【課題】 浄水に用いた砂ろ過装置で逆洗を行う際に、ろ層中にあるクリプトスポリジウムが十分に除去されて残留することがないようにする。
【解決手段】 クリプトスポリジウムを含む原水を下向流でろ過を行う砂ろ過装置において、通常のろ過方向と逆向きにろ過水を逆洗速度０．６〜０．９ｍ／ｍｉｎでろ層に通水し、ろ砂を流動状態にして水逆流洗浄を行う第１逆洗工程を行い、続いて同様の向きに逆洗速度０．１０〜０．２ｍ／ｍｉｎとして水逆流洗浄を行う第２逆洗工程を行うことにより、ろ層中に滞留したクリプトスポリジウムを排出することを特徴とする砂ろ過装置の逆洗方法。第１逆洗工程と第２逆洗工程の間に、逆洗停止期間を１０秒〜６０秒間設けることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】部品点数の増加を招く圧力センサーを吸込側に設けることなく吸込圧の変動があっても末端圧力一定制御を実行可能なポンプの制御方法及び給水装置を提供する。
【解決手段】ポンプ２１の吐出圧を検出する工程、ポンプ２１が第１の吸込圧のときの締切運転時及び最大流量時の各吐出圧及び回転速度から推定末端圧力一定制御を行うための運転カーブを設定する工程、運転カーブに従ってポンプ２１を運転する工程、所定時間に渡ってポンプ２１の吐出圧の変動幅が所定の範囲内のときに、ポンプ２１の吸込圧を補正する工程を備えるポンプの制御方法を、末端給水機器４２に送水する給水ポンプ２１と、給水ポンプを駆動する原動機２２と、原動機２２の回転速度を制御するコントローラ３１と、給水ポンプ２１の吐出圧を検出する圧力センサー２８と、上記制御方法を用いて制御する制御装置３０とを備える給水装置で実行する。 （もっと読む）

【課題】研磨テーブルの研磨面の洗浄に際して該研磨面から飛散した異物が洗浄液噴射部のノズルケーシング外表面や飛散防止カバー部の内壁面に付着堆積し、該付着堆積した異物が研磨テーブルの研磨面に落下して、被研磨基板の研磨面に損傷を与え、被研磨基板を不良品とすることのない研磨テーブルの研磨面洗浄機構、及び研磨装置を提供すること。
【解決手段】噴射ノズル１３とノズルケーシング１４を具備する洗浄液噴射部１０を備え、噴射ノズル１３から研磨テーブルの研磨面１１に洗浄液を噴射して該研磨面１１に残留する異物を除去・洗浄する研磨テーブルの研磨面洗浄機構であって、ノズルケーシング１４の少なくとも頂部面を異物が付着堆積しにくい曲面又は傾斜面とする。 （もっと読む）

【課題】 簡単かつ安価な方法で、生物脱臭装置内の微生物相を安定化させ、高い悪臭物質除去性能を発揮できる生物脱臭装置を提供する。
【解決手段】 臭気ガス１を、順次に、硫化水素分解用微生物を担持した硫化水素分解用充填層５と、メチルメルカプタン・硫化メチル・二硫化メチル分解用微生物を担持したメチルメルカプタン・硫化メチル・二硫化メチル分解用充填層４とに通気させて、該各充填層に水を散布９しながら脱臭する生物脱臭装置において、該５に、４よりも保水量が少ない充填材を用いることとしたものであり、前記各充填層は、充填層単位容積あたりの保水量が、５は１０〜１００Ｌ／ｍ^３であり、４は１００〜１０００Ｌ／ｍ^３である充填材を用いることできる。 （もっと読む）

【課題】直結型可変速給水装置において、ポンプの流入圧力が変動しても安定な動作を行うことができる可変速給水装置を提供する。
【解決手段】配水管１１に接続された流入管と、この流入管に接続された複数の加圧ポンプ１３と、この加圧ポンプ１３の吐出側に接続された吐出管と、流入管に設けられた加圧ポンプの流入圧力Ｐｓを検出する流入圧力検出器２１と、吐出管に設けられた加圧ポンプの吐出圧力Ｐｄを検出する吐出圧力検出器２３と、加圧ポンプ１３を可変速駆動する可変速駆動手段２５と、ポンプ１３を制御する制御手段２２とを備え、制御手段２２は、１台のポンプ運転中に水量が賄えなくなると、もう１台のポンプを追加投入して並列運転し、１台のポンプを流入圧力検出器２１で検出されたポンプ流入圧力Ｐｓを用いて補正した速度に固定し、もう１台を可変速運転する。 （もっと読む）

