【課題】気泡の抜けが比較的よいディップ方式を採用し、広い占有面積を占めることなく、バンプ等の突起状電極に適した金属めっき膜を自動的に形成できるようにする。
【解決手段】配線が形成された基板の上に突起状電極を形成するめっき装置であって、基板カセットを置くカセットテーブル１２と、基板に対して濡れ性を良くするためのプリウェット処理を施すプリウェット槽２６と、該プリウェット槽でプリウェット処理を施した基板にめっきを施すめっき槽３４と、めっきされた基板を洗浄する洗浄装置３０ｂと、洗浄された基板を乾燥させる乾燥装置３２と、めっき液の成分を分析し、この分析結果に基づいてめっき液に成分を追加するめっき液管理装置と、基板を搬送する基板搬送装置４０とを備えた。 （もっと読む）

【解決課題】低コストで効率的、且つ安定的な焼却処理を可能にする廃イオン交換樹脂集合固化体の製造方法、製造装置及び廃イオン交換樹脂集合固化体を提供する。
【解決手段】廃イオン交換樹脂貯槽１０からの廃イオン交換樹脂の樹脂表面水を粗く水切りし、計量機構６０で計量し、混合槽７０に投入する。吸水材貯槽３０から吸水材を計量後、混合槽７０に投入し、廃イオン交換樹脂の残留水分を吸水材に吸水させる。次に、可燃性結合材貯槽２０から可燃性結合材を計量後、混合槽７０に投入し、脱水後の廃イオン交換樹脂と吸水後の吸水材との混合物に混合させる。カルシウム塩貯槽４０からカルシウム塩を計量し後、混合槽７０に投入して、可燃性結合材と一緒に廃イオン交換樹脂と吸水材との混合物に混合させる。混合物７２を混練成形装置８０内で、可燃性結合材の軟化点以上で溶融点に至らない温度に維持しながら混練、成形して得た成形体８４を切断手段９０によって切断し固化体貯槽１００内で冷却保管する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハをトップリングに装着したまま、該トップリングをターンテーブル外にずらすことなく、被研磨面の膜厚をリアルタイムで検出できるポリッシング装置および方法を提供する。
【解決手段】回転するテーブル１と、回転するトップリング３とを具備し、テーブル１とトップリング３の間に被研磨物を介在させ、トップリング３によって該被研磨物を押圧し、該被研磨物の被研磨面を研磨するポリッシング方法であって、テーブル１に設けられた膜厚検出手段が前記被研磨面上を移動しながら膜厚を検出することにより、半径位置が異なる複数の該被研磨物測定点の膜厚の時間変化を測定し、該被研磨物の研磨プロファイルを研磨中に制御する。 （もっと読む）

【課題】換気のための特別な設備を用いることなく、排水管をはじめとする各部の換気を行って下水の排水後の水質悪化による異臭および各部における腐食の進行を防止することができるポンプ場システムを提供する。
【解決手段】ポンプ場システム１は、汚水と雨水とが合流した下水を集水する吸水槽１０と、吸水槽１０と下流側の放流設備１４とを接続する排水管１８と、吸水槽１０内の下水を汲み上げて排水管１８を通して放流設備１４に流す揚水ポンプ２０とを備えている。また、ポンプ場システム１は、排水管１８の内部に空気を送って換気を行うファン３６を備えている。 （もっと読む）

【課題】像面上における収差による荷電粒子ビームの拡がりを低減することができる荷電粒子ビーム光学装置を提供することを目的とする。
【解決手段】荷電粒子ビーム光学装置は、荷電粒子源からの一次荷電粒子ビームの照射により試料から得られる電子を二次荷電粒子ビームとして検出する。荷電粒子ビーム光学装置は、試料に対してＸ軸方向に延在した長方形状の領域を一次荷電粒子ビームで照射する一次光学系と、試料から放出された二次荷電粒子ビームを開口絞りを通して検出面上に検出させる二次光学系とを備え、開口形状は、Ｘ軸方向に直交したＹ軸方向に長軸を有する楕円形に形成されている。 （もっと読む）

【課題】高温吸収器および高温蒸発器における作動媒体の圧力上昇を抑えつつ、昇温能力を高めた吸収ヒートポンプおよび蒸気供給システムを提供すること。
【解決手段】第１の吸収液が冷媒蒸気を吸収して被加熱媒体流路ＡＨＴを流れる被加熱媒体を加熱する第１の吸収器ＡＨと、冷媒蒸気を吸収した第１の吸収液を導入し該第１の吸収液から冷媒を蒸発させる第１の再生器Ｇと、第１の再生器Ｇで蒸発した冷媒蒸気を第２の吸収液で吸収し第１の冷却器ＡＬＴで冷却する第２の吸収器ＡＬと、冷媒蒸気を吸収した第２の吸収液から冷媒を蒸発させる第２の再生器ＧＬと、第２の再生器ＧＬで蒸発した冷媒蒸気を凝縮させる凝縮器Ｃと、凝縮器Ｃで凝縮した冷媒液を蒸発させ第１の吸収器ＡＨに送る蒸発器Ｅとを備える吸収ヒートポンプ。 （もっと読む）

