【課題】ゲート弁の動的挙動情報により故障予知を事前に行い、動作異常による製品不良を未然に防止する。
【解決手段】ウエハが搬入搬出される負圧移載室と、負圧移載室に隣接する処理ユニットおよび予備室と、負圧移載室と処理ユニットおよび予備室との間に設置されたゲート弁４０とを具備するクラスタ装置において、ゲート弁４０に状態検出装置６０を設ける。状態検出装置６０には、ピストン４６と連動するフラップ６１と、ゲート弁４０の弁体４２が搬送口４１を完全に遮蔽する位置でフラップ６１を検出するフォトセンサ６２ａと、完全に開放する位置でフラップ６１を検出するフォトセンサ６２ｋと、フォトセンサ６２ａとフォトセンサ６２ｋとの間でフラップ６１をそれぞれ検出するフォトセンサ６２ｂ〜６２ｊとを設ける。 （もっと読む）

【課題】
周波数切替え時、或は信号送受信時に発生する不連続信号による受信効率の低下を防止し、連続した変調信号を生成できる多値ＦＳＫ変調信号生成装置を提供する。
【解決手段】
ＰＮ信号発生器２と、ＦＳＫ変調信号の周波数位相値を格納する位相値テーブル１５と、１周期分の位相値のｓｉｎテーブルを格納した周波数テーブル１７と、生成したＦＳＫ変調信号の格納、送信を行う２重化された信号バッファ５とを具備し、ＰＮ信号に基づき前記位相値テーブルから位相値が読出され、該位相値から最新の位相値が算出され、該最新の位相値に沿った信号が前記周波数テーブルから読出されることで周波数切替え時にＦＳＫ変調信号が連続され、信号の格納と送信が２重化された前記信号バッファによって交互に行われることで該信号バッファへの格納と送信のずれや順序の逆転による空白が抑制され、連続したＦＳＫ変調信号が生成される様構成した。
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【課題】命中判定の精度が向上するように改良された射撃訓練システムを提供することを目的とする。
【解決手段】一般的な射撃訓練システムでは、標的への命中判定は、２ｋｍ程度離れている遠隔地から望遠鏡により目視確認を行っているので、正確な命中判定は、困難である。このような事情に対応し、本発明に係る射撃訓練システムは、命中判定を目視で行なわず、自動で判定してパソコンなどの画面に表示させるように工夫がなされている。本発明にかかる射撃訓練システムは、それぞれ射撃の標的となる複数のパネルから構成される標的と、複数のパネルそれぞれを温める発熱体と、パネルそれぞれに取り付けられた温度検出器と、パネルが射撃されたときに、発熱体からの熱を前記温度検出器が検出しなくなったことを以って、射撃されたことを判定する判定装置とを有する。 （もっと読む）

【課題】映像データと音声データの両方を通信や記録や再生することを効率的に行うデータ処理システムを提供する。
【解決手段】送信装置１では、送信対象となる映像データ及び音声データについて、映像符号化手段１２が当該映像データを符号化し、音声格納手段１２が符号化された映像データのヘッダに当該音声データを格納し、送信手段１３が音声データが格納された符号化された映像データを送信する。受信装置３では、受信手段３１が符号化された映像データを受信し、抽出手段３２が受信された符号化された映像データのヘッダから格納された音声データを抽出し、映像復号化手段３２が音声データが抽出された後の符号化された映像データを復号化する。 （もっと読む）

