【課題】配線厚の減少をほとんど発生させることなく溶融飛散Ｃｕ及びオーバーハングを選択的に除去することができるプリント配線板の製造方法及びその際に好適な電解エッチング処理液を提供すること。
【解決手段】銅層３と絶縁層１とを交互に積層した多層基板の表面の銅層３から内層の銅層２に達する穴をレーザで加工するようにしたプリント配線板の製造方法において、前記穴を加工する工程が、表面に配置された銅層３の表面にレーザ吸収層４を形成する工程、レーザ照射工程、電解エッチング処理工程、レーザ吸収層４除去処理工程、を、この順序で行う。 （もっと読む）

【課題】 調整が容易で、エネルギー効率に優れるマスクレス露光装置を提供すること。
【解決手段】 １辺の長さがｐのマイクロミラー２１を互いに隙間ｇを隔てて列方向にｍ個、列方向に直角な行方向にｎ個並べて配置した長方形の空間光変調器をステージ４が移動するＹ方向に対して角度θ傾けて配置しておき、第１の空間光変調器２Ａに配置されたＹ方向のマイクロミラー２１の数が露光に必要な重ね回数ｋに満たない不完全領域に、Ｙ方向に対して角度θ傾けた第２の空間光変調器２Ｂの当該不完全領域を、第１の空間光変調器２Ａと第２の空間光変調器２ＢのＹ方向のマイクロミラー２１の数の和ｓが露光に必要な重ね回数ｋを超えるようにして、第２の空間光変調器２Ｂを第１の空間光変調器２Ａに対して前記Ｙ方向と直角なＸ方向に位置決めする。 （もっと読む）

【課題】ワークに反りや厚さむらがある場合でも、ワークの表面に均一な幅のパターンを露光することができるマスクレス露光装置を提供すること。
【解決手段】板厚方向の一方の面が板厚方向の他方の面に対して角度θの傾斜面である第１と第２の２つの楔ガラス７１７、７２７と、楔ガラス７１７、７２７の少なくとも一方を移動させる移動手段と、を設け、楔ガラス７１７の面７１７ｕを第２の投影レンズ６７の光軸に対して垂直に配置し、楔ガラス７２７の面７２７ｕを７１７ｕ面との距離が予め定める値δになるように組み合わせて、第２の投影レンズ６７の入射側または出射側に配置し、第２の投影レンズ６７の光軸方向の結像位置が露光基板８の表面からずれている場合は、楔ガラス７１７を間隔δを一定にして角度θ方向に移動させることにより第２の投影レンズ６７の結像面を露光基板８の表面に位置決めする。 （もっと読む）

【課題】 種々の感度の感光材料を露光することができると共に、ワークの変形に応じて描画位置を修正することができるレーザ直描装置を提供すること。
【解決手段】 ラスタデータに基づいて変調されたレーザビーム５ａをシリンドリカルレンズ９により副走査方向に集光させながら主走査方向へ偏向させると共に、被描画体１０を副走査方向へ移動させて被描画体１０へ所望のパターンを描画するレーザ直描装置において、シリンドリカルレンズ９の中心軸Ｐを水平方向に回転できるようにしておき、シリンドリカルレンズ９の中心軸Ｐの主走査方向に対する角度を変更できるように構成する。 （もっと読む）

【課題】 感光材料の種類にかかわらず、表面側に対する裏面側の位置を精度良く決定することができるレーザ直接描画装置および描画方法を提供すること。
【解決手段】 レーザビーム５ａを主走査方向（Ｘ軸方向）へ偏向させると共にテーブル１２に載置された被描画体１０を副走査方向（Ｙ軸方向）へ移動させて被描画体１０の表面にパターンを描画するレーザ直描装置において、中空ピン２０を先端がテーブル１２の表面から予め定める距離ｇだけ突き出すようにしてテーブル１２に配置し、被描画体１０をテーブル１２に吸着させることにより被描画体１０の裏面に有底の凹部（中空ピン２０の先端跡）を形成させる。そして、裏面にパターンを描画する際には、凹部を基準にして描画する。 （もっと読む）

