【目的】 有機シリコン系化合物と酸化剤との反応により成膜した層間絶縁膜の膜質を向上させる方法を提供する。
【構成】 段差を有する基体上に、ＴＥＯＳ／Ｈ₂Ｏ／ＮＨ₃系のガスを用いて、プラズマＣＶＤ法にて第２層間絶縁膜４を形成する。その後、ＮＨ₃ガスを用いてプラズマ処理を施し、第２層間絶縁膜４中の脱水縮合を促進させる。これにより、膜中の炭素原子は膜外に除去され、層間絶縁膜の膜質が向上する。 （もっと読む）

【目的】 配線間容量の増大による配線間のクロストークの問題を解決しつつデバイスの絶対段差を揃え、デバイス表面の平坦度の向上を可能としたダミーパターンの形成方法を提供する。
【構成】 多層Ａｌ配線構造を有するデバイスにおいて、ダミーパターンを定義すべき領域のデータをChip、ｉ層Ａｌ配線の配線パターンの占める領域のデータをＩ_Mi、最終的に求めるべきｉ層のダミーパターンデータをＩ_Diとし、データデクリメントによって得られるダミーパターン領域のデータを（Chip−Ｉ_Mi）_D と定義し、このダミーパターン領域データ（Chip−Ｉ_Mi）_D と（ｉ＋１）層の配線パターンデータＩ_M(i+1)又はダミーパターンデータＩ_D(i+1)との論理積をとることによってダミーパターンデータＩ_Diを生成し、このダミーパターンデータＩ_Diに基づいてｉ層のダミーパターンを形成する。 （もっと読む）

【構成】 １次巻線１５、２次巻線１６及び制御巻線１７を有する直交トランス６により、ダイナミックフォーカス電圧となるパラボラ波電圧を得る。制御巻線１７には、直交トランス６の磁束を制御する制御回路１８が接続されている。
【効果】 直交トランス６においては、水平周期に同期した鋸歯状波電流の増幅及び積分と、出力制御とを行うことができるので、装置構成を小型化しつつ、良好なダイナミックフォーカス電圧を得ることができる。 （もっと読む）

【目的】 密着層と高融点金属層との積層膜を１ステップで異方性加工できるプラズマエッチング方法を提供する。
【構成】 Ｗ膜１４とＴｉＮ膜１３とを、Ｃｌ₂＋ＨＢｒの混合ガスでプラズマエッチングする。その条件は、Ｃｌ₂／ＨＢｒ＝７５／２５_sccM，マイクロ波出力３００Ｗ，ＲＦ出力１０Ｗ，ステージ温度７０℃，圧力０．４Ｐａとした。このエッチングで、Ｗ膜１４のエッチングレートが２５０ｎｍ／分，ＴｉＮ膜１３が１５０ｎｍ／分であった。また、ＴｉＮ膜１３：シリコン酸化膜１２の選択比は５０：１が得られた。このように、Ｗ膜とＴｉＮ膜とが１ステップで異方性加工することができた。 （もっと読む）

【目的】入力ビデオ信号によつて形成された画像をメモリに記憶し、メモリの入力ビデオ信号を所定のリードアドレス発生手段のリードアドレスによつて読み出すことにより、画像に対して所定の画像変換を施す画像変換装置において、湾曲した種々の形状に画像を変換するレンズ効果を得る。
【構成】変換画像の中心からの角度に応じて当該中心からの距離が変化するような関数を用いて変換画像を形成するようにしたことにより、種々の形状のレンズ効果を得ることができる。 （もっと読む）

【構成】 基板上に少なくとも、Ｃｒを主体とし膜厚１０〜３０ｎｍである下地層が形成された後、ＣｏとＰｄを主体としＰｄが１５〜４０原子％含有された磁性薄膜或いは、さらにＮｉも含有しＮｉとＰｄ合わせて１５〜４０原子％含有された磁性薄膜が記録層として形成されてなる磁気記録媒体。
【効果】 保磁力及び垂直異方性磁界の大きな磁気記録媒体を生産性よく提供することができる。 （もっと読む）

【目的】 高周波信号が伝送される信号線路の幅と、その信号線路及び接地導体間のギャップ間隔を調節して該信号線路の特性インピーダンスを一定又はほぼ一定とすることにより、隣り合う信号線路間の影響を抑制できる高周波伝送線路を提供する。
【構成】 コプレーナ導波路の構造を有し、その信号線路２０の幅を連続して変化させると共に、その変化に応じて信号線路２０の特性インピーダンスが一定となるよう当該信号線路２０と接地導体１８，１９との間のギャップ間隔２３を設定する。 （もっと読む）

【目的】 録画，再生機構部及び光学機構部を集中して配置することで、斬新なデザインでかつ、小型化を達成することのできるカメラ一体型ＶＴＲを得る。
【構成】 撮影レンズ群，ＣＣＤ撮像素子及びファインダ等を有する光学機構部Ｂと、カセコン本体３及び開閉動作するカセコン蓋５を有する録画，再生機構部Ａとを備え、本体部２側のカセコン本体３に録画，再生機構部Ａを配置させ、可動部４側のカセコン蓋５に光学機構部Ｂ及びバッテリー収納部１２を配置させ、カセコン本体３の底面に回路基板１３を配し、この回路基板１３と対応する本体部２の底面に録画，再生機構部Ａの操作スイッチ群１４を設けた。 （もっと読む）