【課題】装置のイニシャルコスト、ランニングコストを低くでき、広い設置スペースを必要とすることなく、高品質の保護膜を金属部の表面に効率よく形成できるようにする。
【解決手段】処理槽を有する前処理ユニットと、めっき槽を有する無電解めっきユニットと、後洗浄ユニットとを有し、前処理ユニットと無電解めっきユニットは、吸着ヘッド２３４と該吸着ヘッドの周囲を囲繞する基板受け２３６を備えた共通の基板保持ヘッドを有し、吸着ヘッドには、円周方向に沿って延びる真空引き可能な凹状部２５０ａを有する吸着リング２５０が取付けられ、基板受けは、内方に突出し内周端部にシールリング２５４ａを有し、吸着ヘッドによってシールリングを基板の周縁部に圧接させて、基板の周縁部をシールリングでシールして基板を保持し、吸着リングの凹状部を真空引きして、基板の周縁部を吸着リングでシールしながら基板を吸着保持して基板を基板受けから引離す。 （もっと読む）

【課題】風車ブレードの空気摩擦による電荷の帯電を防止し、風車ブレードへの雷撃がなく、表面に塵芥等の異物が付着し、風の抵抗値の増加による風車効率の低下や美観が損なわれることのない風車、風力発電装置を提供すること。
【解決手段】ブレードの表面に酸化チタン粉体固着層２０又は光触媒塗料層を形成し、これらの層中にある酸化チタンが紫外線を受けた時、光触媒作用により活性酸素を発生すると同時に、表面が親水基（−ＯＨ）で覆われ、この親水基（−ＯＨ）が空気中の水分と親和して静電気（＋電荷）の帯電を防ぐことにより、雷撃を受けないようにした風車、該風車を用いた風力発電装置。 （もっと読む）

【課題】安定してかつ処理全体のランニングコストも従来法に比べて大幅に低減できる有機性廃水の窒素除去方法及び装置を提供する。
【解決手段】窒素を含有する有機性廃水の処理法であって、被処理水を脱窒槽に導入して窒素除去を行った後、該脱窒槽から処理液を被処理水量より少ない量で硝化槽に導入し、被処理水中のアンモニア性窒素を亜硝酸性或いは硝酸性窒素に酸化した後、該硝化液を脱窒槽に返送することを特徴とする高濃度有機性廃水の窒素除去方法、及び装置。前記脱窒槽からの処理液を固液分離した後、該処理水を亜硝酸化槽に導入し、被処理水中のアンモニア性窒素の一部を亜硝酸性窒素に変換した後、後段の脱窒槽に供給してアンモニア性窒素と亜硝酸性窒素を独立栄養性脱窒菌の存在下に窒素ガスとして脱窒処理して処理水を得ることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】めっき発生核やめっき粒の微細化を図ることで緻密なめっき膜を形成でき、微細化が進む基板上の配線形成に対応することが可能な電解めっき方法及び電解めっき装置を提供する。
【解決手段】表面に微細凹部が形成された被めっき基板２０をめっき液１０中に浸漬させて金属めっき膜を成膜する電解めっき方法において、めっき処理槽１１内のめっき液１０を、めっき液循環配管３１に循環させながら冷却器３３でその液温が溶媒の凝固点以上１５℃未満になるように冷却し、その状態で金属めっき膜の成膜を行うことで、被めっき基板１０の微細凹部内に緻密でボイドの少ない金属配線材料を埋め込むことができるようにした。 （もっと読む）

【課題】基板の周縁部及び裏面などにおける不要な膜や傷を研磨により効果的に除去することができるコンパクトな研磨装置を提供する。
【解決手段】研磨面を有する研磨テープ５１が巻回された供給リール５２と、研磨テープ５１を巻取る巻取リール５３と、供給リール５２と巻取リール５３との間で研磨テープ５１を基板Ｗの被研磨面に押圧する押圧部材５９ａ，５９ｂ，５９ｃと、巻取リール５３を回転させるモータ６１とを備えた。研磨カートリッジ５には、供給リール５２と巻取リール５３と押圧部材５９ａ，５９ｂ，５９ｃとが収納され、カートリッジ保持部６には、研磨カートリッジ５が着脱自在に保持される。 （もっと読む）

