【課題】めっき発生核やめっき粒の微細化を図ることで緻密なめっき膜を形成でき、微細化が進む基板上の配線形成に対応することが可能な電解めっき方法及び電解めっき装置を提供する。
【解決手段】表面に微細凹部が形成された被めっき基板２０をめっき液１０中に浸漬させて金属めっき膜を成膜する電解めっき方法において、めっき処理槽１１内のめっき液１０を、めっき液循環配管３１に循環させながら冷却器３３でその液温が溶媒の凝固点以上１５℃未満になるように冷却し、その状態で金属めっき膜の成膜を行うことで、被めっき基板１０の微細凹部内に緻密でボイドの少ない金属配線材料を埋め込むことができるようにした。 （もっと読む）

【課題】基板の周縁部及び裏面などにおける不要な膜や傷を研磨により効果的に除去することができるコンパクトな研磨装置を提供する。
【解決手段】研磨面を有する研磨テープ５１が巻回された供給リール５２と、研磨テープ５１を巻取る巻取リール５３と、供給リール５２と巻取リール５３との間で研磨テープ５１を基板Ｗの被研磨面に押圧する押圧部材５９ａ，５９ｂ，５９ｃと、巻取リール５３を回転させるモータ６１とを備えた。研磨カートリッジ５には、供給リール５２と巻取リール５３と押圧部材５９ａ，５９ｂ，５９ｃとが収納され、カートリッジ保持部６には、研磨カートリッジ５が着脱自在に保持される。 （もっと読む）

【解決課題】生物発電技術を利用する有機性高分子物質含有廃液の処理に際して、有機性高分子物質をより処理しやすい低分子化有機性物質に効率的に変換することができる処理方法及び装置を提供する。
【解決手段】有機性高分子物質含有廃液１を原水貯留槽２に貯留しておき、送液ポンプを作動させて、有機性高分子物質含有廃液１を低分子化槽３に送液する。低分子化槽３には有機性高分子分解嫌気性微生物が存在しており、pH制御装置８によって制御されたpH条件下で有機性高分子分解嫌気性微生物が有機性高分子を単糖類、オリゴ糖、アミノ酸、及びペプチドに分解し、さらに揮発性有機酸まで分解して、低分子化被処理液が形成される。低分子化被処理液を送液ポンプによって生物発電装置５の嫌気性域５ａに供給する。生物発電装置５内では、電極活性な微生物による酸化反応と酸素の還元反応とによって発電しながら、可溶化有機性物質が分解処理される。 （もっと読む）

【課題】 脈動を抑制して高精度の流量制御を行いつつ安定した連続運転が可能なプランジャポンプ装置を提供する。
【解決手段】 このプランジャポンプ装置１は、それぞれ個別の駆動装置１９を有し、液体源３８とマイクロリアクタ２流路間において並列に接続された一対のプランジャポンプ１０と、マイクロリアクタ流路内に設置された流量計４６と、一対のプランジャポンプ１０を交互に一定の所定送り速度で吐出動作させる制御部２８を備えている。制御部２８は、プランジャポンプ１０が吐出動作しているときの流量計４６の測定値に基づいて、所定のタイミングで送り速度を調整する。 （もっと読む）

【課題】トレンチやビアホール等の凹部内に選択的にめっきを行って、表面の平坦性が高いめっき膜を形成することができるようにする。
【解決手段】基板Ｗを保持する基板保持部１０と、基板保持部１０で保持した基板Ｗの表面に当接して通電させるカソード１４と、基板保持部１０で保持した基板と対向して設置されるアノード３８及び該アノード３８と基板との間に配置される多孔質体２６を有するアノードヘッド２２と、アノード３８と基板保持部１０で保持した基板Ｗの表面との間にめっき液を供給するめっき液供給部４４と、基板Ｗと多孔質体２６との間に配置され、めっきに際し多孔質体２６を介して基板Ｗの表面に押当てられる表面が平滑な多孔性の接触体５０を有する。 （もっと読む）

【課題】主に小型風力発電機と太陽光発電設備を備えた風力・太陽光ハイブリッド発電システムを提供すること。
【解決手段】太陽光発電設備１０と風力発電設備２０を備え、且つこれら発電設備が商用電力系統から独立している風力・太陽光発電システムであって、太陽光発電設備１０を負荷太陽電池１１−１と蓄電池充電用太陽電池１１−２を備え、該負荷太陽電池１１−１で発電された直流電力Ｐ１_DCを第１のインバータ３２で交流電力Ｐ１_ACに変換して負荷３３に供給し、蓄電池充電用太陽電池１１−２で発電された直流電力Ｐ２_DCと風力発電設備２０の風力発電機２１で発電され直流に変換された直流電力Ｐ３_DCとを蓄電池３５に充電し、蓄電池３５に充電された直流電力を第２のインバータ３８で交流電力に変換し、負荷３９に供給する。 （もっと読む）

【課題】電動機の逆転などによって羽根止めナットに多少の緩みが生じた場合でも、軸スリーブとポンプ軸の間に滑りが生じないようにする。
【解決手段】外周部にスプライン加工を施したポンプ軸１８と、ポンプ軸１８に取付けられる羽根車３４と、羽根車３４の軸方向端面に直接または間接的に当接させてポンプ軸３４に取付けられる軸スリーブ３６，３８を備え、軸スリーブ３６，３８の内径部には、ポンプ軸１８に対する廻止め部６０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 加熱により気化した有機材料を排気する場合に、長時間安定的に稼動することができる真空排気システムを提供する。
【解決手段】 この真空排気システムＡは、真空チャンバ３０において有機材料を気化する温度以上に加熱し、発生する蒸気を排気するものである。真空チャンバ３０には、有機材料が気相になる温度以上の温度を達成するヒータ１５，１７を備えたターボ分子ポンプ３４が接続され、ターボ分子ポンプ３４には、有機材料が気相になる温度以上の温度に保温されている排気配管３２が接続されている。排気配管３２にはコールドトラップ３６が接続され、コールドトラップ３６には粗引用真空ポンプが接続されている。また、ターボ分子ポンプ３４の吸気側に不活性ガスを導入する付着防止機構４０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成により、脈動を抑制した連続運転が可能な２連式プランジャポンプを提供する。
【解決手段】 このプランジャポンプ装置は、一対のプランジャポンプ１０を並列に接続したものである。各プランジャポンプ１０のプランジャ１４をそれぞれが交互に前進するように連動させるカム機構５０と、各プランジャ１４をその後退時にカム機構５０に向けて押圧する流体圧装置６０と、流体圧装置の動作をプランジャの動作サイクルに応じて制御する制御部８０とが設けられている。 （もっと読む）

【課題】 連続処理システムにおける処理流体を、リアルタイムで精度良く分析して、製造ラインを高い精度で監視することができるマルチ分光分析装置を提供する。
【解決手段】 このマルチ分光分析装置１は、、複数の波長の異なる光源２４ａ〜２４ｇを有する光源部２４と、被測定液を流通させるフローセル１４を構成するケーシング１０と、フローセル１４において被測定液に近接する複数の発光部２０と受光部２２と、受光部２２から得られた各波長の分光を個々に行う分光器２８ａ〜２８ｇを有する分光部２８と、分光器２８ａ〜２８ｇで得られた被測定液の分光情報を演算制御して出力する制御部３２とを具備する。 （もっと読む）