【課題】シールパッキンの締め付け作業が容易で且つシールパッキンの外周近傍に均一に締め付け力を作用させることができる半導体ウエハのメッキ治具を提供する。
【解決手段】半導体ウエハのメッキ治具110は第１保持部材111と第２保持部材112と係止部114bを有する固定リング114とを具備する。第１保持部材111と第２保持部材112との間に半導体ウエハ116を着脱可能に保持することができる。第１保持部材111及び第２保持部材112の何れかには、固定リング114の係止部114bに係脱可能に係止することができる被係止部120が設けられている。固定リング114が固定位置にある場合には固定リング114の係止部114bと被係止部120とが係脱可能に係止することにより第１保持部材111及び第２保持部材112が固定される。 （もっと読む）

【課題】特別な附帯設備が不要で、配管抵抗の変化に関わらずに、常に安定した流量を供給するポンプ装置を提供する。
【解決手段】ポンプケーシング１とポンプケーシング１内に収容されたキャンドモータ６とキャンドモータ６の主軸７に固定された羽根車８とを有したキャンドモータポンプと、ポンプケーシング１の外面に固定され、キャンドモータ６に電力を供給する周波数変換器Ｆと、キャンドモータ６に供給する電流の電流値を検出する検出手段と、周波数と電流値の関係をあらかじめ記憶した周波数変換器Ｆに設けられた制御部とを備え、制御部は、実際に運転した場合の周波数及び電流値を、前記あらかじめ記憶した周波数と電流値の関係と比較し、キャンドモータ６に供給する電流の電流値が前記あらかじめ記憶した周波数と電流値の関係に合うように周波数変換器Ｆの発生周波数を変化させるようにした。 （もっと読む）

【課題】高スループットな検査装置を提供すること。
【解決手段】シートビーム式検査装置は、ウェハを収納したカセットを保持するカセットホルダ１０と、空間内の雰囲気が制御されたミニエンバイロメント装置２０と、試料を保持するステージ５０と、試料に所定幅のシート状の一次電子線を照射する一次光学系と、試料から放出された二次電子を捕捉する二次光学系とを有するワーキングチャンバ３０と、ミニエンバイロメント装置とワーキングチャンバとの間に設けられ、試料を搬送するローダハウジング４０と備え、ミニエンバイロメント装置とローダハウジングとの間に防振用クッションを備え、ワーキングチャンバが頂壁、周壁及び底壁に囲まれた剛構造からなり、ローダハウジング及びワーキングチャンバの下に、床からの振動の伝達を阻止するための防振装置３７が設けられている。 （もっと読む）

【課題】簡素な構造により部品点数を少なくしてコストを低減することができ、また、高温ガスの漏洩を防止し、熱損失を抑制することができるガスタービン装置を提供する。
【解決手段】ケーシング１７の内部に、空気圧縮機１１と環状燃焼器１２とタービン１３とを同軸上に配置する。筐体１９の内部に、空気圧縮機１１から環状燃焼器１２に供給される圧縮空気とタービン１３から排出された排気ガスとの間で熱交換を行う再生器１５を収容する。筐体１９は、外筒２０と中間筒２１と内筒２２とを同軸上に備えており、これらによって形成される３つの流路が、空気圧縮機１１と再生器１５とを接続する第１流路と、再生器１５と環状燃焼器１２とを接続する第２流路と、タービン１３と再生器１５とを接続する第３流路となるように、筐体１９をケーシング１７に接続し、再生器１５における排気ガスの流れをタービン１３の回転軸１６に対して略垂直方向とした。 （もっと読む）

【課題】膜の種類に適した処理方法を迅速に判断してエッチング、洗浄等の処理を行える基板処理方法および基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置は、基板の上面の処理される少なくとも一層の被膜の膜種を登録できかつ基板の下面の処理される少なくとも一層の被膜の膜種を登録でき、また処理される前記基板の上面の少なくとも一層の被膜の処理液に対する接触角を登録できかつ処理される基板の下面の少なくとも一層の被膜の処理液に対する接触角を登録できる登録部１１と、前記登録部に登録された膜種及び接触角の情報に基づいて前記処理液供給機構及び前記基板回転機構の動作を制御する制御部１３とを備え、前記登録された被膜の処理液に対する接触角に基づいて処理を制御する。 （もっと読む）