【課題】基板の表面に形成された配線溝やコンタクトホール等の凹部を金属めっきで埋め込む際にボイドの発生を回避でき、且つ生産効率を低下させることのない基板処理装置及び基板処理方法を提供すること。
【解決手段】被処理基板にめっき抑制物質が溶解した液体を塗布する液体塗布部と、該液体塗布部で前記処理基板に塗布された液体を乾燥させる基板乾燥部と、該基板乾燥部で乾燥処理された被処理基板にめっき処理を施すめっき処理部を備えた基板処理装置。 （もっと読む）

【課題】バイポーラ膜を用いない新しい方式の電離によって、中性塩から酸／アルカリを生成したり、或いは酸若しくはアルカリを濃縮・再生する装置を提供する。
【解決手段】本発明の一態様は、陽極と陰極との間にカチオン交換膜とアニオン交換膜とが交互に配列されて複数の室が形成されており、陽極とカチオン交換膜とで陽極室が画定され、これに隣接して、陽極側から、酸室；電離室；アルカリ室；並びに水解室；の順に配列された室の組が一つ若しくは二つ以上繰り返して配置され、最も陰極側の水解室が陰極室として画定されていることを特徴とする電気透析装置に関する。 （もっと読む）

【課題】分解性微生物を効率的に、かつ高密度に固定化した固定化担体を用い、廃水中の微量エストロゲンを効率的に処理する装置を提供する。
【解決手段】被処理水を供給する供給口と処理水を排出する排出口とを備え、アニオン交換基を有するグラフト重合材料を含んでなる担体にエストロゲン分解微生物を固定化した固定化物２を内部に備える分解除去反応槽を含んでなる、エストロゲン処理装置１により被処理水中の微量のエストロゲンを効率的に分解および除去することができる。 （もっと読む）

【課題】 送液機構に弁や多くのアクチュエータを備えることなく、微量の液体を一方向に向けて精度よく送ることができるようにする。
【解決手段】 液体を順方向に送る流路部１６と流体の逆流を阻止する逆流阻止部１８とを内周面に有し、液体の流路１０を構成するケーシング１２と、ケーシング１２を振動させる加振源１４とを備え、ケーシング１２を振動させて流体を順方向に送るようにした。 （もっと読む）

【課題】ＣＭＰプロセスのやりやすいめっき膜を形成して、次工程のＣＭＰプロセスでの負担を軽減できるようにしためっき装置及びめっき方法を提供する。
【解決手段】基板Ｗを保持する基板保持部３６と、基板保持部３６で保持した基板Ｗと接触して通電させるカソード電極８８を備えたカソード部と、基板Ｗの表面に対向する位置に配置されるアノード９８と、基板保持部３６で保持した基板Ｗとアノード９８と間に基板Ｗと接離する方向に移動自在に配置され、該移動方向に沿って直線状に貫通して延びる貫通孔１１２ａを有する接触材１１２を有する。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムポンプよりも空気が混入し難く、圧力脈動が小さく、シリンジポンプに近い高圧を発生できるコンパクトな往復動ポンプ、往復動ポンプ装置を提供すること。
【解決手段】ケース１１と、該ケース内１１に配置され軸方向に往復動する傘状機能体１２と、該傘状機能体１２の柄部１２ｂに設けられ外周部が該ケース１１内周面に摺接する磁性体１３と、該ケースの外周部に設けた磁力発生器１４とを備え、ケースは一端が吸込口１５、他端が吐出口１６となっており、傘状機能体１２は吐出口１６側に移動するときは径方向に拡幅してその外周面が該ケース１１の内周面に摺接し、吸込口１５側に移動するときは径方向に収縮してその外周面が該ケース１１の内周面から離間する拡幅収縮部１２ａを備えた往復動ポンプ１０。
【選択図】図１
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【課題】これまで有効に利用しにくかった排気ガスの排熱を、有効に回収し、よりエネルギー効率を高めたコージェネレーションシステムおよび発電装置を提供すること。
【解決手段】内燃機関１１０を動力源として発電する主発電装置１００と、内燃機関で発生した熱で加温した温水Ｗを温水需要１０に供給する温水供給装置２０、６０と、内燃機関の排気ガスＥの熱で作動媒体Ｍを蒸発させ、蒸発した作動媒体により発電を行い、発電を行った作動媒体を温水で凝縮するとともに熱を回収する、排熱発電装置２００とを備えるコージェネレーションシステム。また、温水Ｗを温水需要に供給せず、温水を熱源として発電する低温排熱発電装置を備える発電装置。 （もっと読む）

【課題】排熱の利用効率を低下させることになく、膨張機（タービン等）や（高速）発電機が過回転速度運転されることなく、安価な排熱発電設備を提供すること。
【解決手段】排熱を回収して高圧の作動媒体蒸気を発生させる蒸気発生器１１と、タービン１２と、凝縮器１４と、給液ポンプ１５とを具備すると共に、前記タービン１２により駆動される高速発電機１３を具備する排熱発電装置１０を備えた排熱発電設備であって、高速発電機１３の出力を高周波整流器１８により直流に変換した直流電力と、商用電力系統２００から供給される電力を整流器１７により直流に変換した直流電力を直流系統２０１で合成し、該合成して直流電力をインバータ１９で交流電力に変換し、交流系統２０２に出力する。 （もっと読む）

【課題】 発電機を損傷から保護しつつ、他の用途に利用しうる有効な電気エネルギを増大させる発電装置を提供すること。
【解決手段】 作動媒体Ｍを蒸発させる蒸気発生器１０と、蒸発した作動媒体Ｍを膨張させて機械的動力を得る膨張機２０と、膨張した作動媒体Ｍを凝縮させる凝縮器４０と、膨張機２０で得られた機械的動力で発電する発電機３０と、発電機３０で発電した電力により作動し、冷却媒体Ｃを凝縮器４０に導入する冷却媒体導入手段４１と、膨張機２０及び発電機３０の回転速度が所定の値を超えないように冷却媒体導入手段４１に送電する電力を小さくする制御装置６０とを備える発電装置１とすると、凝縮器４０における作動媒体Ｍの凝縮温度を調節して膨張機２０の機械的動力を調節できて発電機３０を損傷から保護することができ、発電装置内で消費する電力の割合が小さくなるから有効な電気エネルギが増大する。 （もっと読む）

【課題】研磨テーブルの研磨面の異物を効果的に洗浄除去でき、且つ洗浄機構の飛散防止カバーに飛散した洗浄液等が滞留することなく、滞留した異物が研磨テーブルの研磨面に落下して、被研磨基板の研磨面に損傷を与え、被研磨基板を不良品とすることのない研磨テーブルの研磨面洗浄機構、及び研磨装置を提供すること。
【解決手段】複数のノズル１３を具備する噴射ノズル１０を備え、該噴射ノズル１０から研磨テーブルの研磨面１１に洗浄液を噴射して該研磨面１１に残留する異物を除去・洗浄する研磨テーブルの研磨面洗浄機構であって、噴射ノズル１０をその洗浄液噴射方向が研磨テーブルの研磨面１１に対して該研磨テーブルの移動方向（矢印Ｄ方向）に所定角度傾くように配置し、噴射ノズル１０の各ノズル１３の先端から研磨面１１までの洗浄液噴射域の所定範囲外周を囲う飛散防止カバー１５を備えた。 （もっと読む）