【課題】 中性粒子ビームによる被処理物の加工中に中性粒子ビーム中の残留イオンによる被処理物のチャージアップを避けることができる中性粒子ビーム処理装置を提供する。
【解決手段】 中性粒子ビーム処理装置１０は、イオン生成室１４の内部にイオン７０を生成するイオン生成手段と、イオン生成室１４の内部のイオン７０を引き出す引出手段と、引き出されたイオン７０を中性化して中性粒子ビーム７２を生成する中性化手段と、中性粒子ビーム７２が照射される被処理物１８を保持する保持台４８とを備えている。中性粒子ビーム処理装置１０は、被処理物１８に帯電した電荷と反対の極性を持つ荷電粒子７６を被処理物１８に照射して、被処理物１８に帯電した電荷を中和する荷電粒子源６０を備えている。 （もっと読む）

【課題】 各ポンプ装置の揚水と空運転を流入量に見合うように制御して、貯水ピット内の水位を安定化し、全体として動作が安定に維持されるような集合ポンプ装置を提供する。
【解決手段】 この集合ポンプ装置は、貯水ピット１０に配置された複数台のポンプ装置１２を有する。各ポンプ装置１２は、貯水ピット１０内に垂下したポンプケーシング１８と、ポンプケーシング１８内で回転する羽根車２２とを有する。集合ポンプ装置には、さらに、ポンプ装置１２のポンプケーシング１８内に空気を供給する空気注入装置４６と、空気注入装置４６からのポンプケーシング１８内への空気の供給を制御する制御装置４４とが設けられている。 （もっと読む）

【課題】 有機物、リン及び窒素を含有する廃水から、リン等をＭＡＰ結晶として除去するとともに、ＭＡＰ結晶を効率良く生成させる方法及び装置を提供する。
【解決手段】 有機性廃水又は有機性汚泥を嫌気性消化処理し、該嫌気性消化工程でマグネシウム源を添加して、有機性廃水又は有機性汚泥中のリン又はリンと窒素からリン酸マグネシウムアンモニウムを生成する工程、及び生成したリン酸マグネシウムアンモニウムを系外に取り出す工程を有する処理方法において、リン酸マグネシウムアンモニウム生成工程で生成したリン酸マグネシウムアンモニウム粒子のうち、粒子径０．１ｍｍ以下の粒子が質量比で３０％以上存在する状態の時に、リン酸マグネシウムアンモニウム粒子の成長速度を高める手段として、マグネシウム源として水に対して易溶解性のマグネシウム化合物の溶液を添加することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 固相合成に用いる担体粒子の粒径が小さくても、また、カラムに収容する担体粒子が大量であっても、合成反応の収率が低下する等の不具合が起きない固相合成装置を提供する。
【解決手段】 本発明の固相合成装置は、所定の液体を複数の担体粒子２に接触させることによって該担体粒子２の表面に所定の物質を合成するものである。この固相合成装置は、担体粒子２を収容し、液体が内部を通過するカラム１と、担体粒子２をカラム１内で分散させる分散機構（８，１０，１５など）とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 プリント基板などの製造プロセスを簡略化するとともに製造コストの低減を可能とする技術を提供すること。
【解決手段】 エネルギ線照射により表面領域を局所的に溶融あるいはアブレーションさせたり化学的改質が可能な絶縁性基材８１１の面上に、触媒金属を含有する有機金属化合物または無機金属化合物を溶かした溶剤をパターン印刷して金属化合物膜８１２を形成する。ここで、金属配線のめっき触媒となる金属化合物または金属粒子を、基材と同種もしくは高融和性の材質の液状バインダや粒状バインダあるいはこれらの両バインダ中に分散または混合させている。この金属化合物膜８１２のパターンに対応する領域に電子線などのエネルギ線８１３を照射して照射領域に触媒金属を析出させて金属触媒膜８１４を得る。この金属触媒膜をシードとして、無電解めっきまたは電気めっきを施して配線金属であるめっき層８１５を形成する。 （もっと読む）

