子Ｔ３に発生させる電圧を０Ｖにし、図５（ｂ）に示す第１組の駆動駒３１の第２圧電素子７１に第３配線１３を介して供給する電圧を０Ｖにする。
【００６４】
すると、図８（ａ）に示すように、Phase５において、第１組の駆動駒３１をＹ方向に駆動する第１圧電素子６１の変形が維持されて、先端部３１ａがロータ４に接触した状態が維持される（図１０（ａ）、Phase５参照）。この状態で、図８（ａ）に示すように、Phase５において、第２圧電素子７１が元の形状に戻り、先端部３１ａが基部３１ｂ及びベース部２に対してＸ１軸正方向側へ移動する（図１０（ｃ）、Phase５参照）。このときの先端部３１ａの移動量はPhase４において第２圧電素子７１に供給されていた電圧の絶対値に比例する。
【００６５】
電源部１０は、図６に示すように、Phase５において、第２端子Ｔ２の電圧を−１．０Ｖに維持し、図５（ａ）に示す第２組の駆動駒３２の第１圧電素子６２の電極部６２ａに第２配線１２を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase５において、第４端子Ｔ４に発生させる電圧を０Ｖにし、図５（ｂ）に示す第２組の駆動駒３２の第２圧電素子７２に第４配線１４を介して供給する電圧を０Ｖにする。
【００６６】
すると、図８（ｂ）に示すように、Phase５において、第２組の駆動駒３２をＹ方向に駆動する第１圧電素子６２の変形が維持されて、先端部３２ａがロータ４から離間した状態が維持される（図１０（ｂ）Phase５参照）。同時に、図８（ｂ）に示すように、Phase５において、第２圧電素子７２が元の形状に戻り、先端部３２ａが基部３２ｂ及びベース部２に対してＸ２軸負方向側へ移動する（図１０（ｄ）、Phase５参照）。このときの先端部３２ａの移動量はPhase４において第２圧電素子７２に供給されていた電圧の絶対値に比例する。
【００６７】
すなわち、Phase５においては、図８（ａ）に示すように、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａはロータ４に当接した状態を維持してロータ４を支持しつつ、Ｘ１軸正方向側に移動してロータ４を回転方向Ｒへ駆動させる。同時に、図８（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａはＹ軸負方向側へ移動してロータ４から離間した状態を維持しつつ、基部３２ｂ及びベース部２に対してロータ４の回転方向Ｒと逆のＸ２軸負方向側へ移動する。
【００６８】
（Phase６）
電源部１０は、図６に示すように、Phase６において、第１端子Ｔ１の電圧を１．０Ｖに維持し、図５（ａ）に示す第１組の駆動駒３１の第１圧電素子６１の電極部６１ａに第１配線１１を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase６において、第３端子Ｔ３に１．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ｂ）に示す第１組の駆動駒３１の第２圧電素子７１に第３配線１３を介して電圧を供給する。
【００６９】
すると、図８（ａ）に示すように、Phase６において、第１組の駆動駒３１をＹ方向に駆動する第１圧電素子６１の変形が維持されて、先端部３１ａがロータ４に接触した状態が維持される（図１０（ａ）、Phase６参照）。この状態で、図８（ａ）に示すように、Phase６において、第２圧電素子７１が厚み滑り変形し、先端部３１ａが基部３１ｂ及びベース部２に対してＸ１軸正方向側へ移動する（図１０（ｃ）、Phase６参照）。このときの移動量はPhase６で新たに供給された電圧の絶対値に比例する。
【００７０】
電源部１０は、図６に示すように、Phase６において、第２端子Ｔ２の電圧を−１．０Ｖに維持し、図５（ａ）に示す第２組の駆動駒３２の第１圧電素子６２の電極部６２ａに第２配線１２を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase６において、第４端子Ｔ４に−３．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ｂ）に示す第２組の駆動駒３２の第２圧電素子７２に第４配線１４を介して電圧を供給する。
【００７１】
すると、図８（ｂ）に示すように、Phase６において、第２組の駆動駒３２をＹ方向に駆動する第１圧電素子６２の変形が維持されて、先端部３２ａがロータ４から離間した状態が維持される（図１０（ｂ）、Phase６参照）。この状態で、図８（ｂ）に示すように、Phase６において、第２圧電素子７２が厚み滑り変形し、先端部３２ａが基部３２ｂ及びベース部２に対してＸ２軸負方向側へ移動する（図１０（ｄ）、Phase６参照）。このときの先端部３２ａの移動量は第２圧電素子７２に供給される電圧の絶対値に比例する。
【００７２】
すなわち、Phase６においては、図８（ａ）に示すように、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａはロータ４に当接した状態を維持してロータ４を支持しつつ、Ｘ１軸正方向側に移動してロータ４を回転方向Ｒへ駆動する。同時に、図８（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａは、ロータ４から離間した状態を維持しつつ、基部３２ｂ及びベース部２に対してロータ４の回転方向Ｒと逆のＸ２軸負方向側へさらに移動する。
【００７３】
（Phase７）
電源部１０は、図６に示すように、Phase７において、第１端子Ｔ１の電圧を１．０Ｖに維持し、図５（ａ）に示す第１組の駆動駒３１の第１圧電素子６１の電極部６１ａに第１配線１１を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase７において、第３端子Ｔ３に２．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ｂ）に示す第１組の駆動駒３１の第２圧電素子７１に第３配線１３を介して電圧を供給する。
【００７４】
すると、図８（ａ）に示すように、Phase７において、第１組の駆動駒３１を駆動する第１圧電素子６１の変形が維持されて、先端部３１ａがロータ４に接触した状態が維持される（図１０（ａ）、Phase７参照）。この状態で、図８（ａ）に示すように、Phase７において、第２圧電素子７１が厚み滑り変形し、先端部３１ａが基部３１ｂ及びベース部２に対してＸ１軸正方向側へ移動する（図１０（ｃ）、Phase７参照）。このときの移動量はPhase７で新たに供給された２．０ＶとPhase６で供給されていた１．０Ｖとの電圧の差の絶対値に比例する。
【００７５】
電源部１０は、図６に示すように、Phase７において、第２端子Ｔ２に正負が逆転した１．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ａ）に示す第２組の駆動駒３２の第１圧電素子６２の電極部６２ａに第２配線１２を介して電圧を供給する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase７において、第４端子Ｔ４に−２．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ｂ）に示す第２組の駆動駒３２の第２圧電素子７２に第４配線１４を介して電圧を供給する。
【００７６】
すると、図８（ｂ）に示すように、Phase７において、第２組の駆動駒３２を駆動する第１圧電素子６２が逆方向に厚み滑り変形し、駆動駒３２の基部３２ｂをＹ軸正方向側へ移動させる（図１０（ｂ）、Phase７参照）。同時に、図８（ｂ）に示すように、Phase７において、第２圧電素子７２のＸ２軸負方向側への変形量が減少し、先端部３２ａが基部３２ｂ及びベース部２に対してＸ２軸正方向側へ移動する（図１０（ｄ）、Phase７参照）。このときの移動量はPhase７で新たに供給された−２．０ＶとPhase６で供給されていた−３．０Ｖとの電圧の差の絶対値に比例する。
【００７７】
すなわち、Phase７においては、図８（ａ）に示すように、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａはロータ４に当接した状態を維持してロータ４を支持しつつ、ロータ４を回転方向Ｒへ駆動する。同時に、図８（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａは、ロータ４の回転方向Ｒに沿うＸ２軸正方向側へ移動しながらＹ軸正方向側へ移動してロータ４に接近して当接する。
【００７８】
（Phase８）
電源部１０は、図６に示すように、Phase８において、第１端子Ｔ１に正負が逆転した−１．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ａ）に示す第１組の駆動駒３１の第１圧電素子６１の電極部６１ａに第１配線１１を介して電圧を供給する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase８において、第３端子Ｔ３に３．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ｂ）に示す第１組の駆動駒３１の第２圧電素子７１に第３配線１３を介して電圧を供給する。
【００７９】
すると、図９（ａ）に示すように、Phase８において、第１組の駆動駒３１を駆動する第１圧電素子６１が逆方向に厚み滑り変形し、駆動駒３の基部３ｂをＹ軸負方向側へ移動させる（図１０（ａ）、Phase８参照）。同時に、図９（ａ）に示すように、Phase８において、第２圧電素子７１のＸ１軸正方向側への変形量が増加し、先端部３１ａが基部３１ｂ及びベース部２に対してＸ１軸正方向側へ移動する（図１０（ｃ）、Phase８参照）。このときの移動量はPhase８で新たに供給された３．０ＶとPhase７で供給されていた２．０Ｖとの電圧の差の絶対値に比例する。
【００８０】
電源部１０は、図６に示すように、Phase８において、第２端子Ｔ２の電圧を１．０Ｖに維持し、図５（ａ）に示す第２組の駆動駒３２の第１圧電素子６２の電極部６２ａに第２配線１２を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase８において、第４端子Ｔ４に−１．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ｂ）に示す第２組の駆動駒３２の第２圧電素子７２に第４配線１４を介して電圧を供給する。
【００８１】
すると、図９（ｂ）に示すように、Phase８において、第２組の駆動駒３２をＹ方向に駆動する第１圧電素子６２の変形が維持されて、先端部３２ａがロータ４に当接した状態が維持される（図１０（ｂ）、Phase８参照）。同時に、図９（ｂ）に示すように、Phase８において、第２圧電素子７２のＸ２軸負方向側への変形量が減少し、先端部３２ａが基部３２ｂ及びベース部２に対してＸ２軸正方向側へ移動する（図１０（ｄ）、Phase８参照）。このときの移動量はPhase８で新たに供給された−１．０ＶとPhase７で供給されていた−２．０Ｖとの電圧の差の絶対値に比例する。
【００８２】
すなわち、Phase８においては、図９（ａ）に示すように、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａはロータ４の回転方向Ｒへ沿うＸ１軸正方向側へ移動しながら、Ｙ軸負方向側へ移動してロータ４から離間する。同時に、図９（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａはロータ４に当接した状態で、ロータ４の回転方向Ｒに沿うＸ２軸正方向側に移動し、ロータ４を支持して回転方向Ｒへ駆動させる。これにより、第１組及び第２組の駆動駒３１，３２の先端部３１ａ，３２ａによってロータ４を回転方向Ｒに駆動させつつ、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａから第２組の駆動駒３２の先端部３２ａへロータ４が受け渡される。
【００８３】
このとき、Phase８において、双方の駆動駒３１，３２が、極めて短時間、ロータ４から離間する場合がある。このような場合であっても、ロータ４はその慣性によりＹ方向の変位を殆どすることなく、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａによって支持されていた位置に留まる。そのため、ロータ４はＹ方向の略一定の位置が維持され、回転方向Ｒに駆動された状態で、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａによりＹ方向に支持され、回転方向Ｒへ駆動される。これにより、ロータ４はＹ方向の略一定の位置で支持軸５を中心として回転を継続する。
【００８４】
（Phase９）
電源部１０は、図６に示すように、Phase９において、第１端子Ｔ１の電圧を−１．０Ｖに維持し、図５（ａ）に示す第１組の駆動駒３１の第１圧電素子６１の電極部６１ａに第１配線１１を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase９において、第３端子Ｔ３に発生させる電圧を０Ｖにし、図５（ｂ）に示す第１組の駆動駒３１の第２圧電素子７１に第３配線１３を介して供給する電圧を０Ｖにする。
【００８５】
すると、図９（ａ）に示すように、Phase９において、第１組の駆動駒３１をＹ方向に駆動する第１圧電素子６１の変形が維持され、先端部３１ａがロータ４から離間した状態が維持される（図１０（ａ）、Phase９参照）。同時に図９（ａ）に示すように、Phase９において、第２圧電素子７１が元の形状に戻り、先端部３１ａが基部３１ｂ及びベース部２に対してＸ１軸負方向側へ移動する（図１０（ｃ）、Phase９参照）。このときの先端部３１ａの移動量はPhase８において第２圧電素子７に供給されていた電圧の絶対値に比例する。
【００８６】
電源部１０は、図６に示すように、Phase９において、第２端子Ｔ２の電圧を１．０Ｖに維持し、図５（ａ）に示す第２組の駆動駒３２の第１圧電素子６２の電極部６２ａに第２配線１２を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase９において、第４端子Ｔ４に発生させる電圧を０Ｖにし、図５（ｂ）に示す第２組の駆動駒３２の第２圧電素子７２に第４配線１４を介して供給する電圧を０Ｖにする。
