【課題】 小形で、出力ロッドを押し出す出力圧力を応答性良く制御できる小形押圧レギュレータを提供すること。
【解決手段】 内部空間１７を有するシリンダブロック１４と、前記内部空間１７に配置されて圧力制御室１７ａを形成するダイアフラム１８と、前記シリンダブロック１４に往復直線運動可能に保持され、前記ダイアフラム１８に連結される出力ロッド１５と、を有するエアシリンダ部１０と、前記エアシリンダ部１０に連結されるものであって、前記圧力制御室１７ａの圧力を制御する圧力制御部３０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ユーザ使用条件の相違によるソレノイドコイルの温度上昇値の変化をソレノイドコイルの電流制御に反映させることによって、駆動電流制御の精度を向上させ、電磁弁の省電力化を図ることのできる電磁弁駆動回路を提供すること。
【解決手段】ソレノイドコイルを備えた電磁弁において、ユーザの使用条件をパラメータ化し、入力パラメータと、前記ソレノイドコイルの温度上昇と、その温度上昇に伴って変化する電流との関係を表す関係式を用いて、前記ソレノイドコイルへ電流を流す際の電流設定値Ｉ０を設定する。 （もっと読む）

【課題】錠剤の詰まりをより確実に防止することのできる錠剤投入装置、及び、当該錠剤投入装置を備えたＰＴＰシート製造装置を提供する。
【解決手段】容器フィルムに形成された複数のポケット部に対して、レンズ状の錠剤５をそれぞれ投入する錠剤投入装置は、一定量の錠剤５を貯留可能なボウルフィーダと、ボウルフィーダから導出された錠剤５をポケット部にまで案内する投入シュータ３２及びコイルシュータ３３とを備えている。投入シュータ３２は、錠剤５が自重によって一列で流下する供給通路４１を備え、錠剤５は、その短軸が供給通路４１の延在方向に対して交差する姿勢でのみ供給通路４１を流下可能に構成されるとともに、投入シュータ３２を供給通路４１の延在方向に対して直交する方向に切断した場合の供給通路４１の断面開口形状の長手方向両側部には、それぞれ側方に向けて次第に幅が狭くなるテーパ部４２が形成されている。 （もっと読む）

【課題】検査精度の向上を図ることのできる基板検査装置を提供する。
【解決手段】基板検査装置は、実装エリア内のクリームハンダ４及びレジスト膜５の表面の三次元計測を行うと共に、各クリームハンダ４の最高点の位置情報を基に算出した所定の平面を第１仮想基準面Ｋ１として設定し、さらに当該第１仮想基準面Ｋ１をベース基板２の表面２ａに直交する方向に沿って所定位置まで降下させ、第２仮想基準面Ｋ２として設定する。そして、当該第２仮想基準面Ｋ２からの各クリームハンダ４の突出量を算出し、これを基に当該クリームハンダ４の印刷状態の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】バルブ閉時の液切れが制御しやすく、小型軽量で層流形成が容易な液垂れ防止バルブを提供する。
【解決手段】バルブケース１と、該バルブケース１の一端側に穿設され薬液を供給する入力流路２と、該入力流路２の出口を開閉する弁体３と、該弁体３を収容して前記入力流路２と連通する弁室４と、前記バルブケース１の他端側から前記薬液を吐出する出力流路５１を有するノズル５と、を備える液垂れ防止バルブ１０において、前記弁体３は、前記ノズル５と一体にされ、前記弁体３には、前記薬液が通過する弁体内流路３０が形成されるとともに、該弁体内流路３０と前記出力流路５１とが連通されていること、前記バルブケース１には、前記ノズル５の外周部に形成したピストン５３を収容するシリンダ部１３０が形成され、前記弁体３は、前記シリンダ部１３０への操作流体の供給、排出によって開閉する。 （もっと読む）