【課題】 低水位時における空気の吸い込みに起因するポンプの振動を低減させ、円滑な先行待機運転を継続的に行うことができる揚水ポンプとその運転方法を提供する。
【解決手段】 この揚水ポンプは、吸込口２６ａを下向きに開口させたポンプケーシング１６と、このポンプケーシング１６内において縦軸線の周りに回転する羽根車２０と、羽根車２０の上流側において前記ポンプケーシング１６に設けられた吸気口３６と、一端を吸気口３６に連通させた吸気管３８とを備えている。この吸気管３８の他端は少なくとも２つの分岐管４０ａ，４０ｂに分岐している。 （もっと読む）

【課題】 小型化及び分析装置の点数の削減を図ることができ、設置スペースが節約できる砥液分析ユニットを提供すること。
【解決手段】
砥液供給装置から供給される砥液が流通する砥液流通管１０，２０を具備し、砥液流通管１０，２０の各々に砥液に含まれる固形分濃度を測定する濃度測定手段１３，２３及び砥液のｐＨを測定するｐＨ測定手段１４，２４が配設され、砥液流通管１０，２０の各々に分岐配管１０ｂ，２０ｂが設けられ、これら分岐配管１０ｂと分岐配管２０ｂが合流部５０で合流し、該合流部５０の下流側に砥液の粒径分布を測定する粒径分布測定手段６０が配設された砥液分析ユニット１で、砥液流通管１０，２０を流通する砥液を分岐配管１０ｂ，２０ｂから交代で導入させて粒径分布測定手段６０で粒径分布測定を行うようにした。 （もっと読む）

【課題】 種々の外乱要因に備えて適切な処置を講じることで、安定かつ効率の良い処理を行うことができるような放電処理装置を提供する。
【解決手段】 この放電処理装置は、液体中に浸漬させた少なくとも１対の電極１２，１４と、コンデンサ３４と、充電手段２０とを備え、コンデンサに充電したエネルギーを電極間で短時間に放電させる。この放電処理装置は、コンデンサの充電から電極間における放電に至る経路の電気的状態を判定する電気的状態判定手段１６，３６，２０と、電極の状態を判定する電極状態判定手段３６，２０と、放電の状態を判定する放電状態判定手段２４ａ，２４ｂ，２０と、電気的状態判定手段、電極状態判定手段、及び放電状態判定手段の判定結果に基づき、運転を継続するか、電極の状態を修正して運転を継続するか、運転を停止するかの判断を行う制御手段１６とを有する。 （もっと読む）

【課題】光学顕微鏡を真空雰囲気内に設けることを不要にし、プレアライメントを行わないでアライメントを行うことができる電子線装置及び評価方法を提供する。
【解決手段】ＳＥＭの視野２３のＸ方向あるいはＹ方向の少なくとも一方の寸法をダイシングライン２１，２２の幅よりも大きくなるように設定すると共に、ローディング精度を所定の範囲内にして、該ダイシングライン２１，２２あるいは該ダイシングライン２１，２２近傍のパターン２６を利用してアライメントを行っている。また、ＳＥＭの画像に基づいて被検査領域か否かを判断する手段を有し、前記被検査領域が、ＳＥＭの視野外へ出るのを防止する方向にステージを移動させるようにしている。 （もっと読む）

【課題】めっき処理及びそれに付帯する処理を連続的に行う各ユニット（機器）を同一設備内に効率的に配置して占有面積を減少させ、しかもめっき処理等に使用する薬品による基板の汚染を防止できるようにしためっき処理ユニットを提供する。
【解決手段】被めっき面を下向きにして基板を保持する基板保持部と、めっき液４５を保持するめっき室４９を有するめっき槽５０と、めっき室４９内に保持されためっき液４５に浸漬させて配置されるアノード４８とを有し、アノード４８は、めっき槽５０に引抜き自在に装着したアノード保持体５２内に保持されている。 （もっと読む）