【課題】軸上色収差補正レンズにより発生される軸外収差を良好に補正する。
【解決手段】電子線の照射により試料１０から放出された２次電子は、ビーム分離器７で偏向され、収差補正静電偏向器１１により垂直方向に偏向され、補助レンズ１２の主面に拡大像を形成する。補助レンズ１２から発散した２次電子ビームは、軸上色収差補正レンズ１４〜１７を通り、拡大レンズ１９用の補助レンズ１８の主面に結像する。補助レンズ１２の主面に形成された拡大像は、光軸から離れた位置にも像が形成されるため、補助レンズ１２から発散された２次電子ビームをそのまま軸上色収差補正レンズ１４〜１７に入射すると、大きな軸外収差が生じる。それを解消するために、補助レンズ１２により、開口２４の像が軸上色収差補正レンズ１４〜１７の光軸方向のほぼ中央１８に形成されるようにする。 （もっと読む）

【課題】 強酸かつ高温の腐食性条件に耐えることができ、かつ酸露点腐食環境において凝縮相の液絡を適切に形成して、酸露点腐食速度を精度良く測定することができる露点腐食モニタリング用プローブを提供する。
【解決手段】 この露点腐食モニタリング用プローブ１は、酸露点腐食環境に露出する電極面１１をそれぞれ有する一対の電極部材１０と、これらの一対の電極部材１０を隣接した状態で埋設して保持するホルダ１２とを備えている。酸露点腐食環境において電極面１１の間に結露水の液絡を形成する液絡形成部１６が構成されており、この液絡形成部１６には結露水の液絡形成を促進する構造が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 研磨工程が正常に行われているか否かを容易に、かつ低コストで判断することができる研磨装置を提供する。
【解決手段】 本発明の研磨装置１０は、研磨面２２ａを有する研磨パッド２２と、基板Ｗを押圧するトップリング本体２００と、トップリング本体２００の外周部に設けられ、研磨面２２ａを押圧するリテーナリング３０２と、研磨面２２ａをドレッシングするドレッサ５０と、研磨装置１０の少なくとも１つの構成部材の摩耗を検知する摩耗検知部６０と、摩耗検知部６０からの信号に基づいて少なくとも１つの構成部材の摩耗量を算出する演算部４７とを備えている。演算部４７は、１回または複数回の研磨工程当たりの摩耗量に基づいて研磨工程が正常に行われているか否かを判断する。 （もっと読む）

本発明はフッ素含有化合物を含む排ガスを処理する方法および装置に関するものである。本発明に係る方法は、Ｏ_２の存在下でフッ素含有化合物を含む排ガスを加熱し、その後、Ｈ_２Ｏを排ガスに添加することによりフッ素含有化合物を分解または酸化処理する。また、本発明に係る装置は、排ガスを加熱する加熱部３０と、排ガスを加熱部３０に導入する排ガス供給部１１と、加熱部３０の直ぐ下流側に位置し、Ｈ_２ＯまたはＨ_２を排ガスに供給することにより排ガスにＨ_２Ｏを添加するＨ_２Ｏ添加部４０と、排ガスとＨ_２Ｏとの反応により生成する酸性ガスを除去する酸性ガス除去部１３とを有する。
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【課題】嫌気性発酵処理が進みにくい紙ごみを嫌気性発酵すること、また、１槽式メタン発酵ではメタン生成反応が遅いため、滞留時間を長く取る必要があり、かつ水素ガスが発生しないといった問題点がある。このため、生ごみと紙ごみからなる被処理物を、可溶化水素発酵処理とメタン発酵処理により、可溶化、水素・酸生成と、メタン生成を効率よく進行させ、有機物のガス化効率を高めて消化速度を向上させる方法を提供する。
【解決手段】生ごみと紙ごみからなる被処理物を嫌気性処理する方法であって、可溶化水素発酵槽とメタン発酵槽を具備し、可溶化水素発酵処理とメタン発酵処理の組合せで消化を行うことを特徴とする嫌気性処理方法。また、得られた気相部は燃料とし、固相部は有機性肥料とする。 （もっと読む）

