【課題】既存の装置を大幅に設計変更することなく、ウエハ上にチップを積層することができ、精度良く、確実にボンディングすることができる半導体装置の製造装置および半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】第１のポジション１と第２のポジション２との間の往復動が可能な吸着コレット４を備え、第１のポジション１で吸着コレット４にてチップ３をピックアップし、このチップ３を第２のポジション２に搬送して、第２のポジション２のウエハ上にチップ３をボンディングして半導体装置を形成し、第２のポジション２で吸着コレット４にて半導体装置をピックアップし、半導体装置を第３のポジション９へ搬送する。 （もっと読む）

【課題】加圧リングに不均一な反りが生じるのを防止することができ、ウェーハシートを均等に引き伸ばすことができるエキスパンド装置を提供する。
【解決手段】固定リング１と、固定リング１の外周側に配設される加圧リング２とを備え、昇降手段４にて加圧リングを降下させることによって、電子部品を接着した伸縮性シートＳを固定リング側へ押し付けて、伸縮性シートＳを引き伸ばすように構成したエキスパンド装置である。加圧リング２が降下する際に、加圧リング２の降下に連動して加圧リング２に係合して、加圧リング２の水平状態を維持する係合手段１６を設けた。 （もっと読む）

【課題】微細周期構造を高速度で大面積を簡便に形成することができる微細周期構造形成方法を提供する。
【解決手段】材料表面に、加工閾値近傍のエネルギ密度でレーザを照射し、照射部分をオーバラップさせながら走査して、その入射光と表面散乱波との干渉により照射面内に入射波長程度の間隔の周期的なエネルギ強度分布を発生させることにより、自己組織的に周期的な変質層２５を形成する。その後、変質層をエッチマスクとして機能させる腐食剤によるエッチングによって、材料表面上に複数の凹凸部を有する微細周期構造３０を形成する。 （もっと読む）

【課題】ボイド発生要因となる不純物を除去することによって、ボイドに発生を防止して、高精度のボンディングが可能なダイボンダおよびボンディング方法を提供する。
【解決手段】ピックアップポジションでチップ２２をコレットにてピックアップし、コレットにて保持されているチップ２２を、ボンディングポジションで基板２３にボンディングするものである。ピックアップポジションからボンディングポジションまでのチップ搬送中に、不純物除去雰囲気中を通過させる。チップ２２に付着してボイド発生要因となる不純物Ｓを除去した後、不純物除去手段３５にて不純物Ｓが除去された状態を維持しつつボンディングする。 （もっと読む）

【課題】チップの転写の信頼性に優れ、しかも転写される相手側の基板の形状に影響を受けることがないチップ転写装置およびチップ転写方法を提供する。
【解決手段】粘着シート２２に貼り付けられた半導体素子等のチップ２１を基板２３側に転写するものである。押さえ部材１４の押さえ面２４ａにてチップ２１を基板２３の転写面２３ａに押えている状態から、イジェクトピン２６が押さえ面２４ａから突出した状態となるように、押さえ部材２４のみをチップ２１から離間する方向に移動させる。これによって、チップ２１を基板側に残して、押さえ面２４ａに吸着されている粘着シート２２をチップ２１から離間させていていく。 （もっと読む）

【課題】大幅に設計変更することなく高荷重かつ高精度なボンディング作業を行うことができ、高品質な製品を供給することができるダイボンダおよびダイボンディング方法を提供する。
【解決手段】コレット２１にてチップ２２をピックアップして、コレット２１をボンディングポジションに搬送し、チップ２２をワークにボンディングするダイボンダである。基端部２３ａの荷重支点Ｆへの荷重印加により、荷重支点Ｆを中心とした加圧にてコレット２１に対して下方への荷重を付与する水平方向のレバー３８を有するボンディングアームと、ボンディングアーム２３に加圧力を印加する駆動手段３７と、荷重支点Ｆへの荷重印加によって所定加圧荷重よりも小さいボンディング荷重をチップ２２に付与し、その後荷重支点Ｆへの荷重印加によって所定加圧荷重以上のボンディング荷重をチップ２２に付与する制御手段４０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】小さな粗さを付与することにより容易に摩耗して新生面を生成でき、かつ新生面にきめ細かく摩擦調整剤が供給されるトライボケミカル反応促進構造を提供する。
【解決手段】第１部材１の摺動面１０と第２部材３の摺動面４とが、摩擦調整剤を含有する添加油潤滑下で相対的に摺動するトライボケミカル反応促進面構造である。少なくとも一方の摺動面にサブミクロンオーダーの凹凸高さと間隔を有するグレーティング状の周期構造２を形成した。 （もっと読む）

【課題】既存の設備を利用して効率良く固体電解質筒状体の回復を行うことができ、長寿命化を図ることができる酸素ポンプにおける能力回復方法を提供する。
【解決手段】複数の固体電解質筒状体３０にて構成された固体電解質筒状体束２９と、固体電解質筒状体３０の内面及び外面に配置される電極３４、３５と、固体電解質筒状体３０を加熱する加熱手段３１を備え、電極３５に＋極を印加し、電極３４に−極を印加して電流を流して酸素分子を放出する酸素ポンプにおける能力回復方法である。少なくとも１つの固体電解質筒状体３０において、酸素分子を放出させる一方で、少なくとも他の１つの固体電解質筒状体３０の内面の電極３４に所定時間＋極を印加し、固体電解質筒状体３０の外面の電極３５に−極を印加して酸素分子を固体電解質筒状体３０の内部に取り込んで回復措置を行う。 （もっと読む）

【課題】加圧部材の昇降機構としての雄ネジ部及び雌ネジ部を所望の位置に配設することができるエキスパンド装置を提供する。
【解決手段】平面視した状態で、複数組の雄ネジ部４ａ及び雌ネジ部４ｂのうち、搬送手段によって搬入及び搬出されるリングフレームの通過領域に重なるように配設した雄ネジ部４ａ及び雌ネジ部４ｂの少なくとも一方を、通過領域に重ならないように配設した雄ネジ部４ａ及び雌ネジ部４ｂより軸方向に短く形成している。加圧部材３を所定の上方位置に上昇させた状態において、通過領域に重なるように配設した雄ネジ部４ａ及び雌ネジ部４ｂが互いに離脱して、当該離脱した雄ネジ部４ａ及び雌ネジ部４ｂの間をリングフレームが通過するように構成する。加圧部材３を所定の下方位置に降下させた状態において、前記通過領域に重なるように配設した雄ネジ部４ａ及び雌ネジ部４ｂが互いに螺合するように構成した。 （もっと読む）

【課題】高速、高精度に複数の定置視野焦点移動画像データを取得して合焦点法や共焦点法にて形状検出ができ、しかもコンパクトな画像処理システム及び画像処理方法を提供する。
【解決手段】計測対象物１の光学像６を結像する光学系２と、光学系２からの計測対象物１の光学像６の焦点Ｆを移動可能とする反射手段３とを備える。定置視野の焦点Ｆのみ移動した光学像６が写し出される複数の２次元画像データを取得する。 （もっと読む）