【課題】 加熱により気化した有機材料を排気する場合に、長時間安定的に稼動することができる真空排気システムを提供する。
【解決手段】 この真空排気システムＡは、真空チャンバ３０において有機材料を気化する温度以上に加熱し、発生する蒸気を排気するものである。真空チャンバ３０には、有機材料が気相になる温度以上の温度を達成するヒータ１５，１７を備えたターボ分子ポンプ３４が接続され、ターボ分子ポンプ３４には、有機材料が気相になる温度以上の温度に保温されている排気配管３２が接続されている。排気配管３２にはコールドトラップ３６が接続され、コールドトラップ３６には粗引用真空ポンプが接続されている。また、ターボ分子ポンプ３４の吸気側に不活性ガスを導入する付着防止機構４０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ポンプの回転翼を高速で回転させ、かつ高温状態での連続運転を可能にすることによって、多量のガス排気に対応できるポンプ排気性能を有し、かつ反応副生成物を防止するためにヒートアップ運転が行えるターボ型真空ポンプを提供する。
【解決手段】軸方向に気体を吸込む吸気部１ａと、前記吸い込んだ気体を排気する回転翼５と固定翼８とを有する排気部Ｌと、回転翼を回転させる回転軸４とを備え、回転翼は、回転軸に接続されたボス部１６と、ボス部から軸方向に張り出す円筒部１７ａ、１７ｂとを有し、ボス部と、円筒部とを、多孔性セラミックスとアルミニウム合金とを用いた金属基複合材料で構成するターボ型真空ポンプ１０１Ａとする。 （もっと読む）

【課題】 カチオン交換樹脂から溶出するＰＳＳの影響を軽減し、アニオン交換樹脂の反応速度低下を防止し、良好な処理水水質を長期間維持できる復水脱塩方法及び装置を提供する。
【解決手段】 脱塩塔１で復水を処理する復水脱塩方法において、通水終了した混床樹脂ＭＢをカチオン交換樹脂ＣＲとアニオン交換樹脂ＡＲに分離後、通薬・洗浄して再生し、再生した樹脂は気体による撹拌・混合操作を行わず、別々に貯留・待機し、１への充填に際してはそれぞれの樹脂をスラリー状でほぼ同時に１に移送して、１内で直接ＭＲを作成することとしたものであり、前記別々に貯留・待機している樹脂は、洗浄して樹脂からの溶出物を系外に排出後、１への移送を開始するのがよく、前記再生した樹脂は、再生したＣＲの上に、再生したＡＲを返送して逆洗を行い、再分離して別々に貯留・待機することができる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハをカセットに入れず１枚ずつ連続的にメッキ装置内に導入し処理することができると共に、パーティクル汚染や酸化膜の形成を極力減少でき、且つ工程を少なくし装置の据付け面積を小さくすることが可能な基板メッキ装置及び基板メッキ方法を提供すること。
【解決手段】表面に配線溝及び配線穴からなる配線部を形成し、該配線部を含む表面にバリア層を形成した基板に、該配線部を埋め込むメッキ層を形成する基板のメッキ装置１０であって、配線部表面を含むバリア層の上に無電解メッキでメッキ層を形成する第１のメッキ槽１３と、該メッキ層の上に電解メッキにより配線用メッキ層を形成する第２のメッキ槽１３を設けた。 （もっと読む）

【課題】風車ブレードの受雷部以外に雷撃した雷の電流を速やかに該受雷部に誘導する風車ブレードの誘雷方法、誘雷装置、該風車ブレードの誘雷方法、誘雷装置を用いた風力発電装置の避雷方法、避雷装置を提供すること。
【解決手段】風車ブレード１１の所定位置に導電材（金属材）からなる受雷部１２を設け、風車ブレード１１を雷撃した雷電流を受雷部に誘導する風車ブレードの誘雷方法であって、受雷部１２と該受雷部１２から離れた所定の一個所又は複数個所との間の該風車ブレード１１の表面に複数の導電材からなる導電セグメント２５を所定の間隔で且つ間に誘電体層を介在させなる導電装置２１〜２４のいずれか一つ又は２以上を配置し、雷雲の電荷により印加される電界により導電セグメント２５間に放電を発生させ、該放電により配列した導電セグメント近傍に発生した大気のイオン化層を通して風車ブレード１１を雷撃する雷電流を受雷部１２に誘導する。 （もっと読む）

