【課題】防湿剤が適切に塗布されているかどうかを検査する基板検査装置を提供する。
【解決手段】紫外線が照射されることにより蛍光を発する蛍光剤を含む防湿剤の塗布されたプリント基板を検査する基板検査装置１であって、プリント基板に紫外線を斜めに照射する紫外線照射部１１と、プリント基板の画像を撮影する撮影部１３と、防湿剤の塗布されるべき領域を示す基準情報が記憶される基準情報記憶部１５と、撮影部１３が撮影した、紫外線照射部１１からの紫外線が照射されたプリント基板の画像から、蛍光領域の画像を取得する蛍光領域画像取得部１４と、取得された蛍光領域の画像の輝度を所定のしきい値と比較した結果と基準情報とを用いて、防湿剤の塗布されるべき領域に防湿剤が塗布されているかどうか判断する判断部１６と、その判断結果を出力する判断結果出力部１７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】測定開始の指示をジョイスティックで受け付ける際に、アライメントを狂わせない眼科測定装置を提供する。
【解決手段】被検眼に接近、離間する方向であるＺ軸方向、Ｚ軸方向に垂直な平面上のＸ、Ｙ軸方向に移動可能であり、被検眼の測定を行う眼科測定ユニット１１と、検者の操作に応じて、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向の移動指示を受け付け、測定開始指示を受け付けるジョイスティック１２と、移動指示に応じて眼科測定ユニット１１を移動させる移動部１３と、眼科測定ユニット１１が被検眼に対してアライメントのとれたことを検出するアライメント検出部１４と、を備え、眼科測定ユニット１１は、測定開始指示が受け付けられた場合に測定を開始し、移動部１３は、アライメントのとれたことをアライメント検出部１４が検出した場合に、移動指示に応じた眼科測定ユニット１１の移動を行わない。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成と省スペースを実現できるダブルアーム型ロボットを提供する。
【解決手段】搬送物２，３が載置されるハンド部２３，３３、各々が関節部で回動可能に連結された複数のアーム２１，２２，３１，３２を有し、ハンド部２３，３３がアーム２２，３２の一端に関節部で回動可能に連結される、第１及び第２の多関節アーム１１，１２と、第１及び第２の多関節アーム１１，１２の一端が、基端の関節部によって各々回動可能に連結されるアーム支持部１３と、アーム支持部１３の一端を鉛直方向に移動可能に保持し、基台１５に固定される基柱１４と、第１及び第２の多関節アーム１１，１２を基端の関節部で回動させる第１及び第２のアーム駆動部と、第１及び第２の多関節アーム１１，１２における基端の関節部以外の関節部での回動を行わせる第１及び第２の関節回動部とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ストッカが搬送路を介してＥＦＥＭシステムと対向した位置に設けられていたため、搬送路と処理装置とストッカとが占める床面積が増大し、半導体ウェハ搬送システムの大型化を招いていた。
【解決手段】 ＦＯＵＰ６を保管するストッカ３と、半導体ウェハ処理装置２の前面に設けられ、ＦＯＵＰ６に収納された半導体基板を半導体ウェハ処理装置２に引き渡すＥＦＥＭ４と、ＥＦＥＭ４を構成し、ＦＯＵＰ６を載置するＦＯＵＰ架台１０を有するロードポート７と、ストッカ３に保管されたＦＯＵＰ６をロードポート７のＦＯＵＰ架台１０に移送するＦＯＵＰ移送ロボット５と、を有し、ストッカ３を、ロードポート７の載ＦＯＵＰ架台１０の略直上に設けられた。 （もっと読む）

【課題】操作部材の存在する領域に応じて、復帰機構が働いたり、働かなかったりするようにすることができるジョイスティック装置を備えた眼科検査装置を提供する。
【解決手段】眼科検査装置は、少なくとも多方向に傾斜操作可能に保持された操作部材（３１）と、操作部材（３１）を中心位置方向に復帰させる復帰機構（３４，３６）と、操作部材（３１）が中心位置から所定の傾斜角までの範囲にある場合には、操作部材（３１）が復帰機構（３４，３６）によって中心位置方向に復帰されることを制限する制限部（３７）と、を有するジョイスティック装置（１）を備える。 （もっと読む）

