【課題】回転翼を高速で回転させ、ポンプ翼径を大型化させることなく、大流量・低圧化に対応できるポンプ排気性能を有し、かつ長期的使用に対し有利なターボ型真空ポンプを提供する。
【解決手段】軸方向に気体を吸い込む吸気部２３Ａと、回転翼７０、２４と固定翼７１、２８とを交互に配置する排気部５０と、回転翼を回転させる回転軸２１とを備え；回転翼が、前記吸い込んだ気体を前記軸方向に排気する１段以上のタービン翼７０と、タービン翼の後流側に位置し、前記排気された気体をさらに遠心ドラッグ作用により排気する１段以上の遠心翼２４を含んで構成され；遠心翼が、該遠心翼を貫通する回転軸に固定され；遠心翼と回転軸の間に配置され、回転軸に締り嵌めされた円管リング４１をさらに備えるターボ型真空ポンプ１とする。 （もっと読む）

【課題】膜分離式活性汚泥方法において、膜汚染を少なくすることで、膜の洗浄頻度を少なくし、維持管理の手間をなくすとともに膜の延命を図り、処理水量を確保するために、ろ過圧の上昇を抑える技術を提供する。
【解決手段】膜分離式活性汚泥法による有機性排水の処理方法において、１以上の反応室３を有し、少なくとも最初の反応室３に有機性排水１１が導入され、最後の反応室３からの流出水中の溶解性ＢＯＤが５〜１００ｍｇ／リットルとする反応工程と、前記反応工程から流出水を含酸素気体散気下で膜分離する分離工程と、分離工程における活性汚泥を含む分離残水を反応工程へ循環する循環工程とを有して成ることを特徴とする有機性排水の処理方法。 （もっと読む）

【課題】研磨パッドの表面（研磨面）や貫通穴内に残留した研磨生成物や“古い研磨液”を、効率的に除去できるようにする。
【解決手段】研磨パッド６６の内部に設けた肉厚方向に貫通する複数の貫通穴６６ｂを連絡溝６６ｃで互いに連絡させ、研磨パッドのコンディショニングを行うときに研磨パッド６６に加えられる液体で、研磨パッド６６の表面（研磨面）６６ａや貫通穴６６ｂ内に残留した研磨生成物や“古い研磨液”を、連絡溝６６ｃを通して外部に押し流して効率的に除去しながら、研磨パッド６６のコンディショニングを行うことができるようにした。 （もっと読む）

【課題】液冷媒の膨張過程において圧力エネルギーを有効に回収でき、これによって冷凍サイクル効率の増大を図ることができる冷凍機用動力回収膨張機を提供すること。
【解決手段】冷凍機の凝縮器と蒸発器間に設置される冷凍機用動力回収膨張機１０−４である。冷凍機用動力回収膨張機１０−４は、凝縮器から蒸発器への作動流体の流れが持つエネルギーを回収するタービン羽根車３０を有する。タービン羽根車３０は、作動流体の流れを周方向から概略軸方向に転向するタービン部３３と、タービン部３３から流入する作動流体の流れを受けてタービン部入口とは逆の概略周方向に転向して噴出するエキスデューサ部３５とを有する。 （もっと読む）

【課題】 原料の成分の濃度を一定にした状態で反応を進行させ、効率よく連続ペプチド合成を行うことができる連続合成装置を提供する。
【解決手段】 この連続合成装置は、水溶性縮合剤と、Ｎ保護アミノ酸およびＣ保護ペプチドの混合液とを連続流れで混合し反応させる混合反応手段５と、合成後の液中から未反応の水相成分を分離し除去する油水分離手段６と、水相成分が除去された有機相成分液中に水素ガスを混合させ、触媒を介して生成したペプチドの脱保護反応を行う気体触媒反応手段７とを有する。 （もっと読む）

【課題】 連続流れにおいて反応を行うシステムにおいて好適に使用することができるの油水分離装置を提供する。
【解決手段】 この油水分離装置は、多孔質素材からなる中空管２０と、この中空管２０を収容する中空管保持容器２２と、中空管２０内に油水混合液を送る送液手段１１と、中空管２０内の圧力を調整する圧力調整手段６０とを具備する。これにより、送液手段１１により中空管２０内に油水混合液を送液しながら、圧力調整手段６０により中空管２０内の圧力を調整することにより、水と油を分離する。 （もっと読む）

【課題】装置のブロック化に適合し、生産性、拡張性、メンテナンス性、ユーザ対応性が優れ、しかも付帯設備との連携効率のよいポリッシング装置を提供することを目的とする。
【解決手段】カセット２の受け渡しをするロード・アンロードブロック５と、ウエハ１を移動させる搬送ブロック６と、ウエハ１を研磨するポリッシングブロック７と、研磨後のウエハ１を洗浄する洗浄ブロック８と、ロード・アンロードブロック５のカセット２と搬送ブロック６のロボット１５の相対位置をティーチングにより記憶し、かつ、カセット内のウエハの数とカセット２の収納棚１３の位置情報をセンシングセンサ１２の計測によって記憶し、カセット２の棚から半導体ウエハ１を取り出し、かつ、研磨され洗浄および乾燥された半導体ウエハ１を収納棚１３に戻す動作をロボット１５に指令する制御ブロック９を備える。 （もっと読む）

【課題】半導体基板の表面に形成される成膜の段差を減少させ、成膜後の平坦化処理に必要な成膜の厚さを減少させ、平坦化処理工程にかかる時間を短縮し生産性を向上させることができる半導体デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】半導体デバイスの製造方法は、半導体基板ＷＡの表面に配線用の凹部１５Ａを形成する工程と、凹部内に導電性材料でダミーパターン１６Ａを形成する工程と、ダミーパターン１６Ａを形成した後に、半導体基板ＷＡの表面に成膜する工程と、前記成膜した後に、半導体基板の表面を平坦化処理する平坦化処理工程を備える。 （もっと読む）

【課題】マンホールポンプ施設内で発生する硫化水素を効果的且つ安定的に抑制するマンホールポンプ施設の硫化水素抑制方法、及びマンホールポンプ施設を提供すること。
【解決手段】マンホール１０１内にマンホールポンプ１０２を備え、マンホール１０１内に流入する汚水Ｗをマンホールポンプ１０２で圧送管１０７を通して圧送するマンホールポンプ装置１００と、硫化水素の生成を抑制するための薬品を汚水中に注入する薬品注入装置２００を備えたマンホールポンプ施設であって、マンホール１０１内の汚水のｐＨ、汚水水位、マンホールポンプ１０２の運転待機時間から、硫化水素の生成を抑制するための薬品の適正注入量を得、該適正注入量の薬品を薬品注入装置２００から汚水中Ｗに注入させる制御装置を備えた。 （もっと読む）

【課題】極めて高純度の活性液体を、金属イオン等が入り込まないようにして、移送できるようにする。
【解決手段】回転軸１２の端部に取付けられてポンプケーシング１０内に収容された羽根車１４と、羽根車１４の回転により昇圧された移送液がモータ側に流れることを防止する補助羽根３６と該補助羽根３６のモータ側に配置されて移送液の圧力を受けたときに作動する軸封機構４６とを有するシール部５０と、移送液に接触する箇所に施したライニング材１０ａ，１６ａ，１６ｂ，３０ａ，３６ａ，３８ａとを有する。 （もっと読む）