【課題】 画像を複数の代表色に対応する画像領域に分割する領域分割において、領域分割結果の信頼性を向上させる。
【解決手段】複数の代表色を設定し、各代表色に対応付けられた重みを設定する。画像の画素の色と代表色との色の差を表し、代表色ごとに重み付けられた加重色差指標値を算出する。そして、加重色差指標値に応じて、画素の色を代表色に対応付けられた代表色領域に分類することにより、画像を複数の画像領域に分割する。 （もっと読む）

【課題】 印刷時における筋ムラの発生を有効に防止することが可能な多色オフセット印刷機を提供することを目的とする。
【解決手段】 湿し水供給装置２１ａ、２１ｂ、２１ｃ、２１ｄにおける各水着けローラ３３ａ、３３ｂ、３３ｃ、３３ｄの直径は各々異なる。より具体的には、水着けローラ３３ａはその外周長がＡとなる直径、水着けローラ３３ｂはその外周長がＡより大きいＢとなる直径、水着けローラ３３ｃはその外周長がＢより大きいＣとなる直径、また、水着けローラ３３ｄはその外周長がＣより大きいＤとなる直径となっている。 （もっと読む）

【課題】 基板を回転させながら基板に処理液を供給して該基板に対して所定の処理を施す基板処理装置において、基板表面への処理液の再付着を効果的に防止する。
【解決手段】 スピンベース５の周縁部付近には、基板Ｗの下面周縁部に当接しつつ基板Ｗを支持する支持部７が複数個、スピンベース５から上方に向けて突出して設けられている。そして、複数個の支持部７によって基板Ｗの下面と対向するスピンベース５から所定の間隔離間させた状態で基板Ｗが水平に支持されている。そして、基板Ｗの上面と雰囲気遮断板９の対向面９ａとの間に形成される空間に対向面９ａに設けられた複数のガス噴出口９ｂから不活性ガスを噴出させる。これにより、基板Ｗはその上面側に供給される不活性ガスによって、支持部７に押圧されてスピンベース５に保持される。 （もっと読む）

【課題】基板の表面に形成された膜を目標膜厚まで精度よく研磨する。
【解決手段】基板研磨装置では、膜厚測定部にて基板の表面に形成された膜の厚さを測定して第１膜厚が取得され（ステップＳ１２）、研磨部にて基板が所定の初期研磨時間だけ研磨される（ステップＳ１３）。初期研磨時間の研磨が終了すると、基板の膜の第２膜厚が取得され（ステップＳ１４）、第１膜厚、第２膜厚および初期研磨時間から研磨レートが導かれる（ステップＳ１５）。研磨レートは補正係数を用いて補正され（ステップＳ１６）、第２膜厚と目標膜厚との差と、補正後の研磨レートとに基づいて追加研磨時間が求められる（ステップＳ１７）。そして、追加研磨時間だけ基板がさらに研磨される（ステップＳ１８）。これにより、基板の表面に形成された膜を目標膜厚まで精度よく研磨することができる。 （もっと読む）

【課題】 装置の基本構成を大幅に変更することなく、装置の信頼性を確保した上で、露光処理時間を短縮できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 第１露光装置１０１及び第２露光装置１０２を使用して、露光装置によるスループットと、他の処理ユニットにおける処理のスループットとの相対的な差を吸収し、基板処理装置１全体としての処理効率を向上させると共に、第１インターフェース部６０と第２インターフェース部６１との間では、第１インターフェース部６０の受け渡しステージ６０５と、第２インターフェース部６１の基板搬送ロボット６１３との間で、基板を受け渡す構成とすることで、従来から存在する基板処理装置の基本構成に、大がかりな機構を追加しなくても、複数の露光装置に対して基板を搬送及び搬出できる機構を実現する。 （もっと読む）

【課題】 カラー画像の色に応じた領域分割において、領域分割結果の信頼性を向上させる。
【解決手段】 所定の色空間内に、カラー物体を撮像したカラー画像が取りうる色の範囲を示す実在色領域ＸＲ１〜ＸＲ４と、実在色領域外の非実在色領域と、を設定する。そして、個体ごとに色ズレが生じうる個々のカラー物体を撮像して得られた対象画像の画素の色を実在色領域ＸＲ１〜ＸＲ４と前記非実在色領域のうちのいずれかに分類することによって、対象画像の領域分割を行う。 （もっと読む）

【課題】基板処理に繰り返し使用される薬液やその薬液中の異物を除去するためのフィルタの寿命を長期化できる薬液回収方法および基板処理装置を提供する。
【解決手段】ウエハへの薬液供給開始から所定時間が経過するまでの間は、ウエハの処理に用いられた薬液が、共用配管１５から分岐廃棄配管２４を通して高濃度廃液ドレンへ廃棄される。そして、所定時間の経過後にウエハの処理に用いられた薬液は、共用配管１５から分岐回収配管２３を通して回収タンク２２に回収される。そのため、薬液の供給開始後の初期の段階で、ウエハからポリマなどの異物が多量に除去されても、その多量の異物が回収タンク２２内の薬液に混入することを防止できる。その結果、再利用される薬液から異物を除去するための前段フィルタ３５などの寿命を長期化することができ、また、繰り返し使用される薬液の寿命を長期化することができる。 （もっと読む）

【課題】 既存の複合処理部に新たに追加された処理ユニットに対して基板を搬送する機構を設ける場合に、新たに必要とされるスペースが極力小さくて足りる基板処理装置を提供する。
【解決手段】 基板に対して、予め定められた一連の処理を施す複合処理部１Ａ，１Ｂを備えた基板処理装置１であって、複合処理部１Ａに設けられている露光装置用の第１インターフェース部６０と、複合処理部１Ｂに設けられている露光装置用の第２インターフェース部６１との間で基板を搬送する基板搬送コンベア６３０が設けられ、この基板搬送コンベア６３０の少なくとも一部を、第１インターフェース部６０及び第２インターフェース部６１の一部と積層配置させた状態で設ける。 （もっと読む）

【課題】ユニット間差を抑制することを目的とする。
【解決手段】基板処理装置に、塗布処理を行う複数の第２塗布処理ユニット２０ａ〜２０ｃと、配給路３２を介して清浄な空気を供給する気体供給機構５０と、セルコントローラＣＴ３とを設ける。また、各第２塗布処理ユニット２０ａ〜２０ｃに、回転角度を調整することにより配給路３２の開度を調整する調整板２３および排気用ファンユニット２５を設ける。セルコントローラＣＴ３は、各第２塗布処理ユニット２０ａ〜２０ｃにおける塗布処理の結果が略同一となるように予め求めた設定値に応じて各調整板２３の回転角度を調整する。このようにして、空気の供給量を個別に制御して、各第２塗布処理ユニット２０ａ〜２０ｃの気圧を制御する。 （もっと読む）

【課題】 オペレータが印刷機の異常箇所および異常状態を的確に把握することが可能な印刷機を提供することを目的とする。
【解決手段】 コントロールパネルの表示画面１００には、インキ量等の不足や異常発生時またはメンテナンス必要時の警告表示が表示される。この印刷機において異常箇所が複数存在する場合もしくはメンテナンスが必要となった場合に、警告表示には、複数の異常箇所またはメンテナンス箇所およびメンテナンス作業内容に対応する立体画像Ａ乃至Ｆが連続的に表示される。また、異常箇所またはメンテナンス箇所がＢに示される範囲内とその内側の両方に存在する場合には、警告表示には、ＢとＧとの両方が経時的に切り替えて表示される。 （もっと読む）