説明

日本エレクトロプレイテイング・エンジニヤース株式会社により出願された特許

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【課題】 現行磁気メディアと同等或いはそれ以上の優れた磁気特性を備えたコバルト−白金合金磁性膜を製造する技術を提供する。
【解決手段】 本発明のコバルト−白金合金磁性膜の製造方法は、塩化コバルト六水和物を0.5〜20g/Lと、塩化白金酸(IV)を2〜60g/Lと、酒石酸アンモニウムを0.5〜50g/Lとを含有するコバルト−白金合金電析めっき浴を用いて、電析コバルト−白金合金膜を形成し、該電析コバルト−白金合金膜を200℃〜800℃において熱処理を行うことを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】 ウエーハ用メッキ装置の分割された各カソード電極部分に供給される電流の大きさを均一に、または所定値に設定する。
【解決手段】
メッキ槽2の開口部に配置された等分割された複数個のカソード電極部分C1〜C6の特定の1個のカソード電極部分C1に定電流I1を供給すると共にその定電流の大きさを表わす電流指令信号Sを発生するマスター定電流供給回路12と、他のカソード電極部分C2〜C6に定電流I2〜I6を供給するスレーブ定電流供給回路14〜22とを含んでいる。スレーブ定電流供給回路14〜22は電流利得調整回路を有し、マスター定電流供給回路12から供給される電流指令信号Sに応答して前記他のカソード電極部分に供給される定電流の大きさを前記特定の1個のカソード電極部分に供給される電流と同じ大きさ、または所定の大きさに設定する。 (もっと読む)


【課題】 ノンシアン系の金めっき液について、バンプ形状の形成能力に優れ、熱処理を行った場合であっても、下地との密着性が良好で、且つ、バンプの接合性を確保するために適度な硬度を有した金めっきを処理することが可能な金めっき液を提供する。
【解決手段】 金濃度5〜20g/Lの亜硫酸金ナトリウム又はそのエチレンジアミン錯体と、10〜100g/Lの亜硫酸ナトリウムと、タリウム濃度1〜50ppmのタリウム化合物とを含有する金めっき液において、亜硫酸カリウムを0.1〜50g/L含有するものとした。 (もっと読む)


【課題】 従来の噴流式めっき装置において、めっき対象物の被めっき面と載置部内周面とで形成される微小角部におけるめっき液流動の滞留を解消するめっき処理装置を提供するものである。
【解決手段】 めっき槽の上部開口縁に、めっき槽内壁面より内側に突出するように設けられた環状載置台及び該環状載置台上部に配置されたシールパッキンを有する載置部と、めっき槽の底部に設けられた液供給管と、載置部の下方位置に設けられた液流出口とを備え、液供給管から上昇流で供給されるめっき液に、液流出口からめっき槽の外部へ流出させる流動を形成させ、めっき対象物の被めっき面全面にめっき液を接触させてめっき処理を行うめっき装置において、載置部には、めっき対象物の被めっき面と載置部内周面とで形成される微小角部に滞留するめっき液を外部に排出するための液排出孔が設けられているものであるめっき装置とした。 (もっと読む)


【課題】 既存設備やBGA自体の設計変更を行わずに、鉛フリー系の半田であっても半田の剥離現象を有効に防止可能で、フレキシブル基板の屈曲特性にも優れた半田接合部の形成方法を提供する。
【解決手段】 本発明は、銅導体上に半田を接合するために形成された金接合層を備える半田接合部の形成方法において、パラジウムの還元析出させるためのニッケル系下地処理を銅導体上に施し、0.50μm以下の非常に薄い厚みのニッケル系下地層上にパラジウムを還元析出させてパラジウムバリア層を形成し、該パラジウムバリア層上に金接合層を形成するものとした。 (もっと読む)


めっき対象面全面に、より均一な膜厚のめっきを施すことができるカップ式めっき装置を提供する。めっき槽の開口端に設けられためっき対象物の載置部と、めっき槽内にめっき液を供給する手段と、めっき槽に形成されためっき液の流出口とを備えていると共に、当該流出口から流出しためっき液が流入する空洞部と、空洞部内のめっき液の放出口と、当該放出口から排出されためっき液の回収槽とを備えており、めっき槽内にめっき液を供給しながらめっき対象物にめっき処理を行うカップ式のめっき装置において、放出口の形状および/または開口面積を変更可能にした。空洞部の下流側に形成される放出口の形状および/または開口面積を調節できれば、これを調節することで、めっき対象面におけるめっきムラやめっきのバラツキの発生を抑制できる。
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【課題】 従来の噴射供給タイプのめっき装置におけるエアーの滞留や、流速ムラにより生じるバンプ形状およびめっき厚の不均一性を解消するめっき処理技術を提供するものである。
【解決手段】 めっき槽と、めっき槽上部開口に形成されたウェハー支持部と、ウェハー支持部の下側位置に形成された液流出路と、ウェハー支持部に載置されたウェハーの被めっき面中央に向けてめっき液を噴射供給する液供給管とを備えためっき装置において、液供給管は、めっき槽内に突出した状態で設置されている液吐出管部と液流入管部とからなるとともに、液吐出管部下方に液吸入口が形成されており、当該液流入管部内壁に液流調整機構が形成されているものとした。 (もっと読む)


【課題】 ウェハーのように極めて厳密なめっき厚みの均一性を要求される電解めっき処理においても、均一な厚みのめっき処理が容易に行える技術を提供する。
【解決手段】 ウェハーの周縁部に接触するカソード電極を配置された開口部を有するカップ状のめっき槽と、該開口部に載置したウェハーと対向するようにめっき槽内部に配置されたアノード電極とを備え、めっき槽内にめっき液を供給してウェハーとめっき液とを接触させるとともに、ウェハーにめっき電流を供給することでウェハー表面にめっき処理を行う電解めっき装置において、前記アノード電極は、チタニウム製の電極基材上に、中間層として白金被膜と、その中間層表面に酸化イリジウム被膜とが設けられたものとした。 (もっと読む)


【目的】被包装物を個々に巻き包むようにして包装するタイプの個包装用包装機について、短サイクルでのサイズ換えを必要とする被包装物を効率的に包装できるようにし、また強い緊縛力を必要とする被包装物の包装を有効に行なえるようにする。
【構成】包材fに被包装物Wを挟み込み、次いで包材に胴折り及びシールを施し、それから包材に端面折りを施すことで包装をなすようになっている。胴折り及びシールを行なう胴折りブロックは、図中に矢印で示す旋回を行なうタレットユニットを備えている。このタレットユニットでは、第1水平ポジションHaで包材に挟み込み済みの被包装物の受け渡しがなされ、それから90°旋回した直立ポジションVで胴折り体30とシール体31により胴折りとシールがなされ、さらに90°旋回した第2水平ポジションHbで被包装物が次工程に向けて排出される。これが終わるとタレットユニットは長い矢印のように反転して元の状態に戻り、次のサイクルを始める。 (もっと読む)


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