【００８７】
すると、図９（ｂ）に示すように、Phase９において、第２組の駆動駒３２をＹ方向に駆動する第１圧電素子６２の変形が維持されて、先端部３２ａがロータ４に接触した状態が維持される（図１０（ｂ）、Phase９参照）。この状態で、図９（ｂ）に示すように、Phase９において、第２圧電素子７２が元の形状に戻り、先端部３２ａが基部３２ｂ及びベース部２に対してＸ２軸正方向側へ移動する（図１０（ｄ）、Phase９参照）。このときの先端部３２ａの移動量はPhase８において第２圧電素子７２に供給されていた電圧の絶対値に比例する。
【００８８】
すなわち、Phase９においては、図９（ａ）に示すように、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａはＹ軸負方向側へ移動してロータ４から離間した状態を維持しつつ、ロータ４の回転方向Ｒと逆のＸ１軸負方向側へ移動する。同時に、図９（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａはロータ４に当接した状態を維持してロータ４を支持しつつ、ロータ４の回転方向Ｒに沿うＸ１軸正方向側に移動してロータ４を回転方向Ｒへ駆動させる。
【００８９】
（Phase１０）
電源部１０は、図６に示すように、Phase１０において、第１端子Ｔ１の電圧を−１．０Ｖに維持し、図５（ａ）に示す第１組の駆動駒３１の第１圧電素子６１の電極部６１ａに第１配線１１を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase１０において、第３端子Ｔ３に−３．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ｂ）に示す第１組の駆動駒３１の第２圧電素子７１に第３配線１３を介して電圧を供給する。
【００９０】
すると、図９（ａ）に示すように、Phase１０において、第１組の駆動駒３１をＹ方向に駆動する第１圧電素子６１の変形が維持されて、先端部３１ａがロータ４から離間した状態が維持される（図１０（ａ）、Phase１０参照）。この状態で、図９（ａ）に示すように、Phase１０において、第２圧電素子７１が厚み滑り変形し、先端部３１ａが基部３１ｂ及びベース部２に対してＸ１軸負方向側へ移動する（図１０（ｃ）、Phase１０参照）。このときの先端部３１ａの移動量は第２圧電素子７１に供給される電圧の絶対値に比例する。
【００９１】
電源部１０は、図６に示すように、Phase１０において、第２端子Ｔ２の電圧を１．０Ｖに維持し、図５（ａ）に示す第２組の駆動駒３２の第１圧電素子６２の電極部６２ａに第２配線１２を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase１０において、第４端子Ｔ４に１．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ｂ）に示す第２組の駆動駒３２の第２圧電素子７２に第４配線１４を介して電圧を供給する。
【００９２】
すると、図９（ｂ）に示すように、Phase１０において、第２組の駆動駒３２をＹ方向に駆動する第１圧電素子６２の変形が維持されて、先端部３２ａがロータ４に接触した状態が維持される（図１０（ｂ）、Phase１０参照）。この状態で、図９（ｂ）に示すように、Phase１０において、第２圧電素子７２が厚み滑り変形し、先端部３２ａが基部３２ｂ及びベース部２に対してＸ２軸正方向側へ移動する（図１０（ｄ）、Phase１０参照）。このときの移動量はPhase１０で新たに供給された電圧の絶対値に比例する。
【００９３】
すなわち、Phase１０においては、図９（ａ）に示すように、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａは、ロータ４から離間した状態を維持しつつ、基部３１ｂ及びベース部２に対してＸ１軸負方向側へさらに移動する。同時に、図９（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａはロータ４に当接した状態を維持してロータ４を支持しつつ、ロータ４の回転方向Ｒに沿うＸ２軸正方向側に移動してロータ４を回転方向Ｒへ駆動する。
【００９４】
Phase１１以降は、上記のPhase３からPhase１０までの動作と同様の動作が繰り返し行われ、ロータ４の回転が継続される。これにより、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａと先端部３ａと第２組の駆動駒３２の先端部３２ａとによって交互に（順番に）ロータ４のＹ軸方向の支持及び回転方向Ｒの駆動がされ、ロータ４が支持軸５回りの回転を継続する。
【００９５】
本実施形態の駆動装置１は、各々の駆動駒３を支持軸５の平行な方向（第２の方向）へ駆動させる第１圧電素子６と、駆動駒３の先端部３ａをロータ４の回転方向Ｒに沿う駆動駒３の幅ｗ３方向（第１の方向）へ駆動させる第２圧電素子７とが別個に独立して設けられている。そのため、それぞれの方向の振動を独立した振動として取り出すことができる。
【００９６】
したがって、駆動駒３によりロータ４を回転させ、ロータ４と駆動駒３とを相対駆動させる際に、従来よりもロータ４を安定して回転させることができる。また、基部３ｂを挟み込む第１圧電素子６が互いに異なる方向に基部３ｂを駆動させる場合と比較して損失が発生し難く、エネルギー効率を向上させることができ、駆動装置１の出力を増大させることができる。
【００９７】
ここで、ベース部２は導電性を有しているため、第１圧電素子６を直接、ベース部２の表面に接合した場合には、ベース部２が第１圧電素子６の共通電極となる。そのため、第１組の駆動駒３１を駆動する第１圧電素子６１の電極６１ａと、第２組の駆動駒３２を駆動する第１圧電素子６２の電極６２ａとが共通電位になってしまう。すると、各組の第１圧電素子６１，６２に個別に異なる電圧を印加することが困難になり、駆動駒３１，３２を個別に駆動することが困難になる。
【００９８】
しかし、本実施形態では、図３に示すように、全ての第１圧電素子６とベース部材２との間に絶縁膜２ｇが設けられている。そのため、各組の駆動駒３１，３２を駆動する第１圧電素子６１，６２に個別に異なる電圧を容易に印加することができる。したがって、各組の駆動駒３１，３２を個別に駆動させ、ロータ４を安定的かつ連続的に回転させることができる。
【００９９】
また、図３に示すように、第１圧電素子６はベース部２の表面に設けられた絶縁膜２ｇと接する側の面に電極６ａが設けられ、導電性を有する駆動駒３の基部３ｂは接地されている。そのため、第１組及び第２組の駆動駒３１，３２それぞれの第１圧電素子６１，６２の電極６１ａ，６２ａに、図５に示す第１配線１１及び第２配線１２をそれぞれ接続することで、第１圧電素子６１，６２の電極６１ａ，６２ａと駆動駒３１，３２の基部３１ｂ，３２ｂとの間に電圧を印加することができる。
【０１００】
ここで、絶縁膜２ｇの膜厚が例えば２０μｍよりも厚くなると、通常数μｍ程度の振幅で用いられる第１圧電素子６の振動が絶縁膜２ｇによって減衰し、ベース部２へ伝播し難くなる。また、膜厚のばらつきが例えば平均膜厚±５０％よりも大きい場合、硬度が例えば鉛筆硬度で２Ｈよりも低い場合、高密度である場合などには、振動減衰効果が大きくなり、ベース部２へ振動が伝播し難くなる。
【０１０１】
しかし、本実施形態の絶縁膜２ｇの膜厚は、１０μｍ以上２０μｍ以下となっている。加えて、絶縁膜２ｇは、膜厚のばらつきが平均膜厚±５０％以下となっている。このように、絶縁膜２ｇの膜厚を所望の耐電圧が維持できる範囲で可能な限り薄く形成することで、絶縁膜２ｇの振動減衰効果を最小にすることができる。よって、第１圧電素子６の振動を絶縁膜２ｇを介して弾性体であるベース部２に確実に伝播させることができる。
【０１０２】
また、絶縁膜２ｇの硬度は鉛筆硬度で２Ｈ以上を有している。
このように、絶縁膜２ｇの硬度を所定値以上の硬度にすることで、絶縁膜２ｇによって支持駆動部１の振動が減衰することが防止される。したがって、駆動装置１の出力の低下を防止することができる。
【０１０３】
また、第１圧電素子６の電極６ａとベース部２の表面の絶縁膜２ｇとを接着する接着剤が絶縁膜２ｇと同系材料を含んでいない場合、第１圧電素子６の電極６ａと絶縁膜２ｇとの接着が不十分になり、所望の接着強度を得ることができない場合がある。このような場合、第１圧電素子６の電極６ａと絶縁膜２ｇとの間に作用するせん断力・剥離力によって接着面が剥離・乖離し、駆動駒３がベース部２から脱落してしまう虞がある。
【０１０４】
しかし、本実施形態では、第１圧電素子６を絶縁膜２ｇに固定する接着剤と絶縁膜２ｇとが同系材料を含んでいる。これにより、接着剤と絶縁膜２ｇとが一体化して第１圧電素子６の電極６ａと絶縁膜２ｇとが強固に接着され、接着剤の接着力を維持することができる。したがって、第１圧電素子６の電極６ａと絶縁膜２ｇとの間に作用するせん断力・剥離力に対する強度を向上させることが可能になる。
【０１０５】
また、第１圧電素子６が駆動駒３の基部３ｂを幅ｗ３方向から挟み込み、第１圧電素子６が駆動駒３を幅ｗ３方向と異なる支持軸５に平行な方向へ駆動させるようになっている。また、基部３ｂを挟み込む一対の第１圧電素子６，６の寸法及び形状が略等しくなっている。これにより、駆動駒３の幅ｗ３方向の剛性を均等にすることができる。したがって、駆動駒３の基部３ｂの幅ｗ３方向の振動を抑制することができる。また、全ての第１圧電素子６及び第２圧電素子７を同一の形状及び寸法とすることで、製造を容易にして生産性を向上させることができる。
【０１０６】
加えて、ベース部２には駆動駒３を支持軸５と平行な方向へ駆動可能に保持する保持部２ａが設けられている。保持部２ａには駆動駒３の幅ｗ３方向から駆動駒３の基部３ｂを支持する支持面２ｆが設けられている。そのため、支持面２ｆによって第１圧電素子６を支持し、第１圧電素子６を介して駆動駒３の基部３ｂを幅ｗ３方向から支持することができる。これにより、駆動駒３の幅ｗ３方向の剛性をより高め、駆動駒３の基部３ｂの幅ｗ３方向の振動を抑制することができる。
【０１０７】
ここで、第１圧電素子６は、厚み方向の弾性係数（縦弾性係数）と変形方向の弾性係数（横弾性係数）との比が例えば約３：１程度である。したがって、駆動駒３の幅ｗ３方向の剛性を高め、基部３ｂの駆動方向の剛性を低くすることができる。これにより、基部３ｂの幅ｗ３方向の移動を防止して振動を抑制できる。また、基部３ｂの駆動方向の変位をしやすくすることができる。
【０１０８】
また、駆動駒３が、ロータ４を支持して回転方向Ｒに駆動させる先端部３ａと、一対の第１圧電素子６に挟み込まれた状態でベース部２の保持部２ａに保持された基部３ｂと、を備えている。さらに、駆動駒３は先端部３ａと基部３ｂとの間に、先端部３ａをロータ４の回転方向Ｒに沿う保持部２ａ及び駆動駒３の幅ｗ３方向に駆動する第２圧電素子７を備えている。
【０１０９】
そのため、駆動駒３の先端部３ａを幅ｗ３方向に駆動することで、ロータ４の下面と先端部３ａとの間に回転方向Ｒの接線方向の摩擦力が作用し、ロータ４を回転方向Ｒに駆動することができる。また、第１圧電素子６及び第２圧電素子７をそれぞれ独立して制御することができる。これにより、駆動駒３の先端部３ａの支持軸５に沿う方向の駆動と、ロータ４の回転方向Ｒに沿う方向の駆動とを独立して制御することができる。
【０１１０】
また、第１圧電素子６及び第２圧電素子７を同時に作動させ、駆動駒３の先端部３ａの支持軸５に沿う方向の駆動と、ロータ４の回転方向Ｒに沿う方向の駆動とを同時に行うことができる。
したがって、図７〜図９に示すように、ロータ４と先端部３ａの接触時及び離間時に、駆動駒３の先端部３ａをロータ４の回転方向Ｒに沿って移動させ、ロータ４の回転を妨げることなく、第１組の駆動駒３１から第２組の駆動駒３２へロータ４の受け渡しを行うことができる。
【０１１１】
また、駆動駒３及びその基部３ｂを挟み込む二対の第１圧電素子６，６を３つ備えた駆動駒３の組が、第１組と第２組の二組構成されている。したがって、各組を異なるタイミングで駆動させることができる。また、各組の駆動駒３１，３２の先端部３１ａ，３２ａによってロータ４を３点支持することが可能となる。したがって、２点支持や４点以上の支持の場合と比較して、ロータ４の支持を安定して行うことができる。
【０１１２】
また、各組の駆動駒３１，３２はロータ４の回転方向Ｒに均等に配置され、第１組と第２組の駆動駒３１，３２が回転方向Ｒに交互に順番に配置されている。したがって、ロータ４を各組の駆動駒３１，３２によってバランスよく支持し、回転方向Ｒに効率よく駆動することができる。
また、駆動駒３の先端部３ａが駆動する方向は駆動駒３の基部３ｂが第１圧電素子６及び保持部２ａの支持面２ｆによって挟み込まれる方向と同一の方向となっている。したがって、駆動駒３の先端部３ａが送り駆動及び戻り駆動を行った場合に、駆動方向の前後から駆動駒３の基部３ｂを支持することができる。したがって、駆動駒３が支持軸５に平行な方向からずれることを抑制し、ロータ４の駆動に悪影響が及ぶことを防止できる。
【０１１３】
また、電源部１０が、第１組及び第２組の駆動駒３１，３２に位相差を有する電圧を供給することで、各組の駆動駒３１，３２によってそれぞれロータ４を駆動することができる。
また、電源部１０が、各組の第１圧電素子６及び第２圧電素子７に供給する電圧の位相差を１８０°とすることで、第１組の駆動駒３１と第２組の駆動駒３２とによって交互に順番にロータ４を駆動させることができる。
【０１１４】
また、電源部１０が、各組の第１圧電素子６及び第２圧電素子７に、駆動駒３の先端部３ａがロータ４との接触、駆動駒３の幅ｗ３方向への送り、ロータ４からの離間、駆動駒３の幅ｗ３方向の戻り、を順次繰り返すように電圧を供給することで、ロータ４の回転駆動を連続的に行うことができる。
また、電源部１０は、図６のPhase３，７，１１，１５に示すように、第１端子Ｔ１に供給する電圧と第２端子Ｔ２に供給する電圧をオーバーラップさせている。これにより、第１組の駆動駒３１から第２組の駆動駒３２へのロータ４の受け渡しを連続的かつスムーズに行うことが可能になる。
【０１１５】
また、電源部１０が第１圧電素子６及び第２圧電素子７に供給する電圧の周波数は、第１圧電素子６、第２圧電素子７、駆動駒３、及びベース部２からなる支持駆動部１ａの共振振動の振動数と略等しくなっている。そのため、駆動駒３の先端部３ａによるロータ４の送り駆動及び戻り駆動の振幅をより大きくすることができる。支持駆動部１ａの共振振動の周波数は、ベース部２、圧電素子、駆動駒３の先端部３ａ及び基部３ｂの材質を適切に選定することで調整することができる。
