【課題】 継手、枝管の接続部、バルブの接続部等、配管の径よりも大きな径を有する付属品を備えた配管の内部を流通する流体を、配管の外周側から加熱するための電気エネルギーを利用する加熱装置であって、配管及び付属品に容易に配置することができ、配管を均一に効率よく加熱することができ、さらに設置の際のコストが安価である加熱装置を提供する。
【解決手段】 所定の区間の該付属品及び該配管を包囲することが可能な筒形状を有する断熱材の内部表面に、面状ヒータが備えられ、さらに繊維状の金属の塊が該面状ヒータ及び配管に接触するように充填されてなる加熱装置とする。 （もっと読む）

【課題】 一酸化窒素及び二酸化窒素を含む空気等の処理対象ガスから、優れた処理能力で効率よくこれらの窒素酸化物を除去できる処理方法を提供する。
【解決手段】 一酸化窒素及び二酸化窒素を含む空気等の処理対象ガスを、相対湿度が２０％以下となるように処理した後、無機質担体に過マンガン酸カリウムを担持させた転化剤と接触させて、該ガスに含まれる一酸化窒素を二酸化窒素に転化し、さらに二酸化窒素除去剤と接触させて、該ガスから二酸化窒素を除去する。 （もっと読む）

【課題】 長手方向にスリットを有する円筒状の面状ヒータが、円筒状の断熱材の内部に脱着可能に備えられた配管用の加熱装置であって、面状ヒータの折れ曲がり、振動等による配管からの脱落を防止できる加熱装置を提供する。
【解決手段】 長手方向にスリットを有する円筒状の面状ヒータの外側表面に、円周方向に対して弾力性を有する金属板及び／または耐熱性樹脂板が取付けられてなる配管の加熱装置とする。前記の金属板及び／または耐熱性樹脂板は、例えば、円筒状の面状ヒータの縁に沿った形状、円弧形状を有するものである。 （もっと読む）

【課題】 パラジウム合金の薄膜を利用した水素精製において、装置を大きくすることなく、単位時間当たりの精製水素の取出し量を従来よりも大きくできる水素精製装置、さらに水素分離膜の厚みを薄くしても、水素分離膜の機械的強度の低下が少ない水素精製装置を提供する。
【解決手段】 一端が封じられた複数本のパラジウム合金細管と、該細管の開口端部において該細管を支持する管板とによって、セル内部が一次側空間と二次側空間に仕切られ、不純物を含む水素を一次側空間から導入し、パラジウム合金細管を透過させて二次側空間から精製水素を取出す水素精製装置であって、パラジウム合金細管が、開口端部、円筒中央部、及び閉口端部からなり、円筒中央部の筒径が開口端部の管板の位置における筒径よりも大きい水素精製装置とする。 （もっと読む）

【課題】 継手、枝管の接続部、バルブの接続部等、配管の径よりも大きな径を有する付属品を備えた配管の内部を流通する流体を、配管の外周側から加熱するための電気エネルギーを利用する加熱装置であって、配管及び付属品に容易に配置することができ、配管を均一に効率よく加熱することができ、さらに設置の際のコストが安価である加熱装置を提供する。
【解決手段】 所定の区間の付属品及び配管を包囲することが可能な筒形状を有する断熱材の内部に、中心側表面が金属層により被覆された面状ヒータ、及び該金属層の表面から中心部に向かって延び、配管を挟持して接触するように配置された金属製伝熱部材が備えられてなる配管の加熱装置とする。 （もっと読む）

【課題】 円筒形の配管の内部を流通する流体を、配管の外周側から加熱するための電気エネルギーを利用する面状ヒータの製造方法及び面状ヒータであって、多品種少量生産する場合（内径が互いに異なる面状ヒータを少量生産する場合）であっても、効率よく容易に製造することが可能な面状ヒータの製造方法及び面状ヒータを提供する。
【解決手段】 熱収縮性樹脂チューブを、所定の外径の円柱外周面を有する金型の外周表面に配置し、加熱して該熱収縮性樹脂チューブを収縮させ、円筒形に成形した後、熱収縮済の該熱収縮性樹脂チューブの外周表面に発熱素子及び可撓性を有する絶縁樹脂シートを重ね合せて配置し、熱収縮済の該熱収縮性樹脂チューブ、該発熱素子、及び該絶縁樹脂シートを加熱して円筒形に一体成形し、さらにスリットを入れる面状ヒータとする。 （もっと読む）

【課題】原料ガスをあらゆる角度に対して均等な流量で噴出でき、サセプタの対面においては原料ガスの分解、結晶化を抑制できる気相成長装置を提供する。
【解決手段】サセプタ２の対面が内部に冷媒を流通する手段を有し、原料ガス導入部が円板状の仕切り１２，１２”により上下方向に仕切られた構成からなる複数のガス噴出口１３を備え、該ガス噴出口１３の少なくとも１つが複数の柱状の仕切り１４により円周方向に仕切られた構成を備えてなる気相成長装置とする。 （もっと読む）

【課題】 不純物を含む希ガスを、加熱下でゲッタ材と接触させて、該希ガスに含まれる不純物を除去する希ガスの精製方法において、希ガスに不純物が多く含まれている場合であっても、圧力損失の上昇を抑制できる精製方法を提供する。
【解決手段】 不純物を含む希ガスを、第２のゲッタ材よりも不純物に対する反応性が低く空隙率が高い第１のゲッタ材と接触させて該希ガスから酸素を除去した後、第１のゲッタ材よりも不純物に対する反応性が高く空隙率が低い第２のゲッタ材と接触させて該希ガスから酸素以外の不純物を除去する。 （もっと読む）

【課題】 基板を保持するサセプタ、サセプタの対面、基板を加熱するためのヒータ、サセプタとサセプタの対面の間隙からなる反応炉、反応炉へ原料ガスを供給する原料ガス導入部、及び反応ガス排出部を有するIII族窒化物半導体の気相成長装置であって、半導体の膜厚分布の均一性、反応速度の向上を図ることが可能なIII族窒化物半導体の気相成長装置を提供する。
【解決手段】 原料ガス導入部が、アンモニア、有機金属化合物、及びキャリアガスの３種を任意の割合で混合してなる混合ガスを噴出できる第一の混合ガス噴出口と、アンモニア、有機金属化合物、及びキャリアガスから選択される２種または３種を任意の割合で混合してなる混合ガスを噴出できる第二の混合ガス噴出口を備えてなるIII族窒化物半導体の気相成長装置とする。 （もっと読む）

【課題】 半導体製造工程から排出される排ガスに含まれる有害成分を、火炎により熱分解する装置において、排ガスが高濃度の腐食性ガスを含む場合であっても、あるいは火炎による熱分解で高濃度の腐食性ガスが生成する場合であっても、目的の有害成分を効率よく分解することが可能で、燃焼室の構成が高温の腐食性ガスに対する優れた耐腐食性を有する熱分解装置を提供する。
【解決手段】 有害成分を熱分解する燃焼室、燃料ガスと空気を含むガスを燃焼室へ噴出するノズル、排ガスを含むガスを燃焼室へ噴出するノズルを備え、該燃焼室の側壁が、燃焼室側の表面にフッ素樹脂が被覆された基材で構成され、該側壁の外周全体にわたり冷媒を流通するための流路が設けられてなる熱分解装置とする。 （もっと読む）