【課題】操作を簡素化でき、低コスト化を図ることができるポンプ装置及びポンプ装置用携帯端末を提供すること。
【解決手段】ポンプ３０Ａ，３０Ｂと、ポンプ３０Ａ，３０Ｂを運転制御する制御手段６５と、少なくとも制御手段６５と携帯端末８０との間で交信する際に最低限必要な交信プログラムに関する情報を記録した情報記録部材（二次元コード）６３とを備えるポンプ装置１０である。制御手段６５は、情報記録部材６３を用いて少なくとも交信プログラムを入手した携帯端末８０からのポンプ制御信号を受信する送受信部（受信部）７３を備え、携帯端末８０から発信されたポンプ制御信号を送受信部７３で受信してこのポンプ制御信号に基づいてポンプ３０Ａ，３０Ｂを運転制御する。 （もっと読む）

【課題】 視野が大きい写像投影型の欠陥検査装置及びリソグラフィ装置において、ビーム電流を大きくできるようにする。
【解決手段】 電子銃１からの１次電子線は、コンデンサレンズ２、開口（ＮＡ）３、照射レンズ４、対物レンズ５を介して試料６の表面に照射される。電子線は、光軸から離れるほど収差が大きくなるが、対物レンズ５の内部に配置されたＭＯＬ偏向器７及び軸対称電極８によって適切な電界又は磁界を与えることにより、対物レンズの軸の平行移動ができるので、広い視野を得ることが可能となる。対物レンズを通過した２次電子像の正の軸上色収差は、色収差補正器１２により生じる負の軸上色収差で補正される。これにより、ＮＡを大きくすることができるので、同一の解像度を得る場合であってもビーム電流を大きくすることができ、高スループットの評価を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 浄化対象の環境に対するバイオレメディエーション技術の適用性、浄化期間、薬剤投入量、及び阻害物質の有無について事前に短期間で精度良く予測することができる評価方法を提供する。
【解決手段】汚染物質を含む環境に対する、微生物を利用するバイオレメディエーションによる浄化処理の適用性を評価する方法であって、浄化対象の環境から採取した試料に試料内の汚染物質の分解微生物を適量で、例えば、該汚染物質を2日〜10日の期間内に除去するのに充分な量で添加し、前記の一定期間内における該試料内の汚染物質の分解量または分解率を測定する工程を含む方法に関する。 （もっと読む）

【課題】 製造が容易で、且つ高い位置精度で多数のスクリーンバーを配列したバースクリーンを備えた除塵装置、およびそのバースクリーンの製造方法を提供する。
【解決手段】 バースクリーン１０は、櫛歯状のスペーサ部材１４の櫛歯状部分１４ｆの間のスペース部分１４ｇにスクリーンバー１２が固定されている。上下方向に２分割された櫛歯状のスペーサ部材１４ａ，１４ｂは、その分割面の櫛歯状部分に溝１４ｆ，１４ｇが形成され、該２分割されたスペーサ部材を重ねることにより前記スペーサ部材の櫛歯状部分１４ｆに貫通孔１４ｍが形成され、該貫通孔と前記バースクリーンに設けられた貫通孔１２ｍとに通し部材３０が貫通され、前記スクリーンバーが前記櫛歯状のスペーサ部材に固定された。 （もっと読む）

【課題】配線間の電流リークが少なく、しかも配線へのダメージを少なくして、配線デバイスとしての信頼性を高めた配線を形成できるようにする。
【解決手段】絶縁膜内に配線用凹部を形成した基板表面にバリア膜を形成し、該バリア膜の表面に配線材料を形成して該配線材料を前記配線用凹部の内部に埋込んだ基板を用意し、基板表面に形成した余剰の配線材料及びバリア膜を除去して配線用凹部内に埋込んだ配線材料で配線を形成し、基板上の汚染物質を、カルボン酸を含む雰囲気下でカルボン酸と加熱反応させて除去する。 （もっと読む）

【課題】ロータやステータが高温になっても、ポンプの排気や圧縮等の性能を向上させるとともに、ポンプの小型化と必要な動力も最少にすることができるようにした真空ポンプを提供する。
【解決手段】複数のローブ７２を軸方向に沿って多段に配置した一対のロータ７４を、該ローブ７２を互いに近接させて互いに平行にポンプケーシング７６内に配置した真空ポンプにおいて、ポンプケーシング７６は、ロータ７４の軸方向に移動自在で、ローブ７２の周囲を包囲して該ローブ７２との間でガス排気部を構成するケーシング７６ｄを備え、ローブ７２とケーシング７６ｄとの間のロータ７４の軸方向に沿った距離を、ロータ７４の回転中にケーシング７６ｄをロータ７４の軸心方向に沿って移動させて調整する距離調整機構８８，９９を有する。 （もっと読む）

【課題】 水域の全体を均等に処理して、アオコ等の水中生物の増殖を効率良く防止することができるような水中生物の処理方法を提供する。
【解決手段】 この水中生物の処理方法は、所定の処理水域Ｓにおいて処理船１０を走行させながら、処理船に搭載した処理装置１４を作動させて水中の生物を処理するものである。始めに、任意に設定した始点から処理水域の全域を走査した後に始点に戻る処理経路Ｌを設定する。そして、処理船をこのように設定した処理経路に沿って走行させる。これにより、このような処理を繰り返して行う場合に、どの場所も同じ処理時間ピッチで処理されるので、場所による不均一がなく、水中生物の増殖を効率的に防止することができる。 （もっと読む）

【課題】搬入性に優れると同時に、配管の分割箇所や溶接部位を減少できてその組み立てが容易に行えて低コスト化が図れ、装置全体のコンパクト化が図れる吸収冷凍機を提供すること。
【解決手段】高温再生器１５０、低温再生器１０、凝縮器２０、低圧段吸収器３０、低圧段蒸発器４０、高圧段吸収器６０、高圧段蒸発器７０及びこれら各機器を接続する配管を備えることにより、二段吸収・二段蒸発サイクルを形成してなる吸収冷凍機１である。低温再生器１０、凝縮器２０、低圧段吸収器３０、低圧段蒸発器４０を一体の缶胴５０として構成する。高圧段吸収器６０、高圧段蒸発器７０を一体の缶胴８０とし、さらにこの缶胴８０の外部に設置した補機スペース９０に補機類（高温熱交換器１００、低温熱交換器１１０、溶液ポンプ１２０、冷媒ポンプ１３０）を収納設置する。 （もっと読む）

【課題】 温水から既存の蒸気配管で移送できる蒸気を発生させることができる吸収ヒートポンプを提供する。
【解決手段】被加熱流体Ｗ１を導入する被加熱側Ａ１と、冷媒蒸気ＣＳを吸収液ＡＬｉに吸収させ、被加熱側に導入された被加熱流体を加熱し蒸気Ｓを発生させる加熱側Ａ２とを含む吸収部Ａと、被加熱側で発生した蒸気Ｓを供給する蒸気供給管路８に設置され、被加熱側の圧力が第１の所定の圧力Ｐ１になるよう調節する圧力調節装置Ｖ１とを備える吸収ヒートポンプ１０１とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、細かい欠陥を高スループット、高信頼性で検査を行う手段を提供し、そのような装置でマスク検査を行う事によりデバイス製造の歩留りを向上させるデバイス製造方法を提供する事を目的とする。
【解決手段】本発明は、上記課題を解決すべく電子銃７１０から放出された電子線をステンシルマスク８００に照射し、ステンシルマスク８００を透過した電子線を電子レンズで拡大して複数の画素を有する検出器で検出して試料の画像を形成する電子線装置である。 （もっと読む）