【０１１６】
また、本実施形態では、図６に示すように、第１端子Ｔ１及び第２端子Ｔ２から各組の駆動駒３１，３２の第１圧電素子６１，６２に供給される電圧の周期と、第３端子Ｔ３及び第４端子Ｔ４から各組の第２圧電素子７１，７２に供給される電圧の周期とが等しくなっている。したがって、駆動駒３１，３２の支持軸５に平行な方向の駆動と、駆動駒３１，３２の幅ｗ３１，ｗ３２方向の先端部３１ａ，３２ａの駆動の振動数が等しくなる。これにより、支持軸５に平行な方向の駆動駒３１，３２の振幅と、駆動駒３１，３２の幅ｗ３１，ｗ３２方向の先端部３１ａ，３２ａの振幅を最大振幅とすることができる。
【０１１７】
また、駆動駒３の先端部３ａはロータ４の回転方向Ｒに沿う断面積がロータ４に近づくほど小さくなるように先細状に設けられている。したがって、先端部３ａを直方体状の形状に形成する場合と比較して先端部３ａとロータ４との接触面積を減少させ、先端部３ａの磨耗による先端部３ａの体積変化率を小さくすることができる。これにより、先端部３ａの磨耗による先端部３ａの重量の変化を小さくすることができ、駆動駒３の共振周波数の変化を小さくすることができる。また、先端部３ａを六角柱状の形状とすることで、その他の形状と比較して先端部３ａの剛性を高くすることができる。
【０１１８】
また、支持軸５と略平行に設けられ駆動駒３の幅ｗ３方向と略垂直に交差するベース部２の側面２ｃに、溝部２ｄが形成されている。すなわち、溝部２ｄはベース部２を介して伝播する支持軸５と略平行な方向の振動に対して、略垂直に交差するように設けられている。そのため、溝部２ｄによって振動を吸収し、ベース部２による振動の伝播を減少させることができる。
また、第１圧電素子６が、ロータ４と溝部２ｄとの間に設けられている。したがって、ベース部２のロータ４と反対側から溝部２ｄを越えて伝播する振動を減少させることができる。
【０１１９】
また、ベース部２の駆動駒３を保持する保持部２ａと反対側の端部が取付部１０１ａに固定され、溝部２ｄは駆動駒３よりも取付部１０１ａに近い位置に設けられている。そのため、取付部１０１ａの振動がベース部２に伝播した場合であっても、駆動駒３から比較的遠い位置で振動を減少させ、取付部１０１ａの振動が駆動駒３の駆動に悪影響を及ぼすことを防止できる。
【０１２０】
また、溝部２ｄの支持軸５に平行な方向の幅ｗ１は、ベース部２の振動の振幅よりも大きくなっている。そのため、溝部２ｄの両側のベース部２同士が衝突することを防止できる。
また、溝部２ｄの支持軸５に平行な方向の幅ｗ１は、ベース部２、駆動駒３、第１圧電素子６、及び第２圧電素子７からなる支持駆動部１ａの共振振動の振幅よりも大きくなっている。したがって、支持駆動部１ａが共振状態で振動した場合でも溝部２ｄの両側のベース部２同士が衝突することを防止できる。
【０１２１】
また、溝部２ｄの深さｄ１をベース部２の半径の４０％以上８０％以下とすることで、ベース部２の強度を十分に確保しつつ、十分な振動の伝播の抑制効果を得ることができる。
また、ベース部２と支持軸５との間に間隙２ｅが形成されているので、ベース部２から支持軸５に伝播する振動を減少させることができる。また、支持軸５からベース部２に伝播する振動を減少させることができる。したがって、駆動駒３及びロータ４の駆動に悪影響が及ぶことを防止できる。
【０１２２】
次に、本実施形態の駆動装置１を備えたレンズ鏡筒及びカメラの一例について説明する。本実施形態の交換レンズは、カメラボディとともにカメラシステムを形成するものである。交換レンズは、公知のＡＦ（オートフォーカス）制御に応じて合焦動作を行うＡＦモードと、撮影者からの手動入力に応じて合焦動作を行うＭＦ（マニュアルフォーカス）モードとが切り替え可能になっている。
【０１２３】
図１１は、本実施の形態におけるカメラ１０１の構成を模式的に示す概略構成図である。
図１１に示すように、カメラ１０１は、撮像素子１０８が内蔵されたカメラボディ１０２と、レンズ１０７を有するレンズ鏡筒１０３とを備えている。
【０１２４】
レンズ鏡筒１０３は、カメラボディ１０２に着脱可能な交換レンズである。レンズ鏡筒１０３は、レンズ１０７、カム筒１０６、駆動装置１等を備えている。駆動装置１は、カメラ１０１のフォーカス動作時にレンズ１０７を駆動する駆動源として用いられている。駆動装置１のロータ４から得られた駆動力は、直接、カム筒１０６に伝えられる。レンズ１０７は、カム筒１０６に保持されており、駆動装置１の駆動力により、光軸方向Ｌに略平行に移動して、焦点調節を行うフォーカスレンズである。
【０１２５】
カメラ１０１の使用時には、レンズ鏡筒１０３内に設けられたレンズ群（レンズ１０７を含む）によって、撮像素子１０８の撮像面に被写体像が結像される。撮像素子１０８によって、結像された被写体像は電気信号に変換され、その信号をＡ／Ｄ変換することによって、画像データが得られる。
【０１２６】
以上説明したように、本実施の形態のカメラ１０１及びレンズ鏡筒１０３は、上記の実施の形態で説明した駆動装置１を備えている。したがって、従来よりもロータ４を安定的に回転させることができ、出力が向上した駆動装置１によって、カム筒１０６を直接駆動させることができる。したがって、エネルギーの損失が少なく省エネルギー効果が得られる。また、部品点数の削減が可能になる。
本実施の形態では、レンズ鏡筒１０３は、交換レンズである例を示したが、これに限らず、例えば、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒としてもよい。
【０１２７】
尚、上述した実施の形態は、種々変形して実施することができる。例えば、上記の実施形態では全ての第１圧電素子とベース部の間に絶縁膜が設けられている構成について説明したが、例えば、絶縁膜は、少なくとも第１組又は第２組のいずれか一方の組の駆動駒が備える第１圧電素子とベース部との間に設けられていればよい。
【０１２８】
また、上記の実施の形態では、第１圧電素子及び第２圧電素子が厚み滑り変形する場合について説明したが、これらは厚み方向に変形するものであってもよい。この場合、第１圧電素子によって駆動駒は保持部の幅方向（第１の方向）に移動し、第２圧電素子によって駆動駒の先端部は回転軸に平行な方向（第２の方向）に移動する。
【０１２９】
また、ベース部は支持軸を囲むように設けられていれば複数に分割されていてもよく、支持軸を完全に囲んでいなくてもよい。例えば支持軸を囲む円周上の半分に偏って配置されていてもよく、支持軸を両側から挟みこむような配置であってもよい。
【０１３０】
また、上述の実施形態では、駆動駒を支持軸と平行な方向へ駆動する第１圧電素子が駆動駒を挟み込むように一対設けられている場合について説明したが、第１圧電素子は駆動駒の一方の側面のみに設けられていてもよい。また、厚み方向への変位をする圧電素子を第１圧電素子として用い、ベース部の保持部の底面と駆動駒の基部の底面との間に第１圧電素子を配置するようにしてもよい。この場合には、ベース部に設けられた保持部の支持面によってロータの回転方向に沿う保持部の幅方向の両側から圧電素子を介すことなく基部を直接支持する。そして、基部を支持軸と平行な方向へスライド可能に保持するガイド部として支持面を機能させるようにしてもよい。
【０１３１】
また、上述の実施形態では、第１圧電素子及び第２圧電素子を備える駆動駒の組を二組備える場合について説明したが、駆動駒の組は三組以上であってもよい。また、駆動駒の組が備える駆動駒の数は、１つ、２つ、若しくは４つ以上であってもよい。例えば、上述の実施形態において、ベース部の対角に配置された配置された２つの駆動駒を１組として、駆動駒の組を３組構成してもよい。この場合には、各組の電圧の位相差を例えば１２０度とすることができる。これにより、常に２組の駆動駒によってロータを支持・回転させることができる。駆動駒の各組の電圧の位相差は、３６０度を組数で除した値（すなわち二組の場合は１８０度、三組の場合は１２０度）とすればよい。
【０１３２】
また、上述の実施の形態では、第１圧電素子が駆動駒の基部を挟み込む方向（第１の方向）と第２圧電素子が駆動駒の先端部を駆動する方向（第３の方向）とが同一の場合について説明したが、これらを異ならせてもよい。例えば、第３の方向を駆動駒の幅ｗ３方向と交差しかつロータの回転方向に沿う方向とすることで、ロータを回転させやすくしてもよい。
【０１３３】
また、ベース部の支持面は、支持軸と平行な方向（第２の方向）に対して傾斜していなくてもよい。例えば、保持部に第１圧電素子の保持部の底面側の端部を係止する突起状の係止部を設けてもよい。また、第１圧電素子の保持部の底面側の端部を基部の底面よりも突出させて位置決め部として機能させ、位置決め部を保持部の底面に突き当てることで位置決めをしてもよい。
【０１３４】
また、ベース部と支持軸との間の間隙は、ベース部の強度確保の観点から溝部の保持部側の縁まで形成するようにしてもよい。
また、電源部の各端子から第１圧電素子及び第２圧電素子へ供給する電圧を正弦波や正弦波状の電圧波形としてもよい。
【符号の説明】
【０１３５】
１ 駆動装置、２ ベース部（ベース部材）、２ｇ 絶縁膜、３ 駆動駒（第１部材）、３ａ 先端部、３ｂ 基部、４ ロータ（第２部材）、６ 第１圧電素子（圧電素子）、６ａ 電極、７ 第２圧電素子（圧電素子、第２の圧電素子）、１０ 電源部、１０１ カメラ、１０３ レンズ鏡筒
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動装置、レンズ鏡筒及びカメラに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、圧電素子を用いた駆動装置が知られている。このような駆動装置として、複数の圧電素子を駆動させ、被駆動体に接触させるチップ部材を楕円運動させることで、被駆動体を駆動させるものが開示されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１では、ＸＹＺ直交座標系を設定した場合に、チップ部材のＸＺ平面に平行な楕円運動により被駆動体をＸ軸方向に駆動する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００７−２３６１３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来の駆動装置は、圧電素子を支持するベース部材が導電性を有するＷＣ（タングステンカーバイド）等により設けられている。ベース部材が導電性を有する場合には、ベース部材が共通電極となり、ベース部材に接する複数の圧電素子の電極の電位が等しくなる。したがって、複数の圧電素子に異なる電圧を印加することが困難であるという課題がある。
【０００５】
そこで、本発明は、圧電素子を支持する部材が導電性を有する場合であっても、圧電素子に異なる電圧を容易に印加することができる駆動装置とそれを用いたレンズ鏡筒及びカメラを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、本発明は実施の形態に示す図１〜図１１に対応付けした以下の構成を採用している。なお、本発明を分かり易く説明するために、一実施形態を示す図面の符号に対応付けて説明するが、本発明は実施形態に限定されるものではない。
【０００７】
本発明の駆動装置（１）は、圧電素子（６）と、圧電素子（６）により駆動される第１部材（３）と、第１部材（３）と当接して設けられ、第１部材（３）が駆動されることにより、第１部材（３）に対して相対移動する第２部材（４）と、導電性を有し、圧電素子（６）を介して第１部材（３）を駆動可能に支持するベース部材（２）とを有し、第１部材（３）及び圧電素子（６）の組を複数組備え、少なくとも一の組の圧電素子とベース部材との間に絶縁膜（２ｇ）が設けられていることを特徴とする。
【０００８】
また、本発明のレンズ鏡筒（１０３）及びカメラ（１０１）は、上記の駆動装置を備えている。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、少なくとも一の組の圧電素子とベース部材とが絶縁膜によって電気的に絶縁され、その組の圧電素子とその他の組の圧電素子とに異なる電圧を容易に印加することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明の実施の形態における駆動装置の正面図である。
【図２】同、断面図である。
【図３】図１に示す駆動装置の駆動駒及びベース部の拡大断面図である。
【図４】図１に示す駆動装置の支持駆動部を示す図であり、（ａ）は斜視図、（ｂ）は平面図である。
【図５】図１に示す駆動装置の回路図である。
【図６】図１に示す駆動装置の電源部が供給する電圧のタイミングチャートである。
【図７】図１に示す駆動装置の駆動駒の動作を示す正面図である。
【図８】同、正面図である。
【図９】同、正面図である。
【図１０】図１に示す駆動装置の駆動駒の先端部の変位を示すグラフである。
【図１１】図１に示す駆動装置を備えたレンズ鏡筒及びカメラの概略構成図である。
【発明を実施するための形態】
【００１１】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。本実施形態の駆動装置１は、例えば駆動駒等の第１部材に対してロータ等の第２部材を相対的に変位させる相対駆動を行うことで、カメラのレンズ鏡筒等の光学機器や電子機器を駆動するためのものである。
【００１２】
図１は本実施形態の駆動装置１の正面図であり、図２はその断面図である。
図１及び図２に示すように、駆動装置１は、複数の保持部２ａが設けられたベース部（ベース部材）２と、保持部２ａに保持された駆動駒（第１部材）３と、駆動駒３に隣接して配置されたロータ（第２部材）４と、ベース部２に挿通された支持軸５と、を備えている。
【００１３】
ロータ４の外周面には、例えばカメラのレンズ鏡筒等を駆動するための歯車４ａが形成されている。ロータ４のベース部２側の被支持面４ｂは、複数の駆動駒３によって支持されている。ロータ４は、ベアリング４ｅを介して支持軸５によって軸支され、支持軸５を回転軸として回転自在に設けられている。すなわち、支持軸５はロータ４の回転軸Ｒ１に沿って設けられている。
【００１４】
ベース部２は導電性を有する弾性体であり、例えばステンレス鋼等の金属材料により中空円筒状に形成され、支持軸５が挿通されることで、支持軸５を囲むように設けられている。ベース部２の一方の端部は、例えば不図示のボルト等により取付部１０１ａに固定されている。ベース部２の取付部１０１ａに対向する面の中央部には凹部２ｂが形成されている。凹部２ｂには、支持軸５の基端に形成された拡径部５ａが嵌入されている。この状態でベース部２が取付部１０１ａに固定されることで、支持軸５がベース部２及び取付部１０１ａに固定されている。