【課題】 試料の表面に低エネルギーの中性粒子ビームを照射し、試料が電気的に中性を保つように不純物を導入することができるドーピング装置を提供する。
【解決手段】 ドーピング装置１０は、試料１８に中性粒子を照射して不純物をドープする。ドーピング装置１０は、試料１８を保持する保持台４４と、荷電粒子をプラズマとして発生させるプラズマ室１４と、荷電粒子を試料に向けて加速する電極３２と、加速された荷電粒子を中性化して中性粒子を生成する中性室１６とを備えている。また、このドーピング装置１０は、中性化室１６と試料１８との間に設けられ、中性化室１６で中性化されなかった荷電粒子５４を除去する偏向電極６０と、偏向電極６０により除去された荷電粒子５４を計測することにより試料１８へのドープ量を計測する計測手段６４，６６，６８，７０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 隙間腐食を防止して正確な電気化学測定を行うことができる実用的な露点腐食モニタリング用プローブを提供する。
【解決手段】 この露点腐食モニタリング用プローブ１は、酸露点腐食環境に露出する電極面１１をそれぞれ有する一対の電極部材１０と、これら一対の電極部材１０を隣接した状態で埋設して保持するホルダ１２とを備えている。酸露点腐食環境において電極面１１の間に結露水の液絡を形成する液絡形成部１６が形成されている。電極部材１０の温度を調整するプローブ温度調整機構５６，５８，６４が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 隙間腐食を防止して正確な電気化学測定を行うことができる実用的な露点腐食モニタリング用プローブを提供する。
【解決手段】 この露点腐食モニタリング用プローブ１は、露点腐食環境に露出する電極面１１をそれぞれ有する一対の電極部材１０と、一対の電極部材１０を隣接した状態で埋設して保持するホルダ１２とを備えている。酸露点環境において電極面の間に結露水の液絡を形成する液絡形成部１６が構成されている。ホルダ１２の電極部材１０を被覆する部分２０が撥水性を有する樹脂材料から構成されている。 （もっと読む）

【課題】食品廃棄物を嫌気性処理する方法において、水素発酵処理とメタン発酵処理を２段階で進めることによりにより、水素・酸生成、メタン生成を効率的に進行させ、有機物のガス化効率を向上させる方法を提供する。
【解決手段】食品廃棄物からなる被処理物を水素発酵槽５で水素ガス、二酸化炭素、有機酸に分解し、生成した水素含有ガスを水素発酵ガス貯留タンク１７に貯留するとともに、水素発酵後の発酵液をメタン発酵槽１０内で好ましくは固定化担体１１を使用してメタンガスと二酸化炭素に分解し、生成したメタン含有ガスをメタン発酵ガス貯留タンク２０に貯留する。 （もっと読む）

【課題】フレーム数／ｓｅｃの小さいエリアセンサを用いても高速の画像取得を可能にする。
【解決手段】評価領域を複数の副視野に分割し、１次電子線を副視野に順次照射し、副視野毎に試料面の情報を含んだ２次電子を検出手段により検出することにより、評価領域の情報を得る電子線装置において、検出手段２６は、エリアセンサＣＣＤ１〜ＣＣＤ１４と、エリアセンサの検出面に一端が結合されたオプティカルファイバ束２５と、オプティカルファイバ束の他端に塗布され、副視野の２次電子線が結像されるシンチレータが形成されたＦＯＰとからなる単位検出器２４−１を複数備える。電磁偏向器により、電子線を照射する副視野が移る毎に、該副視野からの２次電子線を偏向して、単位検出器のＦＯＰ面上を移動させる。各単位検出器から、他の単位検出器の露光中に画像情報を取り出すことができるので、高速画像取得ができる。 （もっと読む）