【課題】多方向すべりに対応できて、流体潤滑特性及び混合潤滑特性の向上に寄与する摺動面構造を提供する。
【解決手段】第１部材１の摺動面１ａと第２部材２の摺動面２ａとが潤滑剤下で相対的に摺動する摺動面構造である。第１部材１と第２部材２との少なくともいずれか一方の摺動面にグレーティング状凹凸の周期構造部３を設ける。この周期構造部は、予定される摺動方向に対して線対称の形状となるとともに、摺動面１ａ，２ａの相対的な摺動によって潤滑剤を摺動面中央部に引き込む。 （もっと読む）

【課題】母材と一体化した酸化層を簡便に形成し得る二酸化チタン光触媒層のパターン形成方法を提供する。
【解決手段】チタンまたはチタン合金からなる基材表面に、レーザを加工閾値近傍の照射強度で照射し、照射領域をオーバーラップさせながら基材表面に対して相対移動させることにより、基材表面に粗面構造を所定パターンの配置で形成した後、酸化性雰囲気中で熱処理を施すことにより、ルチル型二酸化チタンを含有する酸化層を形成することを特徴とする二酸化チタン光触媒層のパターン形成方法。 （もっと読む）

【課題】生産性を向上することが可能な基板切断装置を提供する。
【解決手段】基板１を吸着保持するチャックテーブル２と、チャックテーブル２に吸着保持された基板１の位置を認識する位置認識手段と、チャックテーブル２に吸着保持され位置認識された基板１を複数の個片に切断する切断手段とを備えた基板切断装置において、位置認識手段は３つの認識部１０を有し、各認識部１０が、基板１に付した３つの位置決めマークＭ１，Ｍ２，Ｍ３のうち、それぞれ別個の位置決めマークを１つずつ認識するように構成した。 （もっと読む）

【課題】簡便に且つ精度上の制限を受け難い状態でコレットの位置を検出し得るコレット位置検出方法及び装置を提供する。
【解決手段】基準座標系において、半導体チップＴのピックアップステージ４とボンディングステージ５との間の所定の座標に光センサ９を配置し、一方向にコレット８０を移動させながら、コレットまたはその装着部の縁部を光センサ９で検知することにより、２つの縁部の中心である第一中央位置の座標値を検出し、一方向に直交する方向に同様の移動及び検知を行なって２つの縁部の中心である第二中央位置の座標値を検出し、第一中央位置及び第二中央位置からコレット中心の検出座標値を求め、該検出座標値に基づいてコレットの設定座標値を補正することを特徴とするコレット位置検出方法及び該方法を実施するための検出装置。 （もっと読む）

【課題】シリンジ内の液体容量によらず、立ち上がり時間にばらつきが生じるのを防止して設定量の液体を正確に塗布できる流体供給装置を提供する。
【解決手段】液体Ｌが封入されて、液体Ｌの吐出口５１が設けられたシリンジ１を備え、シリンジ内に空気圧回路２を介して流体を供給することにより液体Ｌを吐出口５１から押出す液体供給装置である。空気圧回路２は、常時シリンジ内に流体を供給する主供給系統５と、主供給系統５と同一圧力の流体を供給し、流体の供給開始からシリンジ内が液体Ｌを押し出す設定圧に達するまでの流体圧の立ち上がり時間を短縮するための副供給系統６とを備えるとともに、シリンジ内に流体圧の立ち上がり状態を検出する検出手段３と、シリンジ内の流体圧の立ち上がり状態に基づいて、主供給系統５からの流体供給と、主供給系統５及び副供給系統６の両方からの流体供給との切換を行う切換手段４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】加圧を始めてから液体が吐出口から押出されるまでの時間遅れを防止して設定量の液体を正確に塗布できる流体供給装置を提供する。
【解決手段】液体Ｌがその吐出口５３から吐出されるシリンジ１と、開状態で流体供給源からの加圧流体をシリンジ１に供給して液体Ｌを吐出口５３から吐出させ、閉状態で流体供給源からの流体のシリンジ１への供給を停止する開閉弁２とを備える。流体供給源をシリンジ１から離間した位置に配設し、開閉弁２の流体排出口とシリンジ１の反吐出口側とを連結した。 （もっと読む）

【課題】広い酸素分圧範囲で正確なセンサ出力を得ることができる酸素分圧検知方法を提供する。
【解決手段】固体電解質を用いた酸素センサによりガス中の酸素分圧を検知するための酸素分圧検知方法であって、固体電解質の酸素イオン輸率が１に近い温度−酸素分圧域である電解伝導領域Ｄａ，Ｄｂが異なる複数種の酸素センサ２１ａ，２１ｂを構成し、検知対象ガスの酸素分圧が高いときは、電解伝導領域Ｄａの酸素分圧域が高い酸素センサ２１ａの出力を採用し、検知対象ガスの酸素分圧が低いときは、電解伝導領域Ｄｂの酸素分圧域が低い酸素センサ２１ｂの出力を採用することを特徴とする酸素分圧検知方法。 （もっと読む）

【課題】広い範囲の酸素分圧に亘って高い作動効率で酸素分圧の低減を行うことができる酸素分圧制御方法を提供する。
【解決手段】酸素含有ガスを酸素ポンプにより低酸素分圧に精製するための酸素分圧制御方法であって、電解伝導領域が異なる複数種の酸素ポンプ２１ａ，２１ｂを構成し、精製対象ガスの酸素分圧が高いときは、少なくとも高い酸素分圧域に電解伝導領域を持つ酸素ポンプ２１ａを用い、精製対象ガスの酸素分圧が低いときは、低い酸素分圧域に電解伝導領域を持つ酸素ポンプ２１ｂを用いることを特徴とする酸素分圧制御方法。 （もっと読む）

【課題】高い作動効率で酸素分圧の低減を行うことができる酸素分圧制御方法を提供する。
【解決手段】酸素含有ガスを酸素ポンプにより低酸素分圧に精製するための酸素分圧制御方法であって、精製対象ガスの酸素分圧が高いときに、酸素ポンプ２１の固体電解質２１１の作動温度を高く設定し、精製対象ガスの酸素分圧が低減したときに、固体電解質２１１の作動温度をより低く設定することを特徴とする酸素分圧制御方法。 （もっと読む）

【課題】例えば１０^-25Ｐａ未満という超低酸素分圧の精製ガスを得ることができる酸素分圧制御方法及び酸素分圧制御装置を提供する。
【解決手段】超低酸素分圧ガス精製のための酸素分圧制御方法であって、酸素ポンプ２１が備える固体電解質２１１の一方の側及び他方の側のいずれかを、精製すべきガスの供給側とし、これと反対の排出側領域を低酸素分圧雰囲気とする酸素分圧制御方法、並びに、ガス精製部１０が、固体電解質２１１を備えた酸素ポンプ２１を備え、該固体電解質の一方の側及び他方の側のいずれかをガスの供給側、反対の側を酸素の排出側とし、該排出側領域を低酸素分圧雰囲気とする調整手段３０を備えている酸素分圧制御装置。 （もっと読む）