【００１５】
ベース部２の他方の端部には凹状の保持部２ａが、ベース部２の周方向、すなわちロータ４の回転方向Ｒに複数設けられている。保持部２ａは駆動駒３を支持軸５に垂直でロータ４の回転方向Ｒに沿う方向（第１の方向）の両側から支持するとともに、駆動駒３を支持軸５に平行な方向（第２の方向）に駆動可能に保持している。
【００１６】
図２に示すように、ベース部２の側面２ｃは支持軸５と略平行に設けられている。側面２ｃの保持部２ａと取付部１０１ａ側の端部との間には、取付部１０１ａから保持部２ａへの振動の伝達を抑制する振動抑制部としての溝部２ｄが形成されている。すなわち、溝部２ｄは、支持軸５に略垂直でかつロータ４の回転方向Ｒに沿う方向（第１の方向）と交差するベース部２の側面２ｃに設けられている。溝部２ｄはベース部２の周方向に連続的に設けられ、保持部２ａと取付部１０１ａ側の端部との中間よりも取付部１０１ａ側の端部に近い位置に設けられている。
【００１７】
溝部２ｄの深さｄ１は例えばベース部２の半径ｒ１の４０％以上かつ８０％以下の範囲であることが望ましい。また、支持軸５に平行な方向（第２の方向）の溝部２ｄの幅ｗ１は、ベース部２の振動の振幅よりも大きく、後述する第１圧電素子６、第２圧電素子（第２の圧電素子）７、駆動駒３、及びベース部２からなる支持駆動部（構造部）１ａの共振振動の振幅よりも大きくなるように形成されている。また、溝部２ｄの幅ｗ１は、ベース部２の半径よりも短くすることが好ましい。
【００１８】
図２に示すように、ベース部２と支持軸５との間には、取付部１０１ａから保持部２ａへの振動を抑制するための間隙（振動抑制部）２ｅが設けられている。間隙２ｅは、支持軸５と平行な方向に、ベース部２の保持部２ａ側の端部から溝部２ｄの取付部１０１ａ側の縁と同様の位置まで設けられている。また、間隙２ｅの幅ｗ２は、溝部２ｄの幅ｗ１と同様に、ベース部２の振動の振幅よりも大きく、後述する支持駆動部１ａの共振振動の振幅よりも大きくなるように形成されている。
【００１９】
ベース部２の表面には、絶縁膜２ｇが成膜されて絶縁処理が施されている。絶縁膜２ｇは、例えばアクリル系やエポキシ系などの絶縁材料をベース部２の表面に塗布することにより成膜される。絶縁膜２ｇは、溝部２ｄよりも駆動駒３側のベース部２の側面、保持部２ａ、及び間隙２ｅ側の面に亘って連続的に成膜されている。ベース部２の絶縁膜２ｇが形成された部分の絶縁抵抗値は沿面測定値でおよそ数ＭΩとなっている。
【００２０】
絶縁膜２ｇは、例えば鉛筆硬度２Ｈ以上の高い硬度を有し、ダンパー成分が殆どないものが用いられる。絶縁膜２ｇの耐電圧は、例えば約２００ＶＤＣ以上であることが望ましい。絶縁膜２ｇの膜厚は、上記の耐電圧が維持できる範囲で可能な限り薄く形成する。膜厚は、例えば約１０μｍ以上２０μｍ以下であることが望ましい。また、膜厚のばらつきは、平均膜厚±５０％以下とし、望ましくは平均膜厚±３０％以下にする。
本実施形態の絶縁膜２ｇは、例えばシリカ系組成を含む絶縁材料により形成され、硬度は３Ｈ以上、膜厚は約１５μｍ±３μ程度、耐電圧は約２７０ＶＤＣ以上となっている。
【００２１】
図３は、支持軸５に平行でロータ４の回転方向Ｒに沿う断面における駆動駒３及び保持部２ａのロータ４の拡大断面図である。
図３に示すように、絶縁膜２ｇは、保持部２ａは駆動駒３を支持する支持面２ｆ，２ｆを含む保持部２ａの全体に均一な膜厚で形成されている。第１圧電素子６は、導電性を有する接着剤により駆動駒３の側面３ｃ及び絶縁膜２ｇが形成された保持部２ａの支持面２ｆに固定されている。
【００２２】
絶縁膜２ｇと第１圧電素子６とを接着する接着剤は、絶縁膜２ｇと同系の材料を含むものを用いることが望ましい。例えば、絶縁膜２ｇとしてアクリル系の材料を含むものを用いた場合にはアクリル系の材料を含む接着剤が用いられる。また、絶縁膜２ｇとしてエポキシ系の材料を含むものを用いた場合にはエポキシ系の材料を含む接着剤が用いられる。
本実施形態では、全ての第１圧電素子６とベース部２との間に絶縁膜２ｇが設けられている。また、第１圧電素子６は、絶縁膜２ｇと接する面に電極６ａが設けられている。
【００２３】
図４（ａ）は図１に示す駆動装置１の支持駆動部１ａの斜視図であり、図４（ｂ）はその平面図である。
図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、駆動駒３は、断面が山形の六角柱形状を有する先端部３ａと略直方体形状を有する基部３ｂと、を有している。先端部３ａは例えばステンレス鋼等により形成され、基部３ｂは例えば軽金属合金等により形成され、双方とも導電性を有している。基部３ｂは保持部２ａによって支持軸５と平行な方向に駆動可能に支持され、先端部３ａは保持部２ａから突出してロータ４を支持するようになっている。先端部３ａは、ロータ４に接触する上面の面積が基部３ｂ側の底面の面積よりも小さくなる先細状の形状に設けられている。
【００２４】
図４（ｂ）に示すように、駆動駒３の幅ｗ３方向（第１の方向）には、駆動駒３の基部３ｂを幅ｗ３方向の両側から挟みこむ一対の第１圧電素子６，６が二対設けられている。駆動駒３の幅ｗ３方向は、支持軸５に垂直でロータ４の回転方向Ｒに沿う方向であって、ベース部２の平面視における中心線ＣＬと略垂直な方向である。第１圧電素子６は保持部２ａの深さｄ２方向に沿って延びる細長い長方形状の形状に形成され、基部３ｂと保持部２ａとの間に挟持されている。これにより、第１圧電素子６はベース部２に設けられた溝部２ｄ（図１、図２参照）とロータ４との間に配置されている。
【００２５】
第１圧電素子６は、例えば導電性の接着剤により駆動駒３の基部３ｂと絶縁膜２ｇが成膜された保持部２ａとに接着されている。また、ベース部２の中心を通る中心線ＣＬと略平行な駆動駒３の奥行ｐ１方向に配置された２つの第１圧電素子６，６は互いに略平行になっている。各々の第１圧電素子６の形状及び寸法は全て略等しくなっている。
【００２６】
図４（ａ）に示すように、駆動駒３の基部３ｂと先端部３ａとの間には、一対の第２圧電素子７，７が互いに略平行に設けられている。第２圧電素子７は、駆動駒３の幅ｗ３方向と略平行に延びる細長い長方形状に形成されている。第２圧電素子７は、先端部３ａの底面と基部３ｂの上面との間に挟持され、例えば導電性の接着剤により先端部３ａの底面と基部３ｂの上面とに接着されている。各々の第２圧電素子７の形状及び寸法は全て略等しくなっている。
【００２７】
第１圧電素子６及び第２圧電素子７は例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）により形成され、その振動モードは厚み滑り振動である。すなわち、第１圧電素子６は、駆動駒３を、支持軸５と略平行な保持部２ａの深さｄ２方向に、ベース部２に対して相対的に駆動させる。第２圧電素子７は駆動駒３の先端部３ａを駆動駒３の幅ｗ３方向（第３の方向）に、基部３ｂ及びベース部２に対して相対的に駆動させる。すなわち、本実施形態では、第１圧電素子６が駆動駒３を挟み込む方向（第１の方向）と、第２圧電素子７が駆動駒３の先端部３ａを駆動させる方向（第３の方向）とが略等しくなっている。
【００２８】
これら複数の第１圧電素子６、第２圧電素子７、駆動駒３、及びベース部２により、ロータ４を支持し、かつロータ４を駆動駒３及びベース部２と相対的に駆動させる支持駆動部１ａが構成されている。
【００２９】
図４（ａ）に示すように、保持部２ａはベース部２の端部に設けられ、ベース部２に王冠状の凹凸を形成している。図４（ｂ）に示すように、保持部２ａはベース部２の周方向の略６０°毎に均等に形成されている。保持部２ａは平面視でベース部２の中心を通る中心線ＣＬと略平行に設けられた一対の支持面２ｆ，２ｆを備えている。支持面２ｆは、駆動駒３の基部３ｂを、ベース部２の中心線ＣＬと略垂直な保持部２ａの幅ｗ４方向（第１の方向）の両側から一対の第１圧電素子６，６を介して挟み込むように保持している。
【００３０】
本実施形態の駆動駒３は、先端部３ａと基部３ｂとの間に一対の第２圧電素子７，７を備え、基部３ｂの側面に第１圧電素子６，６を二対備えている。駆動装置１は、この駆動駒３及び二対の第１圧電素子６を３つ備えた駆動駒３の組を、第１組及び第２組の二組備えている。第１組の駆動駒３１と第２組の駆動駒３２とは同一の円周上に配置されている。また、各々の組の駆動駒３１，３２はロータ４の回転方向Ｒにそれぞれ均等に配置され、異なる組の駆動駒３１，３２が回転方向Ｒに交互に（順番に）配置されている。
【００３１】
図５（ａ）は第１圧電素子６の模式的な配線図であり、図５（ｂ）は第２圧電素子７の模式的な配線図である。
図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、本実施形態の駆動装置１は、第１圧電素子６の電極６ａ及び第２圧電素子７の電極（図示略）の各々に電圧を供給する電源部１０を備えている。電源部１０は、図４に示す第１組及び第２組のそれぞれの駆動駒３１，３２の先端部３１ａ，３２ａが、順次、図１及び図２に示すロータ４との接触、ロータ４の回転方向Ｒへの送り、ロータ４からの離間、ロータ４の回転方向Ｒと逆方向の戻り、を繰り返すように第１圧電素子６及び第２圧電素子７に電圧を供給する。
【００３２】
図５（ａ）に示すように、第１組の駆動駒３１の各々が備える第１圧電素子６１の第１電極６１ａは、第１配線１１を介して電源部１０の第１端子Ｔ１に接続されている。第２組の駆動駒３２の各々が備える第１圧電素子６２の第１電極６２ａは、第２配線１２を介して電源部１０の第２端子Ｔ２に接続されている。
図５（ｂ）に示すように、第１組の駆動駒３１の各々が備える第２圧電素子７１の電極は、駆動駒３１の先端部３１ａに接続された第３配線１３を介して電源部１０の第３端子Ｔ３に接続されている。第２組の駆動駒３２の各々が備える第２圧電素子７２の電極は、駆動駒３２の先端部３２ａに接続された第４配線１４を介して電源部１０の第４端子Ｔ４に接続されている。
【００３３】
また、図５(ａ)及び図５（ｂ）において図示は省略するが、駆動駒３１，３２の基部３１ｂ，３２ｂは接地されている。
以上の構成により、第１圧電素子６の電極６ａと駆動駒３の基部３ｂとの間には第１圧電素子６を駆動させる所定の駆動電圧が印加される。また、駆動駒３の先端部３ａと基部３ｂとの間には、第２圧電素子７を駆動させる所定の駆動電圧が印加される。
【００３４】
図６は、電源部１０が各端子Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４に発生させる電圧のタイミングチャートの一例である。
図６に示すように、電源部１０は第１端子Ｔ１にPhase１〜Phase２の間は−１．０Ｖの電圧を発生させ、Phase３〜Phase７の５Phaseは１．０Ｖの電圧を発生させ、Phase８〜Phase１０の３Phaseは−１．０Ｖの電圧を発生させる。以降のPhaseでは、１．０Ｖの電圧を５Phase発生させ、−１．０Ｖの電圧を３Phase発生させることを繰り返す。すなわち、電源部１０は、第１端子に８Phaseを一周期とする電圧を発生させる。
【００３５】
電源部１０は、第２端子Ｔ２に、第１端子Ｔ１に発生させる電圧と１８０°の位相差を有し、第１端子Ｔ１に発生させる電圧と同様の８Phaseを一周期とする電圧を発生させる。すなわち、第１端子に発生する電圧と、第２端子に発生する電圧とは、半周期分の４Phaseの位相差を有している。
【００３６】
電源部１０は、Phase１において第３端子Ｔ３に発生させる電圧を０Ｖに維持し、Phase２において−３．０Ｖの電圧を発生させ、Phase３〜Phase８までの各Phaseにいおいて電圧を１．０Ｖずつ増加させる。以降のPhaseでは、このPhase１〜Phase８の電圧の発生パターンを繰り返す。すなわち、電源部１０は、第３端子Ｔ３に８Phaseを一周期とする電圧を発生させる。
【００３７】
電源部１０は、第４端子Ｔ４に、第３端子Ｔ３に発生させる電圧と１８０°の位相差を有し、第３端子Ｔ３に発生させる電圧と同様の８Phaseを一周期とする電圧を発生させる。すなわち、第３端子に発生する電圧と、第４端子に発生する電圧とは、半周期分の４Phaseの位相差を有している。
【００３８】
本実施形態では、電源部１０が第１圧電素子６及び第２圧電素子７に供給する電圧の周波数は、第１圧電素子６、第２圧電素子７、駆動駒３、及びベース部２からなる支持駆動部（構造部）１ａの共振振動の振動数と略等しくなっている。
【００３９】
次に、本実施形態の駆動装置１の作用について、図７〜図１０を用いて説明する。
図７〜図９は、第１組と第２組の駆動駒３１，３２の動作とロータ４の動作を示す拡大正面図である。
図１０は、第１組及び第２組の駆動駒３１，３２の先端部３１ａ，３２ａの各軸方向の変位と時間ｔの関係を示すグラフである。図１０（ａ）及び図１０（ｂ）において、Ｙ軸方向におけるロータ４との接触位置ｙ１を破線で表している。
【００４０】
図７（ａ）〜図９（ａ）では、ロータ４の回転方向Ｒ（図４（ｂ）参照）に沿う第１組の駆動駒３１の幅ｗ３１方向（第１の方向）をＸ１方向、支持軸５（図２参照）に平行な方向（第２の方向）をＹ方向とする直交座標系を用いて説明する。図７（ｂ）〜図９（ｂ）では、ロータ４の回転方向Ｒに沿う第２組の駆動駒３２の幅ｗ３２方向（第１の方向）をＸ２方向、支持軸５に平行な方向（第２の方向）をＹ方向とする直交座標系を用いて説明する。
【００４１】
（Phase０）
電源部１０は、図６に示すように、Phase０において、各端子Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３，Ｔ４に電圧を発生させず（０Ｖ）、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示す第１圧電素子６及び第２圧電素子７に０Ｖの電圧を供給している（電圧を供給していない）状態である。
図７（ａ）及び図７（ｂ）に示すように、Phase０において、第１組の駆動駒３１と第２組の駆動駒３２はそれぞれ先端部３１ａ，３２ａの上面がロータ４に接した状態で静止している。ロータ４は駆動駒３１，３２の先端部３１ａ，３２ａに支持された状態で静止している。
【００４２】
（Phase１）
