【課題】コレットの先端にチップを有するかを安定して正確に検出することができるダイボンダを提供する。
【解決手段】中空状のシャフト２と、シャフトの先端開口部に付設されるコレット３とを有するボンディングアーム１と、ボンディングアーム１の内部の吸引孔１３を真空状態としてチップをコレット３先端部に真空吸引するための吸引機構１４と、シャフト内の真空流量の差によりコレット３の先端部にチップを有するか否かを検出するセンサとを備えたダイボンダである。シャフト２のコレット近傍に、センサと吸引孔１３とを連通する連通孔１６を有するセンサ連結体１５を設けるとともに、コレット３とシャフト２との間のエア漏れ防止用のシール材２５を配置した。 （もっと読む）

【課題】占有面積を減少させることができ、他の種類への基板供給の変更が簡単にできて低コストな基板供給装置及び基板供給方法を提供する。
【解決手段】基板４０を規制された状態で積み上げる第１のマガジン５０ａ、基板４０を規制のない状態で積み上げる第２のマガジン５０ｂから基板４０を半導体組立装置５９の搬送路５５に供給する基板供給装置である。マガジン５０を上下方向に搬送する供給位置移動機構１と、供給位置移動機構１のマガジン５０から基板４０を搬送路５５に移送する移送機構２とを備える。第１のマガジン５０ａから供給する際は、第１のマガジン５０ａを供給位置移動機構１にて保持し、第１のマガジン５０ａから押出供給する。第２のマガジン５０ｂから供給する際は、第２のマガジン５０ｂを供給位置移動機構１にて保持し、移送機構２にて第２のマガジン５０ｂから基板４０を搬送路５５に供給する。 （もっと読む）

【課題】リフォームラインからマウントラインを近づけることができて、生産性の向上を図ることができ、しかも、マウント時までにおいて塗布剤が乾きにくく高品質のマウントを行うことが可能なマウント装置及びマウント方法を提供する。
【解決手段】上流側のプリフォーム位置にて、ワークＷのマウント部位２０にペースト状の塗布剤５０を塗布した後、下流側のマウント位置にて、塗布剤５０が塗布されているマウント部位２０にチップ２１を順次マウントしていく。ワークＷのマウント部位２０がプリフォーム位置に対応しないときにプリフォーム位置をマウント部位に対応するように変更する。マウント部位２０がマウント位置に対応しないときにマウント部位２０がマウント位置に対応するようにワークＷの位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】透明な接着剤の塗布状態を確実に検査し得る塗布接着剤の検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】 基板Ｓの粗面に塗布された透明な接着剤Ｌの検査方法であって、基板表面に沿う方向に光を照射して接着剤Ｌに到達させ、少なくとも接着剤によって反射された光を接着剤塗布箇所の上方で受光し、受光した光の強度分布に基づいて基板上の接着剤Ｌの位置情報を取得することを特徴とする塗布接着剤の検査方法及び該方法を実施するための検査装置。 （もっと読む）

【課題】不純物の少ない半田を供給することができ、しかも長時間稼動させることができる半田供給装置を提供する。
【解決手段】酸化防止雰囲気とされる溶融槽１にインゴット半田が供給され、溶融槽内でインゴット半田を加熱して溶融し、溶融槽１から溶融半田Ｌを吐出する半田供給装置である。溶融槽内に非酸化性ガスを供給する非酸化性ガス供給手段２３を備えるとともに、溶融槽１に、非酸化性ガスを溶融槽内へ供給する供給口２５と、溶融槽内の非酸化性ガスを溶融槽外へ排出する出口２８とを設け、非酸化性ガス供給手段２３により、非酸化性ガスを供給口２５から出口２８にまで流通させて、溶融槽内に、溶融槽内の酸化防止雰囲気を維持する非酸化性ガスの流路を形成しつつ、溶融半田Ｌを吐出する。 （もっと読む）

【課題】装置全体のコンパクト化を図ることができ、しかも、調整部位を少なくできてコストの低減を図ることが可能な半田供給装置および半田供給方法を提供する。
【解決手段】非酸化性雰囲気中の半田ワイヤＷをルツボ１に供給する半田供給装置である。ルツボ１の上流側に、半田ワイヤＷを切断してその切断部位よりも下流側の半田ワイヤＷをルツボ１に供給する切断機構１０を備える。切断機構１０は、シールした状態で非酸化性雰囲気中とルツボ１とを連通する通路１２と、通路１２内に配置される回動体１３とを有する。回動体１３を介してルツボ１に供給されている半田ワイヤＷを回動体１３の回動によって切断する。 （もっと読む）

【課題】不純物の少ない半田を供給することができ、しかも長時間稼動させることができる半田供給装置を提供する。
【解決手段】インゴット半田Ｓが溶融槽１に供給されて、溶融槽内でインゴット半田Ｓが加熱して溶融されて、酸化防止雰囲気とされる溶融槽１から溶融半田Ｌを吐出する半田供給装置である。インゴット半田Ｓの１個乃至所定個ずつが供給されて、溶融槽内に、インゴット半田Ｓを送るための半田送り室２を備え、半田送り室２が、外気と遮断された酸化防止雰囲気となって、この雰囲気の状態で半田送り室２が溶融槽１と連通されて、半田送り室２からインゴット半田Ｓが溶融槽１に供給される。 （もっと読む）

【課題】線接触を伴う摺動機構にも適用でき、安定した高い摩擦低減効果を発揮することのできる摺動面を提供する。
【解決手段】摺動面１は、潤滑流体の介在下で相手部材２と相対摺動を行うための摺動平面３と、相手部材２の摺動方向に対して傾斜する向きに伸びる帯状領域４とを備えている。帯状領域４は複数の微小溝５からなり、微小溝５は、帯状領域４の伸展方向に対して傾斜して配置されている。また、微小溝５は、摺動方向に対して平行もしくは９０度未満の傾斜角をもって配置されている。 （もっと読む）

【課題】はんだ被巻回体に巻回されたワイヤ状のはんだを供給する際に、高品質なはんだを正確な量で供給することができるはんだ供給装置及びはんだ供給方法を提供する。
【解決手段】はんだ被巻回体３に巻回されたワイヤ状のはんだＳが、少なくともはんだ被巻回体のはんだ送出口乃至その近傍で高温状態とされて、基板Ｆに供給されるはんだ供給装置である。はんだ被巻回体３から送出されるはんだＳを挟持して、はんだＳを送り出す送出手段５と、送出手段５のはんだ挟持部とはんだ被巻回体３のはんだ送出口１５との間の、少なくともはんだ被巻回体３のはんだ送出口１５乃至その近傍におけるはんだＳを非酸化性雰囲気とする雰囲気調整機構１を備えた。 （もっと読む）

【課題】単結晶の育成の監視を簡略化することができ、しかも精度よく単結晶を育成することができる単結晶育成装置及び単結晶育成方法を提供する。
【解決手段】楕円面鏡１１，１２の一方の焦点Ｆ1，Ｆ2近傍に配置された赤外線ランプ１３，１４から照射される赤外線を、楕円面鏡１１，１２で反射させ、共通の他方の焦点Ｆ0に位置する被加熱部１５に集光させて赤外線加熱し、単結晶原料と種結晶間の被加熱部１５に形成された溶融帯２を次第に単結晶原料側に移動させながら単結晶を育成する単結晶育成装置において、溶融帯２の形状を監視する監視手段２９及び溶融帯２の温度を監視する温度測定手段３４とを備え、単結晶の育成を、監視手段２９を介して監視するとともに、温度測定手段３４により温度を監視する。 （もっと読む）