【課題】 半導体製造工程から排出される有害ガスを、燃料を燃焼して得られる燃焼排ガスまたは火炎により熱分解して浄化する浄化装置において、大型あるいは複雑な構成を用いることなく、処理対象有害ガスの分解率の低下、及び分解室壁面における粉化物の堆積を抑制することができ、長時間にわたり安全で安定して浄化できる浄化装置を提供する。
【解決手段】 熱分解室の側面を通気性及び断熱性を有する壁とし、側面壁の外周に酸素含有ガス流路を設けるとともに、該流路に酸素含有ガスを旋回可能な方向に導入できる構成を備えた浄化装置とする。 （もっと読む）

【課題】 電解液が含浸された電極シートとセパレータの積層体が、偏平状の容器に、電極端子の先端が外部に露出された状態で密封された電気二重層キャパシタにおいて、電極端子の周辺部の気密性が優れており、しかも構成が簡単で容易に製造できる電気二重層キャパシタを提供する。
【解決手段】 電極端子と容器の貼り合わせ部が、筒状に形成された合成樹脂層を介して接着されてなる電気二重層キャパシタ、または、電極端子の少なくとも容器の貼り合わせ部と対面する部分が、電極端子の側面周辺部に向かって薄く形成されてなる電気二重層キャパシタとする。 （もっと読む）

【課題】 有害成分として、ターシャリーブチルホスフィン等の有機燐化合物、あるいはターシャリーブチルアルシン等の有機砒素化合物を含む排ガスの浄化において、急激な発熱及びガス発生を起こす虞がなく、優れた浄化能力で効率よく安全にこれらの有害成分を含む排ガスを浄化することが可能な手段を提供する。
【解決手段】 排ガスを吸着剤と接触させて、排ガス中の有害成分を吸着剤に吸着させた後、吸着剤を加熱して、有害成分を、ホスフィン及び／またはアルシンと、炭化水素に分解するとともに、吸着剤から分解により生じた化合物を脱着させる。さらに、吸着剤から脱着したホスフィン及び／またはアルシンと炭化水素を含むガスを、ホスフィン及び／またはアルシンの乾式浄化剤と接触させて浄化する。 （もっと読む）

【課題】 電解液が含浸された電極シートとセパレータの積層体が、貼り合わせ部を有する偏平状の容器に密封された電気二重層キャパシタにおいて、容器内の圧力が比較的に低くてもガスが外部に放出され、開になる圧力のバラツキが小さく、しかも取付け周辺部の気密性が優れている圧力開放手段を備えた電気二重層キャパシタ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 偏平状の容器の貼り合わせ部に筒状部材が接着挟持され、筒状部材が圧力開放手段により蓋閉めされてなる電気二重層キャパシタとする。また、電極シートとセパレータを積層する工程、貼り合わせ部を有する偏平状の容器に積層体を収納する工程、容器の貼り合わせ部に筒状部材を接着挟持させる工程、容器に電解液を注入する工程、積層体を減圧処理する工程、及び筒状部材を圧力開放手段により蓋閉めして容器を密封する工程を含む製造方法とする。 （もっと読む）

【課題】 電解液が含浸された電極シートとセパレータの積層体が、偏平状の容器に密封された電気二重層キャパシタにおいて、容器内の圧力が比較的に低くてもガスが外部に放出され、開になる圧力のバラツキが小さく、しかも取付け周辺部の気密性が優れている圧力開放手段等を提供する。
【解決手段】 電極端子及び圧力開放手段を合成樹脂とともに一体成形したシール部材、または圧力開放機構を筒状の保護材に収納した構成を備えた圧力開放手段が、容器の開口部のシール部に密着挟持されて設けられてなる電気二重層キャパシタとする。 （もっと読む）

【課題】 金属箔等の集電体の表面に、分極性電極が容易に強固に形成され、充放電の繰返しで発生するガス、あるいは振動等によっても、集電体と分極性電極との接着強度が低下しにくく、内部抵抗等の性能を良好な状態で長期間維持することが可能な電極シート、及びそれを用いた電気二重層キャパシタを提供する。
【解決手段】 少なくとも、活性炭及び／またはカーボンブラックと、有機モノマーを、グラフト重合させて得られるグラフトポリマーが溶媒に分散されてなる塗液を、集電体の表面に塗布した後、乾燥し、熱処理してなる電極シート、及びこの電極シートを用いた電気二重層キャパシタとする。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造工程から排出されるハロゲン系ガスを含む排ガスの浄化処理において、頻繁に浄化剤を新しいものと交換することがなく、反応性が高いガスを含む乾燥排ガスを処理する場合であっても火災の危険性がなく、処理後のガス中のハロゲン系ガス濃度を容易に低くできる処理方法及び処理装置を提供する。
【解決手段】 吸着剤にハロゲン系ガス吸収液を添加する段階と、半導体製造工程から排出されるハロゲン系ガスを含む排ガスを、該吸着剤と接触させる段階とからなり、該排ガスから該ハロゲン系ガスを除去する。また、少なくとも、ハロゲン系ガスを含む排ガスの導入口、吸着剤の充填部、吸着剤の充填部にハロゲン系ガス吸収液を添加する手段、及び処理されたガスの排出口を備えてなる処理装置とする。 （もっと読む）

【課題】 電極シートとセパレータが交互に積層されてなる構成を備えた電気二重層キャパシタにおいて、電極シートとセパレータの積層構造のずれによる電極シート同士の接触が生じることなく、また容易に電極シートとセパレータを交互に積層させることが可能な手段等を提供する。
【解決手段】 １枚の電極シートを、集電体のリード部が外部に露出するように、偏平状のセパレータ袋に挿入または封入した角型電極セルを用いる。この角型電極セルを複数枚積層させた積層体を用いて電気二重層キャパシタを製造する。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造工程等から排出されるガスに含まれるトリメチルガリウム、トリメチルインジウム、トリメチルアルミニウム等の金属化合物等を、アンモニア等の同伴ガスに影響されることなく、高感度で容易に検知あるいは濃度測定できる手段を提供する。
【解決手段】 シート状の担体に、変色成分としてピリジルアゾ化合物を含浸させてなる検知テープを用いる。また、この検知テープを用いた濃度測定装置を使用して、半導体製造工程等から排出されるガスを測定する。 （もっと読む）

【課題】 大きな設備あるいは複雑な設備を用いることなく、ペット等に容易に快適な涼感を与えることが可能な冷却手段を提供する。
【解決手段】 水への溶解時に吸熱を生ずる無機塩類から選ばれる１種または２種以上の塩類と、水とが混合されてなる保冷剤が充填された非透水性の樹脂製袋を、少なくとも上板と下板を有する偏平状収納具に、前記上板及び下板と接触するように挟持して収納した冷却板とする。また、好ましくは、下板の上側に凸部を設けるとともに、非透水性の樹脂製袋の前記凸部に合った位置に、前記凸部の形状に合った凹部を設ける。 （もっと読む）