【課題】 絞りを維持したまま一定の照度が得られる照明装置を提供する。
【解決手段】 ランプ３の劣化が原因でその光量が低下した場合、フォトセンサ９によってランプ３の光量（照度）が検出され、その情報がランプ駆動制御部４ヘフィードバックされる。その情報を基に、ランプ駆動制御部４では、現在の光量値と規定値との補正を行い、ランプ３に流す電流を変動させる。これにより、ライトガイド７から照射される光量に対し、常時一定に維持することができ、照度を一定に保つことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】温度分布均一性および安定性を向上し、ヒータの短絡を防止する。
【解決手段】ウエハを加熱するヒータを備えた成膜装置において、パネルヒータ７０にインゾーンヒータ７１とアウトゾーンヒータ７２を設け、インゾーンヒータ７１とアウトゾーンヒータ７２はインゾーン用サイリスタ７３とアウトゾーン用サイリスタ７４を介してインゾーン用電源７５とアウトゾーン用電源７６に接続する。インゾーン用サイリスタ７３とアウトゾーン用サイリスタ７４とが接続された温度調節部７８に熱電対７７を接続する。温度調節部７８は熱電対７７の検出温度に基づいてインゾーンヒータ７１とアウトゾーンヒータ７２の加熱温度を調節する調節値を算出し、当該算出した調節値と、インゾーンとアウトゾーンとの温度偏差が所定値になるように算出した比率とに基づいてインゾーン用サイリスタ７３およびアウトゾーン用サイリスタ７４をそれぞれ制御する。 （もっと読む）

【課題】親機２に対して光ファイバを介して複数の子機Ａ１〜ＡＮがカスケード接続された光伝送装置で、子機毎にエリアの大きさを設定する。
【解決手段】複数の子機のそれぞれでは、下り処理手段が親機側から伝送されてきた下りの光信号を用いて取得した自機に対応したキャリアの信号を無線により送信し、上り処理手段が無線により受信した自機に対応したキャリアの信号を上りの光信号として自機より下位に存在する子機からの上りの光信号と合成して前記親機側へ伝送する。下り処理手段と上り処理手段のうちの一方又は両方では、係数記憶手段Ｃ１〜ＣＮが各子機毎に設定することが可能な重み付け係数を記憶し、係数乗算手段Ｄ１〜ＤＮが記憶された重み付け係数を処理対象となる自機に対応したキャリアの信号に乗算する。 （もっと読む）

【課題】無線通信装置１で、適応変調テーブル（通信品質と変調方式及び誤り訂正の符号化率との対応）を効果的に更新して、最適な変調方式を選択する。
【解決手段】対応記憶手段１９が複数の速度のそれぞれについて対応を記憶し、送信手段２０、２１、１１〜１４が通信相手となる装置に対して信号を無線送信し、受信手段１３〜１５が当該装置から受信成否の情報及び通信品質に関する情報を含む信号を受信し、対応内容更新手段１８が受信成否検出手段１５による受信成否の情報に基づいて対応の内容を更新し、通信品質変化検出手段１７が通信品質検出手段１６による通信品質に関する情報の時間的な変化の度合いを検出し、更新対象選択手段１７が当該時間的な変化の度合いに応じた速度についての対応を更新の対象とする。 （もっと読む）

【課題】 複数の業務アプリケーション毎に共通の仕組みを用いて個々の業務アプリケーション毎のプログラムのダウンロードを可能とし、ダウンロード処理の効率化を図り、利便性を向上させることができるプログラムダウンロードシステムを提供する。
【解決手段】 ダウンロード用サーバ１が、業務アプリケーション毎に、ダウンロードに必要な情報を指定する指示ファイルと、ダウンロードすべきプログラムを格納するダウンロード用ファイルと、ダウンロード結果を格納する結果ファイルとを記憶しており、クライアント装置６が、業務アプリケーション毎に、予め設定された初期情報を用いて対応した指示ファイルをダウンロードして、指示ファイルに基づいて、指定されたダウンロード用ファイルをダウンロードしてプログラムを記憶して切替処理を行い、ダウンロード結果を指定された結果ファイルにアップロードするプログラムダウンロードシステムである。 （もっと読む）

【課題】 ＳｉＯ_２膜中への窒素のドープ速度を高める
【解決手段】 反応容器内に設けられた処理室内に基板を搬入する工程と、反応容器内に設けられたガス滞留室内にガスを供給して滞留させ、滞留させたガスを処理室内に供給して基板を処理する工程と、処理済みの基板を処理室内より搬出する工程と、を有し、基板を処理する工程では、複数個の孔が面内に分散するように設けられた複数枚の邪魔板をガス滞留室内のガス流路上に所定の間隔をあけて水平姿勢で積層し、隣接する邪魔板同士の孔が互いに重なり合わないように各邪魔板をそれぞれ配置してガスを分解される温度で滞留させる。 （もっと読む）