【課題】 半導体製造工程等から排出されるゲルマン及びビニルトリメチルシラン、アリルトリメチルシラン等の有機ケイ素化合物を、水素等の雰囲気ガスに影響されることなく高感度で検知でき、しかも使用するまでの期間中、光等により容易に感度が低下しない検知剤を提供する。
【解決手段】 無機質担体に、変色成分として、重クロム酸アンモニウム、アルカリ金属の重クロム酸塩等の重クロム酸塩を担持させてなる検知剤とする。好ましくは、無機質担体に重クロム酸塩とともに貴金属塩を担持させてなる検知剤とする。 （もっと読む）

【課題】 窒化ガリウムをはじめとする半導体関連の処理工程からの排出ガスから高純度のアンモニアを回収できる方法及びその装置を提供する。
【解決手段】 処理工程から導出された排出ガス中のアンモニアガスを水に溶解させる溶解工程と、アンモニアを溶解させたアンモニア水を蒸留して水とアンモニアガスとを分離する蒸留工程と、分離したアンモニアガスを液化する液化工程とを有するアンモニアガスの回収方法である。処理工程から導出された排出ガスから不純成分を吸着除去し、この不純成分を吸着除去した後の排出ガスを溶解工程に供給する。溶解工程では溶解ステップを反復させてアンモニア濃度を高め、所定濃度のアンモニア水をアンモニア水タンクに貯留する。蒸留工程から導出したアンモニアガスを除湿した後、液化する。 （もっと読む）

【課題】 ２５０℃〜１０００℃の高温の領域を含む広い温度領域で使用することが可能で、しかも所望の曲面形状及び大きさで容易に製造することができる面状発熱体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 複数枚のマイカシートのいずれかの間隙に可撓性を有する発熱素子が挟持された複合シートを、曲面状に保持された状態で加熱することにより、マイカシートを硬化させるとともに該複合シートを一体成形して面状発熱体を製作する。 （もっと読む）

【課題】 有害成分として塩化ケイ素類を含むガスの乾式浄化法において、安全に処理対象ガスから塩化ケイ素類を除去できるとともに、塩化ケイ素類が捕捉された浄化反応済の浄化剤が万が一高温（３００℃以上）になった場合にも急激な発熱反応が起こる虞がなく、安全に浄化処理することができる浄化剤及び浄化方法を提供する
【解決手段】 塩基性炭酸銅と、酸化アルミニウム、水酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、水酸化マグネシウム、及び酸化ケイ素から選ばれる少なくとも１種の化合物を含む浄化剤を用いて浄化する。 （もっと読む）

【課題】 正極体、負極体、及びセパレータからなる積層体を容器に収納し、容器に電解液を注入して該積層体に含浸した後、容器を正極体の端子の先端及び負極体の端子の先端が外部に露出した状態で密封する電気二重層キャパシタの製造方法であって、積層体に存在する水分、特に分極性電極の構成材料として用いられる活性炭等の細孔内に存在する水分を、効率よく極めて低濃度になるまで除去できる電気二重層キャパシタの製造方法を提供する。
【解決手段】 積層体に電解液を含浸する前に、積層体またはその構成材料を有機溶液に含浸し、これらに含まれる水を有機溶液とともに排出する処理を行なって、積層体またはその構成材料から水分を除去する工程を含ませる。 （もっと読む）

【課題】使用者各人の所望に最適なサウナ室内雰囲気を実現し、気分や体調等の心身の状態や使用目的に適応する事が可能なサウナ装置を提供する。
【解決手段】室内２ａにおいて、少なくとも温熱機構を含む雰囲気形成手段を備えており、前記雰囲気形成手段は、制御手段によって動作するようプログラムされたプログラムモードにより動作を行って室内に雰囲気を形成するようにしたサウナ装置１ａであり、前記プログラムモードの少なくとも１以上のプログラムを任意に作成及び記憶するための任意プログラム作成記憶機能を設けた構成にする。 （もっと読む）

【課題】 圧力変動吸着式の一酸化炭素の精製装置において、切替え弁の複雑な切替えが必要な工程を含む精製であっても、構成が小さくかつ単純で操作も容易である精製装置を提供する。
【解決手段】 並列に設置された複数の吸着筒と、これらの上流側及び下流側に１個ずつ設けられた多方弁を備えてなる一酸化炭素の精製装置であって、多方弁が、少なくとも片方が複数の気体流通孔を有する２個の固定ディスクと、これらに挟まれ回転することにより固定ディスクの気体流通孔に選択的に連通可能な気体流通路を有する回転ディスクからなる一酸化炭素の精製装置とする。 （もっと読む）

【課題】 ２００℃以上の比較的に高温の領域内で使用することが可能で、しかも優れた可撓性あるいは柔軟性を有する面状発熱体を提供する。
【解決手段】 可撓性あるいは柔軟性を有するガラス繊維成形基板、好ましくは低温度で熱分解するバインダーを含まないガラス繊維成形基板の片側または両側に、好ましくはガラス繊維成形基板の平滑化材を介して、金属酸化物等の導電性薄膜を設けた構成とする。さらに必要に応じて、導電性薄膜の外側を電気絶縁層により被覆する。 （もっと読む）

【課題】 就寝、起床、あるいはベッドの上で休息、読書等をする際に、酸素富化空気の吹き出し口が邪魔にならず、寝ている人の位置、向きに関わらず酸素富化空気が効率よく得られ、快適に休養できる寝具用酸素富化空気供給装置及びそれを用いたベッドを提供する。
【解決手段】 ベッドのヘッドボード側面に酸素富化空気の吹き出し口を設ける構成、ベッドのヘッドボード側面に厚みが薄い吹き出し装置を設ける構成、またはマットの内部に酸素富化空気の吹き出し口を設ける構成とする。 （もっと読む）

【課題】 窒化ガリウム系化合物半導体のような高温で腐食性の高いガスを用いた気相成長反応を行なう場合であっても、半導体膜の品質に悪影響を与えることなく、ヒータの断線等を抑制することができ、長期間にわたり安定した成膜が可能な気相成長装置を提供する。
【解決手段】 基板を載置するサセプタ、基板を加熱するヒータ、基板に原料ガスを供給する原料ガス導入部、及び反応ガス排出部を有し、ヒータと基板の載置位置の間に、支持部材により保持または補強された光透過性セラミックス板を備えてなる気相成長装置とする。 （もっと読む）