【解決手段】 下記一般式（１）で表される繰り返し単位を含む重量平均分子量が１，０００〜５００，０００の範囲であることを特徴とする高分子化合物。
【化１】


（式中、Ｒ¹はフッ素原子、又は炭素数１〜１０の直鎖状、分岐状又は環状のフッ素化アルキル基を示す。Ｒ²は炭素数１〜１０の直鎖状、分岐状又は環状のアルキレン基又はフッ素化アルキレン基を示す。Ｒ³は酸不安定基を示す。）
【効果】 本発明の高分子化合物を用いたレジスト材料は、ＡｒＦ露光において優れた解像性、小さいラインエッジラフネス、優れたエッチング耐性、特に、エッチング後の表面ラフネスが小さい特性を有している。また、投影レンズとウエハー間に液体を挿入して露光を行うＡｒＦ液浸リソグラフィーでも同様の高い性能を発揮できる。 （もっと読む）

【解決手段】 下記一般式（１）で表されるエステル化合物。
【化１３】


（式中、Ｒ¹はフッ素原子、又は炭素数１〜１０の直鎖状、分岐状又は環状のフッ素化アルキル基を示す。Ｒ²は炭素数１〜１０の直鎖状、分岐状又は環状のアルキレン基又はフッ素化アルキレン基を示す。Ｒ³は酸不安定基を示す。）
【効果】 本発明の重合性エステル化合物から得られる高分子化合物を用いたレジスト材料は、ＡｒＦ露光において優れた解像性と透明性、小さいラインエッジラフネス、優れたエッチング耐性、特にエッチング後の表面ラフネスが小さい特性を有している。また、投影レンズとウエハー間に液体を挿入して露光を行うＡｒＦ液浸リソグラフィーでも同様の高い性能を発揮できる。 （もっと読む）

【課題】マグネシウムとマグネシウム合金製造における過激な酸化による燃焼を防ぐのに有効な保護ガスとして、地球温暖化係数が小さく環境に及ぼす影響が小さく、低毒性で、且つ不燃の新規な組成物の提供およびそれらを用いた燃焼防御方法を提供する。
【解決手段】 含フッ素有機化合物およびキャリアガスからなる、溶融マグネシウムまたはマグネシウム合金の急激な酸化、燃焼を防止する保護ガス組成物であって、含フッ素有機化合物がハイドロフルオロカーボン、ハイドロフルオロエーテルおよびそれらの混合物からなる群から選ばれることを特徴とする組成物。 （もっと読む）

【課題】鉄金属部材の腐蝕の誘引を抑制するために防錆剤が導入された粒状、フレーク状等の散布剤が開示されているが、防錆性については、改善の余地があり、さらに優れた防錆性を有する散布剤が求められている。
【解決手段】融雪及び凍結防止並び防塵機能を有する散布剤であり、該散布剤は、アルカリ土類金属塩を有効成分として有し、さらに防錆剤として酢酸亜鉛、及び縮合燐酸塩類を有することで、安価で防錆性に優れる融雪及び凍結防止並び防塵機能を有する散布剤となる。 （もっと読む）

【課題】幅が狭い板ガラスの端縁部をクリーンに折割する装置を提供する。
【解決手段】板ガラスの搬送と停止を自在に行う搬送手段５０と、板ガラスの下方から上昇して切線に沿って前記板ガラスの下面に接触し、板ガラスを押し上げて傾斜させる下部支持手段２１、２２、２３、および、板ガラスの上方から下降して板ガラスの上面に接触し、板ガラスを押圧することによって切線に沿って板ガラスを折割する上部押圧手段３０からなる折割装置によって、板ガラスは、手作業で行うのと同じように折り割ることができる。 （もっと読む）

【課題】
可視光域全域にわたって高反射率を示し、リアプロジェクション映像表示装置の背面ミラーとして使用できる大面積の表面鏡を提供する。
【解決手段】
ガラス基板の表面に、銀膜／アルミニウム膜／増反射膜がこの順にスパッタリング法で形成されており、該アルミニウム膜の厚みが１ｎｍ〜５ｎｍであることを特徴とする表面鏡である。増反射膜は、ＳｉＯ_２、Ａｌ_２Ｏ_３、ＺｒＯ_２、ＳｎＯ_２、ＳｉＯ_ｘＮ_ｙ、ＳｉＯ_ｘＣ_ｙＮ_ｚの中から選ばれる低屈折率膜とＴｉＯ_２、Ｎｂ_２Ｏ_５、Ｔａ_２Ｏ_５、ＺｎＯ、Ｓｉ_３Ｎ_４、ＳｉＯ_ｘ、ＳｉＯ_ｘＮ_ｙ、ＳｉＯ_ｘＣ_ｙＮ_ｚの中から選ばれる高屈折率膜とを交互に２〜５層積層したものであり、アルミニウム膜の直上には低屈折率膜が形成されてなる。 （もっと読む）

【課題】ノズル位置と基材位置とのミスマッチを起こしにくく、且つ生産効率の高い塗布装置を提供することを課題とする。
【解決手段】基材の投入ゾーン、ノズルによる基材への塗布液の塗布ゾーン、そして各ゾーン内及び各ゾーン間で基材を搬送ローラーで水平に搬送するための搬送機構を有し、前記投入ゾーン及び前記塗布ゾーンは基材の位置決めのための機構を有し、それぞれの位置決め機構は、搬送方向に対して直交方向に配列され、且つ基材の水平に対し垂直方向に上下動可能な棒材を有し、前記投入ゾーンは、基材の位置決め設定棒を着脱可能とした棒状の保持部材を有し、前記保持部材を搬送ローラーより下方に配置し、基材の進行方向に対して直交方向に移動可能な機構とすること。 （もっと読む）

【課題】 有機合成における有用な還元剤である水素化アルミニウムリチウムを用いた還元方法を提供する。
【解決手段】 有機合成における水素化アルミニウムリチウムを用いた還元反応において、反応溶媒としての芳香族炭化水素系溶媒中でＡｌＣｌ_４⁻イオンを放出する物質を触媒として使用する。 （もっと読む）

【課題】 クリーニングガスとして有用な三フッ化窒素の製造原料であるアンモニウム氷晶石の製造方法を提供する。
【解決手段】 テトラフルオロアンモニウムアルミニウムと、フッ化アンモニウムまたは二フッ化水素アンモニウムを固体状で反応させること、またはフッ化アルミニウムと、フッ化アンモニウムまたは二フッ化水素アンモニウムを固体状で反応させること、またはテトラフルオロアンモニウムアルミニウムとフッ化アルミニウムと、フッ化アンモニウムまたは二フッ化水素アンモニウムを固体状で反応させる。 （もっと読む）

【課題】 電子産業用等の薄いガラス基板に対する直径０．８ｍｍ〜６．０ｍ程度の比較的小さい孔あけに対応するドリルは破損しやすく、加工した孔部にハマ欠けが発生し易い問題を解決する。
【解決手段】 ガラス基板に孔を研磨してあけるための回転軸の先端部にダイヤモンド砥粒を有する研磨部を設けたガラス基板の孔あけドリルであって、研磨部の外径が一定であり、回転軸方向にドリル先端まで連続する溝を研磨部に設け、溝がドリル先端で広がっていることを特徴とするガラス基板の孔あけドリル。 （もっと読む）