電源部１０は、図６に示すように、Phase１において、第１端子Ｔ１に−１．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ａ）に示す第１組の駆動駒３１の第１圧電素子６１の電極部６１ａに第１配線１１を介して電圧を供給する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase１において、第３端子Ｔ３の電圧を０Ｖに維持し、図５（ｂ）に示す第１組の駆動駒３１の第２圧電素子７１に第３配線１３を介して０Ｖの電圧を供給する。
【００４３】
すると、図７（ａ）に示すように、Phase１において、第１組の駆動駒３１を駆動する第１圧電素子６１が厚み滑り変形し、駆動駒３１の基部３１ｂを保持部２ａの支持面２ｆに対してＹ方向のベース部２側（Ｙ軸負方向側）へ移動させる（図１０（ａ）、Phase１参照）。また、図７（ａ）に示すように、Phase１において、第２圧電素子７１は変形せず、先端部３１ａはＸ１方向へは移動しない（図１０（ｃ）、Phase１参照）。これにより、駆動駒３１の先端部３１ａがＹ軸負方向側へ移動し、ロータ４から離間する。
【００４４】
電源部１０は、図６に示すように、Phase１において、第２端子Ｔ２に１．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ａ）に示す第２組の駆動駒３２の第１圧電素子６２の電極部６２ａに第２配線１２を介して電圧を供給する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase１において、第４端子Ｔ４の電圧を０Ｖに維持し、図５（ｂ）に示す第２組の駆動駒３２の第２圧電素子７２には第４配線を介して０Ｖの電圧を供給する。
【００４５】
すると、図７（ｂ）に示すように、Phase１において、第２組の駆動駒３２を駆動する第１圧電素子６２が厚み滑り変形し、駆動駒３２の基部３２ｂを保持部２ａの支持面２ｆに対してＹ方向のロータ４側（Ｙ軸正方向側）へ移動させる（図１０（ｂ）、Phase１参照）。また、図５（ｂ）に示すように、Phase１において、第２圧電素子７２は変形せず、先端部３２ａはＸ２方向へは移動しない（図１０（ｄ）、Phase１参照）。これにより、駆動駒３２がＹ軸正方向側へ移動して、先端部３２ａがロータ４をＹ軸正方向側へ押し上げる。
【００４６】
すなわち、Phase１においては、図７（ａ）に示すように、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａはＹ軸負方向側へ移動してロータ４から離間する。同時に、図７（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａはロータ４に当接してロータ４を支持しつつ、ロータ４をＹ軸正方向側へ押し上げる。
【００４７】
（Phase２）
電源部１０は、図６に示すように、Phase２において、第１端子Ｔ１の電圧を−１．０Ｖに維持し、図５（ａ）に示す第１組の駆動駒３１の第１圧電素子６１の電極部６１ａに第１配線１１を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase２において、第３端子Ｔ３に−３．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ｂ）に示す第１組の駆動駒３１の第２圧電素子７１に第３配線１３を介して電圧を供給する。
【００４８】
すると、図７（ａ）に示すように、Phase２において、第１組の駆動駒３１をＹ方向に駆動する第１圧電素子６１の変形が維持されて先端部３１ａがロータ４から離間した状態が維持される（図１０（ａ）、Phase２参照）。この状態で、図７（ａ）に示すように、Phase２において、第２圧電素子７１が厚み滑り変形し、先端部３１ａが基部３１ｂ及びベース部２に対してＸ１軸負方向側へ移動する（図１０（ｃ）参照）。このときの先端部３１ａの移動量は第２圧電素子７１に供給される電圧の絶対値に比例する。
【００４９】
電源部１０は、図６に示すように、Phase２において、第２端子Ｔ２の電圧を１．０Ｖに維持し、図５（ａ）に示す第２組の駆動駒３２の第１圧電素子６２の電極部６２ａに第２配線１２を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase２において、第４端子Ｔ４に１．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ｂ）に示す第２組の駆動駒３２の第２圧電素子７２に第４配線１４を介して電圧を供給する。
【００５０】
すると、図７（ｂ）に示すように、Phase２において、第２組の駆動駒３２をＹ方向に駆動する第１圧電素子６２の変形が維持されて先端部３２ａがロータ４に接触した状態が維持される（図１０（ｂ）、Phase２参照）。この状態で、図７（ｂ）に示すように、Phase２において、第２圧電素子７２が厚み滑り変形し、先端部３２ａが基部３２ｂ及びベース部２に対してＸ２軸正方向側へ移動する（図１０（ｄ）、Phase２参照）。このときの先端部３２ａの移動量は電圧の絶対値に比例するため、第１組の先端部３１ａのＸ１軸負方向側への移動量と比較して小さくなる。
【００５１】
すなわち、Phase２においては、図７（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａのＸ２軸正方向側への移動により、先端部３２ａの上面からロータ４の下面（非接触面４ｂ）に摩擦力が作用する。ここで、第２組の駆動駒３２は図４に示すようにロータ４の回転方向Ｒに沿ってベース部２の周方向に配置され、先端部３２ａはロータ４の回転方向Ｒに沿う駆動駒３２の幅ｗ３２方向（Ｘ２方向）に変位する。そのため、ロータ４は駆動駒３２の先端部３２ａによって回転方向Ｒに駆動され、図１及び図２に示す支持軸５を中心とする回転を開始する。
【００５２】
（Phase３）
電源部１０は、図６に示すように、Phase３において、第１端子Ｔ１に正負が逆転した１．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ａ）に示す第１組の駆動駒３１の第１圧電素子６１の電極部６１ａに第１配線１１を介して電圧を供給する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase３において、第３端子Ｔ３に−２．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ｂ）に示す第１組の駆動駒３１の第２圧電素子７１に第３配線１３を介して電圧を供給する。
【００５３】
すると、図７（ａ）に示すように、Phase３において、第１組の駆動駒３１を駆動する第１圧電素子６１が逆方向に厚み滑り変形し、駆動駒３１の基部３１ｂをＹ軸正方向側へ移動させる（図１０（ａ）、Phase３参照）。同時に、図７（ａ）に示すように、Phase３において、第２圧電素子７１のＸ１軸負方向側への変形量が減少し、先端部３１ａが基部３１ｂ及びベース部２に対してＸ１軸正方向側へ移動する（図１０（ｃ）、Phase３参照）。このときの移動量はPhase３で新たに供給された−２．０ＶとPhase２で供給されていた−３．０Ｖとの電圧の差に比例する。
【００５４】
電源部１０は、図６に示すように、Phase３において、第２端子Ｔ２の電圧を維持し、図５（ａ）に示す第２組の駆動駒３２の第１圧電素子６２の電極部６２ａに第２配線１２を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase３において、第４端子Ｔ４に２．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ｂ）に示す第２組の駆動駒３２の第２圧電素子７２に第４配線１４を介して電圧を供給する。
【００５５】
すると、図７（ｂ）に示すように、Phase３において、第２組の駆動駒３２を駆動する第１圧電素子６２の変形が維持されて先端部３２ａがロータ４に接触した状態が維持される（図１０（ｂ）、Phase３参照）。この状態で、図７（ｂ）に示すように、Phase３において、第２圧電素子７２が厚み滑り変形し、先端部３２ａが基部３２ｂ及びベース部２に対してＸ２軸正方向側へ移動する（図１０（ｄ）、Phase３参照）。このときの移動量はPhase３で新たに供給された２．０ＶとPhase２で供給されていた１．０Ｖとの電圧の差の絶対値に比例する。
【００５６】
すなわち、Phase３においては、図７（ａ）に示すように、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａは、ロータ４の回転方向Ｒに沿うＸ１軸正方向側へ移動しながらＹ軸正方向側へ移動してロータ４に接近して当接する。同時に、図７（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａはロータ４に当接してロータ４を支持しつつ、ロータ４を回転方向Ｒへ駆動する。
【００５７】
（Phase４）
電源部１０は、図６に示すように、Phase４において、第１端子Ｔ１の電圧を１．０Ｖに維持し、図５（ａ）に示す第１組の駆動駒３１の第１圧電素子６１の電極部６１ａに第１配線１１を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase４において、第３端子Ｔ３に−１．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ｂ）に示す第１組の駆動駒３１の第２圧電素子７１に第３配線１３を介して電圧を供給する。
【００５８】
すると、図８（ａ）に示すように、Phase４において、第１組の駆動駒３１をＹ軸正方向側に駆動する第１圧電素子６１の変形が維持されて先端部３１ａがロータ４に当接した状態が維持される（図１０（ａ）、Phase４参照）。同時に、図８（ａ）に示すように、Phase４において、第２圧電素子７１のＸ１軸負方向側への変形量が減少し、先端部３１ａが基部３１ｂ及びベース部２に対してＸ１軸正方向側へ移動する（図１０（ｃ）、Phase４参照）。このときの移動量はPhase４で新たに供給された−１．０ＶとPhase３で供給されていた−２．０Ｖとの電圧の差の絶対値に比例する。
【００５９】
電源部１０は、図６に示すように、Phase４において、第２端子Ｔ２に正負が逆転した−１．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ａ）に示す第２組の駆動駒３２の第１圧電素子６２の電極部６２ａに第２配線１２を介して電圧を供給する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase４において、第４端子Ｔ４に３．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ｂ）に示す第２組の駆動駒３２の第２圧電素子７２に第４配線１４を介して電圧を供給する。
【００６０】
すると、図８（ｂ）に示すように、Phase４において、第２組の駆動駒３２を駆動する第１圧電素子６２が逆方向に厚み滑り変形し、駆動駒３２の基部３２ｂをＹ軸負方向側へ移動させる（図１０（ｂ）、Phase４参照）。同時に、図８（ｂ）に示すように、Phase４において、第２圧電素子７２のＸ２軸正方向側への変形量が増加し、先端部３２ａが基部３２ｂ及びベース部２に対してＸ２軸正方向側へ移動する（図１０（ｄ）、Phase４参照）。このときの移動量はPhase４で新たに供給された３．０ＶとPhase２で供給されていた２．０Ｖとの電圧の差の絶対値に比例する。
【００６１】
すなわち、Phase４においては、図８（ａ）に示すように、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａはロータ４に当接した状態でロータ４の回転方向Ｒに沿うＸ１軸正方向側に移動し、ロータ４を支持して回転方向Ｒへ駆動させる。同時に、図８（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａはロータ４の回転方向Ｒへ沿うＸ２軸正方向側へ移動しながら、Ｙ軸負方向側へ移動してロータ４から離間する。これにより、第１組及び第２組の駆動駒３１，３２の先端部３１ａ，３２ａによってロータ４を回転方向Ｒに駆動させつつ、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａから第１組の駆動駒３１の先端部３１ａへロータ４が受け渡される。
【００６２】
このとき、Phase４において、双方の駆動駒３１，３２が、極めて短時間、ロータ４から離間する場合がある。このような場合であっても、ロータ４はその慣性によりＹ方向の変位を殆どすることなく、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａによって支持されていた位置に留まる。そのため、ロータ４はＹ方向の略一定の位置が維持され、回転方向Ｒに駆動された状態で、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａによりＹ方向に支持され、回転方向Ｒへ駆動される。これにより、ロータ４はＹ方向の略一定の位置で支持軸５を中心として回転を継続する。
【００６３】
（Phase５）
電源部１０は、図６に示すように、Phase５において、第１端子Ｔ１の電圧を１．０Ｖに維持し、図５（ａ）に示す第１組の駆動駒３１の第１圧電素子６１の電極部６１ａに第１配線１１を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase５において、第３端子Ｔ３に発生させる電圧を０Ｖにし、図５（ｂ）に示す第１組の駆動駒３１の第２圧電素子７１に第３配線１３を介して供給する電圧を０Ｖにする。
【００６４】
すると、図８（ａ）に示すように、Phase５において、第１組の駆動駒３１をＹ方向に駆動する第１圧電素子６１の変形が維持されて、先端部３１ａがロータ４に接触した状態が維持される（図１０（ａ）、Phase５参照）。この状態で、図８（ａ）に示すように、Phase５において、第２圧電素子７１が元の形状に戻り、先端部３１ａが基部３１ｂ及びベース部２に対してＸ１軸正方向側へ移動する（図１０（ｃ）、Phase５参照）。このときの先端部３１ａの移動量はPhase４において第２圧電素子７１に供給されていた電圧の絶対値に比例する。
【００６５】
電源部１０は、図６に示すように、Phase５において、第２端子Ｔ２の電圧を−１．０Ｖに維持し、図５（ａ）に示す第２組の駆動駒３２の第１圧電素子６２の電極部６２ａに第２配線１２を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase５において、第４端子Ｔ４に発生させる電圧を０Ｖにし、図５（ｂ）に示す第２組の駆動駒３２の第２圧電素子７２に第４配線１４を介して供給する電圧を０Ｖにする。
