【課題】中継地点のデジタル伝送の状態を示す２次元表示データ情報を、受信側に迅速に伝送し、伝播状況の表示が得られる事を目的とする。
【解決手段】デジタル変調方式により変調された伝送信号ＴＳを２次元にマッピングし、送受信し受信した２次元のデータを識別することで伝送信号ＴＳを再生するデジタル伝送装置において、一定期間毎に２次元表示データ情報を受信側に送信し、受信側に伝送状態表示情報のメモリを設け、伝送状態表示情報に基づいたアドレスのメモリのデータに整数Ｎを書込み、表示アドレスに従いメモリを読み出し、読出したアドレスのメモリのデータは１ずつ減算する。 （もっと読む）

【課題】複数枚の基板を保持するボートを複数台有する基板処理装置を使用して行う基板処理によって基板上に起こるパーティクルの発生を抑制すること。
【解決手段】複数枚の基板であるウェハ４を保持するボート６ａ、６ｂと反応炉２０とを有する基板処理装置を使用し、ボート６ａに保持されたウェハ４を反応炉２０内で処理している間に、反応炉２０外で、ボート６ｂに次回処理するウェハ４を移載機１４によって移載しておき、反応炉２０内での処理によってウェハ４上、ボート６ａ上、反応炉２０内に膜が形成された後、反応炉２０内の温度を基板処理時の温度Ｔ_ＦＦＭよりも降下させた後に、処理後のウェハ４を保持したボート６ａを反応炉２０外ヘアンロードし、再び、反応炉２０内の温度をＴ_ＦＦＭに戻した後に、ウェハ４を保持したボート６ｂを反応炉２０内へロードすることを特徴とする半導体装置の製造方法を構成する。 （もっと読む）

【課題】複数の同一種別一斉指令内容は、確実に端末局に伝え、運用効率の高い通信システムが実現する。また、非常災害時等に別の緊急情報を一斉指令情報で送信する回線が確保でき、確実に端末局に伝送される信頼性の高い通信システムが実現する。
【解決手段】統制局１０１と複数の端末局１０２を有し、伝送路１０４で接続された通信システムにおいて、上記統制局は、複数の一斉指令卓１０５と、一斉指令制御装置１０６および記憶装置１１５を有し、上記端末局の各々は、上記一斉指令制御装置から伝送される信号を制御する制御装置１０７と、出力装置と、記憶部および操作部１１０を有し、上記伝送路が上記複数の一斉指令卓１０５の内の第１の一斉指令卓の一斉通報で使用されている場合、上記一斉指令制御装置は、上記複数の一斉指令卓の内の第２の一斉指令卓からの一斉通報情報を上記記憶装置に記憶するように構成される。 （もっと読む）

【課題】
従来の無線通信システムでは、自治体の職員や防災機関の職員等が離席等で受令電話機の呼出音が聞こえなかったり、また、風雨や豪雨の音で受令電話機の音を聞くことができず、確実に一斉通報の内容が職員等に伝達される信頼性の高い無線通信システムの実現が望まれている。
【解決手段】
統制局と、複数の端末局および上記統制局と上記複数の端末局とを通信回線を介して接続される無線通信システムにおいて、上記統制局は、制御部および第１の記憶部を有し、上記複数の端末局のそれぞれは、制御装置と、第２の記憶部および上記統制局からの情報を出力する出力装置を有し、上記統制局は、第１の一斉通報に対して応答しない上記端末局に対して、上記第１の一斉通報とは異なった形態の第２の一斉通報を送信するように構成される。 （もっと読む）

【課題】誤り訂正符号化等の伝送路符号化処理を施したデジタル信号を伝送する伝送装置において、受信側での復号化処理に際し、誤り数が多く、複数のブロック符号化受信信号の各系統とも今までは誤り訂正不可能なブロック符号化信号においても、訂正して、画像復調の処理を停止する頻度を低下させる。
【解決手段】上記２系統以上のブロック符号化信号入力の内、少なくとも誤り訂正不可能な誤り訂正単位（パケット）は、それぞれのタイミング位相を、ワード単位にて一致させた後、ワード単位にて信号を選別して再生成し誤り訂正する。具体的には、３系統以上のブロック符号化信号の多数決または、２系統のブロック符号化信号の奇数部分と偶数部分とを差し替える。 （もっと読む）