【課題】従来のドリルによるスタブ除去加工（バックドリル加工）には複雑な検出パターンを必要としたが、それを簡便なテストパターンで行うことができるようにする。
【解決手段】予め該多層プリント基板に内層の深さを検出するための、少なくとも一部が互いに重ならないようにした複数のテストパターン層３、４と、表面導体層２を設け、表面導体層２とテストパターン層３、４の間に電圧を印加しておき、まず、選ばれたテストパターン層３に向かって、バックドリル加工を行うドリル７でもって穴明け加工を行って、該テストパターン層３に接触した時に生ずる電流によって検出してその層の深さ（Ｄ１）を測定し、次に、もう一方のテストパターン層４に向かって、該ドリル７でもって穴明け加工を行って深さ（Ｄ２）を測定し、該Ｄ１とＤ２を平均した深さを基準として該導体配線層１０ａの手前まで該ドリル７にて加工する。 （もっと読む）

【課題】ミラーを駆動する揺動アクチュエータ装置から駆動トルクの反作用が周期的に作用する場合であっても、ミラーの振動を抑制することができるようにする。
【解決手段】揺動アクチュエータ装置１０の回転軸１１にミラー１３支持させ、ミラー１３を回転軸１１の軸線１２の回りに位置決めするようにしたスキャナ装置において、揺動アクチュエータ装置１０を固定支持するサポート２０と、揺動アクチュエータ装置１０、ミラー１３及びサポート２０とからなる支持構造系の共振周波数に等しい固有振動数を有する動吸振器４０と、を設け、動吸振器４０をサポート２０に固定する。 （もっと読む）

【課題】運転操作中の作業者が稼動状況を確認しやすいプリント基板加工機を提供する。
【解決手段】基板加工機１は、プリント基板を載置する複数のテーブル２０と、前記各テーブル毎に設けられ、前記テーブルをそれぞれ前後X方向に移動させるX軸駆動部２１と、このX軸駆動部を介して前記複数のテーブル２０を支持するベッド部２２と、コラム２３を介して前記各テーブル２０の上方に配置されたクロススライド２７と、クロススライド２７をそれぞれ左右Y方向に移動させるY軸駆動部２６と、クロススライド２７に支持され上下Z方向に移動自在のガイド３４と、ガイド３４を上下Z方向に移動させる図示を省略するＺ軸駆動部と、ガイド３４に支持された複数のスピンドル２５と、このプリント基板加工機１の動作制御を統括的に制御する図示しない制御装置と、この制御装置に運転操作の入力を行う操作卓２８で構成される。 （もっと読む）

【課題】プリント基板に溝や穴を能率よく、正確に形成すること。
【解決手段】プリント基板加工機は、プリント基板４を加工する工具２を保持するスピンドル１と、プリント基板加工の際に、プリント基板をテーブルに押圧する押さえ装置１０１と、を備えている。押さえ装置は、スピンドルに沿って昇降可能なプレッシャフット６と、工具貫通穴が形成された複数の押さえピース３０を有して、プレッシャフットに、複数の押さえピースの１個を選択可能に設けられた回転部材１０と、回転部材を回転させるモータ１３と、プレッシャフットを昇降させて、選択した押さえピースをプリント基板に押圧させるシリンダ２０・電磁弁４０と、モータとシリンダ・電磁弁を制御する制御部４８と、を備え、制御部は、モータを回転させて押さえピースを選択し、選択した押さえピースに対応して、シリンダ・電磁弁を制御して、プリント基板への押圧力を変更する。 （もっと読む）

【課題】 加工精度を向上させると共に加工能率を向上させることができるワークの加工方法を提供すること。
【解決手段】 ワーク２上に配置された複数のアライメントマーク６の設計値に対する変位量を予め測定しておき、加工の直前に、Ｘ方向およびＹ方向のそれぞれ２個のアライメントマーク６の設計値に対する変位量を測定し、この測定結果に基づいて、他のアライメントマークの設計値に対する変位量を補正し、補正したアライメントマーク６の位置に基づいて加工を行う。 （もっと読む）