【課題】ドライイン／ドライアウト方式のポリッシング装置に適用可能であり、半導体ウエハ等のポリッシング対象物の単位時間及び単位設置面積あたりの処理能力を高めることができるポリッシング装置を提供する。
【解決手段】研磨面を有した研磨テーブルＴＴ１と、少なくとも二個のトップリングＴＲ１−１，ＴＲ１−２とを有した研磨処理部と、トップリングＴＲ１−１，ＴＲ１−２と前記研磨対象物を受け渡すプッシャＰ１−１，Ｐ１−２と、ドライな研磨対象物を把持するハンドとウエットな研磨対象物を把持するハンドとを備えた、前記研磨対象物を搬送する搬送ロボットＲＢ３と、研磨後の研磨対象物を洗浄する洗浄装置ＣＬ１−１，ＣＬ１−２と、前記洗浄装置と前記プッシャとの間に配置され、ドライな研磨対象物を受け渡すドライステーションとウエットな研磨対象物を受け渡すウエットステーションからなるステーション２０を備えた。 （もっと読む）

【課題】電気式脱塩装置に充填するイオン伝導スペーサーとして、脱塩運転中の寸法収縮を抑制し、良好で安定な脱塩性能を与えることのできるイオン伝導スペーサーを提供する。
【解決手段】本発明は、陽極と陰極の間に陽イオン交換膜及び陰イオン交換膜が少なくとも一部交互に配列されている電気式脱塩装置又は電気透析装置において隣接するイオン交換膜によって形成されている室内に充填するイオン伝導スペーサーであって、有機高分子斜交網基材に、イオン交換基が、中性塩分解容量が０．５〜１．５meq/gとなるように導入されていることを特徴とするイオン伝導スペーサーに関する。 （もっと読む）

有機高分子基材にラジカルによって誘起される化学反応を行い、目的物質を導入して機能性材料を合成する際に、目的物質導入量などから期待される機能が得られない原因となる現象を明らかにし、さらにそのような現象が回避された機能性材料およびその合成方法ならびに装置を提供する。
本発明の一態様は、有機高分子材料からなる基材に化学修飾が施された有機高分子材料であって、基材の表面層においてＸ線光電子分光法（ＸＰＳ）による前記化学修飾に基づく応答が検出されることを特徴とする有機高分子材料を提供する。 （もっと読む）

【課題】 外部に取り出すことのできる電力を実質的に最大にすることができる燃料電池発電方法および装置を提供する。
【解決手段】 燃料電池発電装置１０は、酸化剤および水素を用いて電気化学的に発電を行う燃料電池１２と、燃料電池１２を冷却するファン１６とを備えている。燃料電池発電装置１０は、燃料電池１２における発電電力を検出する発電電力検出手段２０と、ファン１６の消費電力を検出する消費電力検出手段２２と、ファン１６の消費電力を制御するファン制御部２６とを備えている。ファン制御部２６は、ファン１６の消費電力を所定の最大値から所定の値ずつ段階的に減少させ、発電電力から消費電力を減算して実効発電電力を算出する。ファン制御部２６は、ファン１６の消費電力を減少させた後の実効発電電力が、直前の実効発電電力よりも低くなった場合に、ファン１６の消費電力を直前の消費電力に設定する。 （もっと読む）

【課題】 運転操作が容易で安全性に優れ、コンパクトで熱効率のよい固形廃棄物のガス化並びにガス化燃焼方法を提供する。
【解決手段】 固形廃棄物ａを流動層ガス化炉２に供給して、該流動層ガス化炉の流動層部４で熱分解ガス化し、生成する炭化物を該流動層の撹乱運動により微粉砕してチャーｆとし、該流動層ガス化炉のフリーボード部６に空気、酸素富活空気、酸素の中から適宜選択して供給して該チャーのガス化を行い、得られる生成ガスｅを該フリーボード部の上部から排出することとしたものであり、前記流動層ガス化炉の流動層部は、温度が４５０〜７００℃、該流動層ガス化炉のフリーボード部は、温度が７００〜１０５０℃であるのがよく、また、得られる生成ガスと該チャーを合流して燃焼炉に供給することができる。 （もっと読む）