【解決課題】生物発電技術を利用する有機性高分子物質含有廃液の処理に際して、有機性高分子物質をより処理しやすい低分子化有機性物質に効率的に変換することができる処理方法及び装置を提供する。
【解決手段】有機性高分子物質含有廃液１を原水貯留槽２に貯留しておき、送液ポンプを作動させて、有機性高分子物質含有廃液１を低分子化槽３に送液する。低分子化槽３には有機性高分子分解嫌気性微生物が存在しており、pH制御装置８によって制御されたpH条件下で有機性高分子分解嫌気性微生物が有機性高分子を単糖類、オリゴ糖、アミノ酸、及びペプチドに分解し、さらに揮発性有機酸まで分解して、低分子化被処理液が形成される。低分子化被処理液を送液ポンプによって生物発電装置５の嫌気性域５ａに供給する。生物発電装置５内では、電極活性な微生物による酸化反応と酸素の還元反応とによって発電しながら、可溶化有機性物質が分解処理される。 （もっと読む）

【課題】例えば６５ｎｍ乃至それ以降のより微細な配線構造であっても、絶縁膜や配線金属膜のダメージを回避して、高い信頼性の高速デバイスを製造できるようにする。
【解決手段】配線用凹部以外に形成された配線金属膜及びバリア膜を研磨で除去する研磨工程を有し、研磨工程は、基板の表面を研磨する第１の研磨処理と、該第１の研磨処理後の基板の表面を洗浄する洗浄処理と、該洗浄後の基板の表面を更に研磨する第２の研磨処理を有し、研磨処理の少なくとも一方を電解研磨で行う。 （もっと読む）

【課題】晶析用薬剤を添加することなく晶析処理が可能で、晶析処理により排水中の晶析対象成分濃度が低減されているため、後の蒸留濃縮において、カルシウム軟化剤を外部添加しなくても、高い濃縮倍率で安定して運転できる排水の処理方法と装置を提供する。
【解決手段】晶析対象成分を含む排水を、蒸留濃縮処理と晶析処理を組合せて処理する。蒸留濃縮により得られた濃縮排水は、一部を系外に取り出し、残りは晶析工程に導入して晶析させ、晶析物を取り出す。この組合せ処理により、蒸留濃縮装置に流入する排水の晶析対象成分濃度を晶析処理で低減することで、蒸留濃縮の濃縮倍率を高くすることが可能となり、また、晶析処理に必要な晶析用薬品の添加を、晶析対象成分濃度の高い蒸留濃縮液で代用することで、晶析用薬品を添加することなく晶析処理することが可能となる排水の処理方法、及びその装置。 （もっと読む）

【課題】陰極と陽極との間の一次電流分布を均一にでき、且つメッキ装置を小型化できる基板メッキ装置を提供する。
【解決手段】メッキ液を収容したメッキ槽１内にメッキを施す被メッキ基板２と陽極電極３を対向して配置した構成の基板メッキ装置において、被メッキ基板２と陽極電極３との間に該被メッキ基板２と陽極電極３の間の電気抵抗を増大させる多孔質板を配置した。これにより被メッキ基板２と陽極電極３の間の間隔を短縮でき装置の小型化が可能となる。 （もっと読む）

【課題】収容した基板への外部雰囲気からの汚染を効率よく防止するのみでなく、基板自身及び内部構成部材から発生する汚染をも効果的に防止することができるようにしたクリーンボックスを提供する。
【解決手段】基板を収容するための容器本体１２とこれの開口部を密閉可能に覆う蓋体１４とにより構成される保持容器１８と、容器本体１２内において基板に接触する気流の循環流を形成するモータファン３０と、基板に向かって流れる気流の流路に配置された粒子除去フィルタ２６およびガス状不純物捕捉フィルタ２８と、容器本体１２内に配置された除湿剤５４とを備え、保持容器１８は、帯電防止剤を混入した樹脂から構成した。 （もっと読む）