【課題】膜中不純物プロファイルがブロードになることを抑制し、シャープなプロファイルを実現する半導体装置の製造方法、および基板処理装置を提供する。
【解決手段】ボート２１７を上昇して、反応室２０１内に複数のウェーハ２００を搬入する。反応ガスＧＡＳ１〜３を用いてウェーハ２００を処理する。ＧＡＳ１はシリコン原子を含み、例えばＳｉＨ４である。ＧＡＳ２はリン原子を含み、例えばＰＨ３である。ＧＡＳ３はシリコン原子を含み、例えばＳｉ２Ｈ６である。ウェーハ２００に対して少なくともＧＡＳ１とＧＡＳ２とを供給して、ウェーハ２００にリン原子を含む第一シリコン膜を成膜し、その後、反応室を低温化させ、少なくともＧＡＳ３を供給して、少なくとも第一シリコン膜上に不純物原子を含まないか、または第一シリコン膜よりも不純物濃度が低い第二シリコン膜を成膜する。反応室２０１よりボート２１７を降下し処理後のウェーハ２００を搬出する。 （もっと読む）

【課題】フッ素樹脂などの柔軟な配管を用いず、かつ、シールキャップのＯリングを極力少なくし、シールキャップに設けたボート回転機構の回転軸周辺へ、ガスを供給する構造を提供する。
【解決手段】基板を支持して回転させる回転軸５８ａの周りに第１の中空部５２ｃと第２の中空部５２ｄを設け、ガス流路とガス排気流路を介してガス供給ポート及びガス排気ポートに連通する。ガス流路およびガス排気流路は、シールキャップ５２の外周縁部に設けられた第１部材１００ａ，１００ｂに設けられたシール部を介してガス供給ポート及びガス排気ポートに接続される。 （もっと読む）

【課題】気密シールに用いられるＯリングを熱から有効に保護できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】その内側で基板２００が処理される反応管２０５と、少なくとも基板２００が処理される箇所を加熱する加熱手段２０６と、反応管２０５を取り付けるインレットフランジ２０９と、反応管２０５とインレットフランジ２０９を気密にシールするＯリング２２０ａと、反応管２０５およびインレットフランジ２０９の少なくとも一方に気体を吹き付け、反応管２０５およびインレットフランジ２０９の少なくとも一方を介してＯリング２２０ａを冷却する気体吹き付け手段２１５、２２６を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、無線機のモジュールの組合せが適切であるかを判定すると共に、無線機に接続されるの器材が適切であるかを判定することにより、無線機システムの運用モードを確認することができ、無線機システムを支障なく正常に動作することができる無線機システムのモード確認方法を提供することにある。
【解決手段】本発明は、無線機１１に実装するモジュールの組合せ状態である無線機モードを取得すると共に、無線機１１に接続されている器材の情報を取得し、取得した無線機モードのモジュールの組合せが適切であるかを判定すると共に、取得した器材情報の器材が適切であるかを判定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数の構成品がそれらの動作を制御する制御器に接続されているか否かを容易に確認することができるようにした試験システムを提供する。
【解決手段】構成品（測定器４-ｎ、切替器５、被試験器用コントローラ６、モニタ７、プリンタ８）のそれぞれが制御器（３）に接続されているか否かを判断し、構成品のそれぞれを表す構成品画像（２１）を、試験システム（１）における構成品の実際の配置位置に対応させ、判断結果別に異なる特徴（色彩）を付与して表示する。 （もっと読む）

【課題】クリーニング時間の短縮、クリーニング実施間隔の長期化、メンテナンスサイクルの長期化が図れ、製品品質、スループット、稼働率の向上を図ることができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】内部で基板を処理する反応管と、該反応管に連設され、該反応管の内壁より該反応管の軸心側に突出した突出部７４を有する非金属部材で構成されるマニホールド４１と、温度検出器を収納し、前記マニホールド４１に保持されつつ前記反応管内に設けられ、非金属部材で構成される保護管６５と、前記突出部７４に設けられ、前記保護管６５の移動を抑制する非金属部材で構成される保護管移動抑制部８７とを備え、又前記突出部７４の内壁側には前記保護管の移動を抑制する溝７８が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 誘電体表面に電荷を均一帯電させることにより均一なプラズマの生成を可能にすると共に、プラズマ放電開始電圧の低減を可能にするプラズマ発生電極を提供する。
【解決手段】 互いに均等な間隔を隔てて配置された対向配置された少なくとも一対の対向電極１，１’を備え、これら対向電極１，１’に高周波電力を印加することによって、対向電極１，１’間にプラズマを発生させるプラズマ発生電極であって、前記一対の対向電極１，１’の少なくとも一方の電極表面に一様な厚みに誘電体層２が設けられ、該誘電体層２中には、多数の導体小片７が、誘電体層２の表面の面方向に沿った方向に、当該導体小片サイズ程度の間隔を隔てて一様に分散されて埋設される。 （もっと読む）

【課題】固体撮像素子の取付方法において、各金具の複数の脚部の接合をロボットを用いて容易に且つ安定して行え、その接合時の溶融性金属の収縮による固体撮像素子に位置ずれを抑制して取付精度を向上できるようにすること。
【解決手段】第２の金具３の複数の接合部３ｃに溶融性金属充填用通路３ｄを形成し、溶融性金属充填用通路３ｄを形成した第２の金具３の接合部３ｃが第１の金具２の接合部２ｃの上になるように各接合部２ｃ、３ｃを対峙させ、対峙された各接合部２ｃ、３ｃの隙間６に溶融性金属充填用通路３ｄを通して溶融半田２１をほぼ同時に充填して凝固させて第１の金具２と第２の金具３とを接合する。 （もっと読む）

【課題】試験を効率的に行うことができるように改良された試験システムを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明にかかる第１の試験システムは、試験の対象であって、複数の構成部分を含み、複数の構成部分それぞれに対する第１の試験を行う被試験装置を試験する試験システムであって、被試験装置において実施された第１の試験の結果に基づいて、第２の試験の対象とすべき構成部分を選択する選択手段と、選択された構成要素と、第２の試験に含まれる試験項目とを対応づける対応付け手段と、対応付けられた構成部分と試験項目とを表する表示手段とを有する。また、複数の構成部分を含む被試験装置を試験する第２の試験システムであって、構成部分の選択を受け入れる受け入れ手段と、選択された構成要素と、試験に含まれる試験項目とを対応づける対応付け手段と、対応付けられた構成部分と試験項目とを表する表示手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】 従来のフィードフォワード歪補償増幅回路は、誤差増幅器で電力を浪費してしまうという問題点があり、誤差増幅器から出力される歪成分の信号を全て無駄なく有効利用して、電力効率を向上させることができる高効率の歪補償増幅回路を提供する。
【解決手段】 入力信号を３分配する分配器１１と、位相及び振幅を調整された第１の分配信号を増幅して、増幅された信号成分と歪成分とを出力する第１の主増幅器１４と、第２の分配信号と第１の主増幅器１４の出力とを逆位相で合成して第１の主増幅器１４の歪成分を出力する分配合成器１６と、第１の主増幅器１４の歪成分と遅延された第３の分配信号とを合成する第１の合成器２４と、第１の合成器の出力を増幅する第２の主増幅器１９と、第１の主増幅器１４の出力信号と、第２の増幅器１９の出力信号とを合成して増幅器出力とする第２の合成器２１とを備えた歪補償増幅回路としている。 （もっと読む）