【００６６】
すると、図８（ｂ）に示すように、Phase５において、第２組の駆動駒３２をＹ方向に駆動する第１圧電素子６２の変形が維持されて、先端部３２ａがロータ４から離間した状態が維持される（図１０（ｂ）Phase５参照）。同時に、図８（ｂ）に示すように、Phase５において、第２圧電素子７２が元の形状に戻り、先端部３２ａが基部３２ｂ及びベース部２に対してＸ２軸負方向側へ移動する（図１０（ｄ）、Phase５参照）。このときの先端部３２ａの移動量はPhase４において第２圧電素子７２に供給されていた電圧の絶対値に比例する。
【００６７】
すなわち、Phase５においては、図８（ａ）に示すように、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａはロータ４に当接した状態を維持してロータ４を支持しつつ、Ｘ１軸正方向側に移動してロータ４を回転方向Ｒへ駆動させる。同時に、図８（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａはＹ軸負方向側へ移動してロータ４から離間した状態を維持しつつ、基部３２ｂ及びベース部２に対してロータ４の回転方向Ｒと逆のＸ２軸負方向側へ移動する。
【００６８】
（Phase６）
電源部１０は、図６に示すように、Phase６において、第１端子Ｔ１の電圧を１．０Ｖに維持し、図５（ａ）に示す第１組の駆動駒３１の第１圧電素子６１の電極部６１ａに第１配線１１を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase６において、第３端子Ｔ３に１．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ｂ）に示す第１組の駆動駒３１の第２圧電素子７１に第３配線１３を介して電圧を供給する。
【００６９】
すると、図８（ａ）に示すように、Phase６において、第１組の駆動駒３１をＹ方向に駆動する第１圧電素子６１の変形が維持されて、先端部３１ａがロータ４に接触した状態が維持される（図１０（ａ）、Phase６参照）。この状態で、図８（ａ）に示すように、Phase６において、第２圧電素子７１が厚み滑り変形し、先端部３１ａが基部３１ｂ及びベース部２に対してＸ１軸正方向側へ移動する（図１０（ｃ）、Phase６参照）。このときの移動量はPhase６で新たに供給された電圧の絶対値に比例する。
【００７０】
電源部１０は、図６に示すように、Phase６において、第２端子Ｔ２の電圧を−１．０Ｖに維持し、図５（ａ）に示す第２組の駆動駒３２の第１圧電素子６２の電極部６２ａに第２配線１２を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase６において、第４端子Ｔ４に−３．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ｂ）に示す第２組の駆動駒３２の第２圧電素子７２に第４配線１４を介して電圧を供給する。
【００７１】
すると、図８（ｂ）に示すように、Phase６において、第２組の駆動駒３２をＹ方向に駆動する第１圧電素子６２の変形が維持されて、先端部３２ａがロータ４から離間した状態が維持される（図１０（ｂ）、Phase６参照）。この状態で、図８（ｂ）に示すように、Phase６において、第２圧電素子７２が厚み滑り変形し、先端部３２ａが基部３２ｂ及びベース部２に対してＸ２軸負方向側へ移動する（図１０（ｄ）、Phase６参照）。このときの先端部３２ａの移動量は第２圧電素子７２に供給される電圧の絶対値に比例する。
【００７２】
すなわち、Phase６においては、図８（ａ）に示すように、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａはロータ４に当接した状態を維持してロータ４を支持しつつ、Ｘ１軸正方向側に移動してロータ４を回転方向Ｒへ駆動する。同時に、図８（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａは、ロータ４から離間した状態を維持しつつ、基部３２ｂ及びベース部２に対してロータ４の回転方向Ｒと逆のＸ２軸負方向側へさらに移動する。
【００７３】
（Phase７）
電源部１０は、図６に示すように、Phase７において、第１端子Ｔ１の電圧を１．０Ｖに維持し、図５（ａ）に示す第１組の駆動駒３１の第１圧電素子６１の電極部６１ａに第１配線１１を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase７において、第３端子Ｔ３に２．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ｂ）に示す第１組の駆動駒３１の第２圧電素子７１に第３配線１３を介して電圧を供給する。
【００７４】
すると、図８（ａ）に示すように、Phase７において、第１組の駆動駒３１を駆動する第１圧電素子６１の変形が維持されて、先端部３１ａがロータ４に接触した状態が維持される（図１０（ａ）、Phase７参照）。この状態で、図８（ａ）に示すように、Phase７において、第２圧電素子７１が厚み滑り変形し、先端部３１ａが基部３１ｂ及びベース部２に対してＸ１軸正方向側へ移動する（図１０（ｃ）、Phase７参照）。このときの移動量はPhase７で新たに供給された２．０ＶとPhase６で供給されていた１．０Ｖとの電圧の差の絶対値に比例する。
【００７５】
電源部１０は、図６に示すように、Phase７において、第２端子Ｔ２に正負が逆転した１．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ａ）に示す第２組の駆動駒３２の第１圧電素子６２の電極部６２ａに第２配線１２を介して電圧を供給する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase７において、第４端子Ｔ４に−２．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ｂ）に示す第２組の駆動駒３２の第２圧電素子７２に第４配線１４を介して電圧を供給する。
【００７６】
すると、図８（ｂ）に示すように、Phase７において、第２組の駆動駒３２を駆動する第１圧電素子６２が逆方向に厚み滑り変形し、駆動駒３２の基部３２ｂをＹ軸正方向側へ移動させる（図１０（ｂ）、Phase７参照）。同時に、図８（ｂ）に示すように、Phase７において、第２圧電素子７２のＸ２軸負方向側への変形量が減少し、先端部３２ａが基部３２ｂ及びベース部２に対してＸ２軸正方向側へ移動する（図１０（ｄ）、Phase７参照）。このときの移動量はPhase７で新たに供給された−２．０ＶとPhase６で供給されていた−３．０Ｖとの電圧の差の絶対値に比例する。
【００７７】
すなわち、Phase７においては、図８（ａ）に示すように、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａはロータ４に当接した状態を維持してロータ４を支持しつつ、ロータ４を回転方向Ｒへ駆動する。同時に、図８（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａは、ロータ４の回転方向Ｒに沿うＸ２軸正方向側へ移動しながらＹ軸正方向側へ移動してロータ４に接近して当接する。
【００７８】
（Phase８）
電源部１０は、図６に示すように、Phase８において、第１端子Ｔ１に正負が逆転した−１．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ａ）に示す第１組の駆動駒３１の第１圧電素子６１の電極部６１ａに第１配線１１を介して電圧を供給する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase８において、第３端子Ｔ３に３．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ｂ）に示す第１組の駆動駒３１の第２圧電素子７１に第３配線１３を介して電圧を供給する。
【００７９】
すると、図９（ａ）に示すように、Phase８において、第１組の駆動駒３１を駆動する第１圧電素子６１が逆方向に厚み滑り変形し、駆動駒３の基部３ｂをＹ軸負方向側へ移動させる（図１０（ａ）、Phase８参照）。同時に、図９（ａ）に示すように、Phase８において、第２圧電素子７１のＸ１軸正方向側への変形量が増加し、先端部３１ａが基部３１ｂ及びベース部２に対してＸ１軸正方向側へ移動する（図１０（ｃ）、Phase８参照）。このときの移動量はPhase８で新たに供給された３．０ＶとPhase７で供給されていた２．０Ｖとの電圧の差の絶対値に比例する。
【００８０】
電源部１０は、図６に示すように、Phase８において、第２端子Ｔ２の電圧を１．０Ｖに維持し、図５（ａ）に示す第２組の駆動駒３２の第１圧電素子６２の電極部６２ａに第２配線１２を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase８において、第４端子Ｔ４に−１．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ｂ）に示す第２組の駆動駒３２の第２圧電素子７２に第４配線１４を介して電圧を供給する。
【００８１】
すると、図９（ｂ）に示すように、Phase８において、第２組の駆動駒３２をＹ方向に駆動する第１圧電素子６２の変形が維持されて、先端部３２ａがロータ４に当接した状態が維持される（図１０（ｂ）、Phase８参照）。同時に、図９（ｂ）に示すように、Phase８において、第２圧電素子７２のＸ２軸負方向側への変形量が減少し、先端部３２ａが基部３２ｂ及びベース部２に対してＸ２軸正方向側へ移動する（図１０（ｄ）、Phase８参照）。このときの移動量はPhase８で新たに供給された−１．０ＶとPhase７で供給されていた−２．０Ｖとの電圧の差の絶対値に比例する。
【００８２】
すなわち、Phase８においては、図９（ａ）に示すように、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａはロータ４の回転方向Ｒへ沿うＸ１軸正方向側へ移動しながら、Ｙ軸負方向側へ移動してロータ４から離間する。同時に、図９（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａはロータ４に当接した状態で、ロータ４の回転方向Ｒに沿うＸ２軸正方向側に移動し、ロータ４を支持して回転方向Ｒへ駆動させる。これにより、第１組及び第２組の駆動駒３１，３２の先端部３１ａ，３２ａによってロータ４を回転方向Ｒに駆動させつつ、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａから第２組の駆動駒３２の先端部３２ａへロータ４が受け渡される。
【００８３】
このとき、Phase８において、双方の駆動駒３１，３２が、極めて短時間、ロータ４から離間する場合がある。このような場合であっても、ロータ４はその慣性によりＹ方向の変位を殆どすることなく、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａによって支持されていた位置に留まる。そのため、ロータ４はＹ方向の略一定の位置が維持され、回転方向Ｒに駆動された状態で、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａによりＹ方向に支持され、回転方向Ｒへ駆動される。これにより、ロータ４はＹ方向の略一定の位置で支持軸５を中心として回転を継続する。
【００８４】
（Phase９）
電源部１０は、図６に示すように、Phase９において、第１端子Ｔ１の電圧を−１．０Ｖに維持し、図５（ａ）に示す第１組の駆動駒３１の第１圧電素子６１の電極部６１ａに第１配線１１を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase９において、第３端子Ｔ３に発生させる電圧を０Ｖにし、図５（ｂ）に示す第１組の駆動駒３１の第２圧電素子７１に第３配線１３を介して供給する電圧を０Ｖにする。
【００８５】
すると、図９（ａ）に示すように、Phase９において、第１組の駆動駒３１をＹ方向に駆動する第１圧電素子６１の変形が維持され、先端部３１ａがロータ４から離間した状態が維持される（図１０（ａ）、Phase９参照）。同時に図９（ａ）に示すように、Phase９において、第２圧電素子７１が元の形状に戻り、先端部３１ａが基部３１ｂ及びベース部２に対してＸ１軸負方向側へ移動する（図１０（ｃ）、Phase９参照）。このときの先端部３１ａの移動量はPhase８において第２圧電素子７に供給されていた電圧の絶対値に比例する。
【００８６】
電源部１０は、図６に示すように、Phase９において、第２端子Ｔ２の電圧を１．０Ｖに維持し、図５（ａ）に示す第２組の駆動駒３２の第１圧電素子６２の電極部６２ａに第２配線１２を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase９において、第４端子Ｔ４に発生させる電圧を０Ｖにし、図５（ｂ）に示す第２組の駆動駒３２の第２圧電素子７２に第４配線１４を介して供給する電圧を０Ｖにする。
【００８７】
すると、図９（ｂ）に示すように、Phase９において、第２組の駆動駒３２をＹ方向に駆動する第１圧電素子６２の変形が維持されて、先端部３２ａがロータ４に接触した状態が維持される（図１０（ｂ）、Phase９参照）。この状態で、図９（ｂ）に示すように、Phase９において、第２圧電素子７２が元の形状に戻り、先端部３２ａが基部３２ｂ及びベース部２に対してＸ２軸正方向側へ移動する（図１０（ｄ）、Phase９参照）。このときの先端部３２ａの移動量はPhase８において第２圧電素子７２に供給されていた電圧の絶対値に比例する。
【００８８】
すなわち、Phase９においては、図９（ａ）に示すように、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａはＹ軸負方向側へ移動してロータ４から離間した状態を維持しつつ、ロータ４の回転方向Ｒと逆のＸ１軸負方向側へ移動する。同時に、図９（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａはロータ４に当接した状態を維持してロータ４を支持しつつ、ロータ４の回転方向Ｒに沿うＸ１軸正方向側に移動してロータ４を回転方向Ｒへ駆動させる。