【課題】従来は選択エピタキシャル成長を行う前に、自然酸化膜除去をする為にＨ２アニールを高温で処理しなければならなかったが、それを止めて低温で前処理が可能な成膜工程を備える半導体デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】ウェハの温度を７００℃に保って、エピタキシャル成長の前処理としてジクロールシランの分圧を０．２５Ｐａ、Ｃｌ_２の分圧を０．０３Ｐａ、全圧１００Ｐａにして自然酸化膜除去をし、その後に前処理で使用した同じガスを分圧比を異ならせて、具体的にはジクロールシランの分圧を０．５Ｐａ、Ｃｌ_２の分圧を０〜０．０５Ｐａ、全圧１００Ｐａにして減圧ＣＶＤ法によりＳｉ膜を成膜する。 （もっと読む）

【課題】 温度センサが故障した場合でも、温度制御の安定継続を可能とする。
【解決手段】 処理室外に配置され加熱手段の温度を測定する第１温度センサと、第１温度センサよりも基板近傍に配置され処理室内の温度を測定する第２温度センサと、第１及び第２温度センサの測定温度に基づき加熱手段を制御する制御手段とを備える。第２温度センサが故障する前に、設定温度にて温度が安定した際の第１及び第２温度センサで測定した温度により温度差を求めて記憶しておき、処理室内で基板を処理するよう制御手段が加熱手段を制御している際に、第２温度センサが故障したとき、制御手段は第２温度センサの測定温度と設定温度との偏差に基づき演算をすることに替えて、記憶された温度差により設定温度を補正し、補正結果と第１温度センサの測定温度との偏差に基づき演算を行い、演算結果に基づき加熱手段を制御する。 （もっと読む）

【課題】
恒温槽型水晶発振器への電源供給を電源部と二次電池を併用することにより電源の瞬断時にもタイマーによる待ち時間を費やすことなく、安定した周波数を発振することを可能とする無線装置を提供することができる。
【解決手段】
少なくとも電源部と、送信部と、受信部とを有する無線装置であって、該無線装置は恒温槽型発振部と、電源部と、二次電源部と、該二次電源部の充電量を検出するための充電量検出部を具備しており、前記恒温槽型発振部は、前記無線装置の電源が切断されると前記二次電源部の充電量に応じて電源を前記二次電源部に切替えることを特徴とした無線装置。 （もっと読む）

【課題】基板の均一加熱性を更に向上させ、基板処理に於ける面内温度分布の均一化、成膜膜厚の均一性の向上を図る基板処理を提供する。
【解決手段】基板３を処理する処理室４１と、該処理室４１内で基板３を支持する支持板５０と、前記処理室４１内の基板３を加熱するヒータ７６とを具備し、前記支持板５０の上面には複数の凸部が設けられ、該凸部は格子状に配列されると共に、前記支持板上面の平面度が周方向で０．０１５ｍｍ以下、半径方向で０．０２５ｍｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】 基板処理条件によって基板処理位置が変わっても、非接触放射温度計の焦点位置を調整することなく、常に正しい基板温度を測定することを可能とする。
【解決手段】 基板を処理する反応室２０と、反応室２０内に設けられ基板を保持するとともに、基板を裏面から加熱する第一のヒータを有するプレートヒータ５と、反応室２０外に設けられ基板を表面から加熱する第二のヒータと、反応室２０内でプレートヒータ５を移動させるプレートヒータ移動手段と、基板の温度を非接触で測定する非接触放射温度計４０と、プレートヒータ５に載置した基板と非接触放射温度計４０との距離を一定にするように非接触放射温度計４０を移動させる温度計移動手段と、非接触放射温度計４０の測定信号に応じて、第一及び前記第二のヒータに供給される電力を調整して基板の温度を制御する制御手段８０とを備える。 （もっと読む）