【課題】一回の鋳造作業におけるシリコンインゴットの製造量を増加させてコストの低減を図ることが可能な多結晶シリコン鋳造装置を提供する。
【解決手段】シリコン固形原料Ｔ１を収容する有底筒状のルツボ３と、ルツボ３を加熱して収容したシリコン固形原料Ｔ１を溶融させるヒーター６と、ルツボ３が載置され、ヒーター６によって加熱されて溶融したシリコン固形原料Ｔ１を冷却しつつ凝固させる冷却板５と、ルツボ３の外周に設けられた断熱部材９とを備える多結晶シリコン鋳造装置Ｂにおいて、ルツボ３に、上端３ｃ側の開口部分を上方に向かうに従い拡開する原料積載部材３ｅを設ける。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で、メンテナンスが容易なウェーハ洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄液３７が貯留される洗浄槽３２と、その洗浄液３７内に超音波を発生させる超音波発生器３６と、前記洗浄槽３２に出し入れ可能に配備されて複数枚のウェーハ３３を互いに隙間をあけて略垂直状態で収納するカセット３４とを備えたウェーハ洗浄装置３１であって、カセット３４を洗浄槽３２内で支持して上下移動可能な上下動機構３５を有するとともに、洗浄槽３２内に、弾性体で構成され、上下移動させられるカセット３４内のウェーハ３３に接触して弾性変形することにより、ウェーハ３３を回転させる回転力付与部材５０が設けられたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】振動によって搬送台の係止が解かれることを防止できる搬送装置を提供する。
【解決手段】被搬送物の供給位置において搬送台４に向けて進退自在に設けられ、搬送台の降下と同期して、供給位置に位置した際に搬送台の降下を係止する位置保持機構本体７１と、被搬送物を載置する載置部４１およびこの載置部と交差する方向に被載置面の反対側に向けて一体的に配設された支持部を有する搬送台上に搬送物が載置された際に、これによって載置部と支持部との交差部廻りに回動する支持部により作動して、位置保持機構本体を搬送台から退く方向に駆動する解除機構７２と、搬送台が供給位置の上方に位置した際に、支持部によって駆動されて、解除機構の作動を阻止するとともに、搬送台が供給位置に至った際に、解除機構の作動を許容する誤作動防止機構８０とを備えた位置保持保持機構を設けた搬送装置とした。 （もっと読む）

【課題】廃棄物のガス化で生じたチャーをガス化炉の熱源として利用することによりガス化効率を向上した低温ガス化装置を提供する。
【解決手段】可燃性廃棄物を加熱して乾留ガスを発生する低温ガス化炉１と、前記低温ガス化炉１に生じたチャーを燃焼して熱風を発生する熱風発生炉４と、この熱風発生炉４からの熱風を空気と間接熱交換して熱風を発生し、前記低温ガス化炉の熱源とする間接熱交換器５とを備える。 （もっと読む）

【課題】 廃棄物ガス化発電システムのコージェネレーション化を図り、処理コストを低減する。
【解決手段】 可燃性廃棄物を加熱して乾留ガスを発生するガス化炉１と、当該ガス炉からの乾留ガスをガス化温度以下で改質する低温改質設備２と、当該低温改質設備２からの改質ガスを冷却除湿する除湿設備３と、当該除湿設備３にて除湿された改質ガスを燃料とする発電機４を備えている。冷却除湿には、発電機４の排熱を利用する。 （もっと読む）

【課題】騒音等を生じることなく、かつ簡易な構造によって粉体等の被処理体の目詰まりを確実に防止することができて処理効率に優れる篩い分け装置を提供する。
【解決手段】装置本体１に軸線回りに回転自在に設けられ、外周部に径方向に長手方向を位置させた複数の長穴８が周方向に等間隔をおいて放射状に形成された一対の可動端面板４と、これら可動端面板４の長穴８間に挿通されて架け渡された複数本の棒状部材５と、可動端面板４の外面に添って装置本体１に固定され、可動端面板４との対向面の外周部に、長穴８に連通して棒状部材５の端部が挿入されるとともに、回転中心に対する曲率半径が下部よりも上部が大きくなる環状の案内溝９が形成された一対の固定部材２と、可動端面板４および棒状部材５を軸線回りに回転させる駆動手段７とを備えてなる。 （もっと読む）