【課題】、被検眼の位置を確実に検出でき、表示画面がちらつかず、アライメントの操作性が高い眼科装置を提供する。
【解決手段】被検眼に照明光を照射する照明光源と、被検眼の位置を検出するためのアライメント光を照射するアライメント光源と、被検眼像を表示する表示装置とを有する眼科装置において、アライメント光が点灯しているフレームは、アライメント光が消灯していた直近のフレームの画像データを表示、または、アライメント光が消灯しているフレームは、アライメント光が点灯していた直近のフレームの画像データを表示する。 （もっと読む）

【課題】複数の波長の光源による干渉像の位相の組み合わせ計測を、平面画像一枚のみの撮像で解析可能とする。
【解決手段】観測光と参照光を含む複数の波長の光を発生する光発生手段と、該光を干渉可能な状態で撮像手段に導く光学系と、計測面の２次元干渉画像を撮像する撮像手段と、上記計測対象物の計測面の高さ毎の各波長光の位相の理論的組み合わせに基いて上記対象物の計測面の微小高さを求める画像解析手段とを備えるとともに、上記撮像手段を計測面に対して相対的に所定の傾斜角を持たせて設置することにより、干渉縞を生じさせ、該干渉縞の濃淡の変化パターンを観測することにより、上記計測対象物の計測面の微小高さを計測するようにした。 （もっと読む）

【課題】広域測定と狭域測定とをそれぞれ最適化したレンズメータを提供する。
【解決手段】レンズメータ１は、第１の波長の測定光を発する第１の光源１０と、第２の波長の測定光を発する第２の光源１１と、第１の波長の測定光と第２の波長の測定光とを略同軸になるように導光して被検レンズ４に投光可能な導光手段１４と、被検レンズ４の下流に配置され、第１の波長の測定光を部分的に通過させ、第２の波長の測定光を全体的に通過させる第１の測定用マスク１６と、第１の測定用マスクの下流に配置され、第１の波長の測定光を全体的に通過させ、第２の測定光を部分的に通過させる第２の測定用マスク１７とを有する。 （もっと読む）

【課題】ノイズによる計測誤差などを吸収し、実用上正確な計測を可能とした微小物体の光学的な計測装置を提供する。
【解決手段】複数波長レーザ光発生手段と、光学系の光光路長を変えながら観測光と対象光との複数の干渉画像を撮像する撮像手段とを備え、上記複数の波長のレーザ光の各波長毎の干渉画像の各点の明るさが変化する部分の位相を計測し、位相値の組み合わせによって測定物の大きさを計測するようにしてなる微小物体の光学的計測装置であって、上記計測された位相値を測定対象物の所定の測定区間毎に分割し、区間の組み合わせを区間番号で表した変換テーブルによって解析することにより、使用するレーザ光の波長を超えた大きさの計測を行えるようにし、予じめ上記変換テーブルの区間番号の組み合わせを粗にしておき、その空いた区間番号の組み合わせを近傍の組み合わせ番号で補間することにより、計測された位相値の誤差を吸収補正した。 （もっと読む）

【課題】ウエハを正確に位置決めできるウエハ搬送システムを提供する。
【解決手段】ウエハ搬送ロボット３のロボットアーム１２の先端に設けたウエハ４を保持するハンド１６を、所定の撮影位置に配置し、ビジュアルセンサ２２で、ハンド１６に保持されているウエハ４の画像を撮影して、ウエハ４の水平位置と向きとを検出し、ウエハ４の計算上の水平位置に対する偏芯量と所定方向に対する角度差とを算出し、ハンド１６からウエハ４を受け取ったアライメントユニット５で、偏芯量および角度差を相殺するように、ウエハ４を移動してから、ハンド１６に受け渡すウエハ搬送システム１において、ウエハ４を把持していないハンド１６を撮影位置に配置し、ビジュアルセンサ２２によってハンド１６の実際の位置を検出し、ハンド１６の計算上の位置に対する位置決め誤差を算出し、位置決め誤差に基づいてロボットアーム１２の動作を補正する。 （もっと読む）