【課題】 スクリーンに捕捉されたし渣を掻き上げるレーキの爪先とスカート板の隙間を一定に安定に保ちつつレーキをガイドレールに沿って上昇させることができる除塵装置を提供する。
【解決手段】 水路内に上下に延びる多数のスクリーンバーを配列したスクリーン１３と、該スクリーンの上部に配置されたスカート板１４と、前記スクリーンに捕捉されたし渣を掻き上げるレーキ１９とを備えた除塵装置において、前記レーキには複数のレーキ爪２４，２５を備え、 前記スカート板には少なくとも１本のスカートガイド１５を備え、前記複数のレーキ爪の内、少なくとも１本のレーキ爪２４が前記スカートガイド１５と係合しつつ、前記レーキ１９が前記スクリーンに捕捉されたし渣を掻き上げる。 （もっと読む）

【課題】 粒子状物質の荷電を長時間安定して行い、分離・分級を効果的に行うことができる粒子状物質の分離・分級方法とその装置を提供する。
【解決手段】 被処理空間中の粒子状物質を分離・分級する装置において、光電子放出材３と、該光電子放出材に紫外線及び／又は放射線を照射する照射源１と、微粒子濃度を１００万個／ｆｔ³以下にする除塵手段１２とを有する光電子を発生させる清浄空間Ａと、該清浄空間Ａで発生した光電子を分離・分級するする粒子状物質１９を含有する被処理空間２０に供給する供給手段９と、光電子により荷電された粒子状物質２１を分級する、不用な微細な微粒子の捕捉除去を行う捕集電極２３、不用な比較的大きな微粒子の除去を行う細孔２４、及び、一定の粒径に揃った微粒子の取出口２５からなる分級部Ｅとを有することとした。 （もっと読む）

【課題】１台以上の排熱発生機器と２台以上の排熱利用機器とを排熱搬送経路で接続した排熱利用システムにおいて、広範囲の条件に対応でき、排熱を十分に有効利用できる排熱利用システム及びその運転方法を提供することを目的とする。
【解決手段】１台以上の排熱発生機器と、２台以上の排熱利用機器と、該排熱発生機器と排熱利用機器とを接続する排熱搬送経路と、制御装置を備えた排熱利用システムであって、排熱発生機器からの排熱供給量を検出する排熱供給量検出手段を備え、制御装置は、排熱発生機器からの排熱供給量が増加した場合に、排熱利用機器の中で優先順位の高い排熱利用機器の運転を行い、減少した場合は優先順位の低い排熱利用機器の運転を停止する機能を備えた。 （もっと読む）

基板研磨装置（１０）は、基板（２０）を平坦かつ鏡面に研磨する。基板研磨装置（１０）は、基板（２０）が押圧される研磨テーブル（１２）と、基板（２０）の膜測定のために、研磨テーブル（１２）から基板（２０）に測定光を投光し、基板（２０）から反射光を受光する投受光装置（２４）と、研磨テーブル（１２）の投受光箇所に設けられる流体室（６８）へ、測定光及び反射光が透過する測定用流体を供給する流体供給路（４２）と、流体室（６８）への測定用流体の供給を制御する流体供給制御装置（５６，５８）とを有する。
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【課題】表面により高いシート抵抗をもつ基板に対しても、基板の表面の全面により均一な膜厚のめっき膜を形成して、金属を配線用凹部内にボイドを生じさせることなく確実に埋込むことができるようにする。
【解決手段】基板を保持する基板保持部と、基板保持部で保持した基板Ｗと接触して通電させるカソード電極８８を備えたカソード部と、基板保持部で保持した基板Ｗの表面に対向するように配置され、全体または一部を高抵抗としたアノード９８を有し、基板保持部で保持した基板Ｗとアノード９８との間にめっき液を満たして基板Ｗの表面にめっきを行う。 （もっと読む）

【課題】 排熱発生機器と排熱利用機器とを排熱搬送経路で接続した排熱利用システムにおいて、排熱発生機器を運転のニーズに応じて運転でき、且つ排熱の需給バランスの調整でき、排熱を十分に有効利用できる排熱利用システム及びその運転方法を提供する。
【解決手段】 排熱発生機器と、排熱利用機器と、該排熱発生機器と排熱利用機器とを接続する排熱搬送経路と、制御装置を備えた排熱利用システムであって、制御装置は、排熱供給量の過大状態を判定する排熱供給量過大判定機能、排熱供給量の過小状態を判定する排熱供給量過小判定機能、排熱供給量過大状態の処理機能、及び排熱供給量過小状態の処理機能を備えている。 （もっと読む）

基板研磨装置は半導体ウエハ等の基板の表面を平坦かつ鏡面に研磨する。本発明に係る基板研磨装置は、半導体基板（１８）を研磨するための研磨パッド（１６）が取り付けられる回転テーブル（１２）と、研磨パッド（１６）に設けられた貫通孔（８４）を通じて半導体基板（１８）の膜を測定するための測定光を半導体基板（１８）に投光し、その反射光を受光する投受光装置（８０，８２）と、測定光の経路に流体を供給する供給路（４４）とを備え、供給路（４４）の出口部が貫通孔（８４）の内部に位置している。
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【課題】 コンパクトで安価な構成で酸素の有効利用効率を高めるとともに、生態系への影響を最小限にすることができる酸素溶解システムを提供する。
【解決手段】 酸素溶解システムは、溶存酸素量を改善すべき溶存酸素量改善水域Ｐに酸素気体を溶解させた水を供給する。酸素溶解システムは、溶存酸素量の少ない低濃度溶存酸素水Ｗ_Ｌを取水する吸込管１０と、吸込管１０内の水に酸素を注入する酸素注入部１２と、大気圧下での飽和溶存酸素量以上に酸素を溶解させた高濃度溶存酸素水Ｗ_Ｈを生成する減圧部１６と、高濃度溶存酸素水Ｗ_Ｈを放出する吐出管１８と、高濃度溶存酸素水Ｗ_Ｈを低濃度溶存酸素水Ｗ_Ｌと混合させて中濃度溶存酸素水Ｗ_Ｍを生成し、該中濃度溶存酸素水Ｗ_Ｍを溶存酸素量改善水域Ｐに放出する混合放出管２０とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 複数のチャンネル構造が存在し、電気浸透流が安定的に制御されるべきマイクロチップ、特にDGGE用マイクロチップのチャンネル内壁のコーティング方法等を提供する。
【手段】 本発明は、少なくとも２つのマイクロチャンネルを用いて生体分子を分離する電気泳動用マイクロチップにおいて、前記少なくとも２つのマイクロチャンネルの内壁にコーティングを施す方法であって、電気泳動が行われる前に、前記少なくとも２つのマイクロチャンネルの内壁を少なくとも１種のポリマーで均一にコーティングする工程を含むことを特徴とするコーティング方法に関する。 （もっと読む）

【課題】 部品の摩耗が極めて少なく、また軸封装置への水の供給が不要である安価なポンプを提供する。
【解決手段】 ポンプ１０は、モータに連結された回転軸１６と、回転軸１６に取り付けられた羽根車１３と、羽根車１３を収容したケーシング１１，１２，１４と、羽根車１３の回転により昇圧された液体がケーシング１４の外部に流れ出すことを防止する減圧羽根車１８と、軸封装置２０とを備えている。軸封装置２０は、回転軸１６とケーシング１４との間をシールするシール機構３０と、回転軸１６の回転による遠心力の作用によりシール機構３０によるシールを解除するシール解除機構４０とを有している。 （もっと読む）