【課題】被処理粉体の乾燥処理に際し、被処理粉体が乾燥機内部の高温部に固着することを防止すべく、被処理粉体の前処理方法を提供することを課題とする。
【解決手段】水溶性塩類を含む焼却灰、土壌、底質、汚泥等の被処理粉体と、この被処理粉体よりも低含水率の焼却灰、土壌、底質、汚泥等の粉体とを混合して混合粉体とした後に、この混合粉体を乾燥処理する被処理粉体の前処理方法とした。また、この低含水率の粉体として、上記乾燥処理後の混合粉体を用い、さらには、上記被処理粉体及び上記低含水率の粉体として焼却灰を用い、含水率２０％以下の上記混合粉体とした後に、この混合粉体を乾燥処理する被処理粉体の前処理方法とした。さらにまた、水溶性塩類を含む被処理焼却灰に水を加え、上記水溶性塩類を溶出させ、水溶性塩類の濃度を２％以下にした後に、この被処理焼却灰を乾燥処理する被処理焼却灰の前処理方法とした。 （もっと読む）

【課題】設置スペースを少なくし、且つ、ワーク搬送時の騒音を軽減できる無動力下降搬送装置を提供する。
【解決手段】 装置本体の上下部にそれぞれ回転自在に配設された円板部材２ａと、これら円板部材２ａ間に走行自在に巻回された無端部材３と、この無端部材３に回動自在に枢着され、載荷板５とこの載荷板５より軽量の支持板６で成るＬ形の載荷台４とを備えている。装置本体は、供給位置から下部円板部材までの間において支持板６を下方に向けて案内する降下案内部材１０を有する。この降下案内部材１０は、上部円板部材２ａ回りにおいて、無端部材３の走行に伴い漸次降下する支持板６を案内して載荷板５を載荷姿勢に移行させる傾斜部１０ａと、この傾斜部１０ａに連設されて、載荷板５の載荷姿勢を保持する垂直部１０ｂとを備えている。 （もっと読む）

【課題】設置スペースを少なくし、且つ、ワーク搬送時の騒音を軽減できる無動力下降搬送装置を提供する。
【解決手段】 装置本体の上下部にそれぞれ回転自在に配設された円板部材２ａと、これら円板部材２ａ間に走行自在に巻回された無端部材３と、この無端部材３に回動自在に枢着され、載荷板５とこの載荷板５より軽量の支持板６で成るＬ形の載荷台４とを備えている。装置本体は、供給位置から下部円板部材までの間において載荷板５の載荷姿勢を保持するように支持板６を案内する降下案内部材１０と、上部円板部材２ａ回りにおいて、無端部材３の走行に伴い漸次下降する載荷板５を係止してその先端部を水平方向に案内すると共に、支持板６が載荷板５の載荷姿勢を保持し得る下降案内部材１０の部位に達した時に載荷板５の係止が解除されるように成された上部案内部材２０を備える。 （もっと読む）

【課題】 簡便な構成で高い信頼性が図られる。
【解決手段】 被研磨材Ｗが、ワーク保持部３０の表面側に形成されるとともに、前記被研磨材の裏面により閉塞される密閉空間３６内に供給された加圧流体によって、その裏面側から押圧された状態で、ワーク保持部３０の表面に保持されて、パッド保持部２０に設けられた研磨パッド２１により研磨される構成とされた研磨機１０であって、加圧流体供給手段４０は、加圧流体を供給する駆動部と密閉空間３６とを連結させる加圧流体供給路４１を備え、加圧流体供給路４１に、前記加圧流体の流れを検知するフローメータ４３が設けられ、該フローメータ４３の出力信号に基づいて前記両保持部２０、３０の駆動を制御する制御部５１が設けられている。 （もっと読む）