【００８９】
（Phase１０）
電源部１０は、図６に示すように、Phase１０において、第１端子Ｔ１の電圧を−１．０Ｖに維持し、図５（ａ）に示す第１組の駆動駒３１の第１圧電素子６１の電極部６１ａに第１配線１１を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase１０において、第３端子Ｔ３に−３．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ｂ）に示す第１組の駆動駒３１の第２圧電素子７１に第３配線１３を介して電圧を供給する。
【００９０】
すると、図９（ａ）に示すように、Phase１０において、第１組の駆動駒３１をＹ方向に駆動する第１圧電素子６１の変形が維持されて、先端部３１ａがロータ４から離間した状態が維持される（図１０（ａ）、Phase１０参照）。この状態で、図９（ａ）に示すように、Phase１０において、第２圧電素子７１が厚み滑り変形し、先端部３１ａが基部３１ｂ及びベース部２に対してＸ１軸負方向側へ移動する（図１０（ｃ）、Phase１０参照）。このときの先端部３１ａの移動量は第２圧電素子７１に供給される電圧の絶対値に比例する。
【００９１】
電源部１０は、図６に示すように、Phase１０において、第２端子Ｔ２の電圧を１．０Ｖに維持し、図５（ａ）に示す第２組の駆動駒３２の第１圧電素子６２の電極部６２ａに第２配線１２を介して供給する電圧を維持する。また、電源部１０は、図６に示すように、Phase１０において、第４端子Ｔ４に１．０Ｖの電圧を発生させ、図５（ｂ）に示す第２組の駆動駒３２の第２圧電素子７２に第４配線１４を介して電圧を供給する。
【００９２】
すると、図９（ｂ）に示すように、Phase１０において、第２組の駆動駒３２をＹ方向に駆動する第１圧電素子６２の変形が維持されて、先端部３２ａがロータ４に接触した状態が維持される（図１０（ｂ）、Phase１０参照）。この状態で、図９（ｂ）に示すように、Phase１０において、第２圧電素子７２が厚み滑り変形し、先端部３２ａが基部３２ｂ及びベース部２に対してＸ２軸正方向側へ移動する（図１０（ｄ）、Phase１０参照）。このときの移動量はPhase１０で新たに供給された電圧の絶対値に比例する。
【００９３】
すなわち、Phase１０においては、図９（ａ）に示すように、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａは、ロータ４から離間した状態を維持しつつ、基部３１ｂ及びベース部２に対してＸ１軸負方向側へさらに移動する。同時に、図９（ｂ）に示すように、第２組の駆動駒３２の先端部３２ａはロータ４に当接した状態を維持してロータ４を支持しつつ、ロータ４の回転方向Ｒに沿うＸ２軸正方向側に移動してロータ４を回転方向Ｒへ駆動する。
【００９４】
Phase１１以降は、上記のPhase３からPhase１０までの動作と同様の動作が繰り返し行われ、ロータ４の回転が継続される。これにより、第１組の駆動駒３１の先端部３１ａと先端部３ａと第２組の駆動駒３２の先端部３２ａとによって交互に（順番に）ロータ４のＹ軸方向の支持及び回転方向Ｒの駆動がされ、ロータ４が支持軸５回りの回転を継続する。
【００９５】
本実施形態の駆動装置１は、各々の駆動駒３を支持軸５の平行な方向（第２の方向）へ駆動させる第１圧電素子６と、駆動駒３の先端部３ａをロータ４の回転方向Ｒに沿う駆動駒３の幅ｗ３方向（第１の方向）へ駆動させる第２圧電素子７とが別個に独立して設けられている。そのため、それぞれの方向の振動を独立した振動として取り出すことができる。
【００９６】
したがって、駆動駒３によりロータ４を回転させ、ロータ４と駆動駒３とを相対駆動させる際に、従来よりもロータ４を安定して回転させることができる。また、基部３ｂを挟み込む第１圧電素子６が互いに異なる方向に基部３ｂを駆動させる場合と比較して損失が発生し難く、エネルギー効率を向上させることができ、駆動装置１の出力を増大させることができる。
【００９７】
ここで、ベース部２は導電性を有しているため、第１圧電素子６を直接、ベース部２の表面に接合した場合には、ベース部２が第１圧電素子６の共通電極となる。そのため、第１組の駆動駒３１を駆動する第１圧電素子６１の電極６１ａと、第２組の駆動駒３２を駆動する第１圧電素子６２の電極６２ａとが共通電位になってしまう。すると、各組の第１圧電素子６１，６２に個別に異なる電圧を印加することが困難になり、駆動駒３１，３２を個別に駆動することが困難になる。
【００９８】
しかし、本実施形態では、図３に示すように、全ての第１圧電素子６とベース部材２との間に絶縁膜２ｇが設けられている。そのため、各組の駆動駒３１，３２を駆動する第１圧電素子６１，６２に個別に異なる電圧を容易に印加することができる。したがって、各組の駆動駒３１，３２を個別に駆動させ、ロータ４を安定的かつ連続的に回転させることができる。
【００９９】
また、図３に示すように、第１圧電素子６はベース部２の表面に設けられた絶縁膜２ｇと接する側の面に電極６ａが設けられ、導電性を有する駆動駒３の基部３ｂは接地されている。そのため、第１組及び第２組の駆動駒３１，３２それぞれの第１圧電素子６１，６２の電極６１ａ，６２ａに、図５に示す第１配線１１及び第２配線１２をそれぞれ接続することで、第１圧電素子６１，６２の電極６１ａ，６２ａと駆動駒３１，３２の基部３１ｂ，３２ｂとの間に電圧を印加することができる。
【０１００】
ここで、絶縁膜２ｇの膜厚が例えば２０μｍよりも厚くなると、通常数μｍ程度の振幅で用いられる第１圧電素子６の振動が絶縁膜２ｇによって減衰し、ベース部２へ伝播し難くなる。また、膜厚のばらつきが例えば平均膜厚±５０％よりも大きい場合、硬度が例えば鉛筆硬度で２Ｈよりも低い場合、高密度である場合などには、振動減衰効果が大きくなり、ベース部２へ振動が伝播し難くなる。
【０１０１】
しかし、本実施形態の絶縁膜２ｇの膜厚は、１０μｍ以上２０μｍ以下となっている。加えて、絶縁膜２ｇは、膜厚のばらつきが平均膜厚±５０％以下となっている。このように、絶縁膜２ｇの膜厚を所望の耐電圧が維持できる範囲で可能な限り薄く形成することで、絶縁膜２ｇの振動減衰効果を最小にすることができる。よって、第１圧電素子６の振動を絶縁膜２ｇを介して弾性体であるベース部２に確実に伝播させることができる。
【０１０２】
また、絶縁膜２ｇの硬度は鉛筆硬度で２Ｈ以上を有している。
このように、絶縁膜２ｇの硬度を所定値以上の硬度にすることで、絶縁膜２ｇによって支持駆動部１の振動が減衰することが防止される。したがって、駆動装置１の出力の低下を防止することができる。
【０１０３】
また、第１圧電素子６の電極６ａとベース部２の表面の絶縁膜２ｇとを接着する接着剤が絶縁膜２ｇと同系材料を含んでいない場合、第１圧電素子６の電極６ａと絶縁膜２ｇとの接着が不十分になり、所望の接着強度を得ることができない場合がある。このような場合、第１圧電素子６の電極６ａと絶縁膜２ｇとの間に作用するせん断力・剥離力によって接着面が剥離・乖離し、駆動駒３がベース部２から脱落してしまう虞がある。
【０１０４】
しかし、本実施形態では、第１圧電素子６を絶縁膜２ｇに固定する接着剤と絶縁膜２ｇとが同系材料を含んでいる。これにより、接着剤と絶縁膜２ｇとが一体化して第１圧電素子６の電極６ａと絶縁膜２ｇとが強固に接着され、接着剤の接着力を維持することができる。したがって、第１圧電素子６の電極６ａと絶縁膜２ｇとの間に作用するせん断力・剥離力に対する強度を向上させることが可能になる。
【０１０５】
また、第１圧電素子６が駆動駒３の基部３ｂを幅ｗ３方向から挟み込み、第１圧電素子６が駆動駒３を幅ｗ３方向と異なる支持軸５に平行な方向へ駆動させるようになっている。また、基部３ｂを挟み込む一対の第１圧電素子６，６の寸法及び形状が略等しくなっている。これにより、駆動駒３の幅ｗ３方向の剛性を均等にすることができる。したがって、駆動駒３の基部３ｂの幅ｗ３方向の振動を抑制することができる。また、全ての第１圧電素子６及び第２圧電素子７を同一の形状及び寸法とすることで、製造を容易にして生産性を向上させることができる。
【０１０６】
加えて、ベース部２には駆動駒３を支持軸５と平行な方向へ駆動可能に保持する保持部２ａが設けられている。保持部２ａには駆動駒３の幅ｗ３方向から駆動駒３の基部３ｂを支持する支持面２ｆが設けられている。そのため、支持面２ｆによって第１圧電素子６を支持し、第１圧電素子６を介して駆動駒３の基部３ｂを幅ｗ３方向から支持することができる。これにより、駆動駒３の幅ｗ３方向の剛性をより高め、駆動駒３の基部３ｂの幅ｗ３方向の振動を抑制することができる。
【０１０７】
ここで、第１圧電素子６は、厚み方向の弾性係数（縦弾性係数）と変形方向の弾性係数（横弾性係数）との比が例えば約３：１程度である。したがって、駆動駒３の幅ｗ３方向の剛性を高め、基部３ｂの駆動方向の剛性を低くすることができる。これにより、基部３ｂの幅ｗ３方向の移動を防止して振動を抑制できる。また、基部３ｂの駆動方向の変位をしやすくすることができる。
【０１０８】
また、駆動駒３が、ロータ４を支持して回転方向Ｒに駆動させる先端部３ａと、一対の第１圧電素子６に挟み込まれた状態でベース部２の保持部２ａに保持された基部３ｂと、を備えている。さらに、駆動駒３は先端部３ａと基部３ｂとの間に、先端部３ａをロータ４の回転方向Ｒに沿う保持部２ａ及び駆動駒３の幅ｗ３方向に駆動する第２圧電素子７を備えている。
【０１０９】
そのため、駆動駒３の先端部３ａを幅ｗ３方向に駆動することで、ロータ４の下面と先端部３ａとの間に回転方向Ｒの接線方向の摩擦力が作用し、ロータ４を回転方向Ｒに駆動することができる。また、第１圧電素子６及び第２圧電素子７をそれぞれ独立して制御することができる。これにより、駆動駒３の先端部３ａの支持軸５に沿う方向の駆動と、ロータ４の回転方向Ｒに沿う方向の駆動とを独立して制御することができる。
【０１１０】
また、第１圧電素子６及び第２圧電素子７を同時に作動させ、駆動駒３の先端部３ａの支持軸５に沿う方向の駆動と、ロータ４の回転方向Ｒに沿う方向の駆動とを同時に行うことができる。
したがって、図７〜図９に示すように、ロータ４と先端部３ａの接触時及び離間時に、駆動駒３の先端部３ａをロータ４の回転方向Ｒに沿って移動させ、ロータ４の回転を妨げることなく、第１組の駆動駒３１から第２組の駆動駒３２へロータ４の受け渡しを行うことができる。
【０１１１】
また、駆動駒３及びその基部３ｂを挟み込む二対の第１圧電素子６，６を３つ備えた駆動駒３の組が、第１組と第２組の二組構成されている。したがって、各組を異なるタイミングで駆動させることができる。また、各組の駆動駒３１，３２の先端部３１ａ，３２ａによってロータ４を３点支持することが可能となる。したがって、２点支持や４点以上の支持の場合と比較して、ロータ４の支持を安定して行うことができる。
【０１１２】
また、各組の駆動駒３１，３２はロータ４の回転方向Ｒに均等に配置され、第１組と第２組の駆動駒３１，３２が回転方向Ｒに交互に順番に配置されている。したがって、ロータ４を各組の駆動駒３１，３２によってバランスよく支持し、回転方向Ｒに効率よく駆動することができる。
また、駆動駒３の先端部３ａが駆動する方向は駆動駒３の基部３ｂが第１圧電素子６及び保持部２ａの支持面２ｆによって挟み込まれる方向と同一の方向となっている。したがって、駆動駒３の先端部３ａが送り駆動及び戻り駆動を行った場合に、駆動方向の前後から駆動駒３の基部３ｂを支持することができる。したがって、駆動駒３が支持軸５に平行な方向からずれることを抑制し、ロータ４の駆動に悪影響が及ぶことを防止できる。
【０１１３】
また、電源部１０が、第１組及び第２組の駆動駒３１，３２に位相差を有する電圧を供給することで、各組の駆動駒３１，３２によってそれぞれロータ４を駆動することができる。
また、電源部１０が、各組の第１圧電素子６及び第２圧電素子７に供給する電圧の位相差を１８０°とすることで、第１組の駆動駒３１と第２組の駆動駒３２とによって交互に順番にロータ４を駆動させることができる。
【０１１４】
また、電源部１０が、各組の第１圧電素子６及び第２圧電素子７に、駆動駒３の先端部３ａがロータ４との接触、駆動駒３の幅ｗ３方向への送り、ロータ４からの離間、駆動駒３の幅ｗ３方向の戻り、を順次繰り返すように電圧を供給することで、ロータ４の回転駆動を連続的に行うことができる。
また、電源部１０は、図６のPhase３，７，１１，１５に示すように、第１端子Ｔ１に供給する電圧と第２端子Ｔ２に供給する電圧をオーバーラップさせている。これにより、第１組の駆動駒３１から第２組の駆動駒３２へのロータ４の受け渡しを連続的かつスムーズに行うことが可能になる。
【０１１５】
また、電源部１０が第１圧電素子６及び第２圧電素子７に供給する電圧の周波数は、第１圧電素子６、第２圧電素子７、駆動駒３、及びベース部２からなる支持駆動部１ａの共振振動の振動数と略等しくなっている。そのため、駆動駒３の先端部３ａによるロータ４の送り駆動及び戻り駆動の振幅をより大きくすることができる。支持駆動部１ａの共振振動の周波数は、ベース部２、圧電素子、駆動駒３の先端部３ａ及び基部３ｂの材質を適切に選定することで調整することができる。
【０１１６】
また、本実施形態では、図６に示すように、第１端子Ｔ１及び第２端子Ｔ２から各組の駆動駒３１，３２の第１圧電素子６１，６２に供給される電圧の周期と、第３端子Ｔ３及び第４端子Ｔ４から各組の第２圧電素子７１，７２に供給される電圧の周期とが等しくなっている。したがって、駆動駒３１，３２の支持軸５に平行な方向の駆動と、駆動駒３１，３２の幅ｗ３１，ｗ３２方向の先端部３１ａ，３２ａの駆動の振動数が等しくなる。これにより、支持軸５に平行な方向の駆動駒３１，３２の振幅と、駆動駒３１，３２の幅ｗ３１，ｗ３２方向の先端部３１ａ，３２ａの振幅を最大振幅とすることができる。
【０１１７】
また、駆動駒３の先端部３ａはロータ４の回転方向Ｒに沿う断面積がロータ４に近づくほど小さくなるように先細状に設けられている。したがって、先端部３ａを直方体状の形状に形成する場合と比較して先端部３ａとロータ４との接触面積を減少させ、先端部３ａの磨耗による先端部３ａの体積変化率を小さくすることができる。これにより、先端部３ａの磨耗による先端部３ａの重量の変化を小さくすることができ、駆動駒３の共振周波数の変化を小さくすることができる。また、先端部３ａを六角柱状の形状とすることで、その他の形状と比較して先端部３ａの剛性を高くすることができる。
【０１１８】