【課題】 樹脂再生時の逆再生率を現状より大幅に低減し、アンモニア運用時の処理水質の向上を図ることができる複床式の復水脱塩方法と装置を提供する。
【解決手段】 複床式でイオン交換樹脂を用いる復水脱塩方法において、相互で混じり合わないように隔壁により区分されたアニオン樹脂層及び架橋度が１０％から１６％である強酸性均一粒径ゲル型カテオン樹脂層を、交互に組み合わせた複床を構成する樹脂層に復水を通水することとしたものであり、前記架橋度が１０％から１６％である強酸性均一粒径ゲル型カチオン樹脂は、平均粒径値が５００〜８００μｍであり、平均粒径値±１００μｍの範囲に樹脂粒存在率が９５％以上、均一係数が１．２以下となるようなイオン交換樹脂であり、通薬再生が必要なったイオン交換樹脂は、夫々別々に抜き出して通薬再生され、元の隔壁内に返送することができる。 （もっと読む）

【課題】 高感度且つ高速で電気的不良を検出することができるパターンを有する半導体装置とその検査方法を提供すること。
【解決手段】 半導体装置は、平行な一対の櫛歯状導体を有するコの字状の第１の配線１と、第１の配線１１に対して入れ子状に配置され且つ平行な一対の櫛歯状導体を有するコの字状の第２の配線１２とを有する基本配線パターンを具備し、第１の配線１１と第２の配線１２とを電気的に異なる電位として配線間のショートの検出を可能とする。第２の配線として、第１の配線１１の平行な櫛歯状導体の間に配置された直線状の導体としてもよい。 （もっと読む）

【課題】排水ポンプ設備を稼働した場合に排水ポンプ運転の障害になる浮遊物を排水ポンプ設備で処理しなくて済む流入ゲートの運転制御方法及び排水ポンプ設備を提供する。
【解決手段】排水ポンプ設備の流入水路４入口に設けた流入ゲート５の下端を水面よりも下げた状態で排水ポンプを運転することにより、浮遊物１３が流入水路４内に流入するのを防ぐようにする。浮遊物１３は、本川の水位が下がって自然流下ができるようになるまで支川２下流に貯留しておく。 （もっと読む）

【課題】構成が簡単で安価なブラシレス同期電動機を提供すること。
【解決手段】突極磁石２〜５を周方向に配置した回転子１と、励磁コイル８が巻回された駆動磁極９を周方向に配置した固定子６とを具備するブラシレス同期電動機は、回転子１の断面形状を非円形としたことを特徴とする。例えば、回転子１は、該回転子の一つの磁極方向に垂直な少なくとも一つの平面を有する筒状体であっても、回転子１の一つの磁極方向に長径を有する断面楕円形の筒状体であってもよい。所要の数の励磁コイル８に、駆動磁極９と回転子１との距離に応じた励磁コイル８のインピーダンスを表す検出信号を出力する検出回路を設けることにより、回転子１の回転角を検出する。 （もっと読む）

【課題】ポリマー繊維基材に放射線グラフト重合を用いて、機能性官能基を導入でき、更に、織布又は不織布基材に対する放射線グラフト重合法における改良可能な放射線グラフト重合用ポリマー基材を提供する。
【解決手段】ポリマー繊維から構成される織布又は不織布と、該ポリマー繊維よりも強度が高く放射線グラフト重合速度の遅いポリマー補強材とから構成されることを特徴とする織布又は不織布のグラフト処理材料、更に、ポリマー単繊維から構成される織布又は不織布材料であって、該繊維の表面部分のみが放射線グラフト重合処理され、繊維の中心部分が非グラフト状態であることを特徴とする放射線グラフト処理材料。これら基材に、窒素雰囲気中で電子線を照射する第１工程；窒素雰囲気中で所定量のモノマーに接触させる第２工程；窒素雰囲気中でグラフト重合する第３工程；を連続で行う放射線グラフト重合方法。 （もっと読む）