【課題】万一ロータ側に異常が発生した場合でも、ステータやケーシングの破損とこれに伴う真空系の破壊に繋がらないような安全性の高いターボ分子ポンプを提供する。
【解決手段】ポンプケーシング１４内部に、ロータＲとステータＳにより構成された翼排気部Ｌ_１及び溝排気部Ｌ_２を有し、ポンプケーシング１４にステータＳの少なくとも一部を固定する該ステータの少なくとも一部に、ロータＲ自体の回転異常または破壊により該ロータＲから異常トルクが作用したときに破断するようにした脆弱部７２を設け、ステータＳとポンプケーシング１４の間の少なくとも一部に、ステータＳの少なくとも一部にロータＲ自体の回転異常または破壊により該ロータＲから異常トルクが作用したとき、脆弱部７２の破断後に、翼排気部Ｌ_１及び溝排気部Ｌ_２のステータＳを回転させるようにした摩擦低減構造５８ａ，５８ｂを設けた。 （もっと読む）

【課題】 給水装置に組み込まれたポンプの始動頻度の異常を精度よく検知することができるポンプの始動頻度異常検知方法およびポンプの始動頻度異常検知機能を有する給水装置を提供する。
【解決手段】 本発明は、給水装置１０に組み込まれたポンプ１４の始動頻度異常検知方法であって、所定の測定期間内においてポンプ１４が始動した回数または停止した回数をカウントし、カウントされた回数と所定の基準値とを比較し、上記回数が基準値を上回った場合に、ポンプ１４の始動頻度が異常であると判断する。 （もっと読む）

【課題】簡便処理により、スラグからの鉛の溶出量を低減し、環境庁公告第１９号法の溶出試験による基準Ｐｂ０．０１ｍｇ／ｌ以下にすることにより、スラグが有効利用できる溶融スラグの鉛溶出防止方法を提供することを目的とすること。
【解決手段】溶融スラグに、該溶融スラグ当たりセメントを０．１〜２％重量を添加して混合、又はセメントと粉体キレートの混合物を０．１〜２％重量を添加して混合し、溶融スラグから鉛が溶出するのを防止する。溶融スラグから溶出する鉛を０．０１ｍｇ／ｌ以下（０．００５ｍｇ／ｌの定量下限）に削減できる。 （もっと読む）

平坦化方法は、配線材料としての金属膜の表面に初期段差が形成されていても、金属膜の表面を全面に亘って、しかも十分な加工速度で平坦に研磨できる。この平坦化方法は、被加工物上に形成した初期段差を有する金属膜表面を加工して平坦化するにあたり、金属膜表面の初期段差を形成する凹部のみを固体またはペースト状の被覆材料で被覆し、研磨剤を用いない電解加工によって金属膜表面を加工する。
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【課題】 処理水の再利用を目的とした下水の高度処理設備などにおいて、魚類を捕食者として利用して食物連鎖の作用によって、ユスリカなどの微小後生動物類の発生を抑制し最少化を図ろうとする際に、放養先水槽内での魚の産卵、増殖活動を防止する。
【解決手段】 汚水を高度に処理した処理水が流入する処理水槽で、処理水中に発生する微小後生動物類を該処理水槽に魚類を継続的に生存が可能な密度で直接放養して捕食させて除去する際に、放養する魚類を雌又は雄のどちらか一方に限定するか、又は放養する魚類を、卵を二枚貝の体内に産卵する習性を持つ魚類に限定し、且つ二枚貝を共存させないことにより該処理水槽内での魚類の産卵、増殖を防止する水処理方法。単一の性に分別した魚類として、精子に電離放射線あるいは紫外線を照射する処理などにより雌のみを発生させた魚類を使用し、後者の魚類としてはヤリタナゴ等が好ましい。 （もっと読む）