【課題】キャンドモータの冷却及び軸受の潤滑・冷却を確実に行うことができ、更に、ポンプ効率及び吸込性能を向上させることができる、キャンドモータポンプにおけるポンプ取扱液の循環方法を提供する。
【解決手段】キャンドモータポンプの運転直後に固定環の内周面とディスタンスピース６の外周面とを相互に接触させ、ディスタンスピース６の外周面を摩耗させて運転時間の経過とともに絞り機構４ａに微小隙間を生じさせ、羽根車通過後の昇圧された液の一部を圧力液体室Ａに導き、圧力液体室Ａの液体を二方向に分流して、一方を、羽根車側の軸受９ａ及びモータ回転子１０と固定子１３の空隙、更に、羽根車２の反対側の軸受９ｂを経由して、ポンプ吸込側に戻し、他方を、絞り機構４ａの微小隙間を介して、ポンプ吸込側へ戻す。 （もっと読む）

【課題】装置のイニシャルコスト、ランニングコストを低くでき、広い設置スペースを必要とすることなく、高品質の保護膜を金属部の表面に効率よく形成できるようにする。
【解決手段】処理槽を有する前処理ユニットと、めっき槽を有する無電解めっきユニットと、後洗浄ユニットとを有し、前処理ユニットと無電解めっきユニットは、吸着ヘッド２３４と該吸着ヘッドの周囲を囲繞する基板受け２３６を備えた共通の基板保持ヘッドを有し、吸着ヘッドには、円周方向に沿って延びる真空引き可能な凹状部２５０ａを有する吸着リング２５０が取付けられ、基板受けは、内方に突出し内周端部にシールリング２５４ａを有し、吸着ヘッドによってシールリングを基板の周縁部に圧接させて、基板の周縁部をシールリングでシールして基板を保持し、吸着リングの凹状部を真空引きして、基板の周縁部を吸着リングでシールしながら基板を吸着保持して基板を基板受けから引離す。 （もっと読む）

【課題】一台の吸収ヒートポンプで、昇温能力が高く、効率の向上を実現する吸収ヒートポンプおよび蒸気供給システムを提供する。
【解決手段】吸収液が冷媒蒸気を吸収し被加熱媒体を加熱する第１の吸収器ＡＨと、第２の被加熱媒体流路を流れる冷媒液を加熱する第２の吸収器ＡＬと、吸収液を導入し吸収液から冷媒を蒸発させる再生器Ｇと、再生器で蒸発した冷媒蒸気を凝縮させる凝縮器Ｃと、凝縮器で凝縮した冷媒液を導入し第２の被加熱媒体流路で発生した冷媒蒸気を第１の吸収器に送る第１の蒸発器ＥＨと、凝縮器で凝縮した冷媒液を導入し冷媒液から冷媒蒸気を発生させ第２の吸収器に送る第２の蒸発器ＥＬと、第２の吸収器で吸収液が冷媒蒸気を吸収することを停止する装置と、第１の蒸発器または第１の吸収器と第２の蒸発器または第２の吸収器とを連通する冷媒蒸気流路２５と、冷媒蒸気流路の流量を調整する冷媒蒸気流量調整装置２８とを備える吸収ヒートポンプ。 （もっと読む）

【課題】運転効率のよい駆動システムを提供する。
【解決手段】作動媒体Ｍを蒸発させる第１の蒸気発生器１０ａと；第１の蒸気発生器１０ａで蒸発した作動媒体Ｍを膨張させて機械的動力を得る第１の膨張機２０ａと；作動媒体Ｍを第１の蒸気発生器１０ａの蒸発温度より低い温度で蒸発させる第２の蒸気発生器１０ｂと；第２の蒸気発生器１０ｂで蒸発した作動媒体Ｍを膨張させて機械的動力を得る第２の膨張機２０ｂと；膨張した作動媒体Ｍを凝縮させる凝縮器３０と；第１の膨張機２０ａ及び第２の膨張機２０ｂで得られる機械的動力により駆動される被駆動機４０と；を備えるので、運転効率のよい駆動システムを提供することすることができる。 （もっと読む）