キヤノンマシナリー株式会社により出願された特許
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板状物分離装置及び板状物分離方法
【課題】 薄肉小型化される傾向にあるガラス板などの小片の板状物を、従来の分離装置に比して、確実に信頼性よく分離する板状物分離装置を提供する。
【解決手段】 板状物整列体10の板状物(ガラス板)1の対向二辺の両端面を弾性を利用して挟持して板状物整列方向に移送する仮保持部材(ゴムローラ)30を具備し、この仮保持部材30の動きに伴って板状物整列体10の前方から1枚ずつ分離すると共に、分離した板状物1を板状物整列方向に真空吸引して保持する吸着部材40に受け渡すように構成する。
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ダイボンダー用コレット
【課題】 厚さ50μm程度の極薄型のダイでもボイド残留の影響なくして、良好に基板にマウントできるダイボンダー用コレットの提供。
【解決手段】 矩形のラバー製弾性吸着部材20と、吸着部材20をその側面20bから抱き込むように加圧して保持するホルダー30を備えたコレット10で、吸着部材20の下面の吸着面20aの中央部Mを除く周辺部Nのみに真空式吸引穴21を形成し、薄型ダイ4を吸着することで吸着面20aの中央部Mとダイ4の中央部を下方に凸球面状に突出変形させた状態で、ダイ4を基板40にマウントする。
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部品実装システム
【課題】 リードフレームなどの帯状ワークのワーク幅方向に離隔する複数の被マウント箇所にテープ状部品をマウントする部品実装システムのインデックス向上を図る。
【解決手段】 ワーク1の任意の被マウント箇所Q1、Q2に、ワーク搬送機構2の上方に配置された部品供給ユニット40とピックアップユニット50でテープ状部品13を単品ずつマウントするシステムで、両ユニット40、50をワーク搬送装置2の上方の所定の高さ位置でワーク幅方向に定ストロークS4で往復移動させ、この移動にオーバーラップさせて部品供給ユニット40でピックアップ箇所Pに単品のテープ状部品13を供給し、この部品をピックアップユニット50の作業ヘッド51で吸着してワーク1上へとマウントする。
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ウェーハリング移送システム
【課題】 半導体チップとエキスパンド用シートを有するウェーハリングの品種切替時の作業ミス発生を防止した、設備投資的に有利なウェーハリング移送システム。
【解決手段】 ウェーハリング1の品種切替時に、ウェーハリング1のシート2をエキスパンドする第1作業位置P1でエキスパンド用加圧リング32に形成した品種表示部32cを、ハンドリング用第2作業位置P2に設置したチップ認識カメラ50で撮像して、コントローラ51で適正な品種であるかどうかを判別するようにしたウェーハリング移送システム。
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ペレットピックアップ方法及びピックアップ装置
【課題】 エキスパンドされたシート上のペレットをニードルレスのピックアップユニットで能率よくピックアップする。
【解決手段】 エキスパンド機構のステージ1上で伸縮性シート3を放射状に伸展させて、シート3上の複数のペレット5を1枚ずつニードルレス式ピックアップユニット20の揺動アーム22でピックアップする方法と装置で、カメラ25でシート3上のペレット5を撮像し、撮像した画像信号を制御回路部30で演算処理する機能と、揺動アーム22をアーム回転部40で180°回転可能に支持する機能を有し、ペレットピックアップ動作の途中で適宜に制御回路部30からの制御信号に基づいて揺動アーム22を180°反転させてペレットピックアップ動作を継続させる。
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ワーク搬送装置
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ウェーハ分割方法およびダイボンダー
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周期構造作成方法および表面処理方法
解決すべき課題は、一軸のレーザを用いて、連続的、かつ、広範囲に周期構造を形成することである。解決手段は、一軸で、かつ加工閾値近傍のレーザ1を試料2に照射し、オーバーラップさせながら走査して、入射光と材料表面に沿った散乱光との干渉(11)によるアブレーション(12)によって、散乱光を増大させて(13)、レーザ1の波長λ間隔で干渉を起こさせて(14)、自己組織的に周期構造を作成することである(15)。作成される周期構造は、レーザ1の試料2表面への入射角を変更することによって、その周期ピッチが変更される。またレーザ1の試料2表面への入射光が角度を有する場合は、その走査方向を変更することによって、その周期ピッチが変更される。
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ワーク収納装置およびワーク収納方法
【課題】 構造簡単で安価であり、省スペース設計が容易なワーク収納装置。
【解決手段】 クランパー20で平板状ワーク1の側端部を把持して長さ方向前方に搬送してマガジン3に挿入するワーク収納装置で、クランパー20にワーク1をマガジン3の奥へと押し込む押込部材21を設ける。ワーク1を上下から把持する一対の第1クランパー20aと第2クランパー20bの少なくとも一方に押込部材21をワーク搬送方向前方に突出させて一体に形成し、クランパー20でワーク1をマガジン3に挿入した後、クランパー20を閉じて押込部材21の先端でマガジン3から突出するワーク後端部を押してマガジン3内に挿入する。
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