【課題】生産性の向上を図ると共に、ＰＴＰシートの品質低下を抑制することのできるＰＴＰシートの結束装置を提供する。
【解決手段】結束装置１１は、チャック２６により集積体７を把持し移送する回転機構１５と、第１移送位置Ｐ１において、バンドフィルム３０を繰出す繰出部３１と、集積体７の周囲にバンドフィルム３０を巻付ける巻付け補助部３４等と、バンドフィルム３０を所定長に切断する切断部３３とを備え、第２移送位置Ｐ２において、所定長のバンドフィルム３０の終端側を把持し、当該バンドフィルム３０を集積体７の周囲に沿って引締める可動部材３５及び受部と、バンドフィルム３０の始端側と終端側とを溶着するシールヒータ３６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】圧力調整弁の二次側圧力の変動を低減して、流量制御機器から排出するガス流量を高精度に検定でき、測定用タンク内の圧力降下率を一定に維持する。
【解決手段】プロセスガス供給源からのガスを第１ライン遮断弁２２と第２ライン遮断弁２３と流量制御機器２４とを経由しプロセスチャンバに供給する複数のプロセスガスライン２と、共用ガス供給源からのガスを第２ライン遮断弁２３と流量制御機器２４とを経由し排出すべく、分岐接続された共用ガスライン１とを有し、共用ガスライン１には、共用遮断弁１２と測定用タンク１３と第１圧力センサ１４１と圧力調整弁１５とを備え、第１ライン遮断弁２２及び共用遮断弁１２を弁閉したとき、測定用タンク１３内におけるガスの圧力降下を第１圧力センサ１４１により測定し流量制御機器２４の流量検定を行うガス流量検定システムにおいて、圧力調整弁１５は、該圧力調整弁１５の二次側圧力を制御する。 （もっと読む）

【課題】弁孔を介した各ポート間を流れる圧力流体の流量を確保するために、弁本体が幅方向に大型化してしまうことを防止すること。
【解決手段】弁本体１１に、一端側シール弁部１９ａ及び他端側シール弁部１９ｂが摺動する一端側摺動孔１８ａ及び他端側摺動孔２０ａが形成されており、一端側摺動孔１８ａ及び他端側摺動孔２０ａの孔径を、弁孔１８の孔径よりも小さくした。そして、弁本体１１の幅方向に沿った一端側摺動孔１８ａ及び他端側摺動孔２０ａの側方に、各取付ねじ２５，２６が挿通可能な挿通孔１２ａ，２０ｇを形成した。 （もっと読む）

【課題】流体の流れの偏りを矯正すること。
【解決手段】
出力ポート７６と連通する出力流路７５と、出力ポート７６と平行に形成され内側に出力流路７５に連通する出力孔７４が形成された中空円筒部９６と、出力孔７４が形成された弁室５４と、弁室５４に連通する入力ポート７１と連通する入力流路７２とが形成される流体制御弁１である。さらに、流体制御弁１の入力流路７１は弁室５４に対して流体をガイドするガイド傾斜面７２１を有すること、ガイド傾斜面７２１に流路内凸部７２２が形成する。それにより、流路内凸部７２２にガイド傾斜面７２１によりガイドされた流体がぶつかり弁室５４の出力ポート７５側の圧力を低下させることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、静電容量を利用して簡易な構成で計測対象の変位を計測する。
【解決手段】本発明は、移動ステージの位置を計測する位置センサ１００を提供する。位置センサ１００は、第１の固定対向電極対１１１，１２１の間に部分的に挿入されている第１の可動電極１３１と、第２の固定対向電極対１１２，１２２の間に部分的に挿入されている第２の可動電極１３２と、第３の固定対向電極対１１３，１２３に部分的に挿入されている第３の可動電極１３３とを備える。第１の対向電極は、第２の対向電極に対して第１の方向にシフトした位置に配置され、第３の対向電極は、第１の対向電極に対して第２の方向にシフトした位置に配置されている。 （もっと読む）