また、支持軸５と略平行に設けられ駆動駒３の幅ｗ３方向と略垂直に交差するベース部２の側面２ｃに、溝部２ｄが形成されている。すなわち、溝部２ｄはベース部２を介して伝播する支持軸５と略平行な方向の振動に対して、略垂直に交差するように設けられている。そのため、溝部２ｄによって振動を吸収し、ベース部２による振動の伝播を減少させることができる。
また、第１圧電素子６が、ロータ４と溝部２ｄとの間に設けられている。したがって、ベース部２のロータ４と反対側から溝部２ｄを越えて伝播する振動を減少させることができる。
【０１１９】
また、ベース部２の駆動駒３を保持する保持部２ａと反対側の端部が取付部１０１ａに固定され、溝部２ｄは駆動駒３よりも取付部１０１ａに近い位置に設けられている。そのため、取付部１０１ａの振動がベース部２に伝播した場合であっても、駆動駒３から比較的遠い位置で振動を減少させ、取付部１０１ａの振動が駆動駒３の駆動に悪影響を及ぼすことを防止できる。
【０１２０】
また、溝部２ｄの支持軸５に平行な方向の幅ｗ１は、ベース部２の振動の振幅よりも大きくなっている。そのため、溝部２ｄの両側のベース部２同士が衝突することを防止できる。
また、溝部２ｄの支持軸５に平行な方向の幅ｗ１は、ベース部２、駆動駒３、第１圧電素子６、及び第２圧電素子７からなる支持駆動部１ａの共振振動の振幅よりも大きくなっている。したがって、支持駆動部１ａが共振状態で振動した場合でも溝部２ｄの両側のベース部２同士が衝突することを防止できる。
【０１２１】
また、溝部２ｄの深さｄ１をベース部２の半径の４０％以上８０％以下とすることで、ベース部２の強度を十分に確保しつつ、十分な振動の伝播の抑制効果を得ることができる。
また、ベース部２と支持軸５との間に間隙２ｅが形成されているので、ベース部２から支持軸５に伝播する振動を減少させることができる。また、支持軸５からベース部２に伝播する振動を減少させることができる。したがって、駆動駒３及びロータ４の駆動に悪影響が及ぶことを防止できる。
【０１２２】
次に、本実施形態の駆動装置１を備えたレンズ鏡筒及びカメラの一例について説明する。本実施形態の交換レンズは、カメラボディとともにカメラシステムを形成するものである。交換レンズは、公知のＡＦ（オートフォーカス）制御に応じて合焦動作を行うＡＦモードと、撮影者からの手動入力に応じて合焦動作を行うＭＦ（マニュアルフォーカス）モードとが切り替え可能になっている。
【０１２３】
図１１は、本実施の形態におけるカメラ１０１の構成を模式的に示す概略構成図である。
図１１に示すように、カメラ１０１は、撮像素子１０８が内蔵されたカメラボディ１０２と、レンズ１０７を有するレンズ鏡筒１０３とを備えている。
【０１２４】
レンズ鏡筒１０３は、カメラボディ１０２に着脱可能な交換レンズである。レンズ鏡筒１０３は、レンズ１０７、カム筒１０６、駆動装置１等を備えている。駆動装置１は、カメラ１０１のフォーカス動作時にレンズ１０７を駆動する駆動源として用いられている。駆動装置１のロータ４から得られた駆動力は、直接、カム筒１０６に伝えられる。レンズ１０７は、カム筒１０６に保持されており、駆動装置１の駆動力により、光軸方向Ｌに略平行に移動して、焦点調節を行うフォーカスレンズである。
【０１２５】
カメラ１０１の使用時には、レンズ鏡筒１０３内に設けられたレンズ群（レンズ１０７を含む）によって、撮像素子１０８の撮像面に被写体像が結像される。撮像素子１０８によって、結像された被写体像は電気信号に変換され、その信号をＡ／Ｄ変換することによって、画像データが得られる。
【０１２６】
以上説明したように、本実施の形態のカメラ１０１及びレンズ鏡筒１０３は、上記の実施の形態で説明した駆動装置１を備えている。したがって、従来よりもロータ４を安定的に回転させることができ、出力が向上した駆動装置１によって、カム筒１０６を直接駆動させることができる。したがって、エネルギーの損失が少なく省エネルギー効果が得られる。また、部品点数の削減が可能になる。
本実施の形態では、レンズ鏡筒１０３は、交換レンズである例を示したが、これに限らず、例えば、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒としてもよい。
【０１２７】
尚、上述した実施の形態は、種々変形して実施することができる。例えば、上記の実施形態では全ての第１圧電素子とベース部の間に絶縁膜が設けられている構成について説明したが、例えば、絶縁膜は、少なくとも第１組又は第２組のいずれか一方の組の駆動駒が備える第１圧電素子とベース部との間に設けられていればよい。
【０１２８】
また、上記の実施の形態では、第１圧電素子及び第２圧電素子が厚み滑り変形する場合について説明したが、これらは厚み方向に変形するものであってもよい。この場合、第１圧電素子によって駆動駒は保持部の幅方向（第１の方向）に移動し、第２圧電素子によって駆動駒の先端部は回転軸に平行な方向（第２の方向）に移動する。
【０１２９】
また、ベース部は支持軸を囲むように設けられていれば複数に分割されていてもよく、支持軸を完全に囲んでいなくてもよい。例えば支持軸を囲む円周上の半分に偏って配置されていてもよく、支持軸を両側から挟みこむような配置であってもよい。
【０１３０】
また、上述の実施形態では、駆動駒を支持軸と平行な方向へ駆動する第１圧電素子が駆動駒を挟み込むように一対設けられている場合について説明したが、第１圧電素子は駆動駒の一方の側面のみに設けられていてもよい。また、厚み方向への変位をする圧電素子を第１圧電素子として用い、ベース部の保持部の底面と駆動駒の基部の底面との間に第１圧電素子を配置するようにしてもよい。この場合には、ベース部に設けられた保持部の支持面によってロータの回転方向に沿う保持部の幅方向の両側から圧電素子を介すことなく基部を直接支持する。そして、基部を支持軸と平行な方向へスライド可能に保持するガイド部として支持面を機能させるようにしてもよい。
【０１３１】
また、上述の実施形態では、第１圧電素子及び第２圧電素子を備える駆動駒の組を二組備える場合について説明したが、駆動駒の組は三組以上であってもよい。また、駆動駒の組が備える駆動駒の数は、１つ、２つ、若しくは４つ以上であってもよい。例えば、上述の実施形態において、ベース部の対角に配置された配置された２つの駆動駒を１組として、駆動駒の組を３組構成してもよい。この場合には、各組の電圧の位相差を例えば１２０度とすることができる。これにより、常に２組の駆動駒によってロータを支持・回転させることができる。駆動駒の各組の電圧の位相差は、３６０度を組数で除した値（すなわち二組の場合は１８０度、三組の場合は１２０度）とすればよい。
【０１３２】
また、上述の実施の形態では、第１圧電素子が駆動駒の基部を挟み込む方向（第１の方向）と第２圧電素子が駆動駒の先端部を駆動する方向（第３の方向）とが同一の場合について説明したが、これらを異ならせてもよい。例えば、第３の方向を駆動駒の幅ｗ３方向と交差しかつロータの回転方向に沿う方向とすることで、ロータを回転させやすくしてもよい。
【０１３３】
また、ベース部の支持面は、支持軸と平行な方向（第２の方向）に対して傾斜していなくてもよい。例えば、保持部に第１圧電素子の保持部の底面側の端部を係止する突起状の係止部を設けてもよい。また、第１圧電素子の保持部の底面側の端部を基部の底面よりも突出させて位置決め部として機能させ、位置決め部を保持部の底面に突き当てることで位置決めをしてもよい。
【０１３４】
また、ベース部と支持軸との間の間隙は、ベース部の強度確保の観点から溝部の保持部側の縁まで形成するようにしてもよい。
また、電源部の各端子から第１圧電素子及び第２圧電素子へ供給する電圧を正弦波や正弦波状の電圧波形としてもよい。
【符号の説明】
【０１３５】
１ 駆動装置、２ ベース部（ベース部材）、２ｇ 絶縁膜、３ 駆動駒（第１部材）、３ａ 先端部、３ｂ 基部、４ ロータ（第２部材）、６ 第１圧電素子（圧電素子）、６ａ 電極、７ 第２圧電素子（圧電素子、第２の圧電素子）、１０ 電源部、１０１ カメラ、１０３ レンズ鏡筒
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子と、
前記圧電素子により駆動される第１部材と、
前記第１部材と当接して設けられ、前記第１部材が駆動されることにより、前記第１部材に対して相対移動する第２部材と、
導電性を有し、前記圧電素子を介して前記第１部材を駆動可能に支持するベース部材とを有し、
前記第１部材及び前記圧電素子の組を複数組備え、
少なくとも一の前記組の前記圧電素子と前記ベース部材との間に絶縁膜が設けられていること
を特徴とする駆動装置。
【請求項２】
請求項１に記載の駆動装置において、
前記圧電素子の前記絶縁膜と接する側の面に電極が設けられていること
を特徴とする駆動装置。
【請求項３】
請求項２に記載の駆動装置において、
前記圧電素子の前記電極に電圧を供給する電源部を備えること、
を特徴とする駆動装置。
【請求項４】
請求項３に記載の駆動装置において、
前記電源部は各々の前記組に位相差を有する前記電圧を供給すること
を特徴とする駆動装置。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の駆動装置において、
前記絶縁膜は、前記複数組のすべての圧電素子と前記ベース部材との間に設けられていること
を特徴とする駆動装置。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の駆動装置において、
前記絶縁膜は、前記ベース部材に形成されていること
を特徴とする駆動装置。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の駆動装置において、
前記第２部材は、前記圧電素子を介して前記ベース部材に支持される基部と、前記第２部分と接触可能に設けられた先端部と、前記基部と前記先端部との間に設けられた第２の圧電素子とを有すること
を特徴とする駆動装置。
【請求項８】
請求項７に記載の駆動装置において、
前記基部が接地されていること
を特徴とする駆動装置。
【請求項９】
請求項１ないし請求項８のいずれか一項に記載の駆動装置において、
前記絶縁膜の硬度は鉛筆硬度で２Ｈ以上であること
を特徴とする駆動装置。
【請求項１０】
請求項１ないし請求項９のいずれか一項に記載の駆動装置において、
前記絶縁膜の膜厚は１０μｍ以上２０μｍ以下であること
を特徴とする駆動装置。
【請求項１１】
請求項１ないし請求項１０のいずれか一項に記載の駆動装置において、
前記圧電素子を前記絶縁膜に固定する接着剤と前記絶縁膜とが同系材料を含むこと
を特徴とする駆動装置。
【請求項１２】
請求項１ないし請求項１１のいずれか一項に記載の駆動装置を備えたレンズ鏡筒。
【請求項１３】
請求項１ないし請求項１１のいずれか一項に記載の駆動装置を備えたカメラ。
【請求項１】
圧電素子と、
前記圧電素子により駆動される第１部材と、
前記第１部材と当接して設けられ、前記第１部材が駆動されることにより、前記第１部材に対して相対移動する第２部材と、
導電性を有し、前記圧電素子を介して前記第１部材を駆動可能に支持するベース部材とを有し、
前記第１部材及び前記圧電素子の組を複数組備え、
少なくとも一の前記組の前記圧電素子と前記ベース部材との間に絶縁膜が設けられていること
を特徴とする駆動装置。
【請求項２】
請求項１に記載の駆動装置において、
前記圧電素子の前記絶縁膜と接する側の面に電極が設けられていること
を特徴とする駆動装置。
【請求項３】
請求項２に記載の駆動装置において、
前記圧電素子の前記電極に電圧を供給する電源部を備えること、
を特徴とする駆動装置。
【請求項４】
請求項３に記載の駆動装置において、
前記電源部は各々の前記組に位相差を有する前記電圧を供給すること
を特徴とする駆動装置。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の駆動装置において、
前記絶縁膜は、前記複数組のすべての圧電素子と前記ベース部材との間に設けられていること
を特徴とする駆動装置。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の駆動装置において、
前記絶縁膜は、前記ベース部材に形成されていること
を特徴とする駆動装置。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の駆動装置において、
前記第２部材は、前記圧電素子を介して前記ベース部材に支持される基部と、前記第２部分と接触可能に設けられた先端部と、前記基部と前記先端部との間に設けられた第２の圧電素子とを有すること
を特徴とする駆動装置。
【請求項８】
請求項７に記載の駆動装置において、
前記基部が接地されていること
を特徴とする駆動装置。
【請求項９】
請求項１ないし請求項８のいずれか一項に記載の駆動装置において、
前記絶縁膜の硬度は鉛筆硬度で２Ｈ以上であること
を特徴とする駆動装置。
【請求項１０】
請求項１ないし請求項９のいずれか一項に記載の駆動装置において、
前記絶縁膜の膜厚は１０μｍ以上２０μｍ以下であること
を特徴とする駆動装置。
【請求項１１】
請求項１ないし請求項１０のいずれか一項に記載の駆動装置において、
前記圧電素子を前記絶縁膜に固定する接着剤と前記絶縁膜とが同系材料を含むこと
を特徴とする駆動装置。
【請求項１２】
請求項１ないし請求項１１のいずれか一項に記載の駆動装置を備えたレンズ鏡筒。
【請求項１３】
請求項１ないし請求項１１のいずれか一項に記載の駆動装置を備えたカメラ。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２０１１−１０１５６０（Ｐ２０１１−１０１５６０Ａ）
【公開日】平成２３年５月１９日（２０１１．５．１９）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−２５６３７１（Ｐ２００９−２５６３７１）
【出願日】平成２１年１１月９日（２００９．１１．９）
【出願人】（０００００４１１２）株式会社ニコン (12,601)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年５月１９日（２０１１．５．１９）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年１１月９日（２００９．１１．９）
【出願人】（０００００４１１２）株式会